JP5674285B2 - レーザー誘起表面ナノ配列構造の作製方法及びそれを用いて作製したデバイス構造 - Google Patents
レーザー誘起表面ナノ配列構造の作製方法及びそれを用いて作製したデバイス構造 Download PDFInfo
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Description
(比較例1)
半波長(266nm)レーザー(Laser Inlite II−266)を用い、Si単結晶の(100)面に、0.33×102J/m2/pulse、10000pulses照射、及び0.50×102J/m2/pulse、2000pulsesの照射条件で、大気中ナノ秒パルスレーザー照射(傾斜角θ=0°)した後のSEM観察結果を、各々、図29左図、及び図29右図に示す。いずれのレーザー照射条件下でも量子ドットは複数形成されるものの、周期配列構造を形成していないことが判る。
(比較例2)
図30は、SiドープしたGaAsに、Laser Inlite II−532を用い、波長532nm、傾斜角θ=0°、水平偏光で、100mJ/pulse(3.5×103J/m2/pulse)、2Hz、パルス数が1000pulsesのレーザー照射条件で大気中照射した表面のSEM観察結果を示す。量子ドットは複数形成され、かつ、リップルパターン状の起伏の形成も観察されるものの、リップルパターン状起伏内での量子ドット形状物は、周期配列構造を形成していないことが判る。
(比較例3)
フェムト秒パルスレーザーによる1.3×103J/m2/pulse、10000pulses大気中照射後のSi単結晶(100)面の表面観察結果を図31左図に、フェムト秒パルスレーザーによる1.3×103J/m2/pulse、1000pulses照射後の6H−SiCの表面観察結果を図31右図に示す。フェムト秒パルスレーザーでは、表面に凹凸模様を作るものの、複数の量子ドット形成やそれらが周期配列した構造は確認されなかった。
(比較例4)
図32は、Laser Inlite II−532を用い、波長532nm、傾斜角θ=0°、水平偏光で、10kJ/m2/pulse、20Hz、パルス数が2000pulsesのナノ秒パルスレーザー照射条件で大気中照射したSi単結晶(100)面の表面SEM観察結果を示す。本比較例は、レーザー強度を上げた場合の表面組織のSEM観察結果であり、レーザー照射強度を上げることにより、中央部は溶融による波状組織、中央部の周囲はコーン状(剣山状)組織になるものの、複数の量子ドット形成やそれらが周期配列した構造は確認されなかった。
Claims (23)
- 固体材料の表面にレーザー照射を施して、該表面に量子ドット形状を有する量子ドット構造を1バッチの照射で、前記量子ドット構造である1本の直線状の線を構成するドットのうち隣り合うドットの中心間の距離又は前記量子ドット構造である菱形状若しくは六角形状の頂点若しくは辺を構成するドットのうち隣り合う2つの頂点を結ぶ1つの辺(前記2つの頂点を含む。)における隣り合うドットの中心間の距離が100〜130nmとなるように複数個同時に形成し、かつ、前記量子ドット構造を周期配列させる工程を含み、前記工程は、バッチのレーザー偏光方向が異なる偏光を複数組み合わせて同一場所に逐次的に重畳照射することにより、前記量子ドット構造の周期配列を2次元パターン化するものであり、表面原子の自己組織化機能を利用したものであり、前記レーザー照射におけるレーザービームは、波長532nmのナノ秒パルスレーザーであり、かつ、前記レーザー照射の条件は、2.5×103〜3.5×103J/m2/pulse、2Hzであり、かつ、パルス数が500pulses以上2000pulses以下であり、前記固体材料の表面は、Si(100)面又はSi(111)面であることを特徴とする量子ドット形成表面の製造方法。
- 請求項1記載の量子ドット形成表面の製造方法において、前記重畳照射は、逐次的にではなく同時に行うことを特徴とする量子ドット形成表面の製造方法。
- 請求項1又は2に記載の量子ドット形成表面の製造方法を用いる量子ドット2次元周期パターン配列形成表面の製造方法であって、前記レーザー照射は、集光レンズを用いず、真空中又は大気中での偏光性パルスレーザー照射を利用して、レーザーの波動性による周期構造化と、表面原子の自己組織化機能を利用したボトムアップ法による波長以下の短周期構造化の、両方の表面ドット配列化を同時に行うことを特徴とする量子ドット2次元周期パターン配列形成表面の製造方法。
- 請求項3記載の量子ドット2次元周期パターン配列形成表面の製造方法により作製した量子ドット2次元周期パターン配列形成表面構造であって、直線偏光のレーザー照射により、その直線偏光の波長532nmに対して10%以内の誤差範囲にあるドットの中心間の距離を有する線状のドット配列と、線内におけるドットの中心間の距離が100〜130nmである周期配列とを有することを特徴とする量子ドット2次元周期パターン配列形成表面構造。
- 請求項3記載の量子ドット2次元周期パターン配列形成表面の製造方法において、レーザービームの逐次照射又は重畳照射を用いて量子ドットの2次元パターン化を実施することを特徴とする量子ドット2次元周期パターン配列形成表面の製造方法。
- 請求項1又は2に記載の量子ドット形成表面の製造方法において、レーザービームの照射をレーザー敷設電子顕微鏡内において量子ドットパターン製造工程をその場観察しながら実施することを特徴とする量子ドット形成表面の製造方法。
- 請求項3記載の量子ドット2次元周期パターン配列形成表面の製造方法において、レーザービームの照射をレーザー敷設電子顕微鏡内において量子ドットパターン製造工程をその場観察しながら実施することを特徴とする量子ドット2次元周期パターン配列形成表面の製造方法。
- 請求項1又は2に記載の量子ドット形成表面の製造方法において、レーザービームの照射を、レーザー発振装置一体型光学系盤兼試料固定盤を用いて大気中で実施することを特徴とする量子ドット形成表面の製造方法。
- 請求項3記載の量子ドット2次元周期パターン配列形成表面の製造方法において、レーザービームの照射を、レーザー発振装置一体型光学系盤兼試料固定盤を用いて大気中で実施することを特徴とする量子ドット2次元周期パターン配列形成表面の製造方法。
- 請求項1又は2に記載の量子ドット形成表面の製造方法又は請求項3記載の量子ドット2次元周期パターン配列形成表面の製造方法を用いて作製したことを特徴とする電子・電磁デバイス。
- 請求項1又は2に記載の量子ドット形成表面の製造方法又は請求項3記載の量子ドット2次元周期パターン配列形成表面の製造方法を用いて作製したことを特徴とする量子ドットデバイス。
- 請求項1又は2に記載の量子ドット形成表面の製造方法又は請求項3記載の量子ドット2次元周期パターン配列形成表面の製造方法を用いて作製したことを特徴とする光電子デバイス。
- 請求項1又は2に記載の量子ドット形成表面の製造方法又は請求項3記載の量子ドット2次元周期パターン配列形成表面の製造方法を用いて作製したことを特徴とする太陽電池。
- 請求項1又は2に記載の量子ドット形成表面の製造方法又は請求項3記載の量子ドット2次元周期パターン配列形成表面の製造方法を用いて作製したことを特徴とする機能性デバイス。
- 請求項1又は2に記載の量子ドット形成表面の製造方法又は請求項3記載の量子ドット2次元周期パターン配列形成表面の製造方法を用いて作製したことを特徴とする量子ドットレーザー。
- 請求項1又は2に記載の量子ドット形成表面の製造方法又は請求項3記載の量子ドット2次元周期パターン配列形成表面の製造方法を用いて作製したことを特徴とする光増幅器。
- 請求項1又は2に記載の量子ドット形成表面の製造方法又は請求項3記載の量子ドット2次元周期パターン配列形成表面の製造方法を用いて作製したことを特徴とする量子暗号通信・量子コンピュータ用素子。
- 請求項12記載の光電子デバイスであって、600nm近傍に光ルミネッセンスピークを有することを特徴とする光電子デバイス。
- 請求項11記載の量子ドットデバイスであって、600nm近傍に光ルミネッセンスピークを有することを特徴とする量子ドットデバイス。
- Si(100)面又はSi(111)面へのレーザー照射により同時に複数の量子ドットを作製し、複数の量子ドット構造が表面にパターン化されて成り、前記Si(100)面又は前記Si(111)面の表面原子の自己組織化機能を利用して形成したものであり、前記レーザー照射におけるレーザービームは、波長532nmのナノ秒パルスレーザーであり、かつ、前記レーザー照射の条件は、2.5×103〜3.5×103J/m2/pulse、2Hzであり、かつ、パルス数が500pulses以上2000pulses以下であり、前記量子ドット構造である1本の直線状の線を構成するドットのうち隣り合うドットの中心間の距離又は前記量子ドット構造である菱形状若しくは六角形状の頂点若しくは辺を構成するドットのうち隣り合う2つの頂点を結ぶ1つの辺(前記2つの頂点を含む。)における隣り合う前記量子ドットの中心間の距離は、100〜130nmであることを特徴とする量子ドット形成表面構造。
- Si(100)面又はSi(111)面へのレーザー照射により同時に複数の量子ドットを作製し、複数の量子ドット構造が表面にパターン化されて成り、前記Si(100)面又は前記Si(111)面の表面原子の自己組織化機能を利用して形成したものであり、前記レーザー照射におけるレーザービームは、波長532nmのナノ秒パルスレーザーであり、かつ、前記レーザー照射の条件は、2.5×103〜3.5×103J/m2/pulse、2Hzであり、かつ、パルス数が500pulses以上2000pulses以下であり、前記量子ドット構造である1本の直線状の線を構成するドットのうち隣り合うドットの中心間の距離又は前記量子ドット構造である菱形状若しくは六角形状の頂点若しくは辺を構成するドットのうち隣り合う2つの頂点を結ぶ1つの辺(前記2つの頂点を含む。)における隣り合う前記量子ドットの中心間の距離は、100〜130nmであることを特徴とする量子デバイス。
- Si(100)面又はSi(111)面へのレーザー照射により同時に複数の量子ドットを作製し、該複数の量子ドットの結晶が、その下地の結晶からエピタキシャル成長して成る均一材質を有し、複数の量子ドット構造が表面にパターン化されて成り、前記Si(100)面又は前記Si(111)面の表面原子の自己組織化機能を利用して形成したものであり、前記レーザー照射におけるレーザービームは、波長532nmのナノ秒パルスレーザーであり、かつ、前記レーザー照射の条件は、2.5×103〜3.5×103J/m2/pulse、2Hzであり、かつ、パルス数が500pulses以上2000pulses以下であり、前記量子ドット構造である1本の直線状の線を構成するドットのうち隣り合うドットの中心間の距離又は前記量子ドット構造である菱形状若しくは六角形状の頂点若しくは辺を構成するドットのうち隣り合う2つの頂点を結ぶ1つの辺(前記2つの頂点を含む。)における隣り合う前記量子ドットの中心間の距離は、100〜130nmであることを特徴とする量子ドット形成表面構造。
- Si(100)面又はSi(111)面へのレーザー照射により同時に複数の量子ドットを作製し、該複数の量子ドットの結晶が、その下地の結晶からエピタキシャル成長して成る均一材質を有し、複数の量子ドット構造が表面にパターン化されて成り、前記Si(100)面又は前記Si(111)面の表面原子の自己組織化機能を利用して形成したものであり、前記レーザー照射におけるレーザービームは、波長532nmのナノ秒パルスレーザーであり、かつ、前記レーザー照射の条件は、2.5×103〜3.5×103J/m2/pulse、2Hzであり、かつ、パルス数が500pulses以上2000pulses以下であり、前記量子ドット構造である1本の直線状の線を構成するドットのうち隣り合うドットの中心間の距離又は前記量子ドット構造である菱形状若しくは六角形状の頂点若しくは辺を構成するドットのうち隣り合う2つの頂点を結ぶ1つの辺(前記2つの頂点を含む。)における隣り合う前記量子ドットの中心間の距離は、100〜130nmであることを特徴とする量子デバイス。
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