JP2007292676A - 雰囲気分析装置及び雰囲気分析方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】QCMをセンサー2として含むセンサー装置と、該センサー装置から導出され且つ該センサー装置が設置された容器内から容器に既存の間隙を経て容器外へ取り出すのに必要な長さをもつフレキシブルフラットケーブル4と、該容器外に取り出されたフレキシブルフラットケーブル4と制御回路との間を結ぶケーブル6とを備える。
【選択図】 図1
Description
2 水晶振動子を主体とするセンサー(QCM)
3 センサーを保護するスペーサー
4 フレキシブルフラットケーブル
5 コネクタ
6 同軸ケーブル
11 発振回路基板1及びセンサー2を含むセンサー装置
12 容器本体
13 容器底部
14 ウェーハの保持機構
14A 狭幅のコ字型板
14B 広幅のコ字型板
14C 溝
Claims (4)
- QCMをセンサーとして含むセンサー装置と、
該センサー装置から導出され且つ該センサー装置が設置された容器内から容器に既存の間隙を経て容器外へ取り出すのに必要な長さをもつフレキシブルフラットケーブルと、
該容器外に取り出されたフレキシブルフラットケーブルと制御回路との間を結ぶケーブルと
を備えてなることを特徴とする雰囲気分析装置。 - QCMをセンサーとして含むセンサー装置と共に容器内に設置して汚染物質を吸着する金属薄膜付き板
を備えてなることを特徴とする請求項1記載の雰囲気分析装置。 - QCMをセンサーとして含むセンサー装置に金属薄膜付き板の保持機構を併設して成ること
を特徴とする請求項1或いは請求項2記載の雰囲気分析装置。 - 請求項1乃至請求項3の何れか1記載の雰囲気分析装置を用いて容器内に於ける汚染物質の分析を行う場合に於いて、
センサー装置の測定値に基づいて求めた汚染成分濃度の時間変化、及び、金属薄膜付き板に於ける金属薄膜に吸着された汚染物質の分析結果に基づいて求めた汚染物質の定性情報を総合して判断すること
を特徴とする雰囲気分析方法。
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2006
- 2006-04-27 JP JP2006122908A patent/JP4899089B2/ja active Active
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