JP2007322610A - 表示装置の製造方法および表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板の上に続けて成膜された第1の導電膜および第2の導電膜をエッチングして、第1の導電膜のみが残る第1の領域と、第1の導電膜および第2の導電膜が残る第2の領域と、第1の導電膜および第2の導電膜が存在しない第3の領域とを形成する表示装置の製造方法であって、第1の領域および第2の領域に第1のレジストを形成する工程と、第1のレジストをマスクにして第3の領域の導電膜を除去する工程と、第1の領域にある第1のレジストを除去した後、残った第1のレジストを加熱融解させて第2の領域と、第2の領域と第3の領域の境界部分に露出した導電膜の側面を覆う第2のレジストを形成する工程と、第2のレジストをマスクにして第1の領域にある第2の導電膜を除去する工程とを有する表示装置の製造方法。
【選択図】 図6
Description
なお、実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは、同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
図1は、液晶表示パネルを観察者側からみた模式平面図である。図2は、図1のA−A'線における模式断面図である。図3は、液晶表示パネルのTFT基板における表示領域の1画素の構成例を示す模式平面図である。図4は、図3のB−B'線における模式断面図である。図5は、図3のC−C'線における模式断面図である。
SUB…ガラス基板
GL…走査信号線
CL…共通信号線
CP…共通接続パッド
CT…対向電極
PAS1…第1の絶縁層
DL…映像信号線
SC…TFT素子のチャネル層(半導電層)
SD1…ドレイン電極
SD2…ソース電極
PAS2…第2の絶縁層
PX…画素電極
SL…スリット
BR…ブリッジ配線
ORI…配向膜
TH1,TH2,TH3…スルーホール
2…対向基板
3…液晶材料
4…シール材
5…導電層(ITO膜)
6…金属膜
7…エッチングレジスト
7A…第1のエッチングレジスト
7B…第2のエッチングレジスト
Claims (6)
- 基板の表面の上に第1の導電膜および第2の導電膜を続けて成膜する第1の工程と、
前記第1の導電膜および前記第2の導電膜をエッチングして、前記基板の表面に、前記第1の導電膜のみが積層された第1の領域と、前記第1の導電膜および前記第2の導電膜が積層された第2の領域と、前記第1の導電膜および前記第2の導電膜が存在しない第3の領域とを形成する第2の工程とを有する表示装置の製造方法であって、
第2の工程は、前記第2の導電膜の上の、前記第1の領域および第2の領域に、それぞれの領域で厚さが異なり、かつ、前記第2の領域の方が厚い第1のエッチングレジストを形成する工程と、
前記第1のエッチングレジストをマスクにして、前記第3の領域にある前記第2の導電膜および前記第1の導電膜を除去する工程と、
前記第1のエッチングレジストのうちの、前記第1の領域にあるレジストのみを除去する工程と、
前記第1の領域にあるレジストを除去した後、前記第2の導電膜の上に残った前記第1のエッチングレジストを加熱融解させて、前記第2の導電膜の上の前記第2の領域と、前記第2の領域と前記第3の領域の境界部分に露出した第2の導電膜および第1の導電膜を覆う第2のエッチングレジストを形成する工程と、
前記第2のエッチングレジストをマスクにして、前記第1の領域にある前記第2の導電膜を除去する工程と、
前記第2のエッチングレジストを除去する工程とを有することを特徴とする表示装置の製造方法。 - 前記第1のエッチングレジストのうちの、前記第1の領域にあるレジストのみを除去する工程は、アッシングで行うことを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。
- 前記第1の導電膜は透明な導電膜であり、前記第2の導電膜は1層または複数層の金属膜であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の表示装置の製造方法。
- 前記第1の導電膜はITO膜であり、前記第2の導電膜はアルミニウムまたはアルミニウムを含む複数層の金属膜であり、
前記第1の工程および前記第2の工程は、基板の表面に、前記ITO膜からなる複数の対向電極と、前記アルミニウムまたはまたはアルミニウムを含む複数層の金属膜からなる複数本の走査信号線および複数の対向電極を電気的に接続する導電層を形成する工程であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の表示装置の製造方法。 - 基板の表面の上に複数本の走査信号線と、絶縁層を介して前記複数本の映像信号線と立体的に交差する複数本の映像信号線と、2本の隣接する走査信号線と2本の隣接する映像信号線で囲まれた画素領域に対して配置されるTFT素子および画素電極と、前記画素電極と前記基板の表面の間に配置され、かつ、前記基板を平面でみたときに前記画素電極と重なる領域および重ならない領域がある対向電極を有する表示パネルを備える表示装置であって、
前記走査信号線と前記基板の表面の間には、前記走査信号線と接しており、かつ、前記対向電極と同じ導電材料からなる導電層を有し、
前記導電層は、前記走査信号線と接する面の外周が、前記走査信号線の外周よりも内側にあることを特徴とする表示装置。 - 前記表示パネルは、一対の基板の間に液晶材料を封入した液晶表示パネルであることを特徴とする請求項5に記載の表示装置。
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