JP2001183306A - 半田接合部の検査装置 - Google Patents
半田接合部の検査装置Info
- Publication number
- JP2001183306A JP2001183306A JP36427499A JP36427499A JP2001183306A JP 2001183306 A JP2001183306 A JP 2001183306A JP 36427499 A JP36427499 A JP 36427499A JP 36427499 A JP36427499 A JP 36427499A JP 2001183306 A JP2001183306 A JP 2001183306A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- solder joint
- reflected
- irradiating
- solder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 周方向の輝度変動を抑えることができるとと
もに、急斜面に対する照射光量を増加させることができ
る半田接合部の検査装置を提供する。 【解決手段】 リングライトガイド４１１内の光ファイ
バ４１２から発光された光は、平滑板４３に入光し、平
滑板４３内で乱反射しながら長さ方向に進む。その結
果、周方向の輝度分布が平滑化され、周方向の輝度変動
が小さくなる。反斜面（１次反斜面）４３１で反射した
光は、一部が外界に出射し、残りが１次拡散面４２１に
照射される。光路Ｃから照射された光は、プリント基板
（２次反射面）１で反射し、この反射光は傾斜角γの斜
面で鉛直上方に反射する。その結果、半田接合部１１の
急斜面（傾斜角γ）に対する照射光量が増加し、２次反
射の作用によって急斜面が明るくなる。また、カメラ５
によって撮像される画像が全体的に明るくなり、コント
ラストが増して見やすくなる。
もに、急斜面に対する照射光量を増加させることができ
る半田接合部の検査装置を提供する。 【解決手段】 リングライトガイド４１１内の光ファイ
バ４１２から発光された光は、平滑板４３に入光し、平
滑板４３内で乱反射しながら長さ方向に進む。その結
果、周方向の輝度分布が平滑化され、周方向の輝度変動
が小さくなる。反斜面（１次反斜面）４３１で反射した
光は、一部が外界に出射し、残りが１次拡散面４２１に
照射される。光路Ｃから照射された光は、プリント基板
（２次反射面）１で反射し、この反射光は傾斜角γの斜
面で鉛直上方に反射する。その結果、半田接合部１１の
急斜面（傾斜角γ）に対する照射光量が増加し、２次反
射の作用によって急斜面が明るくなる。また、カメラ５
によって撮像される画像が全体的に明るくなり、コント
ラストが増して見やすくなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、基板上に形成さ
れた半田接合部を検査する半田接合部の検査装置に関す
る。
れた半田接合部を検査する半田接合部の検査装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図９は、従来の半田接合部の検査装置の
概略構成図である。図９に示すように、特開平６−３３
１５６４号公報には、リングライトガイド４１１を有す
るリング形光源４１と、このリング形光源４１からの光
を拡散させる拡散板４２と、半田接合部１１の反射光像
を撮像するカメラ５とを備える半田接合部の検査装置が
記載されている。
概略構成図である。図９に示すように、特開平６−３３
１５６４号公報には、リングライトガイド４１１を有す
るリング形光源４１と、このリング形光源４１からの光
を拡散させる拡散板４２と、半田接合部１１の反射光像
を撮像するカメラ５とを備える半田接合部の検査装置が
記載されている。
【０００３】この半田接合部の検査装置では、リング形
光源４１の照射光が拡散板４２の端面から入射すると、
この入射光線が２次拡散面４２２で拡散反射して、拡散
板４２から外界に出射する光の輝度が拡散板４２の長さ
方向に沿って減衰する。そして、拡散板４２から出射し
て光路Ａ，Ｂを進む光がプリント基板１上の半田接合部
１１に照射されると、半田接合部１１で反射した反射光
のうち拡散板４２の長さ方向に進む反射光の輝度が、反
射位置の傾斜角度α，βに応じて連続的に変化する。こ
の反射光像を撮像すると、撮像画像の濃淡情報が傾斜角
情報となり、半田接合部１１の立体形状がこの濃淡情報
に基づいて検出され、半田接合部１１の欠陥の有無が判
定される。
光源４１の照射光が拡散板４２の端面から入射すると、
この入射光線が２次拡散面４２２で拡散反射して、拡散
板４２から外界に出射する光の輝度が拡散板４２の長さ
方向に沿って減衰する。そして、拡散板４２から出射し
て光路Ａ，Ｂを進む光がプリント基板１上の半田接合部
１１に照射されると、半田接合部１１で反射した反射光
のうち拡散板４２の長さ方向に進む反射光の輝度が、反
射位置の傾斜角度α，βに応じて連続的に変化する。こ
の反射光像を撮像すると、撮像画像の濃淡情報が傾斜角
情報となり、半田接合部１１の立体形状がこの濃淡情報
に基づいて検出され、半田接合部１１の欠陥の有無が判
定される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の半田接合部の検
査装置では、光ファイバの本数に比例して出射光量が変
化するために、光ファイバをできるだけ均一に整列させ
る必要がある。このために、光ファイバの発光面がリン
グライトガイド４１１の中心に向くように、リングライ
トガイド４１１の周方向に沿って光ファイバを整列する
必要がある。しかし、光ファイバを手作業で整列してい
るために、出射光量の均一化に限界があった。このため
に、従来の半田接合部の検査装置では、リング形光源４
１から照射される光の周方向の輝度変動が大きかった。
査装置では、光ファイバの本数に比例して出射光量が変
化するために、光ファイバをできるだけ均一に整列させ
る必要がある。このために、光ファイバの発光面がリン
グライトガイド４１１の中心に向くように、リングライ
トガイド４１１の周方向に沿って光ファイバを整列する
必要がある。しかし、光ファイバを手作業で整列してい
るために、出射光量の均一化に限界があった。このため
に、従来の半田接合部の検査装置では、リング形光源４
１から照射される光の周方向の輝度変動が大きかった。
【０００５】また、従来の半田接合部の検査装置では、
傾斜角度に対応した輝度分布になるが、傾斜角度がある
角度を超えると、傾斜角度と輝度との間に直線的な関係
を保つことができなかった。このために、従来の半田接
合部の検査装置では、実装部品のフィレット部分のよう
な急峻な斜面に対する照射光量が不足して、急斜面が暗
くなって撮像が困難であった。
傾斜角度に対応した輝度分布になるが、傾斜角度がある
角度を超えると、傾斜角度と輝度との間に直線的な関係
を保つことができなかった。このために、従来の半田接
合部の検査装置では、実装部品のフィレット部分のよう
な急峻な斜面に対する照射光量が不足して、急斜面が暗
くなって撮像が困難であった。
【０００６】この発明の課題は、周方向の輝度変動を抑
えることができるとともに、急斜面に対する照射光量を
増加させることができる半田接合部の検査装置を提供す
ることである。
えることができるとともに、急斜面に対する照射光量を
増加させることができる半田接合部の検査装置を提供す
ることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、以下のよう
な解決手段により、前記課題を解決する。なお、この発
明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これ
に限定するものではない。請求項１の発明は、基板
（１）上に形成された半田接合部（１１）の形状を検査
する半田接合部の検査装置であって、光を発光する発光
手段（４１）と、前記発光手段が発光した光の輝度を均
一化させる均一化手段（４３）と、前記均一化手段が均
一化した光を前記半田接合部に照射する照射手段（４
２）と、前記照射手段が照射した光のうち前記半田接合
部で反射する反射光を受光する受光手段（５）と、前記
受光手段が受光した反射光に基づいて、この反射光の反
射位置における前記半田接合部の傾斜角度を検出する検
出手段（６）とを含む半田接合部の検査装置である。
な解決手段により、前記課題を解決する。なお、この発
明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これ
に限定するものではない。請求項１の発明は、基板
（１）上に形成された半田接合部（１１）の形状を検査
する半田接合部の検査装置であって、光を発光する発光
手段（４１）と、前記発光手段が発光した光の輝度を均
一化させる均一化手段（４３）と、前記均一化手段が均
一化した光を前記半田接合部に照射する照射手段（４
２）と、前記照射手段が照射した光のうち前記半田接合
部で反射する反射光を受光する受光手段（５）と、前記
受光手段が受光した反射光に基づいて、この反射光の反
射位置における前記半田接合部の傾斜角度を検出する検
出手段（６）とを含む半田接合部の検査装置である。
【０００８】請求項２の発明は、請求項１に記載の半田
接合部の検査装置において、前記発光手段は、リング形
光源（４１）であり、前記均一化手段は、前記リング形
光源からの光が端部に入射し、この光を内部で乱反射さ
せながら周方向の光の輝度分布を平滑化させる平滑筒
（４３）であり、前記照射手段は、前記平滑筒からの光
が端部に入射し、この光を内部で乱反射させながら長さ
方向に沿って減衰させて、前記半田接合部に対する入射
角に応じて輝度の異なる光をこの半田接合部に向けて内
周面から出射する拡散筒（４２）であり、前記受光手段
は、前記拡散筒の軸線方向に進む前記反射光を受光し
て、前記半田接合部の像を撮像する撮像装置（５）であ
ることを特徴とする半田接合部の検査装置である。
接合部の検査装置において、前記発光手段は、リング形
光源（４１）であり、前記均一化手段は、前記リング形
光源からの光が端部に入射し、この光を内部で乱反射さ
せながら周方向の光の輝度分布を平滑化させる平滑筒
（４３）であり、前記照射手段は、前記平滑筒からの光
が端部に入射し、この光を内部で乱反射させながら長さ
方向に沿って減衰させて、前記半田接合部に対する入射
角に応じて輝度の異なる光をこの半田接合部に向けて内
周面から出射する拡散筒（４２）であり、前記受光手段
は、前記拡散筒の軸線方向に進む前記反射光を受光し
て、前記半田接合部の像を撮像する撮像装置（５）であ
ることを特徴とする半田接合部の検査装置である。
【０００９】請求項３の発明は、請求項１に記載の半田
接合部の検査装置において、前記均一化手段が均一化し
た光を前記基板に照射し、この基板で反射する反射光を
前記半田接合部に照射させる補助照射手段（４３１）を
備え、前記受光手段は、前記補助照射手段が照射した光
のうち前記半田接合部で反射する反射光を受光すること
を特徴とする半田接合部の検査装置である。
接合部の検査装置において、前記均一化手段が均一化し
た光を前記基板に照射し、この基板で反射する反射光を
前記半田接合部に照射させる補助照射手段（４３１）を
備え、前記受光手段は、前記補助照射手段が照射した光
のうち前記半田接合部で反射する反射光を受光すること
を特徴とする半田接合部の検査装置である。
【００１０】請求項４の発明は、請求項３に記載の半田
接合部の検査装置において、前記発光手段は、リング形
光源（４１）であり、前記均一化手段は、前記リング形
光源からの光が端部に入射し、この光を内部で乱反射さ
せながら周方向の光の輝度分布を平滑化させる平滑筒
（４３）であり、前記照射手段は、前記平滑筒からの光
が端部に入射し、この光を内部で乱反射させながら長さ
方向に沿って減衰させて、前記半田接合部に対する入射
角に応じて輝度の異なる光をこの半田接合部に向けて内
周面から出射する拡散筒（４２）であり、前記補助照射
手段は、前記平滑筒からの光を前記基板に向けて反射さ
せる反斜面（４３１）であり、前記受光手段は、前記拡
散筒の軸線方向に進む前記反射光を受光して、前記半田
接合部の像を撮像する撮像装置（５）であることを特徴
としている半田接合部の検査装置である。
接合部の検査装置において、前記発光手段は、リング形
光源（４１）であり、前記均一化手段は、前記リング形
光源からの光が端部に入射し、この光を内部で乱反射さ
せながら周方向の光の輝度分布を平滑化させる平滑筒
（４３）であり、前記照射手段は、前記平滑筒からの光
が端部に入射し、この光を内部で乱反射させながら長さ
方向に沿って減衰させて、前記半田接合部に対する入射
角に応じて輝度の異なる光をこの半田接合部に向けて内
周面から出射する拡散筒（４２）であり、前記補助照射
手段は、前記平滑筒からの光を前記基板に向けて反射さ
せる反斜面（４３１）であり、前記受光手段は、前記拡
散筒の軸線方向に進む前記反射光を受光して、前記半田
接合部の像を撮像する撮像装置（５）であることを特徴
としている半田接合部の検査装置である。
【００１１】請求項５の発明は、基板（１）上に形成さ
れた半田接合部（１１）の形状を検査する半田接合部の
検査装置であって、光を発光する発光手段（４１）と、
前記発光手段が発光した光を前記半田接合部に照射する
照射手段（４２）と、前記発光手段が発光した光を前記
基板に照射し、この基板で反射する反射光を前記半田接
合部に照射させる補助照射手段（４３１）と、前記照射
手段及び前記補助照射手段が照射した光のうち前記半田
接合部で反射する反射光を受光する受光手段（５）と、
前記受光手段が受光した反射光に基づいて、この反射光
の反射位置における前記半田接合部の傾斜角度を検出す
る検出手段（６）とを含む半田接合部の検査装置であ
る。
れた半田接合部（１１）の形状を検査する半田接合部の
検査装置であって、光を発光する発光手段（４１）と、
前記発光手段が発光した光を前記半田接合部に照射する
照射手段（４２）と、前記発光手段が発光した光を前記
基板に照射し、この基板で反射する反射光を前記半田接
合部に照射させる補助照射手段（４３１）と、前記照射
手段及び前記補助照射手段が照射した光のうち前記半田
接合部で反射する反射光を受光する受光手段（５）と、
前記受光手段が受光した反射光に基づいて、この反射光
の反射位置における前記半田接合部の傾斜角度を検出す
る検出手段（６）とを含む半田接合部の検査装置であ
る。
【００１２】請求項６の発明は、請求項５に記載の半田
接合部の検査装置において、前記発光手段は、リング形
光源（４１）であり、前記照射手段は、前記リング形光
源からの光が端部に入射し、この光を内部で乱反射させ
ながら長さ方向に沿って減衰させて、前記半田接合部に
対する入射角に応じて輝度の異なる光をこの半田接合部
に向けて内周面から出射する拡散筒（４２）であり、前
記補助照射手段は、前記リング形光源からの光を前記基
板に向けて反射させる反斜面（４３１）であり、前記受
光手段は、前記拡散筒の軸線方向に進む前記反射光を受
光して、前記半田接合部の像を撮像する撮像装置（５）
であることを特徴とする半田接合部の検査装置である。
接合部の検査装置において、前記発光手段は、リング形
光源（４１）であり、前記照射手段は、前記リング形光
源からの光が端部に入射し、この光を内部で乱反射させ
ながら長さ方向に沿って減衰させて、前記半田接合部に
対する入射角に応じて輝度の異なる光をこの半田接合部
に向けて内周面から出射する拡散筒（４２）であり、前
記補助照射手段は、前記リング形光源からの光を前記基
板に向けて反射させる反斜面（４３１）であり、前記受
光手段は、前記拡散筒の軸線方向に進む前記反射光を受
光して、前記半田接合部の像を撮像する撮像装置（５）
であることを特徴とする半田接合部の検査装置である。
【００１３】請求項７の発明は、請求項５に記載の半田
接合部の検査装置において、前記発光手段が発光した光
の輝度を均一化させる均一化手段（４３）を備え、前記
照射手段は、前記均一化手段が均一化した光を前記半田
接合部に照射し、前記補助照射手段は、前記均一化手段
が均一化した光を前記基板に照射し、この基板で反射す
る反射光を前記半田接合部に照射させることを特徴とす
る半田接合部の検査装置である。
接合部の検査装置において、前記発光手段が発光した光
の輝度を均一化させる均一化手段（４３）を備え、前記
照射手段は、前記均一化手段が均一化した光を前記半田
接合部に照射し、前記補助照射手段は、前記均一化手段
が均一化した光を前記基板に照射し、この基板で反射す
る反射光を前記半田接合部に照射させることを特徴とす
る半田接合部の検査装置である。
【００１４】請求項８の発明は、請求項７に記載の半田
接合部の検査装置において、前記発光手段は、リング形
光源（４１）であり、前記均一化手段は、前記リング形
光源からの光が端部に入射し、この光を内部で乱反射さ
せながら周方向の光の輝度分布を平滑化させる平滑筒
（４２）であり、前記照射手段は、前記平滑筒からの光
が端部に入射し、この光を内部で乱反射させながら長さ
方向に沿って減衰させて、前記半田接合部に対する入射
角に応じて輝度の異なる光をこの半田接合部に向けて内
周面から出射する拡散筒（４３）であり、前記補助照射
手段は、前記平滑筒からの光を前記基板に向けて反射さ
せる反斜面（４３１）であり、前記受光手段は、前記拡
散筒の軸線方向に進む前記反射光を受光して、前記半田
接合部の像を撮像する撮像装置（５）であることを特徴
としている半田接合部の検査装置である。
接合部の検査装置において、前記発光手段は、リング形
光源（４１）であり、前記均一化手段は、前記リング形
光源からの光が端部に入射し、この光を内部で乱反射さ
せながら周方向の光の輝度分布を平滑化させる平滑筒
（４２）であり、前記照射手段は、前記平滑筒からの光
が端部に入射し、この光を内部で乱反射させながら長さ
方向に沿って減衰させて、前記半田接合部に対する入射
角に応じて輝度の異なる光をこの半田接合部に向けて内
周面から出射する拡散筒（４３）であり、前記補助照射
手段は、前記平滑筒からの光を前記基板に向けて反射さ
せる反斜面（４３１）であり、前記受光手段は、前記拡
散筒の軸線方向に進む前記反射光を受光して、前記半田
接合部の像を撮像する撮像装置（５）であることを特徴
としている半田接合部の検査装置である。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明を説明
する。図１は本発明の一実施例の概略構成図である。こ
の発明の実施形態にかかる半田接合部の検査装置は、プ
リント基板１上に装着された実装部品２に光を照射し、
この実装部品２の半田接合状態を外観上から検出して、
この半田接合状態の欠陥の有無を判定する装置である。
図１において、１はプリント基板、２はプリント基板１
上に装着された実装部品である。実装部品２は半田によ
りプリント基板１に接合されていて、半田接合部が検査
対象となる。３はプリント基板１が載置されていて基板
面に沿った２次元方向にプリント基板１を移動して位置
決めするＸＹ駆動テーブルである。４はプリント基板１
の上方に配置された照明手段で、リング形光源４１と拡
散板４２などからなる。拡散板４２は、リング形光源４
１の内側に配置されている。リング形光源４１と拡散板
４２の中心軸は一致している。５は撮像手段としてのカ
メラであり、照明手段４の上方に配置されていて、検査
対象の反射光像を撮像する。６は検査処理系コントロー
ル部であり、カメラ５の撮像画像から半田接合部の立体
形状を検出し、検出した立体形状から半田接合部の欠陥
の有無を判定する。検査処理コントロール部６は、Ａ／
Ｄ変換器６１、画像メモリ６２、画像処理部６３、画像
判定部６４を有し、これらを用いて欠陥の有無を判定す
る。７は駆動系コントロール部であり、照明手段４の駆
動を制御する照明コントロール部７１、ＸＹ駆動テーブ
ルのＸ方向とＹ方向の移動をそれぞれ制御するＸ軸駆動
部７２とＹ軸駆動部７３を有する。
する。図１は本発明の一実施例の概略構成図である。こ
の発明の実施形態にかかる半田接合部の検査装置は、プ
リント基板１上に装着された実装部品２に光を照射し、
この実装部品２の半田接合状態を外観上から検出して、
この半田接合状態の欠陥の有無を判定する装置である。
図１において、１はプリント基板、２はプリント基板１
上に装着された実装部品である。実装部品２は半田によ
りプリント基板１に接合されていて、半田接合部が検査
対象となる。３はプリント基板１が載置されていて基板
面に沿った２次元方向にプリント基板１を移動して位置
決めするＸＹ駆動テーブルである。４はプリント基板１
の上方に配置された照明手段で、リング形光源４１と拡
散板４２などからなる。拡散板４２は、リング形光源４
１の内側に配置されている。リング形光源４１と拡散板
４２の中心軸は一致している。５は撮像手段としてのカ
メラであり、照明手段４の上方に配置されていて、検査
対象の反射光像を撮像する。６は検査処理系コントロー
ル部であり、カメラ５の撮像画像から半田接合部の立体
形状を検出し、検出した立体形状から半田接合部の欠陥
の有無を判定する。検査処理コントロール部６は、Ａ／
Ｄ変換器６１、画像メモリ６２、画像処理部６３、画像
判定部６４を有し、これらを用いて欠陥の有無を判定す
る。７は駆動系コントロール部であり、照明手段４の駆
動を制御する照明コントロール部７１、ＸＹ駆動テーブ
ルのＸ方向とＹ方向の移動をそれぞれ制御するＸ軸駆動
部７２とＹ軸駆動部７３を有する。
【００１６】図２及び図３は図１の装置の具体的構成例
を示した図である。図３は図２の二点鎖線で囲んだＡ部
分の拡大図である。図２及び図３で図１及び図９と同一
のものは同一符号を付ける。以下、図において同様とす
る。図２及び図３において、リングライトガイド４１１
内には光ファイバ４１２が引かれていて、ハロゲンラン
プ等の光源（図示せず）の光は光ファイバ４１２によっ
て導かれ、リング形光源４１のリング部分に伝えられ
る。リング部分では、光ファイバ４１２の発光面を中心
に向けて配置している。発光面を中心に向けた光ファイ
バがリングの周方向に沿って配列されている。拡散板４
２は、例えばメタクリル樹脂パイプで構成された円筒状
部材である。拡散板４２は、下端面内側のエッジが面取
りされバフ研磨されており、１次拡散面４２１が形成さ
れている。拡散板４２は、外周面が白色に塗装されてい
る。
を示した図である。図３は図２の二点鎖線で囲んだＡ部
分の拡大図である。図２及び図３で図１及び図９と同一
のものは同一符号を付ける。以下、図において同様とす
る。図２及び図３において、リングライトガイド４１１
内には光ファイバ４１２が引かれていて、ハロゲンラン
プ等の光源（図示せず）の光は光ファイバ４１２によっ
て導かれ、リング形光源４１のリング部分に伝えられ
る。リング部分では、光ファイバ４１２の発光面を中心
に向けて配置している。発光面を中心に向けた光ファイ
バがリングの周方向に沿って配列されている。拡散板４
２は、例えばメタクリル樹脂パイプで構成された円筒状
部材である。拡散板４２は、下端面内側のエッジが面取
りされバフ研磨されており、１次拡散面４２１が形成さ
れている。拡散板４２は、外周面が白色に塗装されてい
る。
【００１７】平滑板４３は、例えばメタクリル樹脂パイ
プで構成された円筒状部材である。平滑板４３は、拡散
板４２の外側に配置されており、平滑板４３と拡散板４
２の中心軸は一致している。平滑板４３の上端部は、光
ファイバ４１２の発光面から出射した光が平滑板４３内
に入るように、リング形光源４１のリング部分と接触し
ている。平滑板４３は、下端面外側のエッジが面取りさ
れて反射面４３１が形成されており、反射効率を向上さ
せて乱反射を促すために、この反斜面４３１がサンドブ
ラストされ白色に塗装されている。平滑板４３の下端部
は、反射面４３１で反射した光が１次拡散面４２１に当
たって拡散板４２内に入るように、拡散板４２の下端部
から突出しており、平滑板４３の下端部と拡散板４２の
下端部には約６ｍｍの段差がある。リング形光源４１、
拡散板４２、平滑板４３及びカメラ５の中心軸は一致し
ていてこれらの中心軸にプリント基板１の基板面が直交
している。
プで構成された円筒状部材である。平滑板４３は、拡散
板４２の外側に配置されており、平滑板４３と拡散板４
２の中心軸は一致している。平滑板４３の上端部は、光
ファイバ４１２の発光面から出射した光が平滑板４３内
に入るように、リング形光源４１のリング部分と接触し
ている。平滑板４３は、下端面外側のエッジが面取りさ
れて反射面４３１が形成されており、反射効率を向上さ
せて乱反射を促すために、この反斜面４３１がサンドブ
ラストされ白色に塗装されている。平滑板４３の下端部
は、反射面４３１で反射した光が１次拡散面４２１に当
たって拡散板４２内に入るように、拡散板４２の下端部
から突出しており、平滑板４３の下端部と拡散板４２の
下端部には約６ｍｍの段差がある。リング形光源４１、
拡散板４２、平滑板４３及びカメラ５の中心軸は一致し
ていてこれらの中心軸にプリント基板１の基板面が直交
している。
【００１８】このように構成した装置の動作を説明す
る。まず、図１を用いて動作を説明する。照明手段４と
カメラ５の位置は固定されている。駆動系コントロール
部７の制御によってＸＹ駆動テーブル３が移動すること
によって、検査対象となった半田接合部が照明手段４の
直下にくるようにプリント基板１が位置決めされる。位
置決め完了後、カメラ５が半田接合部を撮像し、検査処
理コントロール部６は撮像画像から半田接合部の立体形
状を認識し、所定の条件に基づいて半田接合部の欠陥の
有無を判定する。
る。まず、図１を用いて動作を説明する。照明手段４と
カメラ５の位置は固定されている。駆動系コントロール
部７の制御によってＸＹ駆動テーブル３が移動すること
によって、検査対象となった半田接合部が照明手段４の
直下にくるようにプリント基板１が位置決めされる。位
置決め完了後、カメラ５が半田接合部を撮像し、検査処
理コントロール部６は撮像画像から半田接合部の立体形
状を認識し、所定の条件に基づいて半田接合部の欠陥の
有無を判定する。
【００１９】ここで、本発明の特徴となる検出原理につ
いて説明する。図４〜図６は検出原理の説明図である。
図４において、８は円筒面状の照明で本発明の拡散板４
２に相当する。９は鏡面性の球面で本発明の半田接合面
１１に相当する。円筒面の高さ方向に対して放射強度が
図５に示すように連続的に変化する光を、円筒面状の照
明８から鏡面性の球面９に対して照射する。このとき、
鏡面性の球面９で反射した光の中で円筒面の高さ方向に
進む光は、反射光のもとになる照射光の照射角に応じて
異なる光路をとる。これは、円筒面の高さ方向に進む反
射光は、そのもとになる照射光の照射角が異なれば、球
面９上の反射位置が異なるためである。図に示す傾斜角
Θは、反射位置における球面の接線と水平線とのなす角
である。円筒面の高さ方向に進む各反射光は、反射位置
の傾斜角Θがそれぞれ異なる。このことから、円筒面の
高さ方向に進む反射光を鏡面性の球面９の真上から観測
すると、その光束の輝度は傾斜角Θに対応した値をもつ
ことになる。光束の輝度Φと傾斜角Θの関係は、例えば
図６に示すようになる。
いて説明する。図４〜図６は検出原理の説明図である。
図４において、８は円筒面状の照明で本発明の拡散板４
２に相当する。９は鏡面性の球面で本発明の半田接合面
１１に相当する。円筒面の高さ方向に対して放射強度が
図５に示すように連続的に変化する光を、円筒面状の照
明８から鏡面性の球面９に対して照射する。このとき、
鏡面性の球面９で反射した光の中で円筒面の高さ方向に
進む光は、反射光のもとになる照射光の照射角に応じて
異なる光路をとる。これは、円筒面の高さ方向に進む反
射光は、そのもとになる照射光の照射角が異なれば、球
面９上の反射位置が異なるためである。図に示す傾斜角
Θは、反射位置における球面の接線と水平線とのなす角
である。円筒面の高さ方向に進む各反射光は、反射位置
の傾斜角Θがそれぞれ異なる。このことから、円筒面の
高さ方向に進む反射光を鏡面性の球面９の真上から観測
すると、その光束の輝度は傾斜角Θに対応した値をもつ
ことになる。光束の輝度Φと傾斜角Θの関係は、例えば
図６に示すようになる。
【００２０】このような検出原理を適用した本発明の動
作を図２と図３を用いて説明する。リングライトガイド
４１１内の光ファイバ４１２から発光された光は、平滑
板４３に入光し、平滑板４３内で乱反射しながら長さ方
向に進み、周方向の輝度分布が平滑化される。このよう
に、平滑板４３の内面で光が乱反射を繰り返して進むこ
とにより、周方向の輝度変動を小さくすることができ
る。
作を図２と図３を用いて説明する。リングライトガイド
４１１内の光ファイバ４１２から発光された光は、平滑
板４３に入光し、平滑板４３内で乱反射しながら長さ方
向に進み、周方向の輝度分布が平滑化される。このよう
に、平滑板４３の内面で光が乱反射を繰り返して進むこ
とにより、周方向の輝度変動を小さくすることができ
る。
【００２１】反斜面４３１で反射した光は、一部が外界
に出射し、残りが１次拡散面４２１に照射される。この
１次拡散面４２１で反射した光は、拡散板４２を媒体と
して２次拡散面４２２で拡散反射し、拡散板４２の内面
と外界の境界面から一部が外界に出射される。ここで、
外界に出射されなかった光は、拡散板４２の内部で全反
射し、再び２次拡散面４２２で拡散反射し、その一部が
外界に出射される。外界に出射した光は半田接合部１１
に照射される。
に出射し、残りが１次拡散面４２１に照射される。この
１次拡散面４２１で反射した光は、拡散板４２を媒体と
して２次拡散面４２２で拡散反射し、拡散板４２の内面
と外界の境界面から一部が外界に出射される。ここで、
外界に出射されなかった光は、拡散板４２の内部で全反
射し、再び２次拡散面４２２で拡散反射し、その一部が
外界に出射される。外界に出射した光は半田接合部１１
に照射される。
【００２２】これを繰り返すことにより、拡散板４２の
入光位置から離れるに従って外界に出射する光の輝度が
連続的に減衰していく。これによって、拡散板４２の内
周面からは、拡散板４２の長さ方向に沿って照射角と強
度が異なる光が照射される。図２で、半田接合部１１に
対して、光路Ａから照射された光は傾斜角αの斜面で鉛
直上方に反射し、光路Ｂから照射された光は傾斜角βの
斜面で鉛直上方に反射する。
入光位置から離れるに従って外界に出射する光の輝度が
連続的に減衰していく。これによって、拡散板４２の内
周面からは、拡散板４２の長さ方向に沿って照射角と強
度が異なる光が照射される。図２で、半田接合部１１に
対して、光路Ａから照射された光は傾斜角αの斜面で鉛
直上方に反射し、光路Ｂから照射された光は傾斜角βの
斜面で鉛直上方に反射する。
【００２３】また、図２及び図３で、半田接合部１１に
対して、光路Ｃから照射された光は、反斜面（１次反斜
面）４３１から出射すると、プリント基板（２次反射
面）１で反射し、この反射光は傾斜角γの斜面で鉛直上
方に反射する。その結果、平滑板４２の反射面４２１か
ら直接外界に発光することにより、半田接合部１１の急
峻な斜面（傾斜角γ）に対する照射光量が増加し、２次
反射の作用によって、急峻な斜面が明るくなる。また、
カメラ５によって撮像される画像が全体的に明るくな
り、コントラストが増して見やすくなる。
対して、光路Ｃから照射された光は、反斜面（１次反斜
面）４３１から出射すると、プリント基板（２次反射
面）１で反射し、この反射光は傾斜角γの斜面で鉛直上
方に反射する。その結果、平滑板４２の反射面４２１か
ら直接外界に発光することにより、半田接合部１１の急
峻な斜面（傾斜角γ）に対する照射光量が増加し、２次
反射の作用によって、急峻な斜面が明るくなる。また、
カメラ５によって撮像される画像が全体的に明るくな
り、コントラストが増して見やすくなる。
【００２４】このように、それぞれの光の反射位置が異
なるため、各反射光の光路Ａ，Ｂ，Ｃは異なる。すなわ
ち、鉛直上方に進む反射光は、反射位置の傾斜角に応じ
た輝度になっている。また、反斜面（１次反斜面）４３
１から外界に出射する光は、１次拡散面４２１に入射し
２次拡散面４２２で拡散反射してから外界に出射する光
に比べて輝度が高く、傾斜角α，β，γの斜面で反射し
た反射光は、傾斜角の大きいものから順に輝度が高くな
る。従って、反射光の輝度情報が傾斜角情報になってい
る。このような反射光をカメラ５で取り込むことによ
り、半田接合部１１の立体形状が検出される。
なるため、各反射光の光路Ａ，Ｂ，Ｃは異なる。すなわ
ち、鉛直上方に進む反射光は、反射位置の傾斜角に応じ
た輝度になっている。また、反斜面（１次反斜面）４３
１から外界に出射する光は、１次拡散面４２１に入射し
２次拡散面４２２で拡散反射してから外界に出射する光
に比べて輝度が高く、傾斜角α，β，γの斜面で反射し
た反射光は、傾斜角の大きいものから順に輝度が高くな
る。従って、反射光の輝度情報が傾斜角情報になってい
る。このような反射光をカメラ５で取り込むことによ
り、半田接合部１１の立体形状が検出される。
【００２５】図７は、拡散板の周方向の輝度分布を平滑
板の有無により比較して示す図であり、図７（Ａ）は、
本発明の実施形態に係る半田接合部による輝度分布を示
し、図７（Ｂ）は、従来の半田接合部の検査装置による
輝度分布を示す。図７に示す縦軸は照度計の読みであ
り、横軸は円周方向の方位角である。図７に示す輝度分
布は、基準位置から高さ３０ｍｍの位置において、円周
方向に３．７８度ごとに記録した相対輝度である。図７
（Ｂ）に示すように、従来の半田接合部の検査装置で
は、拡散板４２の周方向の輝度分布にばらつきがある。
一方、図７（Ａ）に示すように、この発明の実施形態に
係る半田接合部の検査装置では、拡散板４２の周方向の
輝度分布にばらつきが少ない。
板の有無により比較して示す図であり、図７（Ａ）は、
本発明の実施形態に係る半田接合部による輝度分布を示
し、図７（Ｂ）は、従来の半田接合部の検査装置による
輝度分布を示す。図７に示す縦軸は照度計の読みであ
り、横軸は円周方向の方位角である。図７に示す輝度分
布は、基準位置から高さ３０ｍｍの位置において、円周
方向に３．７８度ごとに記録した相対輝度である。図７
（Ｂ）に示すように、従来の半田接合部の検査装置で
は、拡散板４２の周方向の輝度分布にばらつきがある。
一方、図７（Ａ）に示すように、この発明の実施形態に
係る半田接合部の検査装置では、拡散板４２の周方向の
輝度分布にばらつきが少ない。
【００２６】図８は、傾斜角に対する反射光の輝度を平
滑板の有無により比較して示す図であり、図８（Ａ）
は、本発明の実施形態に係る半田接合部の検査装置にお
ける反射光の輝度を示し、図８（Ｂ）は、従来の半田接
合部の検査装置による反射光の輝度を示す。図８に示す
縦軸は反射光の輝度であり、横軸はスチールボールの傾
斜角である。図８に示す反射光の輝度は、図３及び図４
に示すような形状のスチールボールの中心から同一半径
上における画素の輝度レベルの最大値及び平均値であ
る。図８（Ｂ）に示すように、従来の半田接合部の検査
装置では、傾斜角が２２．５度を超えると、傾斜角と反
射光の輝度との間に直線的な関係がなくなり、傾斜角が
３５度を超えると、反射光の輝度が著しく低下してい
る。一方、図８（Ａ）に示すように、この発明の実施形
態に係る半田接合部の検査装置では、傾斜角が３３．５
度程度まで、傾斜角と反射光の輝度との間に直線的な関
係がある。また、図８（Ａ）に示すように、傾斜角が５
６．０度近辺で２次反射成分により反射光の輝度が上昇
し、反射光の輝度の低下を抑えることができる。
滑板の有無により比較して示す図であり、図８（Ａ）
は、本発明の実施形態に係る半田接合部の検査装置にお
ける反射光の輝度を示し、図８（Ｂ）は、従来の半田接
合部の検査装置による反射光の輝度を示す。図８に示す
縦軸は反射光の輝度であり、横軸はスチールボールの傾
斜角である。図８に示す反射光の輝度は、図３及び図４
に示すような形状のスチールボールの中心から同一半径
上における画素の輝度レベルの最大値及び平均値であ
る。図８（Ｂ）に示すように、従来の半田接合部の検査
装置では、傾斜角が２２．５度を超えると、傾斜角と反
射光の輝度との間に直線的な関係がなくなり、傾斜角が
３５度を超えると、反射光の輝度が著しく低下してい
る。一方、図８（Ａ）に示すように、この発明の実施形
態に係る半田接合部の検査装置では、傾斜角が３３．５
度程度まで、傾斜角と反射光の輝度との間に直線的な関
係がある。また、図８（Ａ）に示すように、傾斜角が５
６．０度近辺で２次反射成分により反射光の輝度が上昇
し、反射光の輝度の低下を抑えることができる。
【００２７】この発明の実施形態に係る半田接合部の検
査装置には、以下に記載するような効果がある。 （１） この発明の実施形態では、リング形光源４１か
らの光の輝度を平滑板４３によって均一化し、この均一
化された光を拡散板４２によって拡散させるので、拡散
板４２の円周方向における輝度の変動を少なくすること
ができる。
査装置には、以下に記載するような効果がある。 （１） この発明の実施形態では、リング形光源４１か
らの光の輝度を平滑板４３によって均一化し、この均一
化された光を拡散板４２によって拡散させるので、拡散
板４２の円周方向における輝度の変動を少なくすること
ができる。
【００２８】（２） この発明の実施形態では、リング
形光源４１からの光を反射面４３１によってプリント基
板１に向けて照射し、このプリント基板１で反射した反
射光を半田接合部１１に照射する。このために、半田接
合部１１の急峻な斜面が照射光量の増加によって明るく
なる。その結果、撮像した画像が全体的に明るくなっ
て、コントラストが増し、画像を見やすくすることがで
きる。例えば、実装部品などの半田付け領域であるパッ
ド部分のように、半田付けにより急斜面になる部分の照
射光量を増加させることができる。
形光源４１からの光を反射面４３１によってプリント基
板１に向けて照射し、このプリント基板１で反射した反
射光を半田接合部１１に照射する。このために、半田接
合部１１の急峻な斜面が照射光量の増加によって明るく
なる。その結果、撮像した画像が全体的に明るくなっ
て、コントラストが増し、画像を見やすくすることがで
きる。例えば、実装部品などの半田付け領域であるパッ
ド部分のように、半田付けにより急斜面になる部分の照
射光量を増加させることができる。
【００２９】この発明は、以上説明した実施形態に限定
するものではなく、種々の変形又は変更が可能であり、
これらもこの発明の範囲内である。例えば、この発明の
実施形態では、平滑板４３によって均一化された光を反
射面４３１によって半田接合部１１の急斜面に照射して
いるが、この拡散板４２とは別に補助的な拡散板など
を、拡散板４２の下端部外側から突出させて配置しても
よい。また、この発明の実施形態では、主として実装部
品をリフローにより半田付けした後に検査する場合を例
に挙げて説明したが、クリーム半田の塗布状態を検査す
ることもできる。
するものではなく、種々の変形又は変更が可能であり、
これらもこの発明の範囲内である。例えば、この発明の
実施形態では、平滑板４３によって均一化された光を反
射面４３１によって半田接合部１１の急斜面に照射して
いるが、この拡散板４２とは別に補助的な拡散板など
を、拡散板４２の下端部外側から突出させて配置しても
よい。また、この発明の実施形態では、主として実装部
品をリフローにより半田付けした後に検査する場合を例
に挙げて説明したが、クリーム半田の塗布状態を検査す
ることもできる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、この発明による
と、発光した光の輝度を均一化してから拡散させるの
で、周方向の輝度変動を抑えることができる。また、こ
の発明によると、光を基板に照射してこの基板で反射す
る反射光を半田接合部に照射するので、急斜面に対する
照射光量を増加させることができる。
と、発光した光の輝度を均一化してから拡散させるの
で、周方向の輝度変動を抑えることができる。また、こ
の発明によると、光を基板に照射してこの基板で反射す
る反射光を半田接合部に照射するので、急斜面に対する
照射光量を増加させることができる。
【図１】本発明の一実施例の概略構成図である。
【図２】図１の装置の具体的構成例を示した図である。
【図３】図１の装置の具体的構成例を示した図である。
【図４】検出原理の説明図である。
【図５】検出原理の説明図である。
【図６】検出原理の説明図である。
【図７】拡散板の周方向の輝度分布を平滑板の有無によ
り比較して示す図であり、（Ａ）は、本発明の実施形態
に係る半田接合部による輝度分布を示し、（Ｂ）は、従
来の半田接合部の検査装置による輝度分布を示す。
り比較して示す図であり、（Ａ）は、本発明の実施形態
に係る半田接合部による輝度分布を示し、（Ｂ）は、従
来の半田接合部の検査装置による輝度分布を示す。
【図８】傾斜角に対する反射光の輝度を平滑板の有無に
より比較して示す図であり、（Ａ）は、本発明の実施形
態に係る半田接合部の検査装置における反射光の輝度を
示し、（Ｂ）は、従来の半田接合部の検査装置による反
射光の輝度を示す。
より比較して示す図であり、（Ａ）は、本発明の実施形
態に係る半田接合部の検査装置における反射光の輝度を
示し、（Ｂ）は、従来の半田接合部の検査装置による反
射光の輝度を示す。
【図９】従来の半田接合部の検査装置の概略構成図であ
る。
る。
１ プリント基板 １１ 半田接合部 ２ 実装部品 ４ 照明手段 ４１ リング形光源 ４２ 拡散板 ４３ 平滑板 ４３１ 反射面 ５ カメラ ６ 検査処理系コントロール部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA15 AA31 AA49 AA51 BB05 CC01 CC26 CC28 DD09 EE04 FF42 GG02 GG17 HH12 HH14 JJ03 JJ09 JJ19 JJ26 LL00 LL02 LL49 NN02 NN20 PP12 QQ03 QQ24 TT02 2G051 AA65 AB14 BB02 BB17 CA04 CB01 DA07 EA16
Claims (8)
- 【請求項１】 基板上に形成された半田接合部の形状を
検査する半田接合部の検査装置であって、 光を発光する発光手段と、 前記発光手段が発光した光の輝度を均一化させる均一化
手段と、 前記均一化手段が均一化した光を前記半田接合部に照射
する照射手段と、 前記照射手段が照射した光のうち前記半田接合部で反射
する反射光を受光する受光手段と、 前記受光手段が受光した反射光に基づいて、この反射光
の反射位置における前記半田接合部の傾斜角度を検出す
る検出手段と、 を含む半田接合部の検査装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の半田接合部の検査装置
において、 前記発光手段は、リング形光源であり、 前記均一化手段は、前記リング形光源からの光が端部に
入射し、この光を内部で乱反射させながら周方向の光の
輝度分布を平滑化させる平滑筒であり、 前記照射手段は、前記平滑筒からの光が端部に入射し、
この光を内部で乱反射させながら長さ方向に沿って減衰
させて、前記半田接合部に対する入射角に応じて輝度の
異なる光をこの半田接合部に向けて内周面から出射する
拡散筒であり、 前記受光手段は、前記拡散筒の軸線方向に進む前記反射
光を受光して、前記半田接合部の像を撮像する撮像装置
であること、を特徴とする半田接合部の検査装置。 - 【請求項３】 請求項１に記載の半田接合部の検査装置
において、 前記均一化手段が均一化した光を前記基板に照射し、こ
の基板で反射する反射光を前記半田接合部に照射させる
補助照射手段を備え、 前記受光手段は、前記補助照射手段が照射した光のうち
前記半田接合部で反射する反射光を受光すること、 を特徴とする半田接合部の検査装置。 - 【請求項４】 請求項３に記載の半田接合部の検査装置
において、 前記発光手段は、リング形光源であり、 前記均一化手段は、前記リング形光源からの光が端部に
入射し、この光を内部で乱反射させながら周方向の光の
輝度分布を平滑化させる平滑筒であり、 前記照射手段は、前記平滑筒からの光が端部に入射し、
この光を内部で乱反射させながら長さ方向に沿って減衰
させて、前記半田接合部に対する入射角に応じて輝度の
異なる光をこの半田接合部に向けて内周面から出射する
拡散筒であり、 前記補助照射手段は、前記平滑筒からの光を前記基板に
向けて反射させる反斜面であり、 前記受光手段は、前記拡散筒の軸線方向に進む前記反射
光を受光して、前記半田接合部の像を撮像する撮像装置
であること、 を特徴とする半田接合部の検査装置。 - 【請求項５】 基板上に形成された半田接合部の形状を
検査する半田接合部の検査装置であって、 光を発光する発光手段と、 前記発光手段が発光した光を前記半田接合部に照射する
照射手段と、 前記発光手段が発光した光を前記基板に照射し、この基
板で反射する反射光を前記半田接合部に照射させる補助
照射手段と、 前記照射手段及び前記補助照射手段が照射した光のうち
前記半田接合部で反射する反射光を受光する受光手段
と、 前記受光手段が受光した反射光に基づいて、この反射光
の反射位置における前記半田接合部の傾斜角度を検出す
る検出手段と、 を含む半田接合部の検査装置。 - 【請求項６】 請求項５に記載の半田接合部の検査装置
において、 前記発光手段は、リング形光源であり、 前記照射手段は、前記リング形光源からの光が端部に入
射し、この光を内部で乱反射させながら長さ方向に沿っ
て減衰させて、前記半田接合部に対する入射角に応じて
輝度の異なる光をこの半田接合部に向けて内周面から出
射する拡散筒であり、 前記補助照射手段は、前記リング形光源からの光を前記
基板に向けて反射させる反斜面であり、 前記受光手段は、前記拡散筒の軸線方向に進む前記反射
光を受光して、前記半田接合部の像を撮像する撮像装置
であること、 を特徴とする半田接合部の検査装置。 - 【請求項７】 請求項５に記載の半田接合部の検査装置
において、 前記発光手段が発光した光の輝度を均一化させる均一化
手段を備え、 前記照射手段は、前記均一化手段が均一化した光を前記
半田接合部に照射し、 前記補助照射手段は、前記均一化手段が均一化した光を
前記基板に照射し、この基板で反射する反射光を前記半
田接合部に照射させること、 を特徴とする半田接合部の検査装置。 - 【請求項８】 請求項７に記載の半田接合部の検査装置
において、 前記発光手段は、リング形光源であり、 前記均一化手段は、前記リング形光源からの光が端部に
入射し、この光を内部で乱反射させながら周方向の光の
輝度分布を平滑化させる平滑筒であり、 前記照射手段は、前記平滑筒からの光が端部に入射し、
この光を内部で乱反射させながら長さ方向に沿って減衰
させて、前記半田接合部に対する入射角に応じて輝度の
異なる光をこの半田接合部に向けて内周面から出射する
拡散筒であり、 前記補助照射手段は、前記平滑筒からの光を前記基板に
向けて反射させる反斜面であり、 前記受光手段は、前記拡散筒の軸線方向に進む前記反射
光を受光して、前記半田接合部の像を撮像する撮像装置
であること、 を特徴とする半田接合部の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36427499A JP2001183306A (ja) | 1999-12-22 | 1999-12-22 | 半田接合部の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36427499A JP2001183306A (ja) | 1999-12-22 | 1999-12-22 | 半田接合部の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001183306A true JP2001183306A (ja) | 2001-07-06 |
Family
ID=18481422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36427499A Pending JP2001183306A (ja) | 1999-12-22 | 1999-12-22 | 半田接合部の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001183306A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007145224A1 (ja) * | 2006-06-12 | 2007-12-21 | Sharp Kabushiki Kaisha | 端部傾斜角測定方法、起伏を有する被検査物の検査方法および検査装置、照明手段の位置を決定する方法、ムラ検査装置、照明位置決定装置 |
| KR100796257B1 (ko) | 2006-12-29 | 2008-01-21 | 주식회사 화성에스티에스 | 스테인리스 파이프의 용접불량 감시장치 |
| US7889358B2 (en) | 2006-04-26 | 2011-02-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | Color filter inspection method, color filter manufacturing method, and color filter inspection apparatus |
| JP2015055569A (ja) * | 2013-09-12 | 2015-03-23 | 株式会社Ｆｄｋエンジニアリング | 画像外観検査装置 |
| WO2018163278A1 (ja) * | 2017-03-07 | 2018-09-13 | ヤマハ発動機株式会社 | 外観検査装置、外観検査方法 |
-
1999
- 1999-12-22 JP JP36427499A patent/JP2001183306A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7889358B2 (en) | 2006-04-26 | 2011-02-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | Color filter inspection method, color filter manufacturing method, and color filter inspection apparatus |
| WO2007145224A1 (ja) * | 2006-06-12 | 2007-12-21 | Sharp Kabushiki Kaisha | 端部傾斜角測定方法、起伏を有する被検査物の検査方法および検査装置、照明手段の位置を決定する方法、ムラ検査装置、照明位置決定装置 |
| JP2008020431A (ja) * | 2006-06-12 | 2008-01-31 | Sharp Corp | 端部傾斜角測定方法、起伏を有する被検査物の検査方法および検査装置 |
| JP4597946B2 (ja) * | 2006-06-12 | 2010-12-15 | シャープ株式会社 | 端部傾斜角測定方法、起伏を有する被検査物の検査方法および検査装置 |
| KR100796257B1 (ko) | 2006-12-29 | 2008-01-21 | 주식회사 화성에스티에스 | 스테인리스 파이프의 용접불량 감시장치 |
| JP2015055569A (ja) * | 2013-09-12 | 2015-03-23 | 株式会社Ｆｄｋエンジニアリング | 画像外観検査装置 |
| WO2018163278A1 (ja) * | 2017-03-07 | 2018-09-13 | ヤマハ発動機株式会社 | 外観検査装置、外観検査方法 |
| CN110383001A (zh) * | 2017-03-07 | 2019-10-25 | 雅马哈发动机株式会社 | 外观检查装置、外观检查方法 |
| JPWO2018163278A1 (ja) * | 2017-03-07 | 2019-11-07 | ヤマハ発動機株式会社 | 外観検査装置、外観検査方法 |
| CN110383001B (zh) * | 2017-03-07 | 2020-12-25 | 雅马哈发动机株式会社 | 外观检查装置、外观检查方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5323320B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| JP4619880B2 (ja) | 円筒状物体の外観検査装置 | |
| KR100269731B1 (ko) | 영상 프로세서용 광원장치 | |
| JP3299193B2 (ja) | バンプ検査方法／装置、情報記憶媒体 | |
| JP2010107254A (ja) | Ｌｅｄチップ検査装置、ｌｅｄチップ検査方法 | |
| JP2001183306A (ja) | 半田接合部の検査装置 | |
| JP2007322166A (ja) | プリント基板検査装置 | |
| JP3156442B2 (ja) | 半田接合部の検査装置 | |
| JP2006242814A (ja) | 表面検査装置 | |
| JP2643550B2 (ja) | 外観検査装置 | |
| JP2021179331A (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
| JP2008139126A (ja) | 欠陥検出装置および欠陥検出方法 | |
| JP2001249083A (ja) | 外観検査装置用照明装置及び外観検査装置 | |
| JP3548601B2 (ja) | 画像処理装置の光源装置 | |
| JPH10185832A (ja) | 外観検査方法及び外観検査装置 | |
| JP3366211B2 (ja) | 鏡面対象物の撮像方式 | |
| US11821843B2 (en) | Electronic component inspection apparatus and electronic component inspection method | |
| JPH11218406A (ja) | 基板位置認識マーク検出装置および基板位置認識マーク検出方法 | |
| JPH11296657A (ja) | 画像処理装置の撮像光学系 | |
| JPH0814846A (ja) | 半田接合部の検査装置 | |
| JPH07174539A (ja) | 画像処理装置 | |
| JP3100448B2 (ja) | 表面状態検査装置 | |
| JP3376054B2 (ja) | 画像処理方法及びその装置 | |
| JP3054227B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JP2001124523A (ja) | バンプ頂点検出方法並びにこれを用いたバンプ高さ測定方法及び装置 |