JP2007528511A5

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Publication number: JP2007528511A5
Application number: JP2007502433A
Authority: JP
Filing date: 2005-03-08
Publication date: 2008-03-21
Anticipated expiration: 2025-03-08

Description

環境からの保護に有用なトップバリヤコート組成物（ドライリソグラフィ）は、酸性フルオロアルコール側鎖基を持つ少なくとも一種の単位を有する環状脂肪族ポリマー、及び溶剤組成物を含む。このポリマーを溶解するが、ただし下にあるフォトレジストは溶解しない溶剤が好ましい。溶剤の選択は、下地としてのフォトレジスト基体に基づいて予測され、そして２４８及び１９３ｎｍでの用途には、好ましい溶剤は、アルキルアルコールHOC_nH_2n+1 (n=3〜12、好ましくは3〜7)(例えば、イソプロピルアルコール、ｎ−ブタノール、ｎ−ペンタノール、ｎ−ヘキサノール、ｎ−ヘプタノール、及びこれらの類似物など)、シクロアルキルアルコールHOC_nH_2n(n=4〜10)(例えば、シクロペンタノール、シクロヘキサノール、及びこれらの類似物など)（１９３ｎｍ）である。１５７ｎｍまでのより短波長での用途に好適な攻撃性が比較的弱い溶剤とするために、これらのアルコールは、水またはアルカンC_nH_2n+2(n=7〜12)（例えば、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、ｎ−ノナン、ｎ−ウンデカン、ｎ−デカン、及びこれらの分枝状異性体）、環状脂肪族アルカン(n=5〜10)(例えば、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン、及びアルキル置換誘導体)と混合してもよい。他の攻撃性が比較的弱い溶剤混合物も１５７ｎｍでの用途に好適であるが、これらは、より長波長で使用されるフォトレジストを用いた用途にも使用することができる。このような他の１５７ｎｍ樹脂に好ましい溶剤混合物は、アルキルカルボキシレートC_nH_2n+1-O-CO-C_mH_2m+1 (n=2〜12、m=0〜3)(例えば、酢酸ブチル、酢酸アミル、蟻酸アミル、プロピオン酸エチル)または環状部分に基づく類似のアルキルカルボキシレート(例えば、シクロヘキシルアセテート、シクロペンチルアセテート)と、アルカンC_nH_2n+2 (n=7〜12)(例えば、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、ｎ−ノナン、ｎ−ウンデカン、ｎ−デカン、及びこれらの分枝状異性体)、環状脂肪族アルカン(n=5〜10)(例えば、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン、及びアルキル置換誘導体)とを混合したものである。選択される溶剤混合物は、トップコートポリマーを溶解するが、その下にコーティングされるフォトレジストを溶解しないものである。

例４バリヤコート１
イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）中に溶解した例１のポリマー（脱保護したＦ−１ＢＮＣ）７重量％からなる溶液を調製した。この溶液を、１０００ｒｐｍでシリコンウェハ上にスピンコートして、均一な膜を得た。この膜は、水中には不溶性であるが（３０秒間のパドル現像後）、０．２６Ｎテトラメチルアンモニウムヒドロキシド中には非常に良く溶けることが確認された（３０秒間のパドル現像で膜が除去された）。

例６バリヤコート３
ポリ（３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプタ−５−エン−２−イル）−１，１，１−トリフルオロ−２−（トリフルオロメチル）プロパン−２−オール）（Ｍｗ１０，０００）（44141，オハイオ州，ブレックスビル，ブレックスビル通り9921、ビルディングＢ在のPromerus社から入手）の２．１３重量％溶液を、１−ブタノール中に得、そしてシリンジを用いて０．２ミクロンＰＴＦＥフィルター（Millexベントフィルターユニット，カタログナンバーSLFG05010, Millipore社）に通して濾過した。この溶液を１０００ｒｐｍでシリコンウェハにスピンコートして、均一な膜を得た。この膜は、水中には不溶性であるが（３０秒間のパドル現像後）、０．２６Ｎテトラメチルアンモニウムヒドロキシド中には非常に良く溶けることが確認された（３０秒間のパドル現像後に膜が除去された）。