JP2008020079A - 揮発性有機化合物の処理方法、吸着・脱着装置及び揮発性有機化合物の処理システム - Google Patents

揮発性有機化合物の処理方法、吸着・脱着装置及び揮発性有機化合物の処理システム Download PDF

Info

Publication number
JP2008020079A
JP2008020079A JP2006189516A JP2006189516A JP2008020079A JP 2008020079 A JP2008020079 A JP 2008020079A JP 2006189516 A JP2006189516 A JP 2006189516A JP 2006189516 A JP2006189516 A JP 2006189516A JP 2008020079 A JP2008020079 A JP 2008020079A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
volatile organic
organic compound
container
adsorption
water vapor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006189516A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3948486B1 (ja
Inventor
Moichi Uji
茂一 宇治
Masashi Yamaguchi
方士 山口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IHI Corp filed Critical IHI Corp
Priority to JP2006189516A priority Critical patent/JP3948486B1/ja
Priority to CA2592855A priority patent/CA2592855C/en
Priority to US11/771,251 priority patent/US7854790B2/en
Priority to EP07252645.2A priority patent/EP1878485B1/en
Priority to RU2007125425/15A priority patent/RU2366494C2/ru
Priority to KR1020070067683A priority patent/KR100924154B1/ko
Priority to CN200710138843.8A priority patent/CN101143283B/zh
Priority to NO20073507A priority patent/NO339820B1/no
Application granted granted Critical
Publication of JP3948486B1 publication Critical patent/JP3948486B1/ja
Publication of JP2008020079A publication Critical patent/JP2008020079A/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B01D53/04Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
    • B01D53/0407Constructional details of adsorbing systems
    • B01D53/0431Beds with radial gas flow
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B01D53/04Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
    • B01D53/0407Constructional details of adsorbing systems
    • B01D53/0423Beds in columns
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B01D53/04Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
    • B01D53/0462Temperature swing adsorption
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/14Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by absorption
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/26Drying gases or vapours
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/38Removing components of undefined structure
    • B01D53/44Organic components
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2253/00Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/10Inorganic adsorbents
    • B01D2253/102Carbon
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2257/00Components to be removed
    • B01D2257/70Organic compounds not provided for in groups B01D2257/00 - B01D2257/602
    • B01D2257/708Volatile organic compounds V.O.C.'s
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2259/00Type of treatment
    • B01D2259/40Further details for adsorption processes and devices
    • B01D2259/40011Methods relating to the process cycle in pressure or temperature swing adsorption
    • B01D2259/40077Direction of flow
    • B01D2259/40081Counter-current
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2259/00Type of treatment
    • B01D2259/40Further details for adsorption processes and devices
    • B01D2259/40083Regeneration of adsorbents in processes other than pressure or temperature swing adsorption
    • B01D2259/40088Regeneration of adsorbents in processes other than pressure or temperature swing adsorption by heating
    • B01D2259/4009Regeneration of adsorbents in processes other than pressure or temperature swing adsorption by heating using hot gas
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B01D53/04Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
    • B01D53/0407Constructional details of adsorbing systems
    • B01D53/0438Cooling or heating systems
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02ATECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
    • Y02A50/00TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
    • Y02A50/20Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
  • Incineration Of Waste (AREA)

Abstract

【課題】脱着時における水蒸気の凝縮を抑制しながらも高い処理能力を得る。
【解決手段】処理対象ガスに含まれる揮発性有機化合物を吸着剤に吸着させ、加圧状態で、吸着剤に吸着された揮発性有機化合物を水蒸気を用いて吸着剤から脱着して水蒸気に混入させ、揮発性有機化合物が混入した水蒸気を燃焼器で燃焼させる揮発性有機化合物の処理方法において、吸着及び脱着を行う容器11内を少なくとも一部が吸着剤で形成された分離部材(12,13,14)によって内側室Aと外側室Bとに分割し、吸着及び脱着を行う容器を保温し、吸着の際には、処理対象ガスを内側室Aに供給して分離部材(12,13,14)を通って外側室Bへ抜けさせ、脱着の際には、水蒸気を外側室Bに供給して分離部材(12,13,14)を通って内側室Aへ抜けさせる。
【選択図】図1

Description

本発明は、ガス状の揮発性有機化合物を処理する処理方法、吸着・脱着装置及び処理システムに関する。
トルエンやキシレン等の各種揮発性有機化合物を取り扱う工場では、揮発性有機化合物を含むガス(処理対象ガス)を処理するための処理設備を設けている。この処理設備における揮発性有機化合物の処理方法は、上記の処理対象ガスを吸着・脱着装置に供給して揮発性有機化合物を活性炭等の吸着剤に吸着させ、また吸着剤が吸着した揮発性有機化合物を水蒸気で吸着剤から脱着して揮発性有機化合物を水蒸気に混入させる。そして、揮発性有機化合物が混入した水蒸気を凝縮させ、またこの凝縮水を蒸留して揮発性有機化合物と水とを分離させ、このようにして得られた揮発性有機化合物を燃焼させて分解する。
このような従来の処理方法では、処理設備の設置に要する費用の他、当該設備の運転に要する費用も嵩む。この問題を解決する技術として、例えば下記特許文献1〜3には、工場内に既存の設備として設置されているガスタービンを利用することにより、大きな追加費用を必要とすることなく揮発性有機化合物を分解処理する技術が提案されている。
特許文献1の発明では、揮発性有機化合物から発生する有害物質を捕集し、ガスタービンの空気取入口に供給し、圧縮機において空気と共に圧縮し、有害物質を含む圧縮空気を燃焼器に供給するとともに燃料ガスを供給して燃焼させてタービンを駆動する。有害物質は、燃焼器において燃焼して無害化され、ガスタービンの排気とともに大気中に排出される。特許文献2、3の発明では、揮発性有機化合物の廃液を燃焼器に直接供給するとともに燃料ガスを供給して燃焼させることによりタービンを駆動する。有害物質の廃液は、燃焼器において燃焼して無害化され、ガスタービンの排気とともに大気中に排出される。
特開2003−322324号公報 特開2004−036492号公報 特開2004−184003号公報
上述した揮発性有機化合物の処理方法では、水蒸気を用いることにより吸着剤から揮発性有機化合物を脱着するものなので、脱着時に水蒸気の一部が凝縮して凝縮水となる。この凝縮水はドレン水として吸着・脱着装置から排出されるが、凝縮水には揮発性有機化合物が多少含まれている。揮発性有機化合物のより完全な分解処理を実現するためには、上記ドレン水に含まれる揮発性有機化合物についても分解処理を施す必要があるが、そのためにはドレン水に含まれる揮発性有機化合物を分解処理するために排水処理設備を別途設ける必要があり、この分、設備コストが上昇するという問題がある。特に、排水処理設備の規模はドレン水の水量が多い程大きくする必要があるので、ドレン水の水量が多い程、排水処理設備の設備コストが上昇する。
そこで、本出願人は、この水蒸気の凝縮を抑制或いは防止する技術、即ち、圧縮空気を吸着・脱着装置に供給し、高圧環境で稼動させるものを開発した。しかし、吸着・脱着装置を高圧に耐えるものにすると、容器の肉厚が厚くなり、容器の熱容量が増大するので、脱着工程に先立つ加温工程において、温度上昇に時間がかかることとなる。加温工程において時間を要すると、吸着・脱着装置の処理能力が低下するので、処理能力を向上させるために吸着・脱着装置の容量を大きくしたり活性炭を増量したりすることとなり、コストアップするという問題が生じる。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、脱着時における水蒸気の凝縮を抑制しながらも高い処理能力を得ることを目的とし、更には、揮発性有機化合物の処理に掛かるコストを低減することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明では、揮発性有機化合物の処理方法に係る第1の手段として、処理対象ガスに含まれる揮発性有機化合物を吸着剤に吸着させ、加圧状態で、前記吸着剤に吸着された前記揮発性有機化合物を水蒸気を用いて前記吸着剤から脱着して前記水蒸気に混入させ、前記揮発性有機化合物が混入した前記水蒸気を燃焼器で燃焼させる揮発性有機化合物の処理方法において、前記吸着及び脱着を行う容器内を少なくとも一部が前記吸着剤で形成された分離部材によって内側室と外側室とに分割し、前記吸着及び脱着を行う容器を保温し、前記吸着の際には、前記処理対象ガスを前記内側室に供給して前記分離部材を通って前記外側室へ抜けさせ、前記脱着の際には、前記水蒸気を前記外側室に供給して前記分離部材を通って前記内側室へ抜けさせる方法を採用した。
また、揮発性有機化合物の処理方法に係る第2の手段として、上記第1の手段において、前記吸着及び脱着を行う容器を所定温度の流体で覆って当該容器を保温する方法を採用した。
揮発性有機化合物の処理方法に係る第3の手段として、上記第1又は2の手段において、前記流体は、前記燃焼器の排ガスである方法を採用した。
揮発性有機化合物の処理方法に係る第4の手段として、上記第1から3の何れかの手段において、前記吸着の完了後に、前記容器内に高温の圧縮空気と水蒸気との混合ガスを供給することにより前記容器内を加温する方法を採用した。
揮発性有機化合物の処理方法に係る第5の手段として、上記第4の手段において、前記吸着剤の雰囲気温度が所定温度に達したら、前記混合ガスの供給を停止する方法を採用した。
揮発性有機化合物の処理方法に係る第6の手段として、上記第4の手段において、前記吸着剤の雰囲気温度が所定温度に達し、且つ、前記容器内において前記水蒸気が凝縮して生成するドレンが再蒸発した段階で、前記混合ガスの供給を停止する方法を採用した。
揮発性有機化合物の処理方法に係る第7の手段として、上記第4から6の何れかに記載の手段において、前記加温の際には、前記混合ガスを前記外側室に供給して前記分離部材を通って前記内側室へ抜けさせる方法を採用した。
揮発性有機化合物の処理方法に係る第8の手段として、上記第1から7の何れかの手段において、前記脱着の完了後に、前記容器内に空気を供給することにより前記容器内を冷却する方法を採用した。
揮発性有機化合物の処理方法に係る第9の手段として、上記第8の手段において、前記冷却の際には、前記空気を前記内側室に供給して前記分離部材を通って前記外側室へ抜けさせる方法を採用した。
更に、本発明では、吸着・脱着装置に係る第1の手段として、処理対象ガスに含まれる揮発性有機化合物を所定の吸着剤に吸着させ、該吸着剤に吸着した前記揮発性有機化合物を加圧環境下で水蒸気を用いて脱着して前記水蒸気内に混入させる吸着・脱着装置において、前記吸着及び脱着を行う容器と、少なくとも一部が前記吸着剤で形成され前記容器内を内側室と外側室とに分割する分離部材と、前記容器を保温する保温手段と、を備え、前記処理対象ガスを前記内側室に供給して前記分離部材を通って前記外側室へ抜けさせ、前記水蒸気を前記外側室に供給して前記分離部材を通って前記内側室へ抜けさせるものを採用した。
また、吸着・脱着装置に係る第2の手段として、上記第1の手段において、前記保温手段は、前記容器をジャケットで覆い当該ジャケットと前記容器との間に所定温度の流体を流すものを採用した。
更に、本発明では、揮発性有機化合物の処理システムに係る第1の手段として、上記吸着・脱着装置に係る第1又は2の手段に記載の吸着・脱着装置と、前記揮発性有機化合物が混入した前記水蒸気を燃焼させる燃焼器と、を備えるものを採用した。
そして、揮発性有機化合物の処理システムに係る第2の手段として、上記第1の手段において、前記流体は、前記燃焼器の排ガスであるものを採用した。
本発明によれば、加圧状態に耐える容器とするため当該容器の肉厚が厚くなって容器の熱容量が増大しても、この容器を保温し、更に、容器内を、少なくとも一部が吸着剤で形成された分離部材によって内側室と外側室とに分離し、吸着の際には処理対象ガスを内側室に供給して分離部材を通って外側室へ抜けさせ、脱着の際には水蒸気を外側室に供給して分離部材を通って内側室へ抜けさせるので、吸着の際には吸着剤が常温程度の処理対象ガスにさらされるために冷却されて吸着性能を良好に発揮でき、脱着の際には吸着剤が高温の水蒸気にさらされるために加温されて脱着性能を良好に発揮でき、更に、容器が保温されていることによって容器内の温度を上昇させる熱量を容器に奪われることを抑制できる。したがって、脱着時における水蒸気の凝縮を抑制しながらも、高い処理能力を得ることができる。
また、第3の手段によれば、燃焼器の排ガスを利用して容器を保温するので、上記構成を低コストで実現することができるため、揮発性有機化合物の処理に掛かるコストを低減することが可能となる。
以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。図1は、本実施形態における揮発性有機化合物の処理を必要とする工場内に構築される揮発性有機化合物の処理システムの概要を示す模式図である。本システムは、吸着・脱着装置1、ガスタービン2、熱交換器3、制御部4を備えている。
吸着・脱着装置1は、処理対象ガスである揮発性有機化合物(VOC:volatile organic compounds)含有ガスに含まれるVOCを吸着剤に吸着させるとともに、吸着剤を加圧された水蒸気で脱着して水蒸気に混入させる装置である。吸着剤には、例えば活性炭が使用される。詳細は後述する。
ガスタービン2は、圧縮機5、燃焼器6、タービン7を備えている。圧縮機5は、吸気した空気に加圧して圧縮空気とし、燃焼器6に供給する。燃焼器6は、圧縮機5から供給される圧縮空気と燃料ガスとを混合して燃焼させて燃焼ガスを発生させ、タービン7へ排出する。また、燃焼器6は、吸着・脱着装置1にてVOCを混入された水蒸気を供給され、この水蒸気を燃料ガスとともに燃焼させる。タービン7は、燃焼器6から供給される燃焼ガスの運動エネルギー及び圧力エネルギーによって回転駆動されて、圧縮機5の駆動力と、ガスタービン2外部の負荷8の駆動力とを発生する。そして、ガスタービン2から排出される燃焼ガス(排ガス)の一部は吸着・脱着装置1へ排出され、残りは熱交換器3へ排出される。
熱交換器3は、ガスタービン2から供給される燃焼ガスの保有する熱を利用して水蒸気を生成する。熱交換器3が生成した水蒸気の一部は、工場のプロセス用として使用され、残りの水蒸気は、吸着・脱着装置1に供給される。
制御部4は、内部メモリに記憶された制御プログラム及び各種制御用データ等に基づいて、本システムの全体動作を制御するものである。即ち、制御部4は、各種制御用データ等に基づいて制御演算を行うCPU(Central Processing Unit)及び上記各部(吸着・脱着装置1、ガスタービン2、熱交換器3)とのデータ授受を行う各種入出力インターフェース回路等から構成されており、上記各部を統括的に制御する。
吸着・脱着装置1について詳細に説明する。吸着・脱着装置1は、浄化容器11、活性炭層12、上仕切板13、下仕切板14、吸気口15、排気口16、水蒸気取入口17、VOC混入水蒸気取出口18、ジャケット19、排ガス取入口20、排ガス排出口21、開閉弁22〜29、エジェクタ30を備えている。本実施形態における分離部材は、活性炭層12、上仕切板13、下仕切板14により構成されている。また、本実施形態における保温手段は、ジャケット19、排ガス取入口20、排ガス排出口21、開閉弁28、開閉弁29及びガスタービン2により構成されている。
図2は、吸着・脱着装置1の浄化容器11及びジャケット19の一部(図1にXとして示す)の断面図である。また、図3は、吸着・脱着装置1の寸法を示す表である。
浄化容器11は、円筒状の部材の開口をドーム状の部材で閉じたような形状の金属製容器である。活性炭層12は、活性炭が円筒状に形成されたものであって、浄化容器11の円筒状部分と軸方向を合わせた状態で、浄化容器11に収納されている。上仕切板13は、円盤状の部材であって、活性炭層12の一方の開口端を閉じている。下仕切板14は、ドーナツ型の板状部材であって、内周部が活性炭層12の他方の開口端に固定され、外周縁が浄化容器11の内周面に固定されている。このような活性炭層12、上仕切板13及び下仕切板14によって、浄化容器11内が、内側室Aと外側室Bとに分割される。
吸気口15は、浄化容器11の下端に設けられており、VOC含有ガス及び空気を取り入れる。排気口16は、浄化容器11の上端に設けられており、浄化されたガスを排出する。水蒸気取入口17は、浄化容器11の上端に設けられており、水蒸気又は水蒸気と圧縮空気との混合気体を取り入れる。VOC混入水蒸気取出口18は、浄化容器11の下端に設けられており、VOC含有ガスから分離されたVOCが混入した水蒸気を排出する。
ジャケット19は、図2に示すように、ドラム缶状の容器19aの表面を断熱材19bで覆ったものであって、浄化容器11を収納している。排ガス取入口20は、ジャケット19の上端近傍に設けられており、ガスタービン2の排ガスをジャケット19内に取り入れる。排ガス排出口21は、ジャケット19の下端近傍に設けられており、ジャケット19内の排ガスを排出する。
開閉弁22は、吸気口15にVOC含有ガスを導く流路に設けられており、制御部4により制御されて開閉する。制御部4は、開閉弁22を開閉制御することにより、吸気口15へのVOC含有ガスの供給/遮断を制御する。
開閉弁23は、排気口16から排出される浄化ガスの流路に設けられており、制御部4により制御されて開閉する。制御部4は、開閉弁23を開閉制御することにより、排気口16からの排気/遮断を制御する。
開閉弁24は、水蒸気取入口17に水蒸気を導く流路に設けられており、制御部4により制御されて開閉する。制御部4は、開閉弁24を開閉制御することにより、水蒸気取入口17への水蒸気の供給/遮断を制御する。開閉弁25は、水蒸気取入口17に圧縮空気を導く流路に設けられており、制御部4により制御されて開閉する。制御部4は、開閉弁25を開閉制御することにより、水蒸気取入口17への圧縮空気の供給/遮断を制御する。
開閉弁26は、VOC混入水蒸気取出口18から排出されるVOCが混入した水蒸気の流路に設けられており、制御部4により制御されて開閉する。制御部4は、開閉弁26を開閉制御することにより、VOC混入水蒸気取出口18からの排気/遮断を制御する。
開閉弁27は、吸気口15に空気を導く流路に設けられており、制御部4により制御されて開閉する。制御部4は、開閉弁27を開閉制御することにより、吸気口15への空気の供給/遮断を制御する。
開閉弁28は、排ガス取入口20に排ガスを導く流路に設けられており、制御部4により制御されて開閉する。制御部4は、開閉弁28を開閉制御することにより、排ガス取入口20への排ガスの供給/遮断を制御する。開閉弁29は、排ガス排出口21から排出される排ガスの流路に設けられており、制御部4により制御されて開閉する。制御部4は、開閉弁29を開閉制御することにより、排ガス排出口21からの排気/遮断を制御する。
エジェクタ30は、水蒸気及び圧縮空気の流路における開閉弁24及び開閉弁25と水蒸気取入口17との間に設けられており、水蒸気によって駆動され、開閉弁25が開状態であるとき、圧縮空気を強制抽気し、水蒸気と圧縮空気との混合気体を排出する。
上記のように構成された処理システムによってVOCを処理する方法について説明する。図4及び図5は、吸着・脱着装置1の各工程における様子を示す模式図であって、図4(a)は吸着工程、図4(b)は加圧・加温工程、図5(a)は脱着工程、図5(b)は冷却工程を示している。吸着・脱着装置1は、これらの各工程を繰り返し行うことにより、VOC含有ガスからVOCを除去する。
まず、制御部4は、開閉弁22〜27を閉状態とすると共に、開閉弁28及び開閉弁29を開状態とし、ジャケット19内にガスタービン2の排ガスを供給させて、浄化容器11を外側から温めさせる。ここで、ガスタービン2の排ガスは、200℃程度である。浄化容器11が十分温まった状態で、制御部4は、図4(a)に示す吸着工程を行うべく、開閉弁22及び開閉弁23を何れも開状態とし、VOCを含む排ガスを、吸気口15から浄化容器11の内側室A内へ供給させると共に、排気口16からの浄化されたガスの排気を促す。この吸着工程において、VOCを含む排ガスは、活性炭層12を通過する際にVOCが活性炭に吸着されるために浄化され、浄化されたガスが外側室Bへ抜ける。
次に、制御部4は、図4(b)に示す加圧・加温工程を行うべく、開閉弁22及び開閉弁23を閉状態にすると共に、開閉弁24、開閉弁25及び開閉弁26を開状態とし、水蒸気と圧縮空気とを取り込んでエジェクタ30により混合した混合ガスを、水蒸気取入口17から浄化容器11の外側室Bへ供給させると共に、VOC混入水蒸気取出口18からVOCが混入した水蒸気を排出させる。この加圧・加温工程では、圧力18kg/mで180〜200℃の水蒸気と、圧力11kg/mで380℃の圧縮空気とが混合された高圧・高温の混合ガスが外側室Bに供給され、活性炭層12を通過して内側室Aへ抜けることにより、浄化容器11内が加圧・加温され、活性炭層12の雰囲気が加温され、活性炭層12が加温される。
浄化容器11内が十分に加圧・加温されると、制御部4は、図5(a)に示す脱着工程を行うべく、開閉弁25を閉状態とし、開閉弁24及び開閉弁26はそのまま開状態として、水蒸気が外側室Bから内側室Aへと流れるようにする。この脱着工程では、活性炭に吸着されたVOCは、所定温度に加温された環境下において、活性炭層12を通過する水蒸気の作用によって活性炭から脱着され、水蒸気に混入した状態で、VOC混入水蒸気取出口18から排出される。VOC混入水蒸気取出口18から排出されたVOCが混入した水蒸気は、燃焼器6に供給され、燃料ガスと共に燃焼する。VOCは、燃焼器6内で燃焼して無害化し、タービン7を回転駆動した後の燃焼ガスとして排出される。
次に、制御部4は、図5(b)に示す冷却工程を行うべく、開閉弁24及び開閉弁26を閉状態とすると共に、開閉弁27及び開閉弁23を開状態とし、空気を吸気口15から浄化容器11の内側室Aへ供給させると共に、排気口16から浄化ガスを排出させる。この冷却工程では、内側室Aから外側室Bへと抜ける空気が、活性炭層12を通過することによって活性炭層12の雰囲気が冷却され、活性炭層12が冷却される。この際、内側室Aの温度は低下するが、浄化容器11は、ジャケット19内を流れる排ガスによって温められているので、略一定の温度を保つ。
図6は、吸着・脱着装置1の2種類の稼動例を示す表である。図7は、吸着工程終了時の吸着・脱着装置1の高さ方向の温度分布を示すグラフであり、図8は、脱着工程終了時の吸着・脱着装置1の高さ方向の温度分布を示すグラフであって、それぞれ(a)は図6例1のもの、(b)は図6例2のものである。そして、図9は、排気口16付近における各部の時間的温度変化と、吸気口15付近における気体の時間的温度変化とを示すグラフであり、(a)は図6例1のもの、(b)は図6例2のものである。
図7及び図8に示すように、各工程における温度分布は、吸着・脱着装置1の上方へ行くにつれて緩やかに下降している。また、何れの工程においても、ジャケット19の断熱材19bの外側の温度は一定値を取っている。
図9に浄化容器内気体としたグラフは、浄化容器11内の吸気口15付近における気体温度の工程遷移による変化を示している。このグラフは、略20℃の値を取る期間と、160〜180℃の値を取る期間とを繰り返している。即ち、冷却工程及び吸着工程で略20℃の値を取り、続く加圧・加温工程及び脱着工程で160〜180℃の値を取り、これを繰り返している。このグラフが示すように、浄化容器11内の気体の温度は工程遷移によって変化するが、他のグラフが示すように、ジャケット19と浄化容器11との間を流れるガスタービン2の排ガスと、ジャケット19の容器19aと、浄化容器11の内壁及び外壁の温度は、工程遷移に従って多少上下するものの、140℃前後で略一定した値を取っている。
上記のように、浄化容器11が、加圧状態に耐えるために肉厚が厚いものであって熱容量が大きくても、本実施形態によれば、浄化容器11の周囲を排ガスで覆って保温することによって、浄化容器11内を流れる気体の温度変化にかかわらず、浄化容器11の温度を高めに保つことができる。このため、浄化容器11を加温する際に浄化容器11に熱量を奪われて温度上昇に時間がかるということがなくなり、短時間で温度上昇させることができる。
また、本実施形態によれば、活性炭層12を加温する加圧・加温工程においては、上述のように浄化容器11の温度が高めに保たれることによって浄化容器11の温度上昇を待つ必要がなく、高温・高圧の水蒸気を外側室Bに供給して活性炭層12を通過させて内側室Aに抜けさせるので、活性炭層12が高温の水蒸気にさらされるため、活性炭層12の雰囲気を素早く高温にし、活性炭層12を素早く加温することができる。
更に、本実施形態によれば、加圧・加温工程で加温された活性炭層12からVOCを脱着させる脱着工程においては、高温の水蒸気を外側室Aに供給して活性炭層12を通過させて外側室Bに抜けさせるので、活性炭層12の雰囲気を高い温度に保つことができる。このため、脱着性能を良好に発揮させることができる。
また、本実施形態によれば、活性炭層12を冷却する冷却工程においては、空気を内側室Aに供給して活性炭層12を通過させて外側室Bに抜けさせるので、浄化容器11が高温であっても、活性炭層12が空気にさらされるため、活性炭層12の雰囲気を素早く低温にし、活性炭層12を素早く冷却することができる。
そして、本システムによれば、冷却工程で冷却された活性炭層12にVOCを吸着させる吸着工程においては、常温のVOC含有ガスを内側室Aに供給して活性炭層12を通過させて外側室Bに抜けさせるので、浄化容器11が高温であっても、活性炭層12の雰囲気は低い温度に保つことができる。このため、吸着性能を良好に発揮させることができる。
また、本実施形態によれば、浄化容器11の保温に排ガスを利用するので、低コストで浄化容器11の保温を実現し、低コストで吸着及び脱着の性能を良好に発揮させることができるため、揮発性有機化合物の処理に掛かるコストを低減することができる。
なお、本実施形態では、ジャケット19内にガスタービン2の排ガスを流すことにより浄化容器11を温めているが、実施にあたってはこの構成及び方法に限らず、例えば、別途ヒーター等を設けることにより浄化容器11を温めるようにしてもよい。
また、本実施形態では、ガスタービン2を備える工場内に構築される揮発性有機化合物の処理システムを例として説明し、ガスタービン2が備える燃焼器6でVOCを燃焼させて処理しているが、実施にあたってはこの構成及び方法に限らず、例えば、揮発性有機化合物の処理システムがボイラー等を備える工場内に構築されるのであれば、ボイラーが備える燃焼器等、他の燃焼器によってVOCを燃焼させて処理するようにしてもよい。
更に、本実施形態では、浄化容器11内が十分に加圧・加温されると脱着工程へ遷移するが、実施にあたって、加圧・加温工程において微量の水蒸気の凝縮があった場合には、水蒸気が最蒸発した段階で脱着工程へ遷移するようにしてもよい。
本発明の一実施形態における揮発性有機化合物の処理を必要とする工場内に構築される揮発性有機化合物の処理システムの概要を示す模式図である。 本発明の一実施形態における吸着・脱着装置の浄化容器及びジャケットの一部の断面図である。 本発明の一実施形態における吸着・脱着装置の寸法を示す表である。 本発明の一実施形態における吸着・脱着装置の各工程における様子を示す模式図であって、(a)は吸着工程、(b)は加圧・加温工程を示す。 本発明の一実施形態における吸着・脱着装置の各工程における様子を示す模式図であって、(a)は脱着工程、(b)は冷却工程を示す。 本発明の一実施形態における2種類の稼動例を示す表である。 本発明の一実施形態における吸着工程終了時の吸着・脱着装置の高さ方向の温度分布を示すグラフである。 本発明の一実施形態における脱着工程終了時の吸着・脱着装置の高さ方向の温度分布を示すグラフである。 本発明の一実施形態における排気口付近の各部の時間的温度変化を示すグラフである。
符号の説明
1…吸着・脱着装置、 2…ガスタービン、 3…熱交換器、 4…制御部、 5…圧縮機、 6…燃焼器、 7…タービン、 8…負荷、 11…浄化容器、 12…活性炭層、 13…上仕切板、 14…下仕切板、 15…吸気口、 16…排気口、 17…水蒸気取入口、 18…混入水蒸気取出口、 19…ジャケット、 19a…容器、 19b…断熱材、 20…排ガス取入口、 21…排ガス排出口、 22〜29…開閉弁、 30…エジェクタ、 A…内側室、 B…外側室

Claims (13)

  1. 処理対象ガスに含まれる揮発性有機化合物を吸着剤に吸着させ、
    加圧状態で、前記吸着剤に吸着された前記揮発性有機化合物を水蒸気を用いて前記吸着剤から脱着して前記水蒸気に混入させ、
    前記揮発性有機化合物が混入した前記水蒸気を燃焼器で燃焼させる
    揮発性有機化合物の処理方法において、
    前記吸着及び脱着を行う容器内を少なくとも一部が前記吸着剤で形成された分離部材によって内側室と外側室とに分割し、
    前記吸着及び脱着を行う容器を保温し、
    前記吸着の際には、前記処理対象ガスを前記内側室に供給して前記分離部材を通って前記外側室へ抜けさせ、
    前記脱着の際には、前記水蒸気を前記外側室に供給して前記分離部材を通って前記内側室へ抜けさせる
    ことを特徴とする揮発性有機化合物の処理方法。
  2. 前記吸着及び脱着を行う容器を所定温度の流体で覆って当該容器を保温する
    ことを特徴とする請求項1に記載の揮発性有機化合物の処理方法。
  3. 前記流体は、前記燃焼器の排ガスであることを特徴とする請求項1又は2に記載の揮発性有機化合物の処理方法。
  4. 前記吸着の完了後に、前記容器内に高温の圧縮空気と水蒸気との混合ガスを供給することにより前記容器内を加温することを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の揮発性有機化合物の処理方法。
  5. 前記吸着剤の雰囲気温度が所定温度に達したら、前記混合ガスの供給を停止することを特徴とする請求項4に記載の揮発性有機化合物の処理方法。
  6. 前記吸着剤の雰囲気温度が所定温度に達し、且つ、前記容器内において前記水蒸気が凝縮して生成するドレンが再蒸発した段階で、前記混合ガスの供給を停止することを特徴とする請求項4に記載の揮発性有機化合物の処理方法。
  7. 前記加温の際には、前記混合ガスを前記外側室に供給して前記分離部材を通って前記内側室へ抜けさせることを特徴とする請求項4から6の何れかに記載の揮発性有機化合物の処理方法。
  8. 前記脱着の完了後に、前記容器内に空気を供給することにより前記容器内を冷却することを特徴とする請求項1から7の何れかに記載の揮発性有機化合物の処理方法。
  9. 前記冷却の際には、前記空気を前記内側室に供給して前記分離部材を通って前記外側室へ抜けさせることを特徴とする請求項8に記載の揮発性有機化合物の処理方法。
  10. 処理対象ガスに含まれる揮発性有機化合物を所定の吸着剤に吸着させ、該吸着剤に吸着した前記揮発性有機化合物を加圧環境下で水蒸気を用いて脱着して前記水蒸気内に混入させる吸着・脱着装置において、
    前記吸着及び脱着を行う容器と、少なくとも一部が前記吸着剤で形成され前記容器内を内側室と外側室とに分割する分離部材と、前記容器を保温する保温手段と、を備え、前記処理対象ガスを前記内側室に供給して前記分離部材を通って前記外側室へ抜けさせ、前記水蒸気を前記外側室に供給して前記分離部材を通って前記内側室へ抜けさせる
    ことを特徴とする吸着・脱着装置。
  11. 前記保温手段は、前記容器をジャケットで覆い当該ジャケットと前記容器との間に所定温度の流体を流すことを特徴とする請求項10に記載の吸着・脱着装置。
  12. 請求項10又は11に記載の吸着・脱着装置と、
    前記揮発性有機化合物が混入した前記水蒸気を燃焼させる燃焼器と、
    を備えることを特徴とする揮発性有機化合物の処理システム。
  13. 前記流体は、前記燃焼器の排ガスであることを特徴とする請求項12に記載の揮発性有機化合物の処理システム。
JP2006189516A 2006-07-10 2006-07-10 揮発性有機化合物の処理方法、吸着・脱着装置及び揮発性有機化合物の処理システム Active JP3948486B1 (ja)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006189516A JP3948486B1 (ja) 2006-07-10 2006-07-10 揮発性有機化合物の処理方法、吸着・脱着装置及び揮発性有機化合物の処理システム
CA2592855A CA2592855C (en) 2006-07-10 2007-06-27 Method of processing volatile organic compound, adsorption and desorption apparatus, and system for processing volatile organic compound
EP07252645.2A EP1878485B1 (en) 2006-07-10 2007-06-29 Method of processing volatile organic compound, adsorption and desorption apparatus, and system for processing volatile organic compound
US11/771,251 US7854790B2 (en) 2006-07-10 2007-06-29 Method of processing volatile organic compound, adsorption and desorption apparatus, and system for processing volatile organic compound
RU2007125425/15A RU2366494C2 (ru) 2006-07-10 2007-07-05 Способ технологической обработки летучего органического соединения, устройство для адсорбции и десорбции и установка для технологической обработки летучего органического соединения
KR1020070067683A KR100924154B1 (ko) 2006-07-10 2007-07-05 휘발성 유기 화합물 처리 방법, 흡착 및 탈착 장치, 및휘발성 유기 화합물 처리 시스템
CN200710138843.8A CN101143283B (zh) 2006-07-10 2007-07-06 处理挥发性有机化合物的方法、吸收和解吸装置以及系统
NO20073507A NO339820B1 (no) 2006-07-10 2007-07-06 Absorpsjons- og desorpsjonsapparat og system og fremgangsmåte for behandling av flyktige organiske forbindelser

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006189516A JP3948486B1 (ja) 2006-07-10 2006-07-10 揮発性有機化合物の処理方法、吸着・脱着装置及び揮発性有機化合物の処理システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP3948486B1 JP3948486B1 (ja) 2007-07-25
JP2008020079A true JP2008020079A (ja) 2008-01-31

Family

ID=38344704

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006189516A Active JP3948486B1 (ja) 2006-07-10 2006-07-10 揮発性有機化合物の処理方法、吸着・脱着装置及び揮発性有機化合物の処理システム

Country Status (8)

Country Link
US (1) US7854790B2 (ja)
EP (1) EP1878485B1 (ja)
JP (1) JP3948486B1 (ja)
KR (1) KR100924154B1 (ja)
CN (1) CN101143283B (ja)
CA (1) CA2592855C (ja)
NO (1) NO339820B1 (ja)
RU (1) RU2366494C2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009233617A (ja) * 2008-03-28 2009-10-15 Ihi Corp 揮発性有機化合物処理システム及び揮発性有機化合物の処理方法
JP2015142884A (ja) * 2014-01-31 2015-08-06 株式会社栗本鐵工所 揮発性有機化合物処理装置及び処理方法
JP2016175028A (ja) * 2015-03-20 2016-10-06 株式会社栗本鐵工所 揮発性有機化合物処理装置

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8776734B1 (en) * 2008-05-19 2014-07-15 Innovative Environmental Solutions, Llc Remedial system: a pollution control device for utilizing and abating volatile organic compounds
GB2502209A (en) * 2011-01-24 2013-11-20 Abb Inc Method for analyzing and diagnosing large scale process automation control systems
KR101271557B1 (ko) * 2011-05-27 2013-06-11 고등기술연구원연구조합 진공 및 열 교환 탈착방식 voc 농축 장치 및 진공 및 열 교환 탈착방식 voc 농축 방법
WO2014080984A1 (ja) 2012-11-22 2014-05-30 Uji Shigekazu 揮発性有機化合物回収装置
DE102014209924A1 (de) * 2014-05-23 2015-11-26 Matthias Enzenhofer Vorrichtung und Verfahren zur Behandlung eines Gasstroms
CN105032125A (zh) * 2015-07-28 2015-11-11 河北美邦工程科技股份有限公司 环己烷空气氧化法生产环己酮工艺中环己烷氧化尾气回收处理方法
DE102016221769A1 (de) * 2016-11-07 2018-05-09 Loratech Ag Abluftreinigungsverfahren und Abluftreinigungsvorrichtung
DE102017103204A1 (de) * 2017-02-16 2018-08-16 Krantz Gmbh Vorrichtung zur Behandlung eines mit oxidierbaren Bestandteilen beladenen Rohgasvolumenstroms
DE102017103182A1 (de) * 2017-02-16 2018-08-16 Krantz Gmbh Vorrichtung zur Behandlung eines mit oxidierbaren Bestandteilen beladenen Rohgasvolumenstroms
CN108194930A (zh) * 2018-01-11 2018-06-22 昆山瑞恒峰技术咨询有限公司 一种节能环保垃圾焚烧装置
CN108246043B (zh) * 2018-01-29 2019-01-29 中冶长天国际工程有限责任公司 用于多工序烟气净化的接口装置、活性炭运输系统及方法
KR102179653B1 (ko) * 2018-11-09 2020-11-17 한국화학연구원 휘발성유기화합물 샘플러용 어댑터 및 이를 이용한 휘발성유기화합물 검출방법
CN110292831B (zh) * 2019-07-25 2021-12-14 河北科容油站设备有限公司 油气回收处理系统
EP4362756A1 (en) * 2021-07-01 2024-05-08 Voyage Foods, Inc. Nut butter replicas produced from individual components
CN114849418A (zh) * 2022-04-29 2022-08-05 浙江天地环保科技股份有限公司 一种焦化废水逸散VOCs处理系统及方法

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2642153A (en) * 1951-04-02 1953-06-16 Eastman Kodak Co Gas separation by adsorption and preferential desorption
US3619130A (en) * 1968-08-27 1971-11-09 Frank J Ventriglio Method of removing carbon dioxide from gaseous mixtures
JPS52148484A (en) 1976-06-07 1977-12-09 Hitachi Ltd Recovery of organic solvent and regeneration of adsorbent
DE2847714C2 (de) * 1978-11-03 1984-06-28 Metallgesellschaft Ag, 6000 Frankfurt Verfahren zum Regenerieren eines Feststoffadsorbers
JPS5689818A (en) 1979-12-25 1981-07-21 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Improved solvent recovering method
SU874138A1 (ru) 1980-02-29 1981-10-23 Предприятие П/Я Р-6991 Вертикальный кольцевой адсорбер
US4405343A (en) * 1982-09-01 1983-09-20 Othmer Donald F Methanol dehydration
HU193539B (en) * 1983-06-24 1987-10-28 Magyar Asvanyolaj Es Foeldgaz Process for extraction of organic materials from gases by burning for making harmless connested with adsorbtion and utilization
JPS61187222A (ja) 1985-02-15 1986-08-20 Agency Of Ind Science & Technol 半導体単結晶層の製造方法
US4869734A (en) * 1986-03-03 1989-09-26 Tri-Dim Filter Corporation Air cleaning system
JPH0634897B2 (ja) 1986-07-11 1994-05-11 東邦化工建設株式会社 活性炭による吸脱着方法
SU1639725A1 (ru) 1988-06-13 1991-04-07 Прибалтийский Сектор Центрального Проектно-Конструкторского Бюро "Ремстройпроект" Министерства Электротехнической Промышленности Ссср Способ очистки газовых выбросов
RU1780815C (ru) 1990-01-29 1992-12-15 Прибалтийский Сектор Центрального Проектно-Конструкторского Бюро "Ремстройпроект" Межотраслевого Государственного Объединения "Энергомаш" Адсорбер
JP3298106B2 (ja) 1990-11-30 2002-07-02 東洋紡績株式会社 水溶性有機溶剤含有排気ガスの処理方法
JPH05225A (ja) 1991-06-25 1993-01-08 Kikkoman Corp 香気成分の回収装置
US5256208A (en) * 1991-10-01 1993-10-26 Rafson Harold J Process for removing volatile contaminants from granular materials
US5348573A (en) * 1992-01-10 1994-09-20 County Sanitation Districts Of Los Angeles County Annular scrubber
US5359864A (en) * 1992-06-30 1994-11-01 Sanden Corp. Cooling apparatus
US5759242A (en) * 1996-07-23 1998-06-02 Praxair Technology, Inc. Radial bed vaccum/pressure swing adsorber vessel
US6391385B1 (en) * 1999-10-18 2002-05-21 Advanced Technology Materials, Inc. Method of abating of effluents from chemical vapor deposition processes using organometallic source reagents
JP2001113116A (ja) 1999-10-19 2001-04-24 Fujitsu Ltd 排気処理方法及び排気処理装置
US6372018B1 (en) * 2000-03-14 2002-04-16 Harold R. Cowles VOC removal or destruction system
JP2003322324A (ja) 2002-04-26 2003-11-14 Meidensha Corp 有害物質の処理装置および処理方法
JP3924209B2 (ja) 2002-07-03 2007-06-06 新潟原動機株式会社 有機成分含有空気および廃液の処理装置
JP2004184003A (ja) 2002-12-04 2004-07-02 Niigata Power Systems Co Ltd ガスタービンを利用した脱臭・廃液処理方法及びその装置
US20050109207A1 (en) * 2003-11-24 2005-05-26 Olander W. K. Method and apparatus for the recovery of volatile organic compounds and concentration thereof
WO2006019131A1 (ja) 2004-08-19 2006-02-23 Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. ガスタービンを用いた揮発性有機化合物処理方法及び揮発性有機化合物処理システム
US20060245961A1 (en) 2005-04-28 2006-11-02 Tecumseh Products Company Rotary compressor with permanent magnet motor

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009233617A (ja) * 2008-03-28 2009-10-15 Ihi Corp 揮発性有機化合物処理システム及び揮発性有機化合物の処理方法
JP2015142884A (ja) * 2014-01-31 2015-08-06 株式会社栗本鐵工所 揮発性有機化合物処理装置及び処理方法
JP2016175028A (ja) * 2015-03-20 2016-10-06 株式会社栗本鐵工所 揮発性有機化合物処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR100924154B1 (ko) 2009-10-28
RU2366494C2 (ru) 2009-09-10
EP1878485B1 (en) 2014-03-26
CA2592855A1 (en) 2008-01-10
KR20080005860A (ko) 2008-01-15
CA2592855C (en) 2010-09-21
US7854790B2 (en) 2010-12-21
CN101143283B (zh) 2015-11-25
CN101143283A (zh) 2008-03-19
NO20073507L (no) 2008-01-11
US20080006152A1 (en) 2008-01-10
NO339820B1 (no) 2017-02-06
RU2007125425A (ru) 2009-01-10
EP1878485A1 (en) 2008-01-16
JP3948486B1 (ja) 2007-07-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3948486B1 (ja) 揮発性有機化合物の処理方法、吸着・脱着装置及び揮発性有機化合物の処理システム
US8142555B2 (en) Method of treating volatile organic compound and system for treating volatile organic compound using gas turbine
JP3956993B1 (ja) ガスタービンを用いた揮発性有機化合物処理方法及び揮発性有機化合物処理システム
JP3956996B1 (ja) 揮発性有機化合物処理方法及び揮発性有機化合物処理システム
JP5262239B2 (ja) 揮発性有機化合物処理システム
JP2009240879A (ja) 揮発性有機化合物処理システム及び揮発性有機化合物の処理方法
JP5359002B2 (ja) 揮発性有機化合物処理システム
JP2009240858A (ja) 揮発性有機化合物処理システム

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070409

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 3948486

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100427

Year of fee payment: 3

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100427

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100427

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110427

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120427

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120427

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130427

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140427

Year of fee payment: 7

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250