JP2007317756A - 半導体製造装置用ウエハ保持体とその製造方法及び半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置用ウエハ保持体とその製造方法及び半導体製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007317756A JP2007317756A JP2006143507A JP2006143507A JP2007317756A JP 2007317756 A JP2007317756 A JP 2007317756A JP 2006143507 A JP2006143507 A JP 2006143507A JP 2006143507 A JP2006143507 A JP 2006143507A JP 2007317756 A JP2007317756 A JP 2007317756A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafer holder
- semiconductor manufacturing
- manufacturing apparatus
- mounting table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】 ウエハを載置するためのウエハ載置面を有するウエハ保持体であって、ウエハ載置面側に設置されるセラミックス製のウエハ載置台と、そのウエハ載置台のウエハ載置面と反対側の面に設置された金属製の冷却モジュールとを具備している。冷却モジュールには、ウエハ保持体を冷却するための冷媒を流す流路が形成されている。また、セラミックス製ウエハ載置台には、高周波発生用電極が埋設されている。
【選択図】 なし
Description
Claims (13)
- ウエハを載置するためのウエハ載置面を有するウエハ保持体であって、ウエハ載置面側に設置されるセラミックス製のウエハ載置台と、該ウエハ載置台のウエハ載置面と反対側の面に設置される金属製の冷却モジュールとを具備し、該冷却モジュールにはウエハ保持体を冷却するための冷媒を流す流路が形成されていることを特徴とする半導体製造装置用ウエハ保持体。
- 前記セラミックス製ウエハ載置台には高周波発生用電極が埋設されていることを特徴とする、請求項1に記載の半導体製造装置用ウエハ保持体。
- 前記セラミックス製ウエハ載置台の熱伝導率が100W/mK以上であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の半導体製造装置用ウエハ保持体。
- 前記セラミックス製ウエハ載置台が窒化アルミニウムを主成分とすることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の半導体製造装置用ウエハ保持体。
- 前記冷却モジュールは、金属板に直接流路を形成したものであることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体製造装置用ウエハ保持体。
- 前記冷却モジュールは、金属板に冷媒を流す冷却管を配置したものであることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体製造装置用ウエハ保持体。
- 前記金属板の熱伝導率が100W/mK以上であることを特徴とする、請求項5又は6に記載の半導体製造装置用ウエハ保持体。
- 前記金属板の材質が銅もしくはアルミニウム、又はこれらの合金であることを特徴とする、請求項5〜7のいずれかに記載の半導体製造装置用ウエハ保持体。
- 前記冷却管の熱伝導率が100W/mK以上であることを特徴とする、請求項6に記載の半導体製造装置用ウエハ保持体。
- 前記冷却モジュールと前記セラミックス製ウエハ載置台が機械的に結合されていることを特徴とする、請求項1〜9のいずれかに記載の半導体製造装置用ウエハ保持体。
- 前記ウエハ保持体を支持するための筒状支持体を有し、該筒状支持体内に、冷媒を供給するための冷却配管、高周波発生用電極に接続された電極部品、及びウエハ保持体の温度を測定するための測温素子の少なくとも1種が収納されていることを特徴とする、請求項1〜10のいずれかに記載の半導体製造装置用ウエハ保持体。
- 前記筒状支持体内における雰囲気の露点が0℃以下であることを特徴とする、請求項11に記載の半導体製造装置用ウエハ保持体。
- 請求項1〜12のいずれかに記載の半導体製造装置用ウエハ保持体が搭載されたことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006143507A JP2007317756A (ja) | 2006-05-24 | 2006-05-24 | 半導体製造装置用ウエハ保持体とその製造方法及び半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006143507A JP2007317756A (ja) | 2006-05-24 | 2006-05-24 | 半導体製造装置用ウエハ保持体とその製造方法及び半導体製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007317756A true JP2007317756A (ja) | 2007-12-06 |
Family
ID=38851382
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006143507A Pending JP2007317756A (ja) | 2006-05-24 | 2006-05-24 | 半導体製造装置用ウエハ保持体とその製造方法及び半導体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007317756A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0521585A (ja) * | 1991-07-15 | 1993-01-29 | Ulvac Japan Ltd | 静電吸着装置 |
JPH0786379A (ja) * | 1993-09-13 | 1995-03-31 | Kyocera Corp | 半導体製造用サセプタ |
JPH1126192A (ja) * | 1998-05-18 | 1999-01-29 | Ngk Insulators Ltd | プラズマ発生電極装置およびプラズマ発生装置 |
JP2005150506A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体製造装置 |
JP2005302855A (ja) * | 2004-04-08 | 2005-10-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体加熱装置 |
-
2006
- 2006-05-24 JP JP2006143507A patent/JP2007317756A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0521585A (ja) * | 1991-07-15 | 1993-01-29 | Ulvac Japan Ltd | 静電吸着装置 |
JPH0786379A (ja) * | 1993-09-13 | 1995-03-31 | Kyocera Corp | 半導体製造用サセプタ |
JPH1126192A (ja) * | 1998-05-18 | 1999-01-29 | Ngk Insulators Ltd | プラズマ発生電極装置およびプラズマ発生装置 |
JP2005150506A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体製造装置 |
JP2005302855A (ja) * | 2004-04-08 | 2005-10-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体加熱装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI308366B (ja) | ||
TWI660453B (zh) | 用於高溫處理之靜電吸座組件 | |
JP5957812B2 (ja) | 静電チャック装置 | |
TW541639B (en) | Substrate processing apparatus | |
JP2008004926A (ja) | ウエハ保持体とその製造方法及び半導体製造装置 | |
KR20080091072A (ko) | 웨이퍼 유지체와 그 제조 방법 및 반도체 제조 장치 | |
JP4590364B2 (ja) | 処理装置 | |
JP2009094138A (ja) | ウエハ保持体および半導体製造装置 | |
JP2003258068A (ja) | 半導体/液晶製造装置 | |
JP2005317749A (ja) | 半導体製造装置用保持体及びそれを搭載した半導体製造装置 | |
JP2005150506A (ja) | 半導体製造装置 | |
JP4386606B2 (ja) | 支持装置の製造方法 | |
JP4569077B2 (ja) | 半導体あるいは液晶製造装置用保持体およびそれを搭載した半導体あるいは液晶製造装置 | |
JP2011159684A (ja) | 静電チャック装置 | |
JP2007201068A (ja) | 静電チャック | |
JP2003124299A (ja) | 電極内蔵型サセプタ及びその製造方法 | |
JP2009065033A (ja) | ウエハ保持体及びそれを搭載した半導体製造装置 | |
US6689984B2 (en) | Susceptor with built-in electrode and manufacturing method therefor | |
JP6139249B2 (ja) | 試料保持具 | |
JP2008270400A (ja) | 半導体製造装置用ウエハ保持体及びそれを搭載した半導体製造装置 | |
JP2002025912A (ja) | 半導体製造装置用サセプタとそれを用いた半導体製造装置 | |
JP2007317756A (ja) | 半導体製造装置用ウエハ保持体とその製造方法及び半導体製造装置 | |
JP2004363335A (ja) | 半導体あるいは液晶製造装置用保持体およびそれを搭載した半導体あるいは液晶製造装置 | |
CN112582330A (zh) | 半导体工艺设备及其静电卡盘组件 | |
JP3854145B2 (ja) | ウエハ支持部材 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Effective date: 20080128 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20080128 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20090612 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20090612 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100119 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20100525 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |