JP4680133B2 - ビームスキャナ - Google Patents
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Description
8 ステージ
10 加工対象物
12 レーザ発振器
14 レーザビーム
20 第1ガルバノスキャナ
20a 回転ミラー
24 第2ガルバノスキャナ
24a 回転ミラー
30 回転軸
31 第1軸受
32 第2軸受
33 回転ミラー
34 コイル
35 永久磁石
36 ヨーク
37 角度センサ
42 角度センサ
42a スケール
42b エンコーダヘッド
51 ミラー
52 シャフト
53、53a、53b 永久磁石
54a、54b 軸受け
55 ストッパ
61、61a〜d コイル
62 突極形ヨーク
63 ストッパホルダ
64a、64b 軸受けホルダ
65 固定ベース
66a〜d スロット
C 揺動軸
P 仮想平面
Claims (3)
- 固定ベース、及び前記固定ベースに固着された軸受けホルダと、
前記軸受けホルダに、回転可能に支持された回転軸と、
前記回転軸の側面の、周方向に関して一部の領域に対向するように配置され、前記固定ベースに固定されたヨークであって、該回転軸の側面に対向する面から前記回転軸に向かって突出し、該回転軸の側面との間に間隙を画定し、該回転軸の回転方向に並ぶように配置された複数の磁極を含むヨークと、
前記回転軸の、長さ方向に沿って形成された面上に固定された反射鏡と、
前記回転軸が回転方向に関して中立位置に静止しているとき、前記回転軸の前記ヨーク側を向く側面に固定され、回転方向に並ぶように配置され、該回転軸の径方向に磁化された一対の永久磁石であって、前記反射鏡が固定された側とは、径方向に反対側の前記回転軸の側面に固定された永久磁石と、
前記磁極に巻かれたコイルと
を有し、
前記磁極は、前記回転軸の回転中心となる仮想直線を含む中立平面に関して対称の関係になるように配置されており、
前記一対の永久磁石は、前記回転軸が中立位置に静止しているときに、前記中立平面に関して相互に対称の関係になる幾何学的形状を有し、前記回転軸の径方向の極性の向きが相互に反対向きであり、
前記コイルは、前記中立平面に関して対称の位置に配置される磁極の前記回転軸側の端部が同一極性に励磁されるように、かつ、前記中立平面に関して同じ側においては、隣り合う磁極の前記回転軸側の端部が反対極性に励磁されるように、巻かれているビームスキャナ。 - 前記回転軸が中立位置に静止しているときに、前記永久磁石が、回転方向に関して、相互に隣り合う2つの前記磁極の間に配置される請求項1に記載のビームスキャナ。
- 前記磁極のうち1つの磁極が、前記中立平面上に配置されており、該中立平面に関して対称な幾何学的形状を有する請求項1または2に記載のビームスキャナ。
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JP2006163559A JP4680133B2 (ja) | 2006-06-13 | 2006-06-13 | ビームスキャナ |
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JP2007333872A JP2007333872A (ja) | 2007-12-27 |
JP4680133B2 true JP4680133B2 (ja) | 2011-05-11 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111195778A (zh) * | 2020-03-16 | 2020-05-26 | 沈阳飞机工业(集团)有限公司 | 用激光打标机补刻大样板漏线的方法 |
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JPH04140055A (ja) * | 1990-09-29 | 1992-05-14 | Aisin Seiki Co Ltd | ロータリ・アクチュエータ |
JP2000081588A (ja) * | 1998-09-04 | 2000-03-21 | Canon Inc | ガルバノミラーアクチュエータ |
JP2001037192A (ja) * | 1999-05-17 | 2001-02-09 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | アクチュエータ |
JP2004020956A (ja) * | 2002-06-17 | 2004-01-22 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ビームスキャナ |
-
2006
- 2006-06-13 JP JP2006163559A patent/JP4680133B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007333872A (ja) | 2007-12-27 |
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