JP2007333873A - ビームスキャナ - Google Patents
ビームスキャナ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007333873A JP2007333873A JP2006163560A JP2006163560A JP2007333873A JP 2007333873 A JP2007333873 A JP 2007333873A JP 2006163560 A JP2006163560 A JP 2006163560A JP 2006163560 A JP2006163560 A JP 2006163560A JP 2007333873 A JP2007333873 A JP 2007333873A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- respect
- rotation shaft
- rotating shaft
- rotation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
【解決手段】 支持部材に支持された回転軸と、回転軸側面の一部領域に対向配置され、支持部材に固定されたヨークであって、回転軸側面への対向面から回転軸へ突出し、回転軸の回転方向に並ぶように配置された一対の磁極を含むヨークと、回転軸に固定された反射鏡と、回転軸が回転方向に関し中立位置に静止している時、ヨーク側側面に回転方向に並ぶように配置され、回転軸径方向に磁化された複数の永久磁石と、磁極に巻かれたコイルを有し、一対の磁極は、中立平面に関し対称関係になるよう配置され、複数の永久磁石及びその極性の向きは回転軸が中立位置に静止しているときに、中立平面に関し対称関係になるように配置されており、コイルは中立平面に関し対称位置に配置される磁極の回転軸側端部が反対極性に励磁されるよう巻かれているビームスキャナを提供する。
【選択図】 図1
Description
8 ステージ
10 加工対象物
12 レーザ発振器
14 レーザビーム
20 第1ガルバノスキャナ
20a 回転ミラー
24 第2ガルバノスキャナ
24a 回転ミラー
30 回転軸
31 第1軸受
32 第2軸受
33 回転ミラー
34 コイル
35 永久磁石
36 ヨーク
37 角度センサ
42 角度センサ
42a スケール
42b エンコーダヘッド
51 ミラー
52 シャフト
53a〜d 永久磁石
54a、b 軸受け
55 ストッパ
56a、b 突極
61、61a、b コイル
62 突極形ヨーク
63 ストッパホルダ
64a、b 軸受けホルダ
65 固定ベース
66a、b スロット
C 揺動軸
P、Q 仮想平面
Claims (3)
- 支持部材と、
前記支持部材に、回転可能に支持された回転軸と、
前記回転軸の側面の、周方向に関して一部の領域に対向するように配置され、前記支持部材に固定されたヨークであって、該回転軸の側面に対向する面から前記回転軸に向かって突出し、該回転軸の側面との間に間隙を画定し、該回転軸の回転方向に並ぶように配置された一対の磁極を含むヨークと、
前記回転軸に固定された反射鏡と、
前記回転軸が回転方向に関して中立位置に静止しているとき、前記ヨーク側を向く側面に固定され、回転方向に並ぶように配置され、該回転軸の径方向に磁化された複数の永久磁石と、
前記磁極に巻かれたコイルと
を有し、
前記一対の磁極は、前記回転軸の回転中心となる仮想直線を含む中立平面に関して対称の関係になるように配置されており、
前記複数の永久磁石、及びその極性の向きは、前記回転軸が中立位置に静止しているときに、前記中立平面に関して対称の関係になるように配置されており、
前記コイルは、前記中立平面に関して対称の位置に配置される磁極の前記回転軸側の端部が反対極性に励磁されるように巻かれているビームスキャナ。 - 前記永久磁石が4つ以上配置されており、前記回転軸が中立位置に静止しているときに、前記中立平面に関して同じ側に配置され、かつ、前記回転軸の回転方向に関して相互に隣り合う2つの永久磁石の間に、前記磁極が配置される請求項1に記載のビームスキャナ。
- 更に、前記回転軸が回転方向に関して中立位置に静止しているとき、前記中立平面に関して対称な関係となるように、前記回転軸の側面に一対の凸部が形成されており、
前記回転軸が中立位置に静止しているときに、前記磁極が、回転方向に関して、前記永久磁石と前記凸部とにまたがる位置に、または前記永久磁石と前記凸部との間に配置される請求項1に記載のビームスキャナ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006163560A JP4727509B2 (ja) | 2006-06-13 | 2006-06-13 | ビームスキャナ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006163560A JP4727509B2 (ja) | 2006-06-13 | 2006-06-13 | ビームスキャナ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007333873A true JP2007333873A (ja) | 2007-12-27 |
JP4727509B2 JP4727509B2 (ja) | 2011-07-20 |
Family
ID=38933431
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006163560A Expired - Fee Related JP4727509B2 (ja) | 2006-06-13 | 2006-06-13 | ビームスキャナ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4727509B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009244798A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Brother Ind Ltd | 光走査装置、画像表示装置及び網膜走査型画像表示装置 |
WO2013183435A1 (ja) * | 2012-06-08 | 2013-12-12 | 三菱電機株式会社 | ガルバノスキャナおよびレーザ加工機 |
WO2020004514A1 (ja) * | 2018-06-26 | 2020-01-02 | ミツミ電機株式会社 | 回転往復駆動アクチュエータ |
EP3836372A1 (en) | 2019-12-13 | 2021-06-16 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Rotary reciprocating drive actuator |
EP4047798A1 (en) * | 2021-02-19 | 2022-08-24 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Rotary reciprocating drive actuator |
JP7241994B1 (ja) * | 2022-07-15 | 2023-03-17 | 三菱電機株式会社 | ガルバノスキャナおよびレーザ加工機 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022030904A (ja) | 2020-08-07 | 2022-02-18 | ミツミ電機株式会社 | 回転往復駆動アクチュエーター |
JP2023006571A (ja) | 2021-06-30 | 2023-01-18 | ミツミ電機株式会社 | 回転往復駆動アクチュエーター |
JP2023043027A (ja) | 2021-09-15 | 2023-03-28 | ミツミ電機株式会社 | 回転往復駆動アクチュエーター |
JP2024011914A (ja) | 2022-07-15 | 2024-01-25 | ミツミ電機株式会社 | 回転往復駆動アクチュエーター |
US20240019685A1 (en) | 2022-07-15 | 2024-01-18 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Rotary reciprocating drive actuator |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01110045A (ja) * | 1987-10-22 | 1989-04-26 | Aisin Seiki Co Ltd | 多位置制御用ロータリーアクチュエータ |
JPH01188822A (ja) * | 1988-01-25 | 1989-07-28 | Tokyo Electric Co Ltd | 光走査装置 |
JPH0255557A (ja) * | 1988-08-17 | 1990-02-23 | Fujitsu Ltd | ヘッドアクセス用揺動モータ |
JPH04140055A (ja) * | 1990-09-29 | 1992-05-14 | Aisin Seiki Co Ltd | ロータリ・アクチュエータ |
JP2000081588A (ja) * | 1998-09-04 | 2000-03-21 | Canon Inc | ガルバノミラーアクチュエータ |
JP2001037192A (ja) * | 1999-05-17 | 2001-02-09 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | アクチュエータ |
JP2004020956A (ja) * | 2002-06-17 | 2004-01-22 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ビームスキャナ |
-
2006
- 2006-06-13 JP JP2006163560A patent/JP4727509B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01110045A (ja) * | 1987-10-22 | 1989-04-26 | Aisin Seiki Co Ltd | 多位置制御用ロータリーアクチュエータ |
JPH01188822A (ja) * | 1988-01-25 | 1989-07-28 | Tokyo Electric Co Ltd | 光走査装置 |
JPH0255557A (ja) * | 1988-08-17 | 1990-02-23 | Fujitsu Ltd | ヘッドアクセス用揺動モータ |
JPH04140055A (ja) * | 1990-09-29 | 1992-05-14 | Aisin Seiki Co Ltd | ロータリ・アクチュエータ |
JP2000081588A (ja) * | 1998-09-04 | 2000-03-21 | Canon Inc | ガルバノミラーアクチュエータ |
JP2001037192A (ja) * | 1999-05-17 | 2001-02-09 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | アクチュエータ |
JP2004020956A (ja) * | 2002-06-17 | 2004-01-22 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ビームスキャナ |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009244798A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Brother Ind Ltd | 光走査装置、画像表示装置及び網膜走査型画像表示装置 |
WO2013183435A1 (ja) * | 2012-06-08 | 2013-12-12 | 三菱電機株式会社 | ガルバノスキャナおよびレーザ加工機 |
JPWO2013183435A1 (ja) * | 2012-06-08 | 2016-01-28 | 三菱電機株式会社 | ガルバノスキャナおよびレーザ加工機 |
JP7108211B2 (ja) | 2018-06-26 | 2022-07-28 | ミツミ電機株式会社 | 回転往復駆動アクチュエータ |
JPWO2020004514A1 (ja) * | 2018-06-26 | 2021-06-10 | ミツミ電機株式会社 | 回転往復駆動アクチュエータ |
WO2020004514A1 (ja) * | 2018-06-26 | 2020-01-02 | ミツミ電機株式会社 | 回転往復駆動アクチュエータ |
US11909291B2 (en) | 2018-06-26 | 2024-02-20 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Rotary reciprocating drive actuator with movable element and magnets and rotating mirror |
EP3836372A1 (en) | 2019-12-13 | 2021-06-16 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Rotary reciprocating drive actuator |
JP2022180434A (ja) * | 2019-12-13 | 2022-12-06 | ミツミ電機株式会社 | 回転往復駆動アクチュエーター及びスキャナーシステム |
US11664713B2 (en) | 2019-12-13 | 2023-05-30 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Rotary reciprocating drive actuator having magnets and coils, capable of attaching a movable object |
US20230283156A1 (en) * | 2019-12-13 | 2023-09-07 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Rotary reciprocating drive actuator |
JP7477786B2 (ja) | 2019-12-13 | 2024-05-02 | ミツミ電機株式会社 | 回転往復駆動アクチュエーター及びスキャナーシステム |
EP4047798A1 (en) * | 2021-02-19 | 2022-08-24 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Rotary reciprocating drive actuator |
JP7241994B1 (ja) * | 2022-07-15 | 2023-03-17 | 三菱電機株式会社 | ガルバノスキャナおよびレーザ加工機 |
WO2024013985A1 (ja) * | 2022-07-15 | 2024-01-18 | 三菱電機株式会社 | ガルバノスキャナおよびレーザ加工機 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4727509B2 (ja) | 2011-07-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4727509B2 (ja) | ビームスキャナ | |
JP7108211B2 (ja) | 回転往復駆動アクチュエータ | |
JP7477786B2 (ja) | 回転往復駆動アクチュエーター及びスキャナーシステム | |
JP5744330B2 (ja) | ガルバノスキャナおよびレーザ加工機 | |
JP4531022B2 (ja) | ビームスキャナ | |
JP2010048897A (ja) | 光走査装置および画像形成装置 | |
JP2004020956A (ja) | ビームスキャナ | |
JP2007256474A (ja) | ビームスキャナ | |
JP4680133B2 (ja) | ビームスキャナ | |
JP2003344797A (ja) | 光走査装置 | |
JP3800124B2 (ja) | ガルバノスキャナ | |
JP2003043405A (ja) | スキャナ装置 | |
JP5388948B2 (ja) | ガルバノスキャナ、及びレーザ加工装置 | |
JPH11352434A (ja) | ビーム走査装置 | |
JP2000206444A (ja) | ビ―ム走査装置 | |
JP2005084571A (ja) | 光スキャナ装置 | |
WO2023084586A1 (ja) | 揺動モータ | |
JP4723329B2 (ja) | ステップモーター | |
JP2023006571A (ja) | 回転往復駆動アクチュエーター | |
JP2010032827A (ja) | 振動ミラーおよび画像記録装置 | |
JP2004064913A (ja) | ガルバノモータ | |
JPH0696251A (ja) | バーコードリーダ | |
JPH1187805A (ja) | レーザーマーカー | |
JP2008190883A (ja) | 計測装置 | |
JPH02306214A (ja) | 揺動機構 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080715 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101130 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110201 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110324 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110412 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110413 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140422 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |