JP2008003467A - 顕微鏡構成ユニット、該顕微鏡構成ユニットよりなる顕微鏡システム、及び顕微鏡システムを構築する顕微鏡構成ユニットの相対的接続関係取得方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】顕微鏡システムを構成し相互に接続可能な顕微鏡構成ユニットは、所定の通信方式により前記顕微鏡システムの制御装置との通信を可能とする通信インターフェースと、接続された他方の前記顕微鏡構成ユニットから、該他方の顕微鏡構成ユニットに関する情報である接続ユニット関連情報を取得する接続ユニット関連情報取得手段と、前記接続ユニット関連情報取得手段により取得された前記他方の顕微鏡構成ユニットの前記接続ユニット関連情報と、当該顕微鏡構成ユニット自身に関する情報である顕微鏡構成ユニット自身関連情報と、を前記通信インターフェースを介して前記顕微鏡の制御装置へ送信する制御手段と、を備えることにより、上記課題の解決を図る。
【選択図】 図1
Description
さらに、前記のシステム顕微鏡では、顕微鏡の筐体内に、マイクロコンピュータからの各駆動回路に多数の電気接続用のケーブルが接続されることになる。このため、その顕微鏡の筐体にそのケーブルを引き回すために大きなスペースをとらなければならない。このため、組み立てる際に手間が掛かるばかりでなく、電気的ノイズの影響を受け易い。また、システムの回路構成がほぼ固定となっているので、フレキシブルでないという欠点を有している。
前記顕微鏡構成ユニットにおいて、前記接続ユニット関連情報取得手段は、前記顕微鏡構成ユニット自身の種別に関する情報であるユニット種別情報を出力するユニット種別情報出力手段と、前記他の顕微鏡構成ユニットから出力された前記ユニット種別情報を検出するユニット種別情報検出手段と、を備えることを特徴とする。
前記顕微鏡構成ユニットにおいて、前記通信方式は、CAN通信方式であることを特徴とする。
前記顕微鏡構成ユニットを組み合わせて構成される顕微鏡システムにおいて、前記顕微鏡システムの制御装置は、前記顕微鏡構成ユニット間の接続が解除された旨の情報を受信した場合、該接続の解除により光源の光線が外部に漏れるときには、該光源からの光線を遮光または該光源を消灯させる制御を行うことを特徴とする。
本実施形態では、着脱可能な複数の電動ユニットにより構築され、そのユニット間の相対的な位置関係を取得することができる顕微鏡システムについて説明する。
顕微鏡構成ユニットは、通信インターフェース、接続ユニット関連情報取得手段、及び制御手段を備える。
制御手段(本実施形態で言えば、CPU回路35に対応する)は、接続ユニット関連情報取得手段により取得された他方の顕微鏡構成ユニットの前記接続ユニット関連情報と、当該顕微鏡構成ユニット自身に関する情報である顕微鏡構成ユニット自身関連情報とを、通信インターフェースを介して、顕微鏡の制御装置へ送信することができる。
図1は、本実施形態における顕微鏡システムの構成を示す。顕微鏡装置1において、ランプハウス2a内の例えばLEDからなる透過照明用光源3からの光は、コレクタレンズ4aで集光されて透過視野絞り5を経て、顕微鏡本体に対し挿脱可能な透過用フィルターターレット6へ入射する。
さらに、電動ステージ12の上方には、6種類の対物レンズ13a〜13f(13c〜13fは図示しない)を装着できる6段切り換えの電動レボルバ14が、顕微鏡のアーム先端部(図示しない)の下面に回転自在でかつ着脱可能に保持されている。この電動レボルバ14を回転させることにより、観察光路内の光軸上に、任意の対物レンズ13a〜13fを挿脱することができる。
前記落射照明用光源21からの光は、前記NDフィルター24a、落射絞りユニット25の落射開口絞り26a及び落射視野絞り26bを経て、光路中に挿入されているフィルターキューブ16aにより下方へ屈折されて、対物レンズ13aを介して観察試料Sを落射照明する。
各ユニット(ランプハウスユニット2a,2b、透過用フィルターターレット6、コンデンサユニット8、電動ステージ12、電動レボルバ14、電動キューブカセット15、接眼ユニット17、ビデオカメラ20、電動シャッタユニット22、落射用フィルターターレット23、落射絞りユニット25)はそれぞれ、顕微鏡装置1より挿脱可能な構成となっている。そして、顕微鏡装置1は、その他の例えば光学素子数、光学素子の制御速度が異なる別種別のユニットが取り付け可能となっている。
電動ステージ制御部30−12aは、電動ステージ12のX−Y方向の駆動制御及び座
標管理を行う。電動ステージ制御部30−12bは、電動ステージ12のZ方向(光軸方向)の駆動制御及び座標管理を行う。
さらに、顕微鏡装置1は、顕微鏡制御部29を介して、ホストシステム32に接続されている。ホストシステム32は、制御プログラムの実行によって顕微鏡システム全体の動作制御を司るCPU(中央演算装置)、このCPUが必要に応じてワークメモリとして使用するメインメモリ、マウスやキーボードなどといったユーザからの各種の指示を取得するための入力装置34、及び各種のプログラムやデータを記憶しておく例えばハードディスク装置などの補助記憶装置を有している、ごく標準的な構成のコンピュータである。ホストシステム32の表示装置33には、顕微鏡装置1の各種制御情報の表示が可能となっている。
a及び光軸(z)方向の駆動制御部30−12bにも接続されており、電動ステージ12の制御も行う事が可能である。
よって、CAN−BUSラインL1を介して顕微鏡制御部29からコマンドによる制御指示が各制御部30に送り込まれると、CPU36がROM37のプログラムに従って動作することにより各々受持ちの光学ユニット等の制御が行われる。
続いて、この顕微鏡システムの動作について説明する。
図5は、図4の6連フィルターターレット23を4連高速フィルターターレット23bに変更したユニット間の接続状態を示す。6連フィルターターレット23が4連高速フィルターターレット23bに交換されると、顕微鏡制御部29は、CAN−BUSラインL1に接続させている各電動ユニットに対しユニットに接続状態を問い合わせる命令を送信する。
次に、ユニット種別情報出力部45及びユニット種別情報検出部46の実現例のバリエーションについて、図6〜図8を用いて説明する。
本実施形態では、第1の実施形態に加えて、さらに、各ユニットについて自身の後段に他のユニットがセットされているか否かについての情報を顕微鏡制御部29に送信可能な顕微鏡システムについて説明する。なお、本実施形態において、第1の実施形態と同一のものは符号を付加して説明を省略する。
それでは、以下で本実施形態について詳述する。
図10は、本実施形態におけるP4a−P4b”端子間の電気的な接続状態の一例を示す。同図に示すように、ユニット有無情報出力部47”は、ユニットが接合されている場合はデジタル信号におけるGNDレベルをユニット有無情報検出部48に出力する。そして、ユニットが取り外されると、ユニット有無情報検出部48では、Highレベルのデジタル信号が検出される。これにより、後段にユニットが接続されているか否かを判別できる。
図11は、本実施形態における、図1における電動キューブカセット15を含めた、前面落射光源ポートへのユニットの接続状態を示す。同図では、顕微鏡装置1の前面落射光源ポート側から、落射絞りユニット25、電動キューブカセット15が接続されている。
図12は、図11から電動キューブカセット15が取り外された状態を示す。電動キューブカセット15が取り外された場合、落射絞りユニット25のユニット有無情報検出部48−25によって後段のユニットが取り外させた事が検出される。落射絞りユニット25のCPU回路35−25は直ちに顕微鏡制御部29に、落射絞りユニット15の後段のユニットが取り外させた情報をCAN−BUS経由で送信する。
また、上述した各実施例に係る顕微鏡システムにおいては、顕微鏡装置1として正立顕微鏡装置を採用していたが、その代わりに、倒立顕微鏡装置を採用することももちろん可能であり、また、顕微鏡装置を組み込んだ半導体検査装置といった各種システムに本実施例を適応することも可能である。
2(2a,2b) ランプハウスユニット
3 透過照明用光源
4a,4b コレクタレンズ
5 透過視野絞り
6 透過用フィルターターレット
7a NDフィルター
7b 補正フィルター
8 コンデンサユニット
9 透過開口絞り
10 コンデンサ光学素子ユニット
10a,10b コンデンサ
11 コンデンサトップレンズユニット
11a,11b コンデンサトップレンズ
12 電動ステージ
13a,13b 対物レンズ
14 電動レボルバ
15 電動キューブカセット
16a,16b フィルターキューブ
17 接眼ユニット
18 ビームスプリッター
19 接眼レンズ
20 ビデオカメラ
21 落射照明用光源
22 電動シャッタユニット
23 落射フィルターターレット
24a NDフィルター
24b 補正フィルター
25 落射絞りユニット
26a 落射開口絞り
26b 落射視野絞り
27 ポラライザ
28 アナライザー
29 顕微鏡制御部
30 制御部
30−2a,30−2b ランプハウス制御部
30−5 透過絞り制御部
30−6 透過用フィルターターレット制御部
30−8 コンデンサユニット制御部
30−12a,30−12b 電動ステージ制御部
30−14 電動レボルバ制御部
30−15 電動キューブカセット制御部
30−17 接眼ユニット制御部
30−20 ビデオカメラ制御部
30−22 電動シャッタユニット制御部
30−23 落射用フィルターターレット制御部
30−25 落射絞り制御部
30−27 ポラライザ制御部
30−28 アナライザー制御部
31 顕微鏡操作部
32 ホストシステム
33 表示装置
34 入力装置
35 CPU回路
36 CPU
37 FlashROM
38 RAM
39 駆動回路
40 モータ
41 位置検出回路
42 センサ
43 CANコントローラ
44 CANトランシーバー
45 ユニット種別情報出力部
46 ユニット種別情報検出部
47 ユニット有無情報出力部
48 ユニット有無情報検出部
L1 CAN−BUSライン
L2 電源供給ライン
P1a,P1b,P2a,P2b,P3a,P3b,P4a,P4b 端子
Claims (12)
- 顕微鏡システムを構成し相互に接続可能な顕微鏡構成ユニットであって、
所定の通信方式により前記顕微鏡システムの制御装置との通信を可能とする通信インターフェースと、
接続された他方の前記顕微鏡構成ユニットから、該他方の顕微鏡構成ユニットに関する情報である接続ユニット関連情報を取得する接続ユニット関連情報取得手段と、
前記接続ユニット関連情報取得手段により取得された前記他方の顕微鏡構成ユニットの前記接続ユニット関連情報と、当該顕微鏡構成ユニット自身に関する情報である顕微鏡構成ユニット自身関連情報とを、前記通信インターフェースを介して前記顕微鏡システムの制御装置へ送信する制御手段と、
を備えることを特徴とする顕微鏡構成ユニット。 - 前記顕微鏡構成ユニットは、さらに、
当該顕微鏡構成ユニット自身を駆動させる電力が供給される電力供給インターフェース
を備えることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡構成ユニット。 - 前記接続ユニット関連情報取得手段は、
前記顕微鏡構成ユニット自身の種別に関する情報であるユニット種別情報を出力するユニット種別情報出力手段と、
前記他の顕微鏡構成ユニットから出力された前記ユニット種別情報を検出するユニット種別情報検出手段と、
を備えることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡構成ユニット。 - 前記接続ユニット関連情報取得手段は、当該顕微鏡構成ユニット自身の前段に接続された前記他の顕微鏡構成ユニットの前記ユニット種別情報を取得する
ことを特徴とする請求項3に記載の顕微鏡構成ユニット。 - 前記顕微鏡構成ユニットは、さらに、
当該顕微鏡構成ユニット自身に、前記他の顕微鏡構成ユニットが接続されているか否かを検出する接続ユニット検出手段
を備えることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡構成ユニット。 - 前記制御手段は、前記接続ユニット検出手段による検出結果に基づいて、当該顕微鏡構成ユニット自身と前記他の顕微鏡構成ユニットとの間の接続状態の変化を前記顕微鏡システムの制御装置へ送信する
ことを特徴とする請求項5に記載の顕微鏡構成ユニット。 - 前記制御手段は、当該顕微鏡構成ユニット自身と前記他の顕微鏡構成ユニットとの間の接続状態が解除された場合、その旨を前記顕微鏡システムの制御装置へ送信する
ことを特徴とする請求項6に記載の顕微鏡構成ユニット。 - 前記他の顕微鏡構成ユニットは、当該顕微鏡構成ユニット自身の後段に接続されている
ことを特徴とする請求項7に記載の顕微鏡構成ユニット。 - 前記通信方式は、CAN通信方式である
ことを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡構成ユニット。 - 請求項1〜9のうち少なくともいずれか1項に記載の顕微鏡構成ユニットを組み合わせて構成される顕微鏡システム。
- 請求項7に記載の顕微鏡構成ユニットを組み合わせて構成される顕微鏡システムであって、
前記顕微鏡システムの制御装置は、前記顕微鏡構成ユニット間の接続が解除された旨の情報を受信した場合、該接続の解除により光源の光線が外部に漏れるときには、該光源からの光線を遮光または該光源を消灯させる制御を行う
ことを特徴とする顕微鏡システム。 - 顕微鏡システムを構成し相互に接続可能な顕微鏡構成ユニット同士を、所定の通信方式により前記顕微鏡システムの制御装置との通信を可能とする通信インターフェースを用いて複数接続し、
前記接続された他方の前記顕微鏡構成ユニットから、該他方の顕微鏡構成ユニットに関する情報である接続ユニット関連情報を取得し、
前記取得された他方の顕微鏡構成ユニットの前記接続ユニット関連情報と、当該顕微鏡構成ユニット自身に関する情報であるユニット自身関連情報とを、前記通信インターフェースを介して前記顕微鏡システムの制御装置へ送信し、
前記顕微鏡システムの制御装置により、前記各顕微鏡構成ユニットから送信された前記接続ユニット関連情報と前記ユニット自身関連情報とに基づいて、前記顕微鏡構成ユニット間の相対的な接続関係が取得される
ことを特徴とする顕微鏡システムを構築する顕微鏡構成ユニットの相対的接続関係取得方法。
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