JP2008004694A - 表面改質方法 - Google Patents
表面改質方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008004694A JP2008004694A JP2006171599A JP2006171599A JP2008004694A JP 2008004694 A JP2008004694 A JP 2008004694A JP 2006171599 A JP2006171599 A JP 2006171599A JP 2006171599 A JP2006171599 A JP 2006171599A JP 2008004694 A JP2008004694 A JP 2008004694A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- processed
- light
- pulse laser
- modification method
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 37
- 238000002407 reforming Methods 0.000 title 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 84
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 17
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000002679 ablation Methods 0.000 claims description 24
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 24
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 19
- 238000002715 modification method Methods 0.000 claims description 19
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 7
- 238000000137 annealing Methods 0.000 abstract description 17
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 34
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 27
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 16
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 11
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 11
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 7
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 7
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- 238000005280 amorphization Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000004038 photonic crystal Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100136092 Drosophila melanogaster peng gene Proteins 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000002003 electron diffraction Methods 0.000 description 1
- 238000002524 electron diffraction data Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02656—Special treatments
- H01L21/02664—Aftertreatments
- H01L21/02667—Crystallisation or recrystallisation of non-monocrystalline semiconductor materials, e.g. regrowth
- H01L21/02675—Crystallisation or recrystallisation of non-monocrystalline semiconductor materials, e.g. regrowth using laser beams
- H01L21/02678—Beam shaping, e.g. using a mask
- H01L21/0268—Shape of mask
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
- H01L33/0095—Post-treatment of devices, e.g. annealing, recrystallisation or short-circuit elimination
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/10—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a light reflecting structure, e.g. semiconductor Bragg reflector
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
【解決手段】超短パルスレーザ光を被加工材料に照射して、被加工材料の表面(矢印S)にアモルファス領域(ア)及び/又は歪領域(イ)より成る改質領域を形成する。超短パルスレーザ光のパルス幅を、1fs秒以上10ps以下とする。干渉露光により周期的な改質領域の形成が可能であり、またパルスレーザ照射後のアニールにより歪領域の歪を緩和することができる。
【選択図】図8
Description
高効率出力化の手法は主に二つあり、一つは、内部量子効率を高める方法、もう一つは実際に出射する光の取り出し効率を高める方法がある。前者に関しては、GaN結晶中の欠陥密度の低減により、ある程度の効率化が既に実現されており、また、後者に関しても、出射端面の構造の工夫や樹脂系のレンズ(封止を兼ねる)との組み合わせ等による手法が実現されている。
出射端面の構造の工夫については、LEDの出射端の全面あるいは一部に、2次元の周期構造物(広い意味でのフォトニック結晶)を配し、これにより、取り出し効率を高めた事例が報告されている(例えば非特許文献1参照。)。上記非特許文献1においては、図14に概略断面構成図を示すように、半導体発光素子の片面に2次元構造物を形成するもので、サファイアより成る基板51上に、n型GaNクラッド層52、InGaN活性層53、p型GaNクラッド層54を形成し、p型GaNクラッド層54上のみに2次元構造物60をリソグラフィ技術により形成している。2次元構造物60の上には透明導電層55を形成して、電極56、配線57に接続させている。このような構成とする場合は、2次元構造物を設けない場合と比較して、1.5倍程度の取り出しパワーを実現している。
このような周期構造物をLEDに形成する場合は、発光源の極めて近い部位に構造物を作製でき、また任意の形状での作製が可能である。そのため、より効率的に活性層からの発光をコントロールしやすくなる可能性があり、高い取り出し効率を実現する方法として有望といえる。しかしながら、現在主流の半導体リソグラフィ技術による場合は、高精細なフォト・マスクが必須な点、作製工程が煩雑となる等の理由から、現状では主にコスト面での懸念材料が多く、より簡便かつ低コストで実現可能な方法が望まれている。
このような課題を克服し、より高精細な形状加工が期待できるレーザ・プロセスとして、近年、フェムト秒レーザを用いた加工プロセスが注目を浴びている。フェムト秒レーザを用いた加工プロセスは、多光子吸収過程によるボンドの直接切断が可能であり、また、原子、分子の熱振動が始まる前に吸収過程が終わるため、非熱的な加工プロセスを実現できる。この場合、熱加工で見られた精度劣化の課題が解決されるだけでなく、発生するデブリも、溶融痕のない比較的簡便な洗浄プロセスで処理できる。その結果、より精細な加工形状を期待できるだけでなく、全加工工程を簡素化できるという効果も見込まれる(例えば特許文献1参照。)。
特に、上述した発光素子等において、その発光効率を高めるために周期構造を作製する場合の具体的な現象、例えばGaN基板上等に2次元周期構造物を作製する際におけるアブレーション部位やその周辺の構造を検討し、現象の解析に基づいたより実用的な加工方法の提案はなされていない。また、凹凸を有する構造物に限らず、例えば光学的特性が異なる領域が周期的に配列される微細な周期構造を精度よく形成することができれば、上述した半導体発光素子などにおいてその発光効率の向上に寄与する可能性があり、このような周期構造を確実に精度良く形成する技術が求められている。
また、本発明は、上述の表面改質方法において、超短パルスレーザ光のパルス幅を、1フェムト秒以上10ピコ秒以下とする。
更に、本発明は、上述の表面改質方法において、被加工材料に回折素子を用いて干渉露光を行い、被加工材料の表面に周期的に改質領域を形成する。
本発明者の検討の結果、超短パルスレーザ光を被加工材料の表面に照射する場合、後述するようにその深さ方向に、アモルファス領域と歪領域より成る改質領域がこの順に形成されることを究明した。特に、超短パルスレーザ光のパルス幅を1フェムト秒以上10ピコ秒以下とするときに、良好にこれらの改質領域を形成できる。
なお、被加工材料に対する加工とは、表面に例えばアブレーションによる凹凸構造を形成する凹凸加工も、表面に凹凸構造を形成せずに結晶状態のみを変化させる改質も含むものとする。つまり、本発明により表面が改質された被加工材料は、その表面に凹凸構造が形成されているものも、形成されていないものも含むものである。
また更に、被加工材料に例えば透過型の回折素子を用いて干渉露光を行うことによって、被加工材料の表面に、周期的にアモルファス領域及び歪領域より成る改質領域を形成することができる。
したがって、本発明によれば、被加工材料の表面に確実に精度良くアモルファス領域及び/又は歪領域より成る改質領域を形成することが可能となる。
図1は、本発明の実施形態例による表面改質方法を実施可能なレーザ装置の一例の概略構成図である。なお、図1に示す例においては、短パルスレーザ光を4光束用いて干渉露光する場合を示すが、本発明は、干渉露光に限定されるものではなく、後述するように、掃引照射によっても実施することが可能である。また、0次光も用いて5光束による干渉露光を行い、3次元構造物を形成することも可能である。
図1に示すように、このレーザ装置20においては、パルスレーザ光源1と、波長変換ユニット2、ミラー4及び5、ND(Neutral Density)フィルター5、アイリス6、シャッター7、レンズ8a及び8bを有するアフォーカル光学系8、回折ビーム・スプリッタ(Diffractive Beam Splitter:DBS)等より成る回折素子9、コリメータ・レンズ10、光選別素子11、コンデンサー・レンズ12より構成される。
上記の光学系で得られる干渉強度分布は、一般的な多重干渉の式で記述することができ、下記の数1で表すことができる。すなわち、
図4Aに示す例では、互いのなす角度が45°となる2方向に周期を持ち、短い方の周期P2が約0.73μm、長い方の周期P1が約1.02μmとなる。また、図4Bに示す例においては、等方的な周期を持ち、その周期(P1=P2)は約0.52μmとなる。
以下の実施形態例においては、図4Aに示す解析例に対応する干渉露光を行う。
なお、本発明において用いる超短パルスレーザの波長は、被加工材料の吸収端を考慮して、少なくとも2光子吸収過程ないし1光子吸収過程にて露光可能な範囲とすることが望ましい。これにより、照射エネルギーの確保のために必要とされる付加的なレンズを光学系に設ける必要がなく、光学部品点数を削減することができる。したがって、より安定かつ容易に光学系を構成することが可能であり、本発明方法に用いるレーザ装置の構成の簡易化を図ることができる。
次に、この半導体材料上に形成した周期構造の近傍において、パルスレーザ照射によるアブレーションの結果、表面近傍がどのような結晶状態となっているかを検討した結果を説明する。
ここで観察を行ったGaNより成る被加工材料には、断面観察を容易にするために2ビームでの干渉露光加工を行い、周期が約1μmの回折格子状の1次元周期構造を形成した。また、加工条件は、パルス幅が約340fs、1パルスあたりのエネルギーが1ビームあたりそれぞれ約5.2μJ(加工閾値エネルギー:約4.8μJ)、干渉パルスの露光回数は10とし、実際に作製した構造物の加工深さは約50nmであった。なお、図示の被加工材料表面にはFIB(集束イオンビーム加工)による損傷回避のためのカーボン膜42が被着されている。図8においては、被加工材料の表面を矢印Sで示す。
更に、これらよりも深い250nm(0.25μm)の深さ(図8中、ウとして示す。)においては、特にコントラストの違い等はみられず、また、直近の周辺部分も含め、レーザ照射、あるいはアブレーション時のダメージ等による結晶欠陥の発生はないことも確認された。
一つはアモルファス状態やそれに近い状態への遷移、もう一つは格子間隔がほとんど変わらないものの、格子間隔にわずかに歪みが生じた状態への遷移である。また、これらコントラストの変化した部位よりもさらに下の部分は、TEM観察時のコントラスト変化は特にないものの、わずかな歪みが生じる可能性がある。
他方、その外側(下側)のもう一つのコントラストの変化部位(150nm深さの部位、図8中イで示す部位)では、図9Bからわかるように、結晶方位に準じた回折像が観測され、格子状態は特に変化していないことがわかる。また、それよりも下の250nm深さの部位(図8中ウで示す部位)と、750nm深さの部位(図8中エで示す部位)とにおいても、結晶方位に準じた回折像が観察され、格子状態に変化はないことがわかる。
従って、アモルファス化が誘起されるのは、深さ50nm程度のアブレーションに対し、その直近の数十nm範囲の領域に限られ、それ以外の部位に関しては格子状態の劇的な変化は生じないことが確認された。
図10からわかるように、250nm深さの部位では特に縦方向において引っぱり歪みが生じていることが確認され、また、それより深いエリアでは特に強い歪みは生じていないことがわかる。なお、±0.001程度の変動は誤差の範囲といえる。従って、150nm深さの部位でもかなり強い歪みが生じていると推定される。照射エネルギーによっては、この領域が弱いアモルファス状態になる可能性もある。
そこで、パルス露光後の被加工材料をアニールした場合の表面状態の変化を電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope:SEM)により観察した。図11及び12にその観察写真図を示す。
この例においては、被加工材料に対し、アブレーション閾値エネルギーよりやや低いエネルギー(約90〜95%)で2光束干渉露光により1次元周期構造を作製した。すなわちこの場合、フェムト秒レーザ照射による2光子吸収過程によって、歪み化した領域が周期的に被加工材料の表面に形成され、したがって周期的な屈折率分布構造を被加工材料の表面に形成した例を示す。すなわちこの場合は表面が加工されておらず、また、表面近傍のおよそ100nm以下程度の領域においては完全なアモルファス化の領域は見られず、概ね歪領域のみとなっていると考えられる。
この周期的な歪領域より成る屈折率分布構造の作製条件は、1パルスあたりのエネルギーが1ビームあたりそれぞれ約7.0μJ(加工閾値エネルギー:約7.4μJ)、パルス幅は約340fs、干渉パルスの露光回数は10である。
つまり、このように加工閾値エネルギー以下の1パルスあたりのエネルギーで表面の改質を行う場合、表面にアブレーションによる凹凸構造は形成されず、改質のみを行うことが可能であり、歪領域が形成されることがわかる。
このことから、上述の図7及び8において説明した例におけるような、アブレーション部位の直下のアモルファス領域及び強い歪領域以外の比較的弱い歪みが生じている部位(図8中250nm深さのウ(=a)で示す部位)についても、適切なアニール条件を見出すことによって十分に歪を緩和させることが可能であるといえる。
つまり、この結果から、被加工材料、特にGaN等の半導体材料に対して、超短パルスレーザをアブレーション閾値以下のエネルギーで照射することにより歪領域を周期的に作製可能であり、また、適切なアニールを行うことによって、その歪領域の歪を緩和させることができることがわかる。
また、超短パルスレーザを照射して形成した歪領域は、アニールによりその歪を緩和することができる。
したがって、被加工材料上の任意の領域に、超短パルスレーザを照射することによって、アモルファス領域及び歪領域の形成、又はアモルファス領域のみの形成、もしくは照射条件を適切に選定することによって歪領域のみを形成することが可能である。なお、アモルファス領域及び歪領域を形成した後、アモルファス領域が形成された部位のみを化学的エッチングや物理的エッチング、例えば研磨を施して除去することによって、歪領域のみを形成することも可能である。
この光学系で得られる干渉強度分布は、一般的な多重干渉の式で記述することができ、下記の数2で表すことができる。
このように、±1次回折光に、0次光成分を適当量含ませて干渉露光を行うことによって、被加工材料上に例えばアモルファス領域及び歪領域、もしくは歪領域が部分的に形成された3次元構造の作製が可能である。
したがって、屈折率が2を超える被加工材料の内部に超短パルスレーザを直接照射して改質領域を形成する場合においては、パルス幅を250フェムト秒以上10ピコ秒以下とすることが望ましい。被加工材料の屈折率が2以上のとき、パルス幅が250フェムト秒未満の場合は、内部にレーザ光を到達させることが難しいことによる。
改質領域の加工は、1ショットのパルスの照射(掃引または干渉露光)でも良いが、より深い領域に改質領域を含む構造を得る場合には、複数ショットの照射を行って形成してもよい。本発明の表面改質方法において、多光子吸収過程を利用する場合は、任意の深さに改質領域を形成することができる。干渉露光とする場合は、任意の深さに改質領域の周期構造を実現できる。これは、多光子吸収過程による場合は溶融を伴わない加工であるため、1ショット毎の加工深さがほとんど変化しないことによる。
また、露光の照射エネルギー条件を適宜調整することにより、照射部位の部分的、例えば周期的なアブレーション加工、例えば周期的なアモルファス化改質、例えば周期的な歪み化改質をそれぞれ実現する。また、これらの加工は特に干渉露光である必要はなく、被照射材料に対して集光挿引照射する場合ももちろん適用されるため、任意のエリアに対してもこうした加工、改質部位の形成が可能である。
Claims (8)
- 超短パルスレーザ光を被加工材料に照射して、前記被加工材料の表面にアモルファス領域及び/又は歪領域より成る改質領域を形成する
ことを特徴とする表面改質方法。 - 前記超短パルスレーザ光のパルス幅が、1フェムト秒以上10ピコ秒以下であることを特徴とする請求項1記載の表面改質方法。
- 前記被加工材料に回折素子を用いて干渉露光を行い、前記被加工材料の表面に周期的に前記改質領域を形成することを特徴とする請求項1記載の表面改質方法。
- 前記干渉露光における干渉光束が前記回折素子からの0次光成分を含むことを特徴とする請求項3記載の表面改質方法。
- 前記超短パルスレーザ光を照射した後、前記被加工材料をアニールして、少なくとも前記歪領域の歪を緩和することを特徴とする請求項1記載の表面改質方法。
- 前記超短パルスレーザ光のエネルギーを、前記被加工材料のアブレーションの閾値以下のエネルギーとすることを特徴とする請求項1記載の表面改質方法。
- 前記被加工材料を半導体材料として、その一部に、アモルファス領域及び/又は歪領域より成る屈折率分布構造を形成することを特徴とする請求項6記載の表面改質方法。
- 前記超短パルスレーザ光の波長を、被加工材料の吸収端に対応して、2光子吸収過程又は1光子吸収過程の発生が可能な波長範囲とすることを特徴とする請求項1記載の表面改質方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006171599A JP5098229B2 (ja) | 2006-06-21 | 2006-06-21 | 表面改質方法 |
US11/764,996 US7943533B2 (en) | 2006-06-21 | 2007-06-19 | Method for surface modification |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006171599A JP5098229B2 (ja) | 2006-06-21 | 2006-06-21 | 表面改質方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008004694A true JP2008004694A (ja) | 2008-01-10 |
JP5098229B2 JP5098229B2 (ja) | 2012-12-12 |
Family
ID=39008851
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006171599A Expired - Fee Related JP5098229B2 (ja) | 2006-06-21 | 2006-06-21 | 表面改質方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7943533B2 (ja) |
JP (1) | JP5098229B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009136597A1 (ja) * | 2008-05-07 | 2009-11-12 | 東洋製罐株式会社 | 構造体、構造体形成方法及びレーザ光照射装置 |
JP2009270002A (ja) * | 2008-05-07 | 2009-11-19 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | 構造体、レーザ加工方法及び真贋判定方法 |
JP2014014848A (ja) * | 2012-07-10 | 2014-01-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工方法 |
JP2016062956A (ja) * | 2014-09-16 | 2016-04-25 | アイシン精機株式会社 | 基板及びその製造方法、半導体素子及びその製造方法、並びにレーザ加工装置 |
US10001441B2 (en) | 2014-09-26 | 2018-06-19 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Modification processing device, modification monitoring device and modification processing method |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9022037B2 (en) | 2003-08-11 | 2015-05-05 | Raydiance, Inc. | Laser ablation method and apparatus having a feedback loop and control unit |
US8921733B2 (en) | 2003-08-11 | 2014-12-30 | Raydiance, Inc. | Methods and systems for trimming circuits |
US8232687B2 (en) | 2006-04-26 | 2012-07-31 | Raydiance, Inc. | Intelligent laser interlock system |
US9130344B2 (en) | 2006-01-23 | 2015-09-08 | Raydiance, Inc. | Automated laser tuning |
KR101139333B1 (ko) | 2010-06-25 | 2012-04-26 | (주)큐엠씨 | 발광소자의 제조장치 및 그 제조방법 |
US8884184B2 (en) | 2010-08-12 | 2014-11-11 | Raydiance, Inc. | Polymer tubing laser micromachining |
US9114482B2 (en) | 2010-09-16 | 2015-08-25 | Raydiance, Inc. | Laser based processing of layered materials |
US10239160B2 (en) * | 2011-09-21 | 2019-03-26 | Coherent, Inc. | Systems and processes that singulate materials |
CN102509830B (zh) * | 2011-10-25 | 2013-11-20 | 长春理工大学 | 一种含有飞秒激光等离子体丝的双线传输线装置 |
KR20140091203A (ko) * | 2013-01-10 | 2014-07-21 | 삼성전자주식회사 | 반도체의 잔류 응력 제거장치 및 잔류 응력 제거방법 |
JP6379018B2 (ja) * | 2014-11-20 | 2018-08-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置および検査方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4535220A (en) * | 1981-11-10 | 1985-08-13 | The Secretary Of State For Defence In Her Britannic Majesty's Government Of The United Kingdom Of Great Britain And Northern Ireland | Integrated circuits |
JPH0799335A (ja) * | 1993-06-21 | 1995-04-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体膜の除去加工方法及び光起電力素子の製造方法 |
JP2002329668A (ja) * | 2001-02-23 | 2002-11-15 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP2003025085A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-28 | Seiko Epson Corp | レーザー加工方法及びレーザー加工装置 |
WO2003076118A1 (fr) * | 2002-03-12 | 2003-09-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | Substrat semi-conducteur, puce a semi-conducteur et procede de fabrication d'un dispositif a semi-conducteur |
JP2005014059A (ja) * | 2003-06-26 | 2005-01-20 | Ricoh Co Ltd | 超短パルスレーザ加工法及び加工装置並びに構造体 |
JP2005081420A (ja) * | 2003-09-10 | 2005-03-31 | Sony Corp | 薄膜形成及び除去装置、薄膜形成及び除去方法 |
JP2005317767A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Japan Science & Technology Agency | 固体試料の表面改質方法、不純物活性化方法、半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2108761B (en) * | 1981-11-10 | 1985-09-04 | Secr Defence | Integrated circuits |
JP3600882B2 (ja) * | 1995-09-29 | 2004-12-15 | 株式会社ニコン | 位置合わせ方法、露光方法、及び素子製造方法、並びに位置合わせ装置及び露光装置 |
US5847812A (en) * | 1996-06-14 | 1998-12-08 | Nikon Corporation | Projection exposure system and method |
JP2002151526A (ja) * | 2000-09-04 | 2002-05-24 | Seiko Epson Corp | 電界効果トランジスタの製造方法および電子装置 |
US6809291B1 (en) * | 2002-08-30 | 2004-10-26 | Southeastern Universities Research Assn., Inc. | Process for laser machining and surface treatment |
US20070079750A1 (en) * | 2003-05-09 | 2007-04-12 | Herman Miguez | Method of laser writing refractive index patterns in silicon photonic crystals |
US7615424B2 (en) * | 2004-03-25 | 2009-11-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser irradiation apparatus and method for manufacturing semiconductor device using the laser irradiation apparatus |
-
2006
- 2006-06-21 JP JP2006171599A patent/JP5098229B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-06-19 US US11/764,996 patent/US7943533B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4535220A (en) * | 1981-11-10 | 1985-08-13 | The Secretary Of State For Defence In Her Britannic Majesty's Government Of The United Kingdom Of Great Britain And Northern Ireland | Integrated circuits |
JPH0799335A (ja) * | 1993-06-21 | 1995-04-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体膜の除去加工方法及び光起電力素子の製造方法 |
JP2002329668A (ja) * | 2001-02-23 | 2002-11-15 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP2003025085A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-28 | Seiko Epson Corp | レーザー加工方法及びレーザー加工装置 |
WO2003076118A1 (fr) * | 2002-03-12 | 2003-09-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | Substrat semi-conducteur, puce a semi-conducteur et procede de fabrication d'un dispositif a semi-conducteur |
JP2005014059A (ja) * | 2003-06-26 | 2005-01-20 | Ricoh Co Ltd | 超短パルスレーザ加工法及び加工装置並びに構造体 |
JP2005081420A (ja) * | 2003-09-10 | 2005-03-31 | Sony Corp | 薄膜形成及び除去装置、薄膜形成及び除去方法 |
JP2005317767A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Japan Science & Technology Agency | 固体試料の表面改質方法、不純物活性化方法、半導体装置の製造方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009136597A1 (ja) * | 2008-05-07 | 2009-11-12 | 東洋製罐株式会社 | 構造体、構造体形成方法及びレーザ光照射装置 |
JP2009270002A (ja) * | 2008-05-07 | 2009-11-19 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | 構造体、レーザ加工方法及び真贋判定方法 |
JP5434911B2 (ja) * | 2008-05-07 | 2014-03-05 | 東洋製罐株式会社 | 構造体、構造体形成方法及びレーザ光照射装置 |
JP2014014848A (ja) * | 2012-07-10 | 2014-01-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工方法 |
JP2016062956A (ja) * | 2014-09-16 | 2016-04-25 | アイシン精機株式会社 | 基板及びその製造方法、半導体素子及びその製造方法、並びにレーザ加工装置 |
US10001441B2 (en) | 2014-09-26 | 2018-06-19 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Modification processing device, modification monitoring device and modification processing method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5098229B2 (ja) | 2012-12-12 |
US7943533B2 (en) | 2011-05-17 |
US20080132088A1 (en) | 2008-06-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5098229B2 (ja) | 表面改質方法 | |
Kondo et al. | Multiphoton fabrication of periodic structures by multibeam interference of femtosecond pulses | |
Račiukaitis et al. | Laser Processing by Using Diffractive Optical Laser Beam Shaping Technique. | |
JP4171399B2 (ja) | レーザ照射装置 | |
JP5620669B2 (ja) | レーザダイシング方法およびレーザダイシング装置 | |
TW201736071A (zh) | 晶圓的生成方法 | |
JPWO2011096353A1 (ja) | 微細構造の形成方法および微細構造を有する基体 | |
JP2010142862A (ja) | 誘電体材料表面のナノ周期構造形成方法 | |
CN107244669B (zh) | 一种激光诱导石墨烯微纳结构的加工方法及其系统 | |
JP4498309B2 (ja) | レーザー干渉による加工方法及び該加工方法で加工された回折格子、反射防止構造 | |
TW201345640A (zh) | 基板及基板加工方法 | |
JP2007237221A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
TW201625393A (zh) | 晶圓的生成方法 | |
JP5674285B2 (ja) | レーザー誘起表面ナノ配列構造の作製方法及びそれを用いて作製したデバイス構造 | |
JP2011000631A (ja) | レーザー加工方法およびレーザー加工装置 | |
JP5383342B2 (ja) | 加工方法 | |
Li et al. | Super stealth dicing of transparent solids with nanometric precision | |
JP2017070961A (ja) | 基板加工方法及び剥離基板製造方法 | |
KR102128501B1 (ko) | 기판 제조 방법 | |
JP2007288219A (ja) | レーザ照射装置 | |
KR101243269B1 (ko) | 레이저 가공 시스템 및 이를 이용한 레이저 가공 방법 | |
JP2005136365A (ja) | レーザ照射装置及びレーザ照射方法 | |
Yu et al. | Ablation of silicon by focusing a femtosecond laser through a subwavelength annular aperture structure | |
Yamasaki et al. | Fabrication of gallium nitride grating by interferometric irradiation using focused femtosecond laser | |
WO2023095432A1 (ja) | 光部品の製造方法および光部品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090609 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120228 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120406 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120508 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120710 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120813 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120828 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120910 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151005 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5098229 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151005 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |