JP2008020732A - フォトスペーサ形成用感光性樹脂組成物及びこれを用いたフォトスペーサを有するカラーフィルタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】樹脂、重合性モノマー及び光重合開始剤を含み、樹脂固形分と重合性モノマー固形分の総重量に対する重合性モノマー重量の割合が70〜100重量%であることを特徴とするフォトスペーサ用感光性樹脂組成物。
【選択図】図1
Description
(式中、R1 は水素原子またはメチル基、R2 は炭素数1〜12の炭化水素基、Xは(m+n)価の炭素数3〜60の有機基、lは1〜2の整数、mは2〜18の整数、nは1〜3の整数を示す)
上記式(I)であらわされるXは、ペンタエリスリトールおよびその誘導体からなる群より選ばれた化合物の(m+n)価の基とすることができる。
(式中、R1 は水素原子またはメチル基、R2 は炭素数1〜12の炭化水素基、Xはm+n価の炭素数3〜60の有機基、lは1〜2の整数、mは2〜18の整数、nは1〜3の整数を示す)
また、本発明者らは、架橋密度の目安として重合性モノマーの少なくとも一部が120以下の二重結合当量を有し、また、樹脂固形分と重合性モノマー固形分を合わせた樹脂組成物の二重結合当量が150以下である場合に、良好な弾性回復率が得られることを見出した。
1リットル容の四つ口フラスコ内に、ペンタエリスリトールテトラアクリレート701g、メルカプトコハク酸40g、N,N−ジメチルベンジルアミン0.5gおよびジ第三ブチルパラクレゾール0.6gを収容し、50〜60℃の温度で6時間反応を行い、カルボキシル基含有多官能性単量体を含む多官能性単量体を得た。その酸価は40mg−KOH/gであり、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーにより、カルボキシル基含有多官能性単量体の含有量は面積換算で25%であり、二重結合当量は96であった。
2リットル容の四つ口フラスコ内に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMAc)800g、ブチルメタクリレート(BMA)140g、メタクリル酸(MAA)30g、ヒドロキシエチルメタクリレート(HEMA)30g、アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)4gを加え、窒素を吹き込みながら80℃で6時間加熱し、樹脂aの溶液を得た。
[感光性樹脂組成物1の作製]
75重量部のペンタエリスリトールトリアクリレート、25重量部の樹脂aおよび14重量部の光重合開始剤Irgacure369を、固形分が30重量%になるようにシクロヘキサノンで希釈し、樹脂固形分と重合性モノマー固形分の総重量に対する重合性モノマー重量の割合が75重量%である感光性樹脂組成物1を調製した。
カラーフィルタ作製に用いる着色材料を着色する着色剤としては、以下のものを使用した。
緑色用顔料:C.I. Pigment Green 36(東洋インキ製造製「リオノールグリーン 6YK」)、およびC.I. Pigment Yellow 150(バイエル社製「ファンチョンファーストイエロー Y−5688」)
青色用顔料:C.I. Pigment Blue 15(東洋インキ製造製「リオノールブルーES」)C.I. Pigment Violet 23(BASF社製「バイオゲンバイオレット 5890」)
それぞれの顔料を用いて赤色・緑色・青色の着色材料を作製した。
下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径1mmのガラスビーズを用いて、サンドミルで5時間分散した後、5μmのフィルタで濾過して赤色顔料の分散体を作製した。
赤色顔料:C.I. Pigment Red 177 2重量部
アクリルワニス(固形分20%) 108重量部
その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、5μmのフィルタで濾過して赤色着色材料を得た。
トリメチロールプロパントリアクリレート 13重量部
(新中村化学社製「NKエステルATMPT」)
光開始剤 3重量部
(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「Irgacure907」)
増感剤(保土ヶ谷化学社製「EAB−F」) 1重量部
シクロヘキサノン 253重量部
<緑色着色材料>
組成がそれぞれ下記組成となるように、赤色着色材料と同様の方法で作製した。
黄色顔料:C.I. Pigment Yellow 150 8重量部
アクリルワニス(固形分20%) 102重量部
トリメチロールプロパントリアクリレート 14重量部
(新中村化学社製「NKエステルATMPT」)
光開始剤 4重量部
(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「Irgacure907」)
増感剤(保土ヶ谷化学社製「EAB−F」) 2重量部
シクロヘキサノン 257重量部
<青色着色材料>
組成がそれぞれ下記組成となるように、赤色着色材料と同様の方法で作製した。
紫色顔料:C.I. Pigment Violet 23 2重量部
分散剤(ゼネカ社製「ソルスバーズ20000」) 6重量部
アクリルワニス(固形分20%) 200重量部
トリメチロールプロパントリアクリレート 19重量部
(新中村化学社製「NKエステルATMPT」)
光開始剤 4重量部
(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「Irgacure907」)
増感剤(保土ヶ谷化学社製「EAB−F」) 2重量部
シクロヘキサノン 214重量部
[着色層形成および透明導電膜形成]
得られた着色材料を用いて、下記のように着色層を形成した。
炭酸水素ナトリウム 0.5重量%
陰イオン系界面活性剤(花王・ペリレックスNBL) 8.0重量%
水 90重量%
このカラーフィルタ上に酸化インジウム−スズ(ITO)を一般的なスパッタリング法により1500オングストロームの厚さに形成した。
感光性樹脂組成物1を上述のITOが形成されたカラーフィルタ上に仕上り膜厚が4μmになるようにスピンコートし、90℃で5分間乾燥した。フォトスペーサ形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を100mJ/cm2 照射した。尚、フォトマスクと基板との間隔(露光ギャップ)を100μmとして露光した。その後、カラーフィルタの作製に用いたのと同様の現像液により現像した。水洗を施したのち、230℃で30ポストベークしてフォトスペーサをカラーフィルタ上に形成した。この時、フォトスペーサの上底線幅は15μmφ、下底線幅は18μmφであった。
[感光性樹脂組成物2の作製]
固形分重量で75重量部の重合性モノマーA、25重量部の樹脂a、および14重量部の光重合開始剤Irgacure369をレジスト中の固形分が30重量%になるようにシクロヘキサノンで希釈し、樹脂固形分と重合性モノマー固形分の総重量に対する重合性モノマー重量の割合が75重量%である感光性樹脂組成物2を調製した。
[感光性樹脂組成物3の作製]
固形分重量で50重量部の重合性モノマーA、50重量部のペンタエリスリトールトリアクリレート、および14重量部の光重合開始剤Irgacure369をレジスト中の固形分が30重量%になるようにシクロヘキサノンで希釈し、樹脂固形分と重合性モノマー固形分の総重量に対する重合性モノマー重量の割合が100重量%である感光性樹脂組成物3を調製した。
[感光性樹脂組成物4の作製]
50重量部のペンタエリスリトールトリアクリレート、50重量部の樹脂aおよび14重量部の光重合開始剤Irgacure369をレジスト中の固形分が30重量%になるようにシクロヘキサノンで希釈し、樹脂固形分と重合性モノマー固形分の総重量に対する重合性モノマー重量の割合が50重量%である感光性樹脂組成物4を調製した。
[感光性樹脂組成物5の作製]
50重量部のカプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、50重量部の樹脂aおよび14重量部の光重合開始剤Irgacure369をレジスト中の固形分が30重量%になるようにシクロヘキサノンで希釈し、樹脂固形分と重合性モノマー固形分の総重量に対する重合性モノマー重量の割合が50重量%である感光性樹脂組成物5を調製した。
[感光性樹脂組成物6の作製]
50重量部のペンタエリスリトールトリアクリレート、50重量部の樹脂a、14重量部の光重合開始剤Irgacure369、および15重量部のシリカフィラー(50nmφSiO2 )をレジスト中の固形分が30重量%になるようにシクロヘキサノンで希釈し、樹脂固形分と重合性モノマー固形分の総重量に対する重合性モノマー重量の割合が50重量%である感光性樹脂組成物6を調製した。
実施例および比較例のカラーフィルタ基板を顕微鏡により観察し、残さの有無およびパターン欠けの有無を確認した。その結果を下記表1に示す。
実施例および比較例のフォトスペーサの弾性特性を島津製作所(株)製ダイナミック超微少硬度計DUH−200によって評価した。弾性特性は、φ50μmの平坦圧子を用い、60mNまで一定の速度で圧力を加え、1秒間保持した後、一定の速度で圧力を開放したときの荷重と変形量とのヒステリシス曲線を求めることにより算出した。ヒステリシス曲線の例を図2に示す。
Claims (6)
- 樹脂、重合性モノマー及び光重合開始剤を含み、樹脂固形分と重合性モノマー固形分の総重量に対する重合性モノマー重量の割合が70〜100重量%であることを特徴とするフォトスペーサ用感光性樹脂組成物。
- 前記重合性モノマーの少なくとも一部が、下記式(I)で表されるカルボキシル基含有多官能性単量体を含む重合性モノマーであることを特徴とする請求項1に記載のフォトスペーサ用感光性樹脂組成物。
H2C=C(R1)COO)m-X-(OCOCH(R1)CH2S(R2)(COOH)l)n (I)
(式中、R1 は水素原子またはメチル基、R2 は炭素数1〜12の炭化水素基、Xは(m+n)価の炭素数3〜60の有機基、lは1〜2の整数、mは2〜18の整数、nは1〜3の整数を示す) - 式(I)であらわされるXが、ペンタエリスリトールおよびその誘導体からなる群より選ばれた化合物の(m+n)価の基であることを特徴とする請求項2に記載のフォトスペーサ用感光性樹脂組成物。
- 前記重合性モノマーの少なくとも一部が120以下の二重結合当量を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のフォトスペーサ用感光性樹脂組成物。
- 樹脂固形分と重合性モノマー固形分を合わせた成分が、150以下の二重結合当量を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のフォトスペーサ用感光性樹脂組成物。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のフォトスペーサ用感光性樹脂組成物を用いて得たフォトスペーサを具備することを特徴とするカラーフィルタ。
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