JP2008020431A - 端部傾斜角測定方法、起伏を有する被検査物の検査方法および検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る端部傾斜角測定方法は、上記課題を解決するために、起伏を有する被検査物における、端部傾斜角測定方法であって、上記被検査物に光を照射するステップAと、上記被検査物の反射光分布を検知するステップBと、上記反射光分布の検知結果から上記反射光分布の特徴点を求めるステップCと、上記特徴点に対応する被検査物上の位置に対する、ステップAにおける光の照射角度および上記特徴点に対応する被検査物上の位置による、ステップBにおける反射光の検知角度とに基づいて、上記起伏の端部付近の傾斜角である端部傾斜角を求めるステップDと、を含む
【選択図】図1
Description
(a)上記端部傾斜角と、
(b)上記反射光分布の反射光が観察されなくなる位置に対応する上記被検査物上の位置における、起伏表面の角度である反射面消滅角と、
の間の角度を持った起伏によって反射された場合の反射光の延長線上に、上記検知手段が配置されるように、上記照明手段、上記被検査物及び上記撮像手段の相対的位置を決定することが好ましい。
上記傾斜角から
図1は、一実施形態における本発明に係る検査装置200の構成を示すブロック図である。図1に示す実施形態において、本発明に係る検査装置200は、キャリブレーション装置(キャリブレーション手段、特徴点検出手段、傾斜角計算手段)100、第1カメラ(検知手段、撮像手段)201、第1光源(照明手段)202、補助記録装置107、画像出力装置108、ムラ判定装置(検査手段)203を備えて構成されている。
(条件A)他の正常絵素端面からの反射光有り、
(条件B)傾斜角が低いため、膜厚差がマイナスの絵素からの反射光が少ない、
という二つの条件(条件A)(条件B)を満たすように、照明の位置を制御して撮像を行えば、暗いスジとして膜厚差を検出できる。また、膜厚差がプラス(他の正常絵素と比較して膜厚差が大きい、つまり厚い)の時(図13)、
(条件C)他の正常絵素端面からの反射光有り、
(条件D)傾斜角が高く、他の絵素に比べて絵素の中心付近で反射するため、膜厚差がプラスの絵素からの反射光が大きい、
という二つの条件(条件C)(条件D)を満たすように、照明の位置を制御して撮像を行えば、明るいスジとして膜厚差を検出できる。
実施の形態1では、撮像回数1回で変曲点を検出しているが、本実施の形態2では、再現性と信頼性をより求めたいときに効果が大きい実施形態について説明する。図4に示したように、投影データは、絵素周期間隔でしかデータが存在しないため、本発明に係る証明手段の位置を決定する方法の再現性と信頼性をさらに高めるためには、絵素周期内のデータを求めることが好ましい。そこで、本実施例では、S103の工程で、ステージ104を動かして、絵素周期内のデータを補間する。図11は、絵素周期内のデータを補間する手順を説明するフローチャートである。
なお、実施の形態1、2では、第1光源(照明手段)202の最適位置を一意に決定する構成としたが、上記構成に限らず、第1光源(照明手段)202による光が前記被検査物101上で、前記起伏の端部傾斜角以上に傾いた角度を持った部分によって反射され、前記第一カメラ(検知手段、撮像手段)201に入射されるように第1光源(照明手段)202、前記被検査物101及び第一カメラ(検知手段、撮像手段)201の相対的位置を決定してもよい。
実施の形態1から実施の形態3では、カラーフィルタ基板(被検査物)101の絵素301に関して、色による区別を行わなかったが、色ごとに膜厚差の検査を行ってもよい。
実施の形態4では、撮像画像データを色ごとに別々に積分したが、この際に第一カメラ(検知手段、撮像手段)201によって撮像された結果が、複数のカラーフィルタ基板(被検査物)101の絵素にまたがる場合がある。この場合は、その画素を空判定とし計算に加えないことで、さらに検査精度を上げることができる。
上記傾斜角から
101 カラーフィルタ基板(被検査物)
102 第2光源
103 第2カメラ
105 制御装置
106 画像処理装置
200 ムラ検査装置
201 第1カメラ(撮像手段)
202 第1光源(照明手段)
203 ムラ判定装置(検査手段)
204 照明ステージ(線光源駆動部)
205 照明ステージ(線光源駆動部)
300 スジムラ
301 絵素
401 絵素
402 絵素
403 絵素
450 反射面
502 ガラス基板
503 ブラックマトリクス
801 エッジ部分
901 第一カメラの撮像画素領域
S103 第1のステップ
S104 第2のステップ
S107 第3のステップ
S109 第3のステップ
S110 第3のステップ
S112 第3のステップ
S113 第4のステップ
S114 第5のステップ
S115 第6のステップ
Claims (20)
- 起伏を有する被検査物における、端部傾斜角測定方法であって、
上記被検査物に光を照射するステップAと、
上記被検査物の反射光分布を検知するステップBと、
上記反射光分布の検知結果から上記反射光分布の特徴点を求めるステップCと、
上記特徴点に対応する被検査物上の位置に対する、ステップAにおける光の照射角度および上記特徴点に対応する被検査物上の位置による、ステップBにおける反射光の検知角度とに基づいて、上記起伏の端部付近の傾斜角である端部傾斜角を求めるステップDと、を含むことを特徴とする端部傾斜角測定方法。 - 起伏を有する被検査物における、各起伏間の起伏厚の差を検出するための検査方法であって、
上記被検査物に光を照射するステップAと、
上記被検査物の反射光分布を検知するステップBと、
上記反射光分布の検知結果から上記反射光分布の特徴点を求めるステップCと、
上記特徴点に対応する被検査物上の位置に対する、ステップAにおける光の照射角度および上記特徴点に対応する被検査物上の位置による、ステップBにおける反射光の検知角度とに基づいて、上記起伏の端部付近の傾斜角である端部傾斜角を求めるステップDと、
上記被検査物に対して光を照射する照明手段と、上記光が照射された上記被検査物からの反射光を検知する検知手段と、を備える検査装置において、
上記被検査物に照射された光が、上記被検査物上で、上記端部傾斜角以上に傾いた角度を持った部分によって反射され、当該反射された反射光が、上記検知手段に入射するように、上記照明手段、上記被検査物および上記検知手段の相対的位置を決定するステップEと、を含むことを特徴とする、検査方法。 - 上記被検査物に照射された光が、上記被検査物上で、
(a)上記端部傾斜角と、
(b)上記反射光分布の反射光が観察されなくなる位置に対応する上記被検査物上の位置における、起伏表面の角度である反射面消滅角と、
の間の角度を持った起伏によって反射された場合の反射光の延長線上に、上記検知手段が配置されるように、上記照明手段、上記被検査物及び上記撮像手段の相対的位置を決定することを特徴とする請求項2に記載の検査方法。 - 上記特徴点が、上記反射光分布のデータを一次元投影して得られたデータにおける変曲点であることを特徴とする、請求項2または3に記載の検査方法。
- 上記変曲点が、上記反射光分布のデータを一次元投影して得られたデータを一次微分し、当該一次微分によって得られた明度分布の傾きをさらに二次微分することによって求めたものであり、かつ、当該二次微分した値がゼロとなる点であることを特徴とする請求項4に記載の検査方法。
- 上記変曲点が、さらに、上記二次微分した値がゼロとなる点の前後の絵素周期間隔の範囲において、一次微分値の移動標準偏差の値が最小値となる点であることを特徴とする請求項5に記載の検査方法。
- 上記変曲点が、上記反射光分布のデータを一次元投影して得られたデータを一次微分し、当該一次微分によって得られた明度分布の傾きを二次微分し、当該二次微分によって得られた値を三次微分することによって求めたものであり、かつ、当該三次微分した値がゼロとなる点であることを特徴とする請求項5に記載の検査方法。
- 上記変曲点が、さらに、上記三次微分した値がゼロとなる点の前後の絵素周期間隔の範囲において、二次微分値の移動標準偏差の値が最小値となる点であることを特徴とする請求項7に記載の検査方法。
- 上記反射面消滅角が、反射面消滅位置が明確な基準サンプルと、上記被検査物とを対比することによって求められることを特徴とする請求項3から8のいずれか1項に記載の検査方法。
- 上記反射光分布を少なくとも2回以上検知することを特徴とする請求項2から9のいずれか1項に記載の検査方法。
- 上記反射光分布のうち、特定の起伏による反射光の反射光データに基づいて、上記特徴点を求めることを特徴とする請求項2から請求項10のいずれか1項に記載の検査方法。
- 上記特定の起伏として、少なくとも異なる2箇所以上の起伏を選択し、それぞれの起伏による反射光の反射光データに基づいて、それぞれの起伏について上記特徴点を求めることを特徴とする請求項11に記載の検査方法。
- 起伏の色ごとに、反射光分布のデータに基づいて上記特徴点を求めることを特徴とする、請求項2から12のいずれか1項に記載の検査方法。
- 起伏の色ごとに、反射光分布のデータに基づいて上記特徴点を求める場合において、色の異なる二つの起伏の中心付近による反射光分布に関するデータを除外したデータに基づいて、前記特徴点を求めることを特徴とする、請求項13に記載の検査方法。
- 起伏を有する被検査物に対して光を照射する照明手段と、
前記光が照射された前記被検査物の反射光分布を検知する検知手段と、
前記反射光分布の検知結果から前記反射光分布の特徴点を求める特徴点検出手段と、
前記特徴点に対応する被検査物上の位置に対する光の照射角度および前記検知手段による前記特徴点に対応する被検査物上の位置における反射光の検知角度に基づいて、前記起伏の端部付近の傾斜角である端部傾斜角を求める傾斜角計算手段と、
を備えることを特徴とする、検査装置。 - 規則正しく整列した微細な起伏を有する膜を含む被検査物における、各起伏間の特定方向についての膜厚差によって生じるムラを検出するために、前記膜表面に対し線状に光を照射する照明手段と、前記光が照射された前記膜表面からの反射光を撮像する撮像手段とを備えるムラ検査装置において、上記照明手段の位置を決定する方法であって、
上記被検査物の膜に光を照射する第1のステップと、
上記被検査物の膜の反射光を撮像して位置決定用画像を生成する第2のステップと、
上記位置決定用画像に基づいて、上記被検査物の膜において上記光を正反射する正反射位置と、反射光の輝度値の変曲点との距離を求めることにより、上記変曲点の位置を決定する第3のステップと、
上記正反射位置と、上記膜において反射光の輝度値がゼロになる位置であって、輝度値が観察される位置と隣接した位置である反射面消滅位置との距離を求めることにより、上記反射面消滅位置の位置を決定する第4のステップと、
上記変曲点の位置と上記反射面消滅位置との中心である中心位置を求める第5のステップと、
上記被検査物の面に対して上記中心位置から引いた法線と、上記照明手段から上記中心位置への入射光とがなす角をα、上記法線と、上記中心位置から上記撮像手段への反射光とがなす角をβとしたときに、
上記傾斜角から
- 規則正しく整列した微細な起伏を有する膜を含む被検査物の膜表面に対し線状に光を照射する照明手段と、
前記光が照射された前記膜表面からの反射光を撮像して位置決定用画像を生成する撮像手段と、
上記位置決定用画像に基づいて、上記反射光の輝度値の変曲点と、上記膜において反射光の輝度値がゼロになる位置であって、輝度値が観察される位置と隣接した位置である反射面消滅位置との中心である中心位置の反射光を撮像するために最適な照明手段の位置を決定するキャリブレーション手段と、
上記決定された照明手段の位置から照明手段によって上記被検査物に対して照射され、上記被検査物によって反射された光を撮像手段によって撮像して得られたムラ検査用画像に基づいて上記被検査物のムラを検出する検査手段と、を備えることを特徴とするムラ検査装置。 - 上記キャリブレーション手段が、前記膜表面に対し線状に光を照射する照明手段と、前記光が照射された前記膜表面からの反射光を撮像して位置決定用画像を生成する撮像手段と、をさらに備えることを特徴とする請求項17に記載のムラ検査装置。
- 上記撮像手段がエリアセンサカメラまたはラインセンサカメラであることを特徴とする請求項17または18のムラ検査装置。
- 規則正しく整列した微細な起伏を有する膜を含む被検査物の膜表面に対し線状に光を照射する照明手段と、
前記光が照射された前記膜表面からの反射光を撮像して位置決定用画像を生成する撮像手段と、
上記位置決定用画像に基づいて、上記反射光の輝度値の変曲点と、上記膜において反射光の輝度値がゼロになる位置であって、輝度値が観察される位置と隣接した位置である反射面消滅位置との中心である中心位置の反射光を撮像するために最適な照明手段の位置を決定するキャリブレーション手段と、を備えることを特徴とする照明位置決定装置。
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