JP2011502286A - 光像形成性分岐ポリマー - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、「光像形成性分岐ポリマー」と題する2007年10月30日出願の米国仮出願第60/983,778号の優先権を主張するものであり、この仮出願は引用によって本明細書の一部を構成するものとする。
上記組成物中の化合物を架橋し、その後組成物を露光、焼成して、化合物を脱架橋し、分解して部分とする。得られた部分の少なくとも約80%は、上記化合物の第1の分子量よりも小さい分子量を有する。
化合物(即ち分岐または非線状ポリマーまたはオリゴマー)は、多官能性酸を多官能性ビニルエーテルと反応させて、ヘミアセタールエステルまたはアセタール構造体を形成することにより生成することができる。多官能性酸としては、ビニルエーテルと反応し得る酸性基が好適である。とりわけ、pKaが4〜11の酸性基が許容できる。このような好ましい酸性基としては、カルボン酸、フェノール、スルホンアミド、フッ素化アルコールおよびこれらの混合物からなる群の中から選択されるものが含まれる。好適なフッ素化アルコールの例としては、以下の式:
R’−(X−O−CH=CH2)n
[式中、R’は、(好ましくはC6−C14の)アリールおよび(好ましくはC1−C18、より好ましくはC1−C10の)アルキルからなる群の中から選択され、各Xは個々に、(好ましくはC1−C18、より好ましくはC1−C10の)アルキル、(好ましくはC1−C18、より好ましくはC1−C10の)アルコキシ、カルボニル、およびこれらのうちの2種以上の基の組み合わせからなる群の中から選択され、nは2〜6である]で表される。最も好ましいビニルエーテルとしては、エチレングリコールビニルエーテル、トリメチロールプロパントリビニルエーテル、1,4−シクロヘキサンジメタノールジビニルエーテルおよびこれらの混合物からなる群の中から選択されるものが含まれる。他の好ましいビニルエーテルは、
各R3は個々に、(好ましくはC1〜C8の)アルキル、(好ましくは約C6〜約C14の)アリール、およびこれらの官能性誘導体からなる群の中から選択され、
Yは、
x、yおよびzはそれぞれ個々に、0および1からなる群の中から選択され、
x、yおよびzの少なくとも一つは1である]
で表すことができる。
上述の母液を用いて、被膜組成物を調製することができる。あるいは、上記仕様に合うポリマーの市販品を購入し、それを使用して被膜配合物を製造することができる。
発色団は、組成物の処理波長に基づいて選択する。例えば、193nmの波長で好ましい発色団には、置換および非置換フェニル(例えばポリヒドロキシスチレン)、複素環発色団(例えばフラン環、チオフェン環)、ならびにこれらの官能性部分が含まれる。
組成物を基板(例えば超小型電子基板)に塗布する方法は単に、(スピンコーティングを含む)公知の塗布方法によりある量の組成物を基板表面に塗布することからなる。基板は従来の回路基板であってもよく、好適な基板は平坦であってもよいし、(例えばコンタクトホール、ビアホール、溝等の)凹凸を有していてもよい。基板としては、シリコン、アルミニウム、タングステン、ケイ化タングステン、ヒ化ガリウム、ゲルマニウム、タンタル、亜硝酸タンタル、SiGe、低k誘電体層、誘電体層(例えば酸化ケイ素)、およびイオン注入層が挙げられる。
剥離率(%) = ( 剥離量 / 初期平均膜厚 ) × 100
で表される。
193nmで強く吸収する、分岐ポリマーを用いて調製した被膜配合物
PGM/3,7−DNA染料の合成
ホモポリグリシジルメタクリレート(PGM)を調製するために、500mlのきれいな三つ口丸底フラスコに溶剤として添加したシクロヘキサノン(ミズーリ州セントルイスのハルクロス社製) 161.52gに、グリシジルメタクリレート(ウィスコンシン州ミルウォーキーのアルドリッチ社製) 37.5gを溶解した。均質な溶液が生成されるまでこの混合物を室温で5分間攪拌した。滴下漏斗および冷却器をフラスコに取付け、全体の装置を窒素流下で保護した。滴下漏斗にシクロヘキサノン(ミズーリ州セントルイスのハルクロス社製) 69.3g、過酸化ジクミル(ニュージャージー州のアクロス・オーガニクス社製) 3.65gを含有する溶液を充填した。当初121℃の反応溶液を含む窒素流下のフラスコに、この過酸化物溶液をゆっくりと、即ち1.5分かけて添加した。添加が終了すると、反応混合物を約120℃〜126℃で24時間攪拌した。4−メトキシフェノール(ウィスコンシン州ミルウォーキーのアルドリッチ社製) 約69〜70mgを阻害剤として攪拌しながら添加して溶解した。ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)分析のためにこの母液から試料を採取した。分析によればMwは13850であった。この母液をさらに精製することなる反応の次の工程で使用した。
調節可能な光学定数を特徴とする高分子染料を充填した分岐ポリマーを用いた被膜配合物
248nmおよび193nmで吸収する、分岐ポリマーを用いた被膜配合物
248nmおよび193nmで透明な被膜配合物
トリカルボン酸とトリビニルブチルエーテルとの反応
ジカルボン酸とトリビニルブチルエーテルとの反応
Claims (17)
- 表面を有する基板を準備し、
分岐ポリマー、分岐オリゴマーまたはこれらの混合物からなり、かつ第1の分子量を有する化合物を含む組成物を前記表面に塗布し、
前記組成物中の化合物を架橋し、
前記組成物を露光し、前記組成物を焼成して、前記化合物を脱架橋し、前記化合物を分解して部分とし、前記部分の少なくとも約80%が、前記第1の分子量よりも小さい分子量を有する超小型電子構造体の形成方法。 - さらに、前記部分を現像液と接触させて前記部分を前記表面から除去することを含む請求項1に記載の方法。
- 前記化合物が、ビニルエーテルと反応した酸性基を含んでいる請求項1に記載の方法。
- 前記酸性基が、カルボン酸、フェノール、スルホンアミド、フッ素化アルコールおよびこれらの混合物からなる群の中から選択される請求項3に記載の方法。
- 前記化合物が、最初の数の、式:
- Rが、
- 前記架橋が、前記化合物を熱的に架橋することからなる請求項1に記載の方法。
- 前記架橋により、フォトレジスト溶剤に実質的に溶けない組成物層が得られる請求項1に記載の方法。
- 前記架橋により、式:
- 前記露光および焼成により、フォトレジスト現像液に実質的に溶ける層が得られる請求項1に記載の方法。
- 前記露光および焼成により、式:
- 前記基板が超小型電子基板である請求項1に記載の方法。
- 前記基板が、シリコン、アルミニウム、タングステン、ケイ化タングステン、ヒ化ガリウム、ゲルマニウム、タンタル、亜硝酸タンタル、SiGe、イオン注入層、低k誘電体層、および誘電体層からなる群の中から選択される請求項12に記載の方法。
- 前記基板がさらに、穴を規定し、かつ側壁および底壁を有する構造を含み、
前記塗布が、前記穴の側壁および底壁の少なくとも一部に組成物を塗布することからなる請求項12に記載の方法。 - 前記基板がイオン注入層を含み、前記塗布が、前記イオン注入層に隣接する前記組成物の層を形成することからなる請求項12に記載の方法。
- 前記露光の前にフォトレジスト層を設けることをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 式:
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