DE102018128281B3 - Mikroskopsystem und Verfahren zur Untersuchung einer Probe - Google Patents

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Abstract

Beschrieben ist ein Mikroskopsystem (100, 200) zur Untersuchung einer Probe (118), umfassend ein Mikroskop (102) mit einem verfahrbaren Mikroskoptisch (116), auf dem die zu untersuchende Probe (118) positionierbar ist, und eine Steuerung (104). Die Steuerung (104) ist ausgebildet ist, ein erstes Positionssignal an den Mikroskoptisch (116) zu übermitteln, anhand dessen der Mikroskoptisch (116) in eine erste Tischposition verfahrbar ist, das Mikroskop (102) zu veranlassen, in einem ersten Untersuchungsschritt einen der ersten Tischposition zugeordneten ersten Bereich der Probe (118) zu untersuchen, wenn der Mikroskoptisch (116) in die erste Tischposition verfahren ist, wenigstens ein zweites Positionssignal an den Mikroskoptisch (116) zu übermitteln, anhand dessen der Mikroskoptisch (116) in eine zweite Tischposition verfahrbar ist, und das Mikroskop (102) zu veranlassen, in einem zeitlich auf den ersten Untersuchungsschritt folgenden zweiten Untersuchungsschritt einen der zweiten Tischposition zugeordneten zweiten Bereich der Probe (118) zu untersuchen, wenn der Mikroskoptisch (116) in die zweite Tischposition verfahren ist. Die Steuerung (104) ist ferner ausgebildet, das zweite Positionssignal an den Mikroskoptisch (116) zu übermitteln, während der Mikroskoptisch (116) in die erste Tischposition verfahren wird.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Mikroskopsystem zur Untersuchung einer Probe, umfassend ein Mikroskop mit einem verfahrbaren Mikroskoptisch, auf dem die zu untersuchende Probe positionierbar ist, und eine Steuerung, die ausgebildet ist, ein erstes Positionssignal an den Mikroskoptisch zu übermitteln, anhand dessen der Mikroskoptisch in eine erste Tischposition verfahrbar ist, das Mikroskop zu veranlassen, in einem ersten Untersuchungsschritt einen der ersten Tischposition zugeordneten ersten Bereich der Probe zu untersuchen, wenn der Mikroskoptisch in die erste Tischposition verfahren ist, wenigstens ein zweites Positionssignal an den Mikroskoptisch zu übermitteln, anhand dessen der Mikroskoptisch in eine zweite Tischposition verfahrbar ist, und das Mikroskop zu veranlassen, in einem zeitlich auf den ersten Untersuchungsschritt folgenden zweiten Untersuchungsschritt einen der zweiten Tischposition zugeordneten zweiten Bereich der Probe zu untersuchen, wenn der Mikroskoptisch in die zweite Tischposition verfahren ist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Untersuchung einer Probe mittels eines Mikroskops.
  • Bei der Durchführung lichtmikroskopischer Experimente ist es häufig erforderlich, verschiedene Probenbereiche mittels eines Mikroskops zu untersuchen. Hierzu ist es notwendig, die Probe in mehreren Schritten relativ zum Mikroskopobjektiv des Mikroskops zu positionieren. Häufig werden zu diesem Zweck verfahrbare Mikroskoptische verwendet, auf denen die Probe angeordnet ist und die in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse des Objektivs bewegt werden können. Das Verfahren des Mikroskoptisches kann dabei manuell oder motorisch erfolgen.
  • Oft erfordern die Umstände des Experiments, das Verfahren des Mikroskoptisches zu automatisieren, weil beispielsweise eine große Anzahl von Probenbereichen beobachtet werden muss. Aus dem Stand der Technik sind hierfür im Wesentlichen zwei Verfahren bekannt, das Verstellen des Mikroskoptisches zu automatisieren.
  • Bei einem ersten bekannten Verfahren, das im Folgenden auch als „sequentielles Nachladen“ bezeichnet wird, wird dem Mikroskoptisch in einem ersten Schritt ein Positionssignal übermittelt. In einem zweiten Schritt wird der Mikroskoptisch anhand des Positionssignals in die gewünschte Tischposition verfahren. In einem dritten Schritt wird ein der Tischposition zugeordneter Probenbereich untersucht. Diese Schritte werden zeitlich aufeinanderfolgend, d.h. sequentiell, für alle zu untersuchenden Probenbereiche durchgeführt. Der Nachteil dieses Verfahren besteht darin, dass die zum Übermitteln der Positionssignale erforderliche Zeit nicht zur eigentlichen Untersuchung der Probe genutzt wird. Ein Beispiel für dieses Verfahren ist in der Druckschrift US 2006/0 077 538 A1 beschrieben.
  • Bei einem zweiten bekannten Verfahren, das im Folgenden auch als „Vorladen“ bezeichnet wird, werden dem Mikroskoptisch schon zu Beginn des Experiments sämtliche im Laufe des Experiments anzufahrende Tischpositionen in Form von Positionssignalen übermittelt. Nachdem alle Positionssignale übermittelt sind, wird der Mikroskoptisch nacheinander in die den Positionssignalen entsprechenden Tischpositionen verfahren, und es werden die den jeweiligen Tischpositionen zugeordneten Probenbereiche untersucht. Der Nachteil dieses Verfahrens besteht zum einen darin, dass sich der Start des Experiments verzögert, bis alle Positionssignale übermittelt worden sind. Zum anderen ist von Nachteil, dass eine Anpassung des Experiments hinsichtlich der zu untersuchenden Probenbereiche im Verlauf des Experiments nicht mehr möglich ist, da sämtliche Positionssignale schon vor Beginn des Experimentes übermittelt worden sind. Beispiele für dieses Verfahren sind in den Druckschriften US 2009 / 0 195 688 A1 und EP 2 196 840 A1 beschrieben.
  • Aus der Druckschrift DE 10 2012 022 603 B3 ist ein Mikroskopsystem mit einem Mikroskoptisch bekannt, durch den zwei räumlich voneinander getrennte Detektoren relativ zu einer ortsfesten Probenhalterung verfahren werden, die eine Vielzahl von Aufbewahrungsbehältnissen aufnimmt. Um den zeitlichen Aufwand zur Mikroskopie einer Vielzahl von Proben zu reduzieren, wird eine jeweilige Probe zunächst mittels des einen Detektors voruntersucht. Anschließend nimmt der andere Detektor basierend auf den Ergebnissen dieser Voruntersuchung eine Hauptuntersuchung eines bestimmten zu untersuchenden Probenbereichs vor.
  • Ausgehend von diesem Stand der Technik ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Mikroskopsystem und ein Verfahren zur Untersuchung einer Probe anzugeben, die eine Anpassung zu untersuchender Probenbereiche im Verlauf des Experiments sowie eine schnellere Untersuchung der Probe als bisher ermöglichen.
  • Diese Aufgabe wird durch ein Mikroskopsystem mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 8 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
  • Das erfindungsgemäße Mikroskopsystem zur Untersuchung einer Probe umfasst ein Mikroskop mit einem verfahrbaren Mikroskoptisch, auf dem die zu untersuchende Probe positionierbar ist, und eine Steuerung. Die Steuerung ist ausgebildet, ein erstes Positionssignal an den Mikroskoptisch zu übermitteln, anhand dessen der Mikroskoptisch in eine erste Tischposition verfahrbar ist; das Mikroskop zu veranlassen, in einem ersten Untersuchungsschritt einen der ersten Tischposition zugeordneten ersten Bereich der Probe zu untersuchen, wenn der Mikroskoptisch in die erste Tischposition verfahren ist; wenigstens ein zweites Positionssignal an den Mikroskoptisch zu übermitteln, anhand dessen der Mikroskoptisch in eine zweite Tischposition verfahrbar ist; und das Mikroskop zu veranlassen, in einem zeitlich auf den ersten Untersuchungsschritt folgenden zweiten Untersuchungsschritt einen der zweiten Tischposition zugeordneten zweiten Bereich der Probe zu untersuchen, wenn der Mikroskoptisch in die zweite Tischposition verfahren ist. Die Steuerung ist ferner ausgebildet, das zweite Positionssignal an den Mikroskoptisch zu übermitteln, während der Mikroskoptisch in die erste Tischposition verfahren wird.
  • Da die durch die Steuerung veranlasste Übermittlung der Positionssignale erst im Verlauf des unter Verwendung des Mikroskopsystems durchgeführten Experimentes erfolgt, sind die zu untersuchenden Probenbereiche zu Beginn des Experiments noch nicht endgültig festgelegt. Hierdurch kann beispielsweise auf dynamische Prozesse in der zu untersuchenden Probe reagiert und der weitere Verlauf des Experiments hinsichtlich der Positionierung des Mikroskoptisches entsprechend angepasst werden. Erfindungsgemäß wird die Zeitdauer, die benötigt wird, um den Mikroskoptisch in die erste Tischposition zu verfahren, dazu genutzt, das zweite Positionssignal an den Mikroskoptisch zu senden. Somit kann der Mikroskoptisch unmittelbar, d.h. ohne jede Verzögerung in die zweite Tischposition bewegt werden, sobald der erste Untersuchungsschritt abgeschlossen ist. Somit geht keine Zeit für die Übermittlung der Positionssignale verloren, und die eingesparte Zeit kann für das eigentliche Experiment genutzt werden. Das erfindungsgemäße Mikroskopsystem ermöglicht so neben einer flexiblen Anpassung der zu untersuchenden Probenbereiche im Verlauf des Experiments eine schnellere lichtmikroskopische Untersuchung als bisher.
  • In der vorliegenden Beschreibung ist zu differenzieren zwischen dem jeweiligen Positionssignal, das die Steuerung zu einem gegebenen Zeitpunkt an den Mikroskoptisch übermittelt und anhand dessen der Mikroskoptisch zu einem späteren Zeitpunkt in die zugehörige Tischposition verfahrbar ist, und einem Ansteuer- oder Triggersignal, das die gewünschte Tischpositionierung durch Verfahren des Mikroskoptisches zu dem vorgenannten späteren Zeitpunkt tatsächlich auslöst.
  • Ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen Mikroskopsystems besteht darin, dass der Mikroskoptisch und/oder die Steuerung, die den Mikroskopbetrieb steuert, lediglich eine geringe Zahl an Positionssignalen vorhalten muss, um den Mikroskoptisch in der gewünschten Weise zu verfahren. Somit kann in den genannten Mikroskopkomponenten auf leistungsstarke Speicherelemente verzichtet werden.
  • Es versteht sich von selbst, dass mit dem erfindungsgemäßen Mikroskopsystem auch mehr als zwei Probenbereiche untersucht werden können. Hierzu wird ein weiteres Positionssignal durch die Steuereinheit an den Mikroskoptisch übermittelt, während der Mikroskoptisch in eine Tischposition verfahren wird, die einem diesem weiteren Positionssignal vorangegangenen Positionssignal zugeordnet ist. Der Mikroskoptisch wird dann anhand des weiteren Positionssignals in eine Tischposition verfahren, der wiederum ein weiterer Probenbereich zugeordnet ist. Dieser weitere Probenbereich wird dann mittels des Mikroskops in einem zeitlich auf den zweiten Untersuchungsschritt folgenden weiteren Untersuchungsschritt untersucht. Die vorgenannten Schritte werden so lange wiederholt, bis alle gewünschten Probenbereiche mikroskopisch untersucht worden sind.
  • Die Steuerung des Mikroskopsystems ist ausgebildet, in Abhängigkeit eines in dem ersten Untersuchungsschritt durch das Mikroskop erfassten Untersuchungsergebnisses ein drittes Positionssignal zu erzeugen und dieses dritte Positionssignal an den Mikroskoptisch zu übermitteln, während der Mikroskoptisch in die zweite Tischposition verfahren wird, und das Mikroskop zu veranlassen, in einem zeitlich auf den zweiten Untersuchungsschritt folgenden dritten Untersuchungsschritt einen der dritten Tischposition zugeordneten dritten Bereich der Probe zu untersuchen, wenn der Mikroskoptisch in die dritte Tischposition verfahren ist. Diese besonders vorteilhafte Weiterbildung ermöglicht es, das Experiment hinsichtlich der Auswahl der von dem Mikroskoptisch anzufahrenden Tischpositionen und damit der zu untersuchenden Probenbereiche, die diesen Tischpositionen zugeordnet sind, flexibel an die Ergebnisse der bis dahin vorgenommenen Untersuchung anzupassen.
  • Es ist vorteilhaft, wenn der Mikroskoptisch in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse eines Objektivs des Mikroskops verfahrbar ist. Hierdurch können möglichst viele Bereiche der Probe untersucht werden. Alternativ kann der Mikroskoptisch nur längs einer Richtung senkrecht zur optischen Achse des Objektivs des Mikroskops verfahrbar sein.
  • In einer vorteilhaften Weiterbildung umfasst das Mikroskop einen Detektor, der ausgebildet ist, in dem ersten Untersuchungsschritt und/oder in dem zweiten Untersuchungsschritt ermittelte Untersuchungsergebnisse an die Steuerung zu senden. Auf Grundlage dieser Untersuchungsergebnisse kann eine Auswahl weiterer zu untersuchender Probenbereiche erfolgen. Hierdurch wird eine automatisierte Untersuchung dynamischer Prozesse in der Probe ermöglicht.
  • Vorzugsweise weist der Mikroskoptisch einen Tischantrieb und eine Tischsteuereinheit auf, die ausgebildet ist, das jeweilige von der Steuerung übermittelte Positionssignal zu empfangen und den Tischantrieb anhand des empfangenen Positionssignal zum Verfahren des Mikroskoptisches anzusteuern. Wie schon weiter oben erläutert, ist hier zu differenzieren zwischen dem Positionssignal, das die einzustellende Tischposition repräsentiert, und dem Ansteuer- oder Triggersignal, das die tatsächliche Verstellung des Mikroskoptisches auslöst. In der vorliegenden Ausführungsform sendet die Tischsteuereinheit ein solches Triggersignal an den Tischantrieb, um diesen zu veranlassen, den Mikroskoptisch in die gewünschte Tischposition zu verfahren. Der Tischantrieb ist beispielsweise als Elektromotor ausgeführt und ermöglicht es, den Mikroskoptisch in Abhängigkeit der bereitgestellten Positionssignale zu verfahren.
  • Vorzugsweise hat der Mikroskoptisch einen Speicher, in dem das jeweilige Positionssignal speicherbar ist. Für den Fall, dass der Mikroskoptisch eine eigene Tischsteuerung hat, ist der vorgenannte Speicher vorzugsweise Teil der Tischsteuerung. Alternativ oder zusätzlich kann auch die Steuerung des Mikroskopsystems einen Speicher für die Positionssignale aufweisen.
  • Das Mikroskop kann insbesondere ein Durchlichtmikroskop oder ein Auflichtmikroskop sein. Das Mikroskop kann zudem sowohl als aufrechtes Mikroskop als auch als inverses Mikroskop ausgebildet sein.
  • Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Untersuchung einer Probe mittels eines Mikroskops, umfassend folgende Schritte: Positionieren der zu untersuchenden Probe auf einem verfahrbaren Mikroskoptisch des Mikroskops; Übermitteln eines ersten Positionssignals an den Mikroskoptisch; Verfahren des Mikroskoptisches anhand des ersten Positionssignals in eine erste Tischposition; Veranlassen des Mikroskops, in einem ersten Untersuchungsschritt einen der ersten Tischposition zugeordneten ersten Bereich der Probe zu untersuchen; Übermitteln wenigstens eines zweiten Positionssignals an den Mikroskoptisch; Verfahren des Mikroskoptisches anhand des zweiten Positionssignals in eine zweite Tischposition; und Veranlassen des Mikroskops, in einem zeitlich auf den ersten Untersuchungsschritt folgenden zweiten Untersuchungsschritt einen der zweiten Position des Mikroskoptisches zugeordneten zweiten Bereichs der Probe zu untersuchen. Ferner ist vorgesehen, dass das zweite Positionssignal an den Mikroskoptisch übermittelt wird, während der Mikroskoptisch in die erste Tischposition verfahren wird.
  • Die Erfindung wird im Folgenden anhand der Figuren erläutert. Darin zeigen:
    • 1 eine schematische Darstellung eines Mikroskopsystems als Ausführungsbeispiel;
    • 2 eine schematische Darstellung eines Mikroskopsystems als weiteres Ausführungsbeispiel;
    • 3 eine schematische Darstellung eines Verfahrens zur Untersuchung einer Probe unter Verwendung des Mikroskopsystems nach den 1 bzw. 2;
    • 4 eine schematische Darstellung eines herkömmlichen Verfahrens als Vergleichsbeispiel; und
    • 5 eine schematische Darstellung eines weiteren herkömmlichen Verfahrens als Vergleichsbeispiel.
  • 1 zeigt ein Mikroskopsystem 100, das ein aufrechtes Mikroskop 102 und eine Hauptsteuereinheit 104 umfasst. Die Hauptsteuereinheit 104 ist ein Personalcomputer, an den ein Monitor 106 sowie Eingabegeräte in Form einer Tastatur 108 und einer Maus 110 angeschlossen sind. Die Hauptsteuereinheit 104 hat die Funktion, den Gesamtbetrieb des Mikroskopsystems 100 zu steuern.
  • Das Mikroskop 102 hat ein Mikroskopstativ 112 mit einer Beleuchtungseinrichtung 114. Auf dem Mikroskopstativ 112 sitzt ein Mikroskoptisch 116, auf dem eine Probe 118 angeordnet ist. Der Mikroskoptisch 116 weist einen Tischantrieb 121 auf, der beispielsweise als Elektromotor ausgeführt ist und die Funktion hat, den Mikroskoptisch 116 in einer Ebene zu verfahren, die in 2 durch die beiden Achsen x und y angedeutet ist. Oberhalb des Mikroskoptisches 116 befindet sich ein Objektiv 120, welches die Probe 118 auf einen Detektor 122 abbildet. Der Detektor 122 ist beispielsweise eine CCD-Kamera. Wie in 1 gezeigt, liegt die Ebene, in der der Mikroskoptisch durch den Tischantrieb 121 verfahrbar ist, senkrecht zur optischen Achse O des Objektivs 120.
  • Das Mikroskopstativ 112 und der Detektor 122 sind über Leitungen 124 bzw. 126 mit der Hauptsteuereinheit 104 verbunden. Demgegenüber ist der Tischantrieb 120 über eine Leitung 128 an eine Tischsteuereinheit 130 angeschlossen, die wiederum über eine Leitung 132 an die Hauptsteuereinheit 104 gekoppelt ist. Die Tischsteuereinheit 130 hat die Funktion, den Tischantrieb 121 so zu steuern, das der Mikroskoptisch 116 in der gewünschten Weise verfahren wird.
  • Um den Mikroskoptisch 116 zu verfahren, übermittelt die Hauptsteuereinheit 104 x-y-Positionssignale an die Tischsteuereinheit 130, die einen internen Speicher 131 hat, der die übermittelten Positionssignale speichert. Die Tischsteuereinheit 130 steuert dann den Tischantrieb 121 anhand der gespeicherten Positionssignale so, dass der Mikroskoptisch 116 in die gewünschten Tischpositionen bewegt wird. Die Übermittlung der Positionssignale und die darauf basierende Ansteuerung des Tischantriebs 121 erfolgen nach einem Zeitregime, das später unter Bezugnahme auf 3 erläutert wird.
  • Die Hauptsteuereinheit 104 dient in dem in 1 gezeigten Ausführungsbeispiel im Zusammenwirken mit dem angeschlossenen Monitor 106 bzw. den angeschlossenen Eingabegeräten 108, 110 als auch Eingabe- und Ausgabeeinheit. Beispielsweise kann eine Bedienperson über die Tastatur 108 der Hauptsteuereinheit 104 Tischpositionen vorgeben, welche die Hauptsteuereinheit 105 in Form der Positionssignale an die Tischsteuerung 130 zur Ansteuerung des Tischantriebs 121 übermittelt. Ferner kann sich die Bedienperson Untersuchungsergebnisse, die der Detektor 122 in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel in Form von Mikroskopbildern liefert, auf dem Monitor 106 anzeigen lassen.
  • Das in 1 gezeigte Mikroskop 102 ist als aufrechtes Durchlichtmikroskop ausgebildet. Dementsprechend befindet sich die Beleuchtungseinrichtung 114 in 1 unterhalb des Mikropskoptisches 116. Alternativ kann das Mikroskop 102 aber auch als Auflichtmikroskop ausgeführt sein. In einer solchen Ausführung ist die Beleuchtungseinrichtung 114 oberhalb des Mikroskoptisches 116 angeordnet, wie in 1 durch das Bezugszeichen 134 angedeutet ist.
  • 2 zeigt eine schematische Darstellung eines Mikroskopsystems 200 als weiteres Ausführungsbeispiel.
  • Das in 2 gezeigte Mikroskopsystem 200 unterscheidet sich von dem in 1 gezeigten Mikroskopsystem 100 im Wesentlichen dadurch, dass das Mikroskop 102 nach 2 als inverses Durchlichtmikroskop ausgebildet ist. Dementsprechend sind in dem Ausführungsbeispiel nach 2 das Objektiv 120 und der Detektor 122 unterhalb des Mikroskoptisches 116 angeordnet, während sich die Beleuchtungseinrichtung 114 oberhalb des Mikroskoptisches 116 befindet. Gleiche oder gleich wirkenden Elemente sind in den 1 und 2 mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet.
  • 3 zeigt eine schematische Darstellung eines Verfahrens, das unter Verwendung des Mikroskopsystems 100 bzw. 200 zur erfindungsgemäßen Untersuchung der Probe 118 durchgeführt werden kann.
  • In einem ersten Schritt S1 wird durch die Hauptsteuereinheit 104 ein erstes Positionssignal an die Tischsteuereinheit 120 des Mikroskoptisches 116 übermittelt und dort in dem internen Speicher 131 gespeichert.
  • In einem zweiten Schritt S2 steuert die Tischsteuereinheit 130 den Tischantrieb 121 des Mikroskoptisches 116 unter Aussendung eines Triggersignals derart, dass letzterer in eine dem ersten Positionssignal zugeordneten erste Tischposition verfahren wird. Gleichzeitig übermittelt die Hauptsteuereinheit 104 ein zweites Positionssignal an die Tischsteuereinheit 130, das letztere in ihrem internen Speicher 131 speichert.
  • In einem dritten Schritt S3 wird ein der ersten Tischposition des Mikroskoptisches 116 zugeordneter erster Bereichs der Probe 118 untersucht, indem im vorliegenden Ausführungsbeispiel der Detektor 122 ein Bild dieses Probenbereichs aufnimmt. Dieses Bild wird an die Hauptsteuereinheit 104 übermittelt und dort weiterverarbeitet. Beispielsweise wird das Bild auf dem Monitor 106 dargestellt.
  • In einem vierten Schritt S4 steuert die Tischsteuereinheit 130 den Tischantrieb 121 des Mikroskoptisches 116 unter Aussendung eines Triggersignals derart, dass dieser in eine dem zweiten Positionssignal zugeordneten zweite Tischposition verfahren wird. Gleichzeitig übermittelt die Hauptsteuereinheit 104 ein drittes Positionssignal an die Tischsteuereinheit 130, die das dritte Positionssignal in ihrem internen Speicher 131 speichert.
  • In einem fünften Schritt S5 nimmt der Detektor 122 ein Bild eines der zweiten Tischposition zugeordneten zweiten Bereich der Probe 118 der Probe auf, das dann wiederum an die Hauptsteuereinheit 104 übermittelt und dort weiterverarbeitet wird.
  • In den folgenden Schritten wird jeweils ein weiteres Positionssignal durch die Hauptsteuereinheit 104 an die Tischsteuereinheit 130 übermittelt und dort gespeichert, während der Mikroskoptisch 116 in eine Position verfahren wird, die einem dem jeweiligen weiteren Positionssignal vorangegangenen Positionssignal zugeordnet ist. Der Mikroskoptisch 116 wird nach Übermitteln des jeweiligen Positionssignals anhand eines Triggersignals in eine weitere Tischposition verfahren, der ein weiterer zu untersuchender Bereich der Probe zugeordnet ist. Dieser weitere Bereich wird dann mit dem Detektor 122 im Wege der Bildgebung untersucht, bevor durch die Hauptsteuereinheit 104 erneut ein Positionssignal übermittelt wird. Dies wird so lange wiederholt, bis die Untersuchung der Probe 118 abgeschlossen ist.
  • Zum Vergleich mit dem erfindungsgemäßen Verfahren werden im Folgenden unter Bezugnahme auf die 4 und 5 noch die beiden eingangs genannten, aus dem Stand der Technik unter den Bezeichnungen „sequentielles Nachladen“ und „Vorladen“ bekannten Verfahren erläutert.
  • In dem Verfahren des sequentiellen Nachladens gemäß 4 wird in einem ersten Schritt S11 dem Mikroskoptisch ein Positionssignal übermittelt. In einem zeitlich auf den ersten Schritt S11 folgenden zweiten Schritt S12 wird der Mikroskoptisch dann in eine Tischposition verfahren, die dem zuvor übermittelten Positionssignal entspricht. In einem zeitlich auf den zweiten Schritt S12 folgenden dritten Schritt S13 wird ein dieser Tischposition zugeordneter Bereich der Probe untersucht. Die vorgenannten Schritte werden nacheinander für alle zu untersuchenden Probenbereiche wiederholt.
  • In dem Verfahren des Vorladens gemäß 5 werden dem Mikroskoptisch in einer Startphase (Schritte S21 bis S23), die der eigentlichen Untersuchung der Probe vorangeht, schon sämtliche Tischpositionen nacheinander in Form entsprechender Positionssignale zugeführt, die später von dem Mikroskoptisch angefahren werden sollen. Nachdem alle Positionssignale nacheinander übermittelt worden sind, wird anschließend in Schritt S24 der Mikroskoptisch in eine erste Tischposition verfahren, die der ersten der zuvor übermittelten Tischpositionen entspricht. Dann wird in Schritt S25 ein der ersten Tischposition zugeordneter erster Probenbereich untersucht. Die Schritte S24 und S25 werden anschließend nacheinander für alle weiteren Tischpositionen durchgeführt, die in der Startphase übermittelt worden sind.
  • Das Verfahren des sequentiellen Nachladens gemäß 4 hat den Nachteil, das Experiment gleichsam zeitlich zu strecken. Hingegen besteht bei dem Verfahren des Vorladens gemäß 5 zum einen der Nachteil des verzögerten Starts des Experimentes. Zum anderen erlaubt das Vorladen keine Anpassung hinsichtlich der im Experiment anzufahren Tischpositionen. Zudem limitiert die zur Verfügung stehende Speichergröße der Tischsteuereinheit 130 die Experimentgröße, d.h. beispielweise die Gesamtanzahl an Tischpositionen, die im Laufe des Experiments angefahren werden können.
  • Demgegenüber stellt die Erfindung eine Lösung bereit, die sowohl eine besonders schnelle Probenuntersuchung als auch eine flexible Anpassung der zu untersuchenden Probenbereiche während des Experiments ermöglicht und dabei keinerlei Limitierung in der Experimentgröße darstellt.
  • Bezugszeichenliste
  • 100
    Mikroskopsystem
    102
    Mikroskop
    104
    Hauptsteuereinheit
    106
    Monitor
    108
    Tastatur
    110
    Tastatur
    112
    Mikroskopstativ
    112
    Detektionsvorrichtung
    114
    Beleuchtungseinrichtung
    116
    Mikroskoptisch
    118
    Probe
    120
    Objektiv
    121
    Tischantrieb
    122
    Detektor
    124, 126, 128
    Leitungen
    130
    Tischsteuerung
    131
    Speicher
    132
    Leitung
    134
    Beleuchtungseinrichtung

Claims (8)

  1. Mikroskopsystem (100, 200) zur Untersuchung einer Probe (118), umfassend: ein Mikroskop (102) mit einem verfahrbaren Mikroskoptisch (116), auf dem die zu untersuchende Probe (118) positionierbar ist; und eine Steuerung (104), die ausgebildet ist, - ein erstes Positionssignal an den Mikroskoptisch (116) zu übermitteln, anhand dessen der Mikroskoptisch (116) in eine erste Tischposition verfahrbar ist, - das Mikroskop (102) zu veranlassen, in einem ersten Untersuchungsschritt einen der ersten Tischposition zugeordneten ersten Bereich der Probe (118) zu untersuchen, wenn der Mikroskoptisch (116) in die erste Tischposition verfahren ist, - wenigstens ein zweites Positionssignal an den Mikroskoptisch (116) zu übermitteln, anhand dessen der Mikroskoptisch (116) in eine zweite Tischposition verfahrbar ist, und - das Mikroskop (102) zu veranlassen, in einem zeitlich auf den ersten Untersuchungsschritt folgenden zweiten Untersuchungsschritt einen der zweiten Tischposition zugeordneten zweiten Bereich der Probe (118) zu untersuchen, wenn der Mikroskoptisch (116) in die zweite Tischposition verfahren ist, wobei die Steuerung (104) ferner ausgebildet ist, - das zweite Positionssignal an den Mikroskoptisch (116) zu übermitteln, während der Mikroskoptisch (116) in die erste Tischposition verfahren wird, - in Abhängigkeit eines in dem ersten Untersuchungsschritt durch das Mikroskop (102) erfassten Untersuchungsergebnisses ein drittes Positionssignal zu erzeugen, anhand dessen der Mikroskoptisch (116) in eine dritte Tischposition verfahrbar ist, und dieses dritte Positionssignal an den Mikroskoptisch (116) zu übermitteln, während der Mikroskoptisch (116) in die zweite Tischposition verfahren wird, und - das Mikroskop (102) zu veranlassen, in einem zeitlich auf den zweiten Untersuchungsschritt folgenden dritten Untersuchungsschritt einen der dritten Tischposition zugeordneten dritten Bereich der Probe (118) zu untersuchen, wenn der Mikroskoptisch (116) in die dritte Tischposition verfahren ist.
  2. Mikroskopsystem (100, 200) nach Anspruch 1, bei dem der Mikroskoptisch (116) in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse (0) eines Objektivs (120) des Mikroskops (102) verfahrbar ist.
  3. Mikroskopsystem (100, 200) nach Anspruch 1 oder 2, bei dem das Mikroskop (102) einen Detektor (122) umfasst, der ausgebildet ist, in dem ersten Untersuchungsschritt und/oder dem zweiten Untersuchungsschritt ermittelte Untersuchungsergebnisse an die Steuerung (104) zu senden.
  4. Mikroskopsystem (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem der Mikroskoptisch 116 einen Tischantrieb (121) und eine Tischsteuereinheit (130) aufweist, die ausgebildet ist, das jeweilige von der Steuerung (104) übermittelte Positionssignal zu empfangen und den Tischantrieb (121) anhand des empfangenen Positionssignal zum Verfahren des Mikroskoptisches (114) anzusteuern.
  5. Mikroskopsystem (100, 200) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem der Mikroskoptisch (116) einen Speicher (131) hat, in dem das jeweilige Positionssignal speicherbar ist.
  6. Mikroskopsystem (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem das Mikroskop (102) ein Auflichtmikroskop oder ein Durchlichtmikroskop ist.
  7. Mikroskopsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem das Mikroskop (102) ein aufrechtes Mikroskop oder ein inverses Mikroskop ist.
  8. Verfahren zur Untersuchung einer Probe (118) mittels eines Mikroskops (102), umfassend folgende Schritte: Positionieren der zu untersuchenden Probe (118) auf einem verfahrbaren Mikroskoptisch (116) des Mikroskops (102); Übermitteln eines ersten Positionssignals an den Mikroskoptisch (116); Verfahren des Mikroskoptisches (116) anhand des ersten Positionssignals in eine erste Tischposition; Veranlassen des Mikroskops (102), in einem ersten Untersuchungsschritt einen der ersten Tischposition zugeordneten ersten Bereich der Probe (118) zu untersuchen; Übermitteln wenigstens eines zweiten Positionssignals an den Mikroskoptisch (116); Verfahren des Mikroskoptisches (116) anhand des zweiten Positionssignals in eine zweite Tischposition; und Veranlassen des Mikroskops (102), in einem zeitlich auf den ersten Untersuchungsschritt folgenden zweiten Untersuchungsschritt einen der zweiten Tischposition zugeordneten zweiten Bereichs der Probe (118) zu untersuchen; wobei das zweite Positionssignal an den Mikroskoptisch (116) übermittelt wird, während der Mikroskoptisch (116) in die erste Tischposition verfahren wird, in Abhängigkeit eines in dem ersten Untersuchungsschritt erfassten Untersuchungsergebnisses ein drittes Positionssignal erzeugt, anhand dessen der Mikroskoptisch (116) in eine dritte Tischposition verfahrbar ist, und dieses dritte Positionssignal an den Mikroskoptisch (116) übermittelt wird, während der Mikroskoptisch (116) in die zweite Tischposition verfahren wird, und in einem zeitlich auf den zweiten Untersuchungsschritt folgenden dritten Untersuchungsschritt ein der dritten Tischposition zugeordneter dritter Bereich der Probe (118) untersucht wird, wenn der Mikroskoptisch (116) in die dritte Tischposition verfahren ist.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060077538A1 (en) * 1999-10-29 2006-04-13 Cytyc Corporation Cytological imaging systems and methods
US20090195688A1 (en) * 2007-08-23 2009-08-06 General Electric Company System and Method for Enhanced Predictive Autofocusing
EP2196840A1 (de) * 2007-09-03 2010-06-16 Nikon Corporation Mikroskopvorrichtung und programm dafür
DE102012022603B3 (de) * 2012-11-19 2014-05-08 Acquifer Ag Vorrichtung und Verfahren zur Mikroskopie einer Vielzahl von Proben

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3410201A1 (de) * 1983-03-22 1984-10-04 Olympus Optical Co., Ltd., Tokio/Tokyo Mikroskop
JP4540957B2 (ja) 2003-09-18 2010-09-08 オリンパス株式会社 顕微鏡用電動ユニットの制御装置および方法
US20060018013A1 (en) * 2004-07-07 2006-01-26 Yoshimasa Suzuki Microscope imaging apparatus and biological-specimen examination system
JP4474655B2 (ja) * 2007-05-09 2010-06-09 独立行政法人科学技術振興機構 顕微鏡装置
US9810895B2 (en) * 2009-05-29 2017-11-07 Olympus Corporation Biological observation apparatus
JP5562653B2 (ja) 2010-01-06 2014-07-30 オリンパス株式会社 バーチャルスライド作成装置およびバーチャルスライド作成方法
DE202010010932U1 (de) * 2010-04-19 2011-10-07 Witec Wissenschaftliche Instrumente Und Technologie Gmbh Vorrichtung zur Abbildung einer Probenoberfläche
US10473906B2 (en) * 2014-05-30 2019-11-12 Nikon Corporation Microscope
CN105093509B (zh) * 2015-09-29 2017-09-01 爱威科技股份有限公司 显微镜的自动聚焦方法、系统及大便镜检显微镜
JP2018022072A (ja) * 2016-08-04 2018-02-08 オリンパス株式会社 顕微鏡システム
JP2018097215A (ja) * 2016-12-14 2018-06-21 オリンパス株式会社 顕微鏡装置、プログラム、観察方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060077538A1 (en) * 1999-10-29 2006-04-13 Cytyc Corporation Cytological imaging systems and methods
US20090195688A1 (en) * 2007-08-23 2009-08-06 General Electric Company System and Method for Enhanced Predictive Autofocusing
EP2196840A1 (de) * 2007-09-03 2010-06-16 Nikon Corporation Mikroskopvorrichtung und programm dafür
DE102012022603B3 (de) * 2012-11-19 2014-05-08 Acquifer Ag Vorrichtung und Verfahren zur Mikroskopie einer Vielzahl von Proben

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