JP2022513007A - 試料を検査するための顕微鏡システムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
102 顕微鏡
104 主制御ユニット
106 モニタ
108 キーボード
110 マウス
112 顕微鏡スタンド
114 照明装置
116 顕微鏡ステージ
118 試料
120 対物レンズ
121 ステージ駆動部
122 検出器
124、126、128 導線
130 ステージ制御ユニット
131 記憶装置
132 導線
134 照明装置
Claims (9)
- 顕微鏡(102)と制御装置(104)とを含む、試料(118)を検査するための顕微鏡システム(100、200)であって、前記顕微鏡(102)は、移動可能な顕微鏡ステージ(116)を備えており、前記顕微鏡ステージ(116)上に検査すべき前記試料(118)をポジショニング可能であり、
前記制御装置(104)は、以下のように構成されている。すなわち、
第1のポジション信号を前記顕微鏡ステージ(116)に伝達し、前記第1のポジション信号に基づき、前記顕微鏡ステージ(116)は、第1のステージポジションまで移動可能であり、
前記顕微鏡ステージ(116)が前記第1のステージポジションまで移動させられると、第1の検査ステップにおいて、前記第1のステージポジションに割り当てられた前記試料(118)の第1の領域を検査するよう、前記顕微鏡(102)に指示し、
少なくとも1つの第2のポジション信号を前記顕微鏡ステージ(116)に伝達し、前記第2のポジション信号に基づき、前記顕微鏡ステージ(116)は第2のステージポジションまで移動可能であり、
前記顕微鏡ステージ(116)が前記第2のステージポジションまで移動させられると、時間的に前記第1の検査ステップに続く第2の検査ステップにおいて、前記第2のステージポジションに割り当てられた前記試料(118)の第2の領域を検査するよう、前記顕微鏡(102)に指示する、
顕微鏡システム(100、200)において、
前記制御装置(104)は、さらに、
前記顕微鏡ステージ(116)が前記第1のステージポジションまで移動させられる間に、前記第2のポジション信号を前記顕微鏡ステージ(116)に伝達する、
ように構成されていることを特徴とする、
顕微鏡システム(100、200)。 - 前記制御装置(104)は、さらに、
前記第1の検査ステップにおいて前記顕微鏡(102)により検出された検査結果に応じて、第3のポジション信号を生成し、前記顕微鏡ステージ(116)が前記第2のステージポジションまで移動させられる間に、前記第3のポジション信号を前記顕微鏡ステージ(116)に伝達し、
前記顕微鏡ステージ(116)が第3のステージポジションまで移動させられると、時間的に前記第2の検査ステップに続く第3の検査ステップにおいて、前記第3のステージポジションに割り当てられた前記試料(118)の第3の領域を検査するよう、前記顕微鏡(102)に指示する、
ように構成されている、
請求項1記載の顕微鏡システム(100、200)。 - 前記顕微鏡ステージ(116)は、前記顕微鏡(102)の対物レンズ(120)の光軸(O)に対し垂直な平面内で移動可能である、
請求項1または2記載の顕微鏡システム(100、200)。 - 前記顕微鏡(102)は、検出器(122)を含み、前記検出器(122)は、前記第1の検査ステップおよび/または前記第2の検査ステップにおいて求められた検査結果を、前記制御装置(104)に送信するように構成されている、
請求項1から3までのいずれか1項記載の顕微鏡システム(100、200)。 - 前記顕微鏡ステージ(116)は、ステージ駆動部(121)およびステージ制御ユニット(130)を有し、前記ステージ制御ユニット(130)は、前記制御装置(104)から伝達された個々のポジション信号を受信し、受信した前記ポジション信号に基づき前記顕微鏡ステージ(116)を移動させるために前記ステージ駆動部(121)を作動させるように構成されている、
請求項1から4までのいずれか1項記載の顕微鏡システム(100)。 - 前記顕微鏡ステージ(116)は、記憶装置(131)を有し、前記記憶装置(131)内に個々のポジション信号を記憶可能である、
請求項1から5までのいずれか1項記載の顕微鏡システム(100、200)。 - 前記顕微鏡(102)は、落射型顕微鏡または透過型顕微鏡である、
請求項1から6までのいずれか1項記載の顕微鏡システム(100)。 - 前記顕微鏡(102)は、正立顕微鏡または倒立顕微鏡である、
請求項1から7までのいずれか1項記載の顕微鏡システム。 - 顕微鏡(102)を用いて試料(118)を検査するための方法であって、前記方法は、
検査すべき前記試料(118)を、前記顕微鏡(102)の移動可能な顕微鏡ステージ(116)上にポジショニングするステップと、
第1のポジション信号を前記顕微鏡ステージ(116)に伝達するステップと、
前記第1のポジション信号に基づき、前記顕微鏡ステージ(116)を第1のステージポジションまで移動させるステップと、
第1の検査ステップにおいて、前記第1のステージポジションに割り当てられた前記試料(118)の第1の領域を検査するよう、前記顕微鏡(102)に指示するステップと、
少なくとも1つの第2のポジション信号を前記顕微鏡ステージ(116)に伝達するステップと、
前記第2のポジション信号に基づき、前記顕微鏡ステージ(116)を第2のステージポジションまで移動させるステップと、
時間的に前記第1の検査ステップに続く第2の検査ステップにおいて、前記第2のステージポジションに割り当てられた前記試料(118)の第2の領域を検査するよう、前記顕微鏡(102)に指示するステップと、
を含む、
方法において、
前記顕微鏡ステージ(116)が前記第1のステージポジションまで移動される間に、前記第2のポジション信号を前記顕微鏡ステージ(116)に伝達することを特徴とする、
方法。
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