JP2007312516A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2007312516A5
JP2007312516A5 JP2006139465A JP2006139465A JP2007312516A5 JP 2007312516 A5 JP2007312516 A5 JP 2007312516A5 JP 2006139465 A JP2006139465 A JP 2006139465A JP 2006139465 A JP2006139465 A JP 2006139465A JP 2007312516 A5 JP2007312516 A5 JP 2007312516A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coil
region
exposure
measurement
drive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006139465A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2007312516A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2006139465A priority Critical patent/JP2007312516A/ja
Priority claimed from JP2006139465A external-priority patent/JP2007312516A/ja
Priority to US11/746,797 priority patent/US7508099B2/en
Priority to TW096117076A priority patent/TW200813643A/zh
Priority to KR1020070047380A priority patent/KR100872082B1/ko
Publication of JP2007312516A publication Critical patent/JP2007312516A/ja
Publication of JP2007312516A5 publication Critical patent/JP2007312516A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2006139465A 2006-05-18 2006-05-18 駆動装置、露光装置及びデバイス製造方法 Pending JP2007312516A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006139465A JP2007312516A (ja) 2006-05-18 2006-05-18 駆動装置、露光装置及びデバイス製造方法
US11/746,797 US7508099B2 (en) 2006-05-18 2007-05-10 Driving apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
TW096117076A TW200813643A (en) 2006-05-18 2007-05-14 Driving apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
KR1020070047380A KR100872082B1 (ko) 2006-05-18 2007-05-16 구동장치, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006139465A JP2007312516A (ja) 2006-05-18 2006-05-18 駆動装置、露光装置及びデバイス製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007312516A JP2007312516A (ja) 2007-11-29
JP2007312516A5 true JP2007312516A5 (enExample) 2009-07-02

Family

ID=38711360

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006139465A Pending JP2007312516A (ja) 2006-05-18 2006-05-18 駆動装置、露光装置及びデバイス製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7508099B2 (enExample)
JP (1) JP2007312516A (enExample)
KR (1) KR100872082B1 (enExample)
TW (1) TW200813643A (enExample)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5416104B2 (ja) * 2007-06-27 2014-02-12 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド セルフベアリングモータ用位置フィードバック
KR101496654B1 (ko) 2007-06-27 2015-02-27 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 리프트 능력 및 감소된 코깅 특성들을 가지는 전동기 고정자
US8283813B2 (en) 2007-06-27 2012-10-09 Brooks Automation, Inc. Robot drive with magnetic spindle bearings
KR101660894B1 (ko) 2007-06-27 2016-10-10 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 다차원 위치 센서
US9752615B2 (en) 2007-06-27 2017-09-05 Brooks Automation, Inc. Reduced-complexity self-bearing brushless DC motor
US8823294B2 (en) 2007-06-27 2014-09-02 Brooks Automation, Inc. Commutation of an electromagnetic propulsion and guidance system
WO2009012396A2 (en) 2007-07-17 2009-01-22 Brooks Automation, Inc. Substrate processing apparatus with motors integral to chamber walls
US8358039B2 (en) 2008-10-17 2013-01-22 Massachusetts Institute Of Technology High-scan rate positioner for scanned probe microscopy
NL2006714A (en) * 2010-06-07 2011-12-08 Asml Netherlands Bv Displacement device, lithographic apparatus and positioning method.
US8593016B2 (en) * 2010-12-03 2013-11-26 Sri International Levitated micro-manipulator system
NL2022467B1 (en) * 2019-01-28 2020-08-18 Prodrive Tech Bv Position sensor for long stroke linear permanent magnet motor

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6228146A (ja) * 1985-07-26 1987-02-06 Hiroshi Teramachi リニアモ−タ付ｘｙテ−ブル
DE19601018A1 (de) * 1995-01-27 1996-08-01 Zeiss Carl Fa Linear verstellbarer Präzisionstisch
JP3815750B2 (ja) * 1995-10-09 2006-08-30 キヤノン株式会社 ステージ装置、ならびに前記ステージ装置を用いた露光装置およびデバイス製造方法
JP3155936B2 (ja) 1997-06-26 2001-04-16 キヤノン株式会社 リニアモータとステージ装置及びこれを用いた走査型露光装置やデバイス製造方法
JPH1198811A (ja) * 1997-09-24 1999-04-09 Canon Inc リニアモータ、これを用いたステージ装置や露光装置、ならびにデバイス製造方法
JPH11287880A (ja) * 1998-04-01 1999-10-19 Canon Inc ステージ装置、およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法
JP3907357B2 (ja) * 1998-11-12 2007-04-18 キヤノン株式会社 段差付きコイル製造方法
JP2001118773A (ja) * 1999-10-18 2001-04-27 Nikon Corp ステージ装置及び露光装置
JP2001230305A (ja) * 2000-02-18 2001-08-24 Canon Inc 支持装置
JP4474020B2 (ja) * 2000-06-23 2010-06-02 キヤノン株式会社 移動装置及び露光装置
JP2003022960A (ja) * 2001-07-09 2003-01-24 Canon Inc ステージ装置及びその駆動方法
EP1300932B1 (en) * 2001-10-05 2013-12-18 Canon Kabushiki Kaisha Linear motor, stage apparatus, and exposure apparatus
JP3977086B2 (ja) * 2002-01-18 2007-09-19 キヤノン株式会社 ステージシステム
JP4323759B2 (ja) * 2002-05-27 2009-09-02 キヤノン株式会社 露光装置およびデバイス製造方法
JP3849932B2 (ja) * 2002-08-12 2006-11-22 キヤノン株式会社 移動ステージ装置
US6841956B2 (en) * 2002-09-17 2005-01-11 Nikon Corporation Actuator to correct for off center-of-gravity line of force
JP2004172557A (ja) * 2002-11-22 2004-06-17 Canon Inc ステージ装置及びその制御方法
JP4227452B2 (ja) * 2002-12-27 2009-02-18 キヤノン株式会社 位置決め装置、及びその位置決め装置を利用した露光装置
JP4194383B2 (ja) * 2003-02-13 2008-12-10 キヤノン株式会社 リニアモータ
JP2005005393A (ja) * 2003-06-10 2005-01-06 Canon Inc ステージ装置、露光装置、およびデバイス製造方法
JP2005142501A (ja) * 2003-11-10 2005-06-02 Canon Inc ステージ装置および露光装置ならびにデバイス製造方法
JP2005253179A (ja) * 2004-03-03 2005-09-15 Canon Inc 位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法
JP4418699B2 (ja) * 2004-03-24 2010-02-17 キヤノン株式会社 露光装置
JP2005327993A (ja) * 2004-05-17 2005-11-24 Canon Inc 位置決め装置、露光装置及びデバイス製造方法
JP2005353969A (ja) * 2004-06-14 2005-12-22 Canon Inc 露光装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100580560C (zh) 具有平面电机驱动支架的光刻设备
US10684558B2 (en) Motor assembly, lithographic apparatus and device manufacturing method
US9030057B2 (en) Method and apparatus to allow a plurality of stages to operate in close proximity
KR101716267B1 (ko) 리소그래피 장치 및 디바이스 제조 방법
JP2007312516A5 (enExample)
JP6580203B2 (ja) マルチステージシステムおよびリソグラフィ装置
JP2009537969A (ja) デュアルステージ交換露光における精確位置決めシステム
TWI490664B (zh) 平面馬達及包含該平面馬達的微影裝置
KR20180059864A (ko) 이동체 장치, 노광 장치, 플랫 패널 디스플레이의 제조 방법, 및 디바이스 제조 방법, 그리고 계측 방법
KR101416842B1 (ko) 리소그래피 장치 및 리소그래피 투영 방법
TWI460554B (zh) 光罩總成、微影裝置、微影處理中之用途及於微影處理之單一掃描移動中投影二或多個影像場之方法
JP2014003211A (ja) 移動体装置及び移動体駆動方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法
US20220236651A1 (en) Thermo-mechanical actuator
CN113474732A (zh) 检查设备、光刻设备、测量方法
JP2016191867A (ja) 露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法
KR20150050371A (ko) 노출 및 현상장치, 노출 및 현상방법
JP6196286B2 (ja) 基板テーブルシステム、リソグラフィ装置および基板テーブル交換方法
CN103376667B (zh) 一种用于曝光装置的掩模台
US20050162634A1 (en) Cable tray assembly for precision drive stage
WO2025201906A1 (en) Actuator and lithographic, substrate inspection or wafer metrology apparatus
WO2025011830A1 (en) Track interface and substrate processing apparatus
JP2006173500A (ja) アクチュエータ、ステージ装置、露光装置及びデバイスの製造方法
JP2010072191A (ja) 露光方法