JP2005091893A - 顕微鏡用電動ユニットの制御装置および方法 - Google Patents

顕微鏡用電動ユニットの制御装置および方法 Download PDF

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Abstract

【課題】 顕微鏡または顕微鏡用電動ユニットの種類を入力しなくてもその種類を自動的に認識し、認識された顕微鏡または電動ユニットに合わせた最適な制御パラメータで電動ユニットの動作を制御する。
【解決手段】 電動XYステージ20のような電動ユニットが制御装置30に接続されると、識別信号出力手段24より、電動ユニット固有の識別信号が出力され、検出手段32により検出される。駆動制御手段33は、検出された識別信号に基づいて電動ユニットの種類を認識し、認識した種類に応じた制御パラメータで電動ユニットを制御する。
【選択図】 図2

Description

本発明は、顕微鏡の試料を載置するための電動XYステージのような顕微鏡用電動ユニットの動作を制御する制御装置および方法に関する。
今日、顕微鏡には観察対象となる試料を載置するためのステージが備えられており、通常回転式の操作ハンドルが付属している。検鏡者は、この操作ハンドルを回転させることによりステージを上下(Z軸方向)、左右(X軸方向)、あるいは前後(Y軸方向)に移動させて、観察光学系内の試料位置を三次元的に調整し、試料の観察を行う。
近年、顕微鏡による観察の自動化、高精度化等の要求に応えるために、従来からあるZ軸方向の電動式駆動に加えて、XY軸方向におけるステージの操作をモータ等の駆動手段を用いた電動式にて行うものが多く見られる。このような電動ステージの操作には、プッシュ式のスイッチやジョイスティック等が用いられており、検鏡者は、上記操作ハンドルに代わりこれらの操作部を操作することにより、ステージを任意の場所に移動させて観察を行う。
現在、顕微鏡の用途は、生物観察用、半導体検査用等多岐にわたっており、また、同じ用途であっても観察方法が異なる場合があり、それらに対応して顕微鏡の種類も多数存在している。当然、顕微鏡が異なると試料を載置するステージの形状、重量等が異なっている場合が多く、それらの条件の違いを考慮に入れて高精度にステージ駆動制御を行うには、それぞれの顕微鏡およびステージ固有の特性に合わせた最適な制御パラメータの設定が必要となる。
また、良好な操作性にてステージ移動を行うためには、それぞれの顕微鏡毎の試料サイズおよび形状や観察状況の違いにより、ステージ移動速度等の制御パラメータをそれぞれ設定しなければならない。これまでは、1つの顕微鏡ステージに対して上記最適な制御パラメータがあらかじめ設定された専用のステージコントローラが付属しており、それにより最適なステージ駆動制御を実現していた(例えば、特許文献1参照)。
特開平09−198114号公報
しかしながら、上述した従来のステージ駆動制御には、次のような問題がある。
専用のステージコントローラで電動XYステージの動作を制御する場合、多種にわたる顕微鏡とそれに対応する電動XYステージを制御するためには、ステージコンロトーラもそれらの種類に合わせた数だけ必要となり、使用者にとってはコスト面で負担が大きくなるばかりか、設置する場所も広くとらなければならなくなるとういう不便が生じる。
また、製品開発の側から見ると、似たような製品をいくつも作らなければならないため、それに要する時間およびコストが無駄になってしまうという問題がある。
本発明の課題は、電動XYステージのような電動ユニットを顕微鏡に取り付けて使用する顕微鏡システムにおいて、使用者が顕微鏡または電動ユニットの種類を入力しなくてもその種類を自動的に認識し、認識された顕微鏡または電動ユニットに合わせた最適な制御パラメータで電動ユニットの動作を制御する制御装置および方法を提供することである。
本発明の第1の局面における制御装置は、顕微鏡に取り付け可能な電動ユニットに接続される、電動ユニットの制御装置であって、顕微鏡または電動ユニットから出力される識別信号を検出する検出手段と、電動ユニットによる対象物の駆動を制御する駆動制御手段とを備える。検出手段は、検出した識別信号を駆動制御手段に出力し、駆動制御手段は、受け取った識別信号に基づいて、顕微鏡の種類および制御装置に接続された電動ユニットの種類のうち少なくとも一方の種類を認識し、認識した種類に応じた制御パラメータで電動ユニットを制御する制御信号を出力する。
本発明の第2の局面において、第1の局面における制御装置は、複数種類の顕微鏡または複数種類の電動ユニットの種類毎に制御パラメータを記憶する記憶手段をさらに備え、駆動制御手段は、認識した種類に応じて、記憶手段が記憶する制御パラメータの中から最適な制御パラメータを選択的に決定し、決定した最適な制御パラメータを用いて制御信号を生成する。
本発明の第3の局面において、第2の局面における制御装置は、記憶手段が記憶する制御パラメータを任意に変更可能な設定変更手段をさらに備える。
本発明の第4の局面において、第1乃至第3の局面のうち少なくとも1つの局面における制御パラメータは、電動ユニットの駆動トルクを可変するためのパラメータ、電動ユニットが駆動する対象物の移動速度を可変するためのパラメータ、およびその対象物の移動距離の最大値を可変するためのパラメータのうち少なくとも1つを含む。
本発明の第5の局面において、第1乃至第4の局面のうち少なくとも1つの局面における電動ユニットは、顕微鏡の観察対象となる試料をX方向およびその方向と直交するY方向に任意に移動させる電動XYステージである。
上記制御装置、電動ユニット、対象物、検出手段、駆動制御手段、および記憶手段は、例えば、後述する図2のステージ制御装置30、電動XYステージ20、XYステージ21、検出手段32、駆動制御手段33、および記憶手段38に対応し、上記設定変更手段は、例えば、後述する図12の設定変更手段121に対応する。
本発明によれば、複数種類の顕徹鏡のうちの1つの顕徹鏡、または複数種類の顕微鏡用電動ユニットのうちの1つの電動ユニットを制御装置に接続すると、自動的にその種顆が認識され、認識結果に基づいて最適な制御パラメータで電動ユニットの動作が制御される。したがって、顕徹鏡や電動ユニットの種類に合わせて多数の制御装置を用意する必要はなく、顕微鏡や電動ユニットの種類を使用者が制御装置に入力するような必要もない。
電動ユニットとして電動XYステージを用いた場合、ステージ駆動用モータの脱調や速度異常等の問題を発生させることなく、単一の制御装置により複数種類の顕微鏡に取り付けられた複数種類の電動XYステージを制御することが可能である。したがって、検鏡者は、顕微鏡や電動XYステージの違いを意識することなく、快適な操作性にて観察を行うことができる。
以下、図面を参照しながら、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。
図1は、本発明の制御装置を含む顕微鏡システムの構成図である。図1の顕微鏡システムは、顕微鏡本体1、電動XYステージ20、ステージ制御装置30、および操作部40を備える。
電動XYステージ20は、X軸方向およびY軸方向に自在に移動可能なXYステージ21、モータ等から構成される駆動手段22、およびコネクタからなる接続手段23を含み、顕微鏡本体1に取り付けて使用される。XYステージ21上には観察対象の試料Sが載置され、駆動手段22は、試料Sが載置されたXYステージ21をX軸方向およびY軸方向のそれぞれの方向に駆動する。
電動XYステージ20は、ステージ固定部11を介して顕微鏡本体1と接続され、このステージ固定部11を基準として、試料Sが観察光学系内のXY軸方向に移動可能となるように構成されている。
ステージ制御装置30にはケーブル15が設けられており、ケーブル15は、接続手段23によって着脱可能なように電動XYステージ20に接続されている。また、ステージ制御装置30にはコネクタからなる接続手段31が設けられており、ジョイスティックやトラックボール等からなる操作部40が接続手段31によって着脱可能なようにステージ制御装置30に接続されている。ステージ制御装置30は、操作部40から入力される操作信号に基づいて、XYステージ21をXY軸方向に移動させるような制御信号を駆動手段22に出力する。
図2は、図1のステージ制御装置30により電動XYステージ20の種類を認識するための構成を示している。
図2の電動XYステージ20は、XYステージ21、駆動手段22、接続手段23、および識別信号出力手段24を備え、駆動手段22は、X軸駆動手段22AおよびY軸駆動手段22Bを含む。
X軸駆動手段22AおよびY軸駆動手段22Bは、それぞれ機械的にXYステージ21に接続されており、XYステージ21のX軸方向およびY軸方向の移動を実現可能に構成されている。X軸駆動手段22Aは、例えば、XYステージ21をX軸方向に駆動するモータであり、Y軸駆動手段22Bは、例えば、XYステージ21をY軸方向に駆動するモータである。
また、図2のステージ制御装置30は、接続手段31、検出手段32、駆動制御手段33、データ処理手段37、および記憶手段38を備え、駆動制御手段33は、制御手段34、X軸モータドライバ35、およびY軸モータドライバ36を含む。X軸モータドライバ35およびY軸モータドライバ36は、制御手段34からの指示に従って、それぞれ、X軸駆動手段22AおよびY軸駆動手段22Bを駆動するための駆動パルス信号を発生させる。
電動XYステージ20が接続手段23を介してステージ制御装置30に接続されると、識別信号出力手段24より、電動XYステージ20固有の識別信号が出力される。この識別信号は接続手段23を介して検出手段32により検出され、制御手段34は、検出手段32の出力に基づいて、接続された電動XYステージ20の種類を認識する。
制御手段34は、例えば、CPU(中央処理装置)およびメモリ等からなる情報処理装置(コンピュータ)として構成され、CPUがメモリを利用してプログラムを実行することにより、ステージ制御に必要な処理が行われる。メモリには、ROM(read only memory)およびRAM(random access memory)が含まれる。
制御手段34で用いられるプログラムおよびデータは、メモリカード、フレキシブルディスク、CD−ROM(compact disk read only memory )、光ディスク、光磁気ディスク等の任意のコンピュータ読み取り可能な記録媒体を介して制御手段34のメモリにロードすることができる。また、これらのプログラムおよびデータを、外部の装置から通信ネットワークを介してメモリにロードすることも可能である。この場合、その外部装置は、プログラムおよびデータを搬送する搬送信号を生成し、通信ネットワークを介してステージ制御装置30に送信する。
記憶手段38は、ROM等の不揮発性メモリからなり、複数種類の電動XYステージ20のそれぞれについてその移動を制御するための制御パラメータを登録したテーブルを記憶している。記憶手段38は制御手段34と接続されており、制御手段34は、記憶手段38に記憶されているテーブルから、1つまたは複数の制御パラメータを選択的に読み出す。
操作部40から出力される操作信号は、接続手段31を介してA/D(アナログ/デジタル)変換回路等からなるデータ処理手段37に入力され、デジタル信号に変換された後、制御手段34に入力される。操作部40がジョイスティックからなる場合は、倒した角度および方向の情報を含む操作信号が出力される。
制御手段34は、記憶手段38から読み出した最適な制御パラメータに基づいて、入力された操作信号に対応する分だけXYステージ21を移動させるための制御信号を、X軸モータドライバ35およびY軸モータドライバ36のそれぞれに対して出力する。
X軸モータドライバ35およびY軸モータドライバ36は、接続手段23を介してX軸駆動手段22AおよびY軸駆動手段22Bにそれぞれ接続されており、XYステージ21をX軸方向およびY軸方向にそれぞれ移動させるための駆動パルス信号を出力する。
図3は、識別信号出力手段24と検出手段32の構成例を示している。図3の構成では、識別信号出力手段24は、3つのスイッチ24a、24b、および24cからなる。これらのスイッチの一方の端子は、接続手段23の端子23a、23b、および23cにそれぞれ接続されており、他方の端子は接続手段23の端子23dを介してGND(グラウンド)レベルに接続されている。
検出手段32は、所定の基準電圧Vrを生成する電圧源と、その電圧源に接続された3つのプルアップ抵抗32a、32b、および32cからなる。これらの抵抗の一方の端子には基準電圧Vrがそれぞれ供給され、他方の端子は接続手段23の端子23a、23b、および23cにそれぞれ接続されている。
識別信号出力手段24におけるスイッチ24a、24b、および24cのオン・オフ情報は、接続手段23を介して検出手段32に送信され、電圧のLOW(GNDレベル)・HIGH(基準電圧レベル)信号として検出される。検出されたLOW・HIGH信号は、電動XYステージ20の識別信号として、検出手段32の端子32A、32B、および32Cから制御手段34に出力される。この場合、識別信号出力手段24のスイッチのオンおよびオフは、識別信号のLOWおよびHIGHにそれぞれ対応する。
図4は、図3の構成における識別信号の割り付け例を示している。図4において、識別信号の欄のA、B、およびCは、図3における検出手段32の端子32A、32B、および32Cにそれぞれ対応している。この欄の「0」は上述の識別信号がLOWの場合に対応し、「1」は識別信号がHIGHの場合に対応する。また、識別情報の欄は、各識別信号に対応する電動XYステージ20の種類を表している。このような識別信号の割り付けを定義した情報は、例えば、制御手段34のメモリに格納される。
例えば、図3のスイッチ24a、24b、および24cがそれぞれオン、オン、およびオフとなっている場合は、接続手段23の端子23a、23b、および23cの電圧がそれぞれLOW、LOW、およびHIGHとなり、その結果、検出手段32から制御手段34に出力される識別信号は「001」となる。したがって、接続されている電動XYステージ20は「正立型生物観察顕微鏡用ステージB」であると認識される。
図3の構成では、識別信号を送信するのに3本の信号線を用いているため、3ビット分の自由度があり、識別番号(識別No)0〜7の8パターンの識別信号を作り出すことができる。このうち、識別番号7の識別信号「111」は、ステージ制御装置30に電動XYステージ20が接続されていない状態(未接続の状態)を表すので、実質的には7種類の電動XYステージ20を認識することが可能となる。
図5は、記憶手段38に記憶されている制御パラメータの例を示している。図5のテーブルでは、制御パラメータとしてトルク係数と速度係数を用いており、図4の識別番号および識別情報に対応するトルク係数および速度係数の値が登録されている。
トルク係数は、駆動手段22であるモータを駆動する際の駆動トルクを変更するための定数であり、駆動手段22としてステッピングモータを用いている場合は、X軸およびY軸のそれぞれのトルク係数により、X軸モータドライバ35およびY軸モータドライバ36のそれぞれから出力される駆動電流が変更される。
通常、ステッピングモータが発生するトルクは、駆動電流に比例して増減するようになっている。また、X軸モータドライバ35およびY軸モータドライバ36は、制御手段34から受け取る制御信号に基づいて、トルク係数に比例する駆動電流を出力するようになっている。したがって、X軸駆動手段22AおよびY軸駆動手段22BのそれぞれによりXYステージ21を駆動するためのトルクは、X軸およびY軸のそれぞれのトルク係数に比例することになる。
一方、速度係数は、駆動手段22であるモータを駆動する時の速度を変更するための定数であり、駆動手段22としてステッピングモータを用いている場合は、X軸およびY軸のそれぞれの速度係数により、X軸モータドライバ35およびY軸モータドライバ36のそれぞれから出力される駆動パルス信号の周波数が変更される。
通常、ステッピングモータの回転角度は、駆動パルスの数に比例するようになっている。また、X軸モータドライバ35およびY軸モータドライバ36は、制御手段34から受け取る制御信号に基づいて、速度係数に比例する周波数の駆動パルス信号を出力するようになっている。したがって、X軸駆動手段22AおよびY軸駆動手段22BのそれぞれによりXYステージ21を駆動する速度は、X軸およびY軸のそれぞれの速度係数に比例することになる。
図5のテーブルに登録されたそれぞれの顕微鏡用電動XYステージ20を用いて、実際にXYステージ21をXY軸方向に移動させてデータを測定することで、トルク係数および速度係数の最適な値が決定され、決定された値があらかじめ記憶手段34に格納される。
図6は、図2のステージ制御装置30により行われる制御動作のフローチャートである。ステップ61において、検鏡者によりステージ制御装置30の電源が投入されると、ステップ62において、制御手段34は、まず、操作部40からの操作信号を受け付けないようにして、電動XYステージ20の操作を禁止する。これは、接続された電動XYステージ20に最適な制御パラメータを設定する前に電動XYステージ20を動作させないようにするための処理であり、この処理以降、ステップ66で操作が許可されるまでの間を、初期化期間と呼ぶことにする。
次に、ステップ63において、識別信号出力手段24から出力される信号を検出手段32が検出し、識別信号として制御手段34に出力する。例えば、図3のスイッチ24a、24b、および24cがそれぞれオン、オン、およびオフとなっている場合は、上述したように、識別信号は「001」となる。
次に、ステップ64において、制御手段34は、接続された電動XYステージ20の認識を行う。例えば、識別信号「001」が入力されたとき、制御手段34は、図4に示した通り、電動XYステージ20は「正立型生物観察顕微鏡用ステージB」であると認識する。
なお、ステップ64において、ステージ制御装置30に電動XYステージ20が接続されていない場合は、検出手段32により識別信号「111」が制御手段34に入力されるので、制御手段34は、「ステージ未接続」と認識してエラー処理を行う。エラー処理では、電動XYステージ20が接続されていない旨のメッセージ等が出力される。この場合、検鏡者はステージ制御装置30にいずれかの電動XYステージ20を接続して、ステップ61以降の操作を繰り返す。
接続された電動XYステージ20の種類が認識されると、次に、ステップ65において、制御手段34は、認識された種類の電動XYステージ20用に設定されている制御パラメータを記憶手段38から読み出す。
次に、ステップ66において、制御手段34は、ステップ62において受け付け禁止にした操作部40からの操作信号を受け付けるようにして、電動XYステージ20の操作を許可する。これにより、初期化期間が終了する。
次に、ステップ67において、検鏡者は、操作部40を操作することにより、接続された電動XYステージ20のXYステージ21を最適な制御パラメータで自在に移動させて、試料Sの観察を行う。そして、観察が終了すると、ステージ制御装置30の電源を切断する。
以上のように、図2の構成によれば、電動XYステージ20が接続手段23を介してステージ制御装置30に接続されると、識別信号出力手段24より、電動XYステージ20固有の識別信号が出力されるようになっており、この識別信号は接続手段23を介して検出手段32により検出され、制御手段34により接続された電動XYステージ20の種類が認識される。さらに、記憶手段38には、複数種類の電動XYステージ20のそれぞれについてその移動を制御するための制御パラメータを登録したテーブルが格納されている。制御手段34は、認識結果に応じて、記憶手段38のテーブルから接続されている電動XYステージ20に最適な制御パラメータを選択的に読み出し、それを基に電動XYステージ20を駆動制御することができる。
したがって、XYステージ21の重量や機構的な摩擦等による重みに応じて制御パラメータが異なる複数種類の電動XYステージ20に対して、単一の制御装置によって制御パラメータをステージ毎に設定する手間を必要とせずに、最適なステージ駆動が可能となる。また、各種顕微鏡用電動XYステージ20毎にステージ移動速度をあらかじめ決められた最適な値に自動的に設定できるので、観察者は電動XYステージ20の違いを気にすることなく、良好な操作性にて観察を行うことが可能となる。
ところで、図5のテーブルでは、制御パラメータとして速度係数およびトルク係数のみを用いているが、その他にも最大駆動パルス数のような任意の制御パラメータを追加することができる。最大駆動パルス数は、移動範囲の異なる電動XYステージ20を認識して制御する際に、XYステージ21の現在位置から機械的限界点までの距離を考慮して、安全な最大移動距離に対応する駆動パルス数として、それぞれの電動XYステージ20毎に設定される。
このような制御パラメータを用いることにより、最大移動距離を超えるステージ移動が禁止されるので、XYステージ21が機械的な限界点に達したり、それを超えようとするのを防止することができ、XYステージ21の損傷およびその上に載置された試料Sの損傷が防止される。
また、図1および図2において、ステージ制御装置30からの制御信号を送信するケーブル15は、電動XYステージ20側の接続手段23にて電動XYステージ20と着脱可能になっているが、電動XYステージ20側にケーブルを設け、接続手段をステージ制御装置30側に設けてケーブルを着脱可能にしてもよい。あるいは、電動XYステージ20とステージ制御装置30の両方に接続手段を設けてケーブルを着脱可能としてもよい。
また、図3において、識別信号出力手段24は3つのスイッチにより構成されているが、接続手段23の端子23a〜23dを直接電線等で接続しても、同様の識別信号を実現することができる。この場合、端子23a〜23cのうち、23d端子と接続された端子が、図3の識別信号出力手段24におけるオン状態のスイッチに対応し、どこにも接続されていない端子がオフ状態のスイッチに対応する。
また、図3および図4において、識別信号は3ビットの情報により表現されているが、このビット数に制限はなく、任意に増減してもよい。
さらに、図4および図5では、1つの顕微鏡本体1と1つの電動XYステージ20の組み合わせ毎に識別信号が設定されているが、顕微鏡本体1の種類を表す識別信号と電動XYステージ20の種類を表す識別信号を別々に設けて、これらの2つの識別信号の組み合わせによってシステム構成が認識されるようにしてもよい。この場合、電動XYステージ20に加えて、顕微鏡本体1からも識別信号が出力されることになる。
図7は、このような識別信号を用いて顕微鏡本体1および電動XYステージ20の種類を認識するための構成を示している。図7の構成では、図2の構成に加えて、識別信号出力手段71を備えた顕微鏡本体1が、コネクタからなる接続手段25を介して電動XYステージ20に接続されている。
電動XYステージ20が接続手段25を介して顕微鏡本体1に接続され、接続手段23を介してステージ制御装置30に接続されると、識別信号出力手段71より、顕微鏡本体1固有の識別信号が出力される。この識別信号は接続手段25および接続手段23を介して検出手段32により検出され、制御手段34は、検出手段32の出力に基づいて、接続された顕微鏡本体1の種類を認識する。
顕微鏡本体1の識別信号を検出するための検出手段32および識別信号出力手段71の構成は、電動XYステージ20の識別信号を検出するための検出手段32および識別信号出力手段24の構成と同様である。
この場合、顕微鏡本体1の識別信号の割り付けは、例えば、図8のように定義され、電動XYステージ20の識別信号の割り付けは、例えば、図9のように定義され、2つの識別信号の組み合わせに基づく識別情報は、例えば、図10のように定義される。
図8において、識別信号の欄のA、B、およびCは検出手段32の3つの端子(不図示)にそれぞれ対応しており、識別情報の欄は、各識別信号に対応する顕微鏡本体1の種類を表している。ただし、識別番号7の識別信号「111」は、ステージ制御装置30に電動XYステージ20が接続されていない状態、または電動XYステージ20に顕微鏡本体1が接続されていない状態、あるいは接続された顕微鏡本体1が非対応顕微鏡である場合を表す。
図9において、識別信号の欄のA、B、およびCは、図3の検出手段32の端子32A、32B、および32Cにそれぞれ対応しており、識別情報の欄は、各識別信号に対応する電動XYステージ20の種類を表している。ただし、識別番号7の識別信号「111」は、ステージ制御装置30に電動XYステージ20が接続されていない状態を表す。
図10において、識別情報はマトリクス状に定義されており、マトリクスの各行は顕微鏡本体1の識別信号を表し、マトリクスの各列は電動XYステージ20の識別信号を表す。例えば、顕微鏡本体1の識別信号が「000」で、電動XYステージ20の識別信号が「001」の場合は、接続されている電動XYステージ20は「正立型生物観察顕微鏡用ステージB」であると認識される。また、電動XYステージ20の識別信号が「111」の場合は、顕微鏡本体1の識別信号の値に依らずに、「ステージ未接続」と認識される。このような識別情報は、例えば、制御手段34のメモリに格納される。
ところで、図10の構成では、顕微鏡本体1が電動XYステージ20を介してステージ制御装置30に接続されているが、電動XYステージ20を介さずに直接ステージ制御装置30に接続するようにしてもよい。
図11は、このような接続方法を示している。図11の構成では、図2の構成に加えて、識別信号出力手段71を備えた顕微鏡本体1が、コネクタからなる接続手段111を介してステージ制御装置30に接続されている。
顕微鏡本体1が接続手段111を介してステージ制御装置30に接続されると、識別信号出力手段71より、顕微鏡本体1固有の識別信号が出力される。この識別信号は接続手段111を介して検出手段32により検出され、制御手段34は、検出手段32の出力に基づいて、接続された顕微鏡本体1の種類を認識する。
顕微鏡本体1の識別信号の割り付け、電動XYステージ20の識別信号の割り付け、および2つの識別信号の組み合わせに基づく識別情報については、図7の接続方法を採用した場合と同様である。
図7および図11の構成では、顕微鏡本体1と電動XYステージ20の両方に識別信号出力手段が設けられているが、顕微鏡本体1のみに識別信号出力手段71を設け、電動XYステージ20の識別信号出力手段24を省略することも可能である。この場合、記憶手段38は、複数種類の顕微鏡本体1のそれぞれについて、対応する電動XYステージ20の制御パラメータを登録したテーブルを記憶し、制御手段34は、顕微鏡本体1の識別信号に基づいて顕微鏡本体1の種類を認識し、認識結果に応じて記憶手段38から制御パラメータを選択的に読み出す。
次に、図12および図13を参照しながら、ステージ制御装置30の記憶手段38に格納されている制御パラメータを外部から変更したり、外部に出力したりすることが可能な構成について説明する。
例えば、図2の構成にこのような機能を追加した場合、ステージ制御装置30の構成は、図12のようになる。図12のステージ制御装置30は、図2の構成に加えて、さらに設定変更手段121を備える。
設定変更手段121は、RS232C(recommended standard 232 version C)、USB(universal serial bus)、IEEE(institute of electrical and electronic engineers)1394等の通信プロトコルによって、パーソナルコンピュータ等の外部のコンピュータ122と情報の送受信が可能なように構成されている。
設定変更手段121は、コンピュ一夕122から送信されるデータに基づき記憶手段38に格納されている制御パラメータを書き換えることができ、コンピュータ122からの指示に基づいて、記憶手段38に格納されている制御パラメータを読み出すこともできる。この場合、記憶手段38としては、例えば、EEPROM(electronically erasable and programmable read only memory )が用いられる。
図13は、図12のステージ制御装置30により行われる設定変更動作のフローチャートである。設定変更手段121は、コンピュ一夕122から制御パラメータの書き換え指示を受け取ると、ステップ131において、設定変更要求を制御手段34に出力する。これを受けて、制御手段34は、ステップ132において、割り込みを発生させ、ステップ133において、記憶手段38が現在アクセス中(BUSY状態)であるか否かをチェックする。
記憶手段38がアクセス中であれば、ステップ138において待機した後、ステップ133のチェックを繰り返し、記憶手段38がアクセス中でなければ、ステップ134において、設定変更手段121による設定変更を許可する。
次に、ステップ135において、設定変更手段121は、指示された制御パラメータの変更データを記憶手段38に書き込む。そして、ステップ136において、記憶手段38から書き込み終了通知を受け取ると、その旨の通知を制御手段34に出力する。これを受けて、制御手段34は、ステップ137において、割り込みを解除し、通常の制御処理に復帰する。
このような構成によれば、電動XYステージ20の使用者が、コンピュータ122から設定変更手段121を介して記憶手段38に格納されている制御パラメータを書き換えることができ、さらに、現在格納されている制御パラメータの値を読み出してコンピュータ122のディスプレイ画面上に表示することもできる。図7および図11の構成においても、同様の設定変更手段121を追加することが可能である。
次に、図14を参照しながら、検出手段32により検出された識別信号を制御手段34に入力することなく、XYステージ21を駆動するためのトルクを変更する構成について説明する。
例えば、図3の構成にこのような機能を挿入する場合、検出手段32の構成は、図14のように変更される。図14の検出手段32は、図3の構成に加えて、さらに抵抗Rl、R2、R3、およびR4と、スイッチS1、S2、およびS3とを備える。
抵抗R4の一方の端子には、基準電圧Vrが供給されており、抵抗R4の他方の端子には、抵抗Rl、R2、およびR3の一方の端子が接続されている。抵抗Rl、R2、およびR3の他方の端子は、スイッチS1、S2、およびS3の一方の端子にそれぞれ接続されており、スイッチS1、S2、およびS3の他方の端子はGNDレベルに接続されている。
図3の場合と同様に、識別信号出力手段24を構成しているスイッチ24a、24b、および24cのオン・オフ情報は、接続手段23を介して検出手段32に送信され、検出手段32は、そのオン・オフ情報をプルアップ抵抗32a、32b、および32cにより電圧のLOW・HIGH信号に変換する。得られたLOW・HIGH信号は、図3の場合とは異なり、制御手段34に出力されることなく、スイッチSl、S2、およびS3のオン・オフ制御に用いられる。
また、抵抗R4と抵抗Rl、R2、およびR3を接続するノードにおいて発生する電流調整用電圧Viは、X軸モータドライバ35内のモータドライバIC(integrated circuit)141とY軸モータドライバ36内のモータドライバIC142の出力電流調整用端子に入力される。モータドライバIC141および142は、入力される電圧の大きさに比例して、出力すべき駆動電流を可変するように構成されている。
ここで、例として、駆動電流のピーク値Ipが次式により決められるものとする。

Ip=K*Vi (K:定数)

電流調整用電圧Viは、スイッチSl、S2、およびS3の開閉状態に応じて変化するため、識別信号出力手段24からの出力信号により変更される。例えば、図14のように、スイッチ24aおよび24bがオフでスイッチ24cがオンのときは、スイッチSlおよびS2に電圧HIGHが入力されてオン状態となり、スイッチS3には電圧LOWが入力されてオフ状態となる。したがって、電圧Viは、抵抗Rl、R2、およびR4の分圧により決められる電圧値に設定される。
このような構成によれば、識別信号出力手段24を構成しているスイッチ24a、24b、および24cのオン・オフ情報は、接続手段23を介して検出手段32に転送され、検出手段32においてプルアップ抵抗32a、32b、および32cにより電圧のLOW・HIGH信号に変換される。そして、このLOW・HIGH信号によりスイッチSl、S2、およびS3がオフ・オンとなり、電流調整用電圧Viが生成される。したがって、電圧Viは、スイッチ24a、24b、および24cのオン・オフ情報により変更される。また、電流調整用電圧Viは、X軸モータドライバ35およびY軸モータドライバ36内のモータドライバIC141および142の出力電流調整用端子に入力され、X軸モータドライバ35およびY軸モータドライバ36から出力される駆動電流の値、つまりはXYステージ21を駆動するための駆動トルクを決定する。
したがって、識別信号出力手段24からのスイッチのオン・オフ情報により、制御手段34を介さず、自動的に、XYステージ21を駆動するための駆動トルクを電動XYステージ20毎に変更することができる。
図14では、電流調整用電圧Viを複数の抵抗の分圧によって変更しているが、代わりに、識別信号出力手段24からの出力信号を入力とするD/A(デジタル/アナログ)変換器を用いて、その信号をアナログ出力電圧に変換することで、電流調整用電圧Viを生成するようにしてもよい。
以上説明した実施形態では、ステージ制御装置30がXYステージ21を駆動する電動XYステージ20の動作を制御しているが、本発明はこのようなステージ制御装置に限らず、任意の対象物を駆動する任意の顕微鏡用電動ユニットを制御するための制御装置に対して適用することができる。
顕微鏡システムの構成図である。 ステージ制御装置と電動XYステージの第1の構成を示す図である。 検出手段と識別信号出力手段の第1の構成を示す図である。 電動XYステージの第1の識別信号を示す図である。 制御パラメータを示す図である。 制御動作のフローチャートである。 ステージ制御装置、電動XYステージ、および顕微鏡本体の第1の接続方法を示す図である。 顕微鏡の識別信号を示す図である。 電動XYステージの第2の識別信号を示す図である。 識別信号の組み合わせを示す図である。 ステージ制御装置、電動XYステージ、および顕微鏡本体の第2の接続方法を示す図である。 ステージ制御装置と電動XYステージの第2の構成を示す図である。 設定変更動作のフローチャートである。 検出手段と識別信号出力手段の第2の構成を示す図である。
符号の説明
1 顕微鏡本体
11 ステージ固定部
15 ケーブル
20 電動XYステージ
21 XYステージ
22 駆動手段
22A X軸駆動手段
22B Y軸駆動手段
23、25、31、111 接続手段
23a、23b、23c、23d、32A、32B、32C 端子
24、71 識別信号出力手段
24a、24b、24c、S1、S2、S3 スイッチ
30 ステージ制御装置
32 検出手段
32a、32b、32c、R1、R2、R3、R4 抵抗
33 駆動制御手段
34 制御手段
35 X軸モータドライバ
36 Y軸モータドライバ
37 データ処理手段
38 記憶手段
40 操作部
121 設定変更手段
122 コンピュータ
141、142 モータドライバIC
S 試料

Claims (8)

  1. 顕微鏡に取り付け可能な電動ユニットに接続される、該電動ユニットの制御装置であって、
    前記顕微鏡または前記電動ユニットから出力される識別信号を検出する検出手段と、
    前記電動ユニットによる対象物の駆動を制御する駆動制御手段とを備え、
    前記検出手段は、検出した識別信号を前記駆動制御手段に出力し、
    前記駆動制御手段は、受け取った識別信号に基づいて、前記顕微鏡の種類および前記制御装置に接続された前記電動ユニットの種類のうち少なくとも一方の種類を認識し、認識した種類に応じた制御パラメータで該電動ユニットを制御する制御信号を出力する
    ことを特徴とする制御装置。
  2. 複数種類の顕微鏡または複数種類の電動ユニットの種類毎に制御パラメータを記憶する記憶手段をさらに備え、
    前記駆動制御手段は、前記認識した種類に応じて、前記記憶手段が記憶する制御パラメータの中から最適な制御パラメータを選択的に決定し、決定した最適な制御パラメータを用いて前記制御信号を生成することを特徴とする請求項1に記載の制御装置。
  3. 前記記憶手段が記憶する制御パラメータを任意に変更可能な設定変更手段をさらに備えることを特徴とする請求項2に記載の制御装置。
  4. 前記制御パラメータは、前記電動ユニットの駆動トルクを可変するためのパラメータ、前記電動ユニットが駆動する前記対象物の移動速度を可変するためのパラメータ、および該対象物の移動距離の最大値を可変するためのパラメータのうち少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1乃至3のうち少なくとも1つに記載の制御装置。
  5. 前記電動ユニットは、前記顕微鏡の観察対象となる試料をX方向および該X方向と直交するY方向に任意に移動させる電動XYステージであることを特徴とする請求項1乃至4のうち少なくとも1つに記載の制御装置。
  6. 顕微鏡と、該顕微鏡に取り付け可能な電動ユニットと、該電動ユニットに接続される該電動ユニットの制御装置とからなる顕微鏡システムであって、
    前記顕微鏡および前記電動ユニットのうち少なくとも一方は、
    識別信号を出力する識別信号出力手段を備え、
    前記制御装置は、
    前記顕微鏡または前記電動ユニットから出力される前記識別信号を検出する検出手段と、
    前記電動ユニットによる対象物の駆動を制御する駆動制御手段とを備え、
    前記検出手段は、検出した識別信号を前記駆動制御手段に出力し、
    前記駆動制御手段は、受け取った識別信号に基づいて、前記顕微鏡の種類および前記制御装置に接続された前記電動ユニットの種類のうち少なくとも一方の種類を認識し、認識した種類に応じた制御パラメータで該電動ユニットを制御する制御信号を出力する
    ことを特徴とする顕微鏡システム。
  7. 顕微鏡に取り付け可能な電動ユニットによる対象物の駆動を制御するコンピュータのためのプログラムであって、
    前記顕微鏡または前記電動ユニットから出力される識別信号に基づいて、該顕微鏡の種類および該電動ユニットの種類のうち少なくとも一方の種類を認識し、
    認識した種類に応じた制御パラメータで前記電動ユニットを制御する
    処理を前記コンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
  8. 顕微鏡に取り付け可能な電動ユニットによる対象物の駆動を制御する制御方法であって、
    前記顕微鏡または前記電動ユニットから出力される識別信号を検出し、
    検出された識別信号に基づいて、前記顕微鏡の種類および前記電動ユニットの種類のうち少なくとも一方の種類を認識し、
    認識した種類に応じた制御パラメータで前記電動ユニットを制御する
    ことを特徴とする制御方法。

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