JP2007290214A - 液滴吐出ヘッド、加圧液室形成部材の製造方法、液体カートリッジ、及び液滴吐出記録装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】前記加圧液室形成部材3はシリコンで形成されており、かつその表面は耐液性薄膜22で覆われており、前記加圧液室形成部材3の加圧液室形成面14には、加圧液室パターン15が配置され、前記加圧液室形成面14に対向する面16には、全面に前記加圧液室パターン15に似たダミーパターン18が前記加圧液室パターン18と対向して前記加圧液室パターン18の長手方向に対して平行に配置され、かつ前記加圧液室パターン18の短手方向に対して隣り合うダミーパターンとは千鳥に配置されている。
【選択図】図1
Description
これらの液滴吐出ヘッド中で、プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像記録装置(画像形成装置)として用いるインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する個別液室(インク流路、吐出室、加圧液室、流路とも称される)と、この液室内のインクを加圧するための駆動手段(圧力発生手段)とを備えた液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドを搭載したものである。
この中でも、現在では、記録に不要なインク液滴の回収を必要としないために、記録の必要な時にのみインク液滴を吐出する、いわゆる、インク・オン・デマンド方式が主流となっている。
かかるインク・オン・デマンド方式のインクジェットヘッドには駆動手段が必要であり、この駆動手段に関して、あるいは駆動手段においても必要である流路板(加圧液室形成部材)に関しては、それらの不都合の要因を回避するために種々の技術が開示されている(例えば、特許文献1乃至7参照)。
駆動手段に関しては、圧電素子を用いる技術(特許文献1)、インクを加熱して気泡を発生させ、その圧力でインクを吐出させる技術(特許文献2)、静電気力を利用した技術(特許文献3)などが開示されている。
また、近年、印刷スピードの要求が高まっており、そのためには記録ヘッドの長尺化は避けられない状況になっている。記録ヘッドの長尺化においては、当然、そのヘッドを構成する各部品も長尺化が必要になってくる。
その中で前述したどの駆動方式においても必要である流路板(加圧液室形成部材)は、その構造的特長から長尺化においては加工による変形、いわゆる、反りが組み立て精度の低下や接着不良の要因となっておりこれに対する各種提案がなされている。
また、特許文献5では、流路板をヘッドに組み付け時に、板ばね部品を付加して流路板に発生している反りを機械的に解消することが開示されている。さらに、特許文献6では、流路板の短手方向に接着材の逃げ溝が形成されかつこの溝の一端は流路板の縁部に達しており、もう一端は流路板の縁部に達していないことにより流路板の剛性を保つとともに反りを抑制することが開示されている。
加えて、特許文献7では、シリコンで形成された流路板において加圧液室面とノズル面の凹部の体積比が略同じであることを開示している。特許文献8では、ノズル板と流路板を接合するにおいて、その接合面のどちらかのノズル孔周囲に接着材の逃げ部となる凹部を千鳥状に配置することを開示している。
そこで、本発明の目的は、上述した実情を考慮して、長尺の流路板においても反りのない流路板を低コストで製作し、高品位な液滴吐出ヘッド、液体カートリッジ、及び液滴吐出記録装置を提供することにある。
また、請求項3に記載の発明は、前記ダミーパターンの深さは前記加圧液室の深さと同じ深さである請求項1又は2記載の液滴吐出ヘッドを特徴とする。
また、請求項4に記載の発明は、前記ダミーパターンは、シリコン面方位111面で囲まれている請求項1又は2記載の液滴吐出ヘッドを特徴とする。
また、請求項5に記載の発明は、前記加圧液室形成部材の前記耐液性薄膜は酸化膜又は窒化チタン膜である請求項1乃至4のいずれか1項記載の液滴吐出ヘッドを特徴とする。
また、請求項7に記載の発明は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドとこの液滴吐出ヘッドに液体を供給する液体タンクを一体化した液体カートリッジにおいて、前記液滴吐出ヘッドが請求項1乃至5のいずれか1項記載の液滴吐出ヘッドである液体カートリッジを特徴とする。
また、請求項8に記載の発明は、液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出記録装置において、前記液滴吐出ヘッドが請求項1乃至5のいずれか1項記載の液滴吐出ヘッドである液滴吐出記録装置を特徴とする。
本構成では圧力発生手段であるアクチュエータとして圧電素子10を示しているが、静電力を圧力発生手段としたもの、熱エネルギを圧力発生手段としたものを使用してもかまわない。
また、ノズル板1は、電鋳工法によって製造したNiの金属プレートやシリコンやその他金属材料を用いることもできる。なお、ノズル板1には撥水性の表面処理膜を成膜している。
ノズル2が連通しかつ液体を加圧するための加圧液室4が形成された加圧液室形成部材である流路板3はシリコンで形成されており、この流路板3には各ノズル2の孔の連通する連通管5、加圧液室4、流体抵抗部、インク供給孔が形成されている。本発明では、この流路板3について反りのない構造を後述で明らかにする。
アクチュエータは、セラミックス基板、例えば、チタン酸バリウム、アルミナ、フォルステライトなどの絶縁性の基板10上に、電気機械変換素子である複数の積層型圧電素子11を列状に2列配列して接合し、これら2列の各圧電素子11をダイシングにより切断を行っている。
なお、各列の複数の圧電素子11はチャンネル方向で駆動波形を印加する駆動部圧電素子12と駆動波形を印加しない非駆動部圧電素子13を交互に構成している。ここで、圧電素子11は厚さ10−50μn/層のチタン酸ジルコン酸(PZT)と厚さ数μm/層の銀パラジューム(AgPd)からなる内部電極とを交互に積層したものである。
そしてこの圧電素子11の内部電極を交互に端面に取り出して端面電極とする。一方、アクチュエータ基板10上に共通電極パターン及び個別電極パターンを駆動部となる圧電素子12の端面電極に導電性接着剤等を介して電気的に接続する。
他方で、共通電極パターン及び共通電極パターンに接続したFPCケーブルを介してPCB基板と接続して駆動部12に駆動波形を印加することによって積層方向の伸びの変位を発生させる。
図2乃至図6を参照して、まず、Si流路板3の加圧液室面14側には加圧液室パターン15が形成されている。また、Si流路板3のノズル面16側には加圧液室パターン15に連通する連通管パターン17及び加圧液室面14とノズル面16の表面積差を解消するためのダミーパターン18が形成されている。
この時、本発明によりダミーパターン18は、図4の断面A−Aである図5に示すように、加圧液室パターン15と対向に配置し、かつダミーパターン18は加圧液室長さLx(図2)に対して一定の割合で分割されかつ隣り合うダミーパターン18とは千鳥(後述)に配置されている。
本発明による千鳥配置した図8の流路板3のダミーパターン18での流路板3の反り量と比較のために示した従来技術の並列配置した図9の流路板3のダミーパターン18での流路板3の反り量を測定した。その結果、実験によれば、図10に示すように、千鳥配置、すなわち、隣り合う列のダミーパターンを互い違いに配置を行った流路板3の方が反り量において小さいことが明らかになった。
さらには、ダミーパターン18の長手方向の長さを、加圧液室パターン15の1/12程度以上の長さに分割した場合には、剛性は高まるけれども、この場合には、逆に内部応力の増加が大きくなるため加圧液室パターン15を分割しない場合より反り量が増加する。従って、千鳥配置のダミーパターン18の長さは加圧液室パターン15の1/12程度までが有効である。
このように、流路板3のノズル面16の骨組み構造がより有効となり、流路板3の剛性が向上し、加圧液室4と同程度の大きさのダミーパターン18を形成した場合よりさらに流路板3の反り量を小さくすることができる。これにより液滴ヘッドの組み立て精度の向上を図ることができ、高信頼性を有する液滴吐出ヘッドを得ることができる。
図12において、まず、図12の(a)に示すように、厚さ400μmの(110)シリコン基板21を用意し、このシリコン基板21の上下面に、それぞれ、厚さ1.0μmのシリコン熱酸化膜22及び0.2μmのLP−CVD窒化膜23及び0.35μmのポリシリコン膜24を形成した。
窒化膜23はLP−CVD膜が最も品質(異方性エッチングマスク耐性)が高く、所望寸法の制御に有利であるが、その他の熱CVD膜、スパッタ膜、プラズマCVD膜を用いることもできる。また、シリコン熱酸化膜22についても同様に熱CVD膜、スパッタ膜、プラズマCVD膜を使用することができる。
次に、図12の(b)に示すように、ノズル面16の連通管パターン25及びダミーパターン26のレジストパターニングを行い、その後、ポリシリコン膜24及び窒化膜23をドライエッチングにてエッチングを行い、図12の(c)に示すノズル面16のポリシリコン膜及び窒化膜パターン27を形成した。
このため、クランプ30bとレジスト21aの間には僅かな隙間30aができる。次に、図12の(e)に示すように、シリコン酸化膜22をドライエッチングし酸化膜パターン30を形成した。
この時、前記隙間30aも酸化膜ドライエッチングのプラズマに曝されるけれども、隙間30a表面は、酸化膜とのエッチング選択比の高いポリシリコン膜22が形成されているため、この部分にはエッチングは進行しない。つまり、ウェハ周辺部においてはシリコンの露出はない。
次に、図12の(h)に示すように連通管形成パターン33のレジストパターニングを行った。この時、前記の次工程において使用される一般的なクランプ式酸化膜ドライエッチ装置のクランプ35bが直接レジスト21aに接触しないようにウェハ周辺34は周辺露光、サイドリンス、バックリンス等によりレジストが除去されている。
このため、クランプ35bとレジスト21aの間には僅かな隙間35aができる。次に、図12の(i)に示すように、シリコン酸化膜22をドライエッチングし酸化膜パターン35を形成した。
この時、前記隙間35aも酸化膜ドライエッチングのプラズマに曝されるけれども、隙間35aの表面は酸化膜とのエッチング選択比の高いポリシリコン膜24が形成されているため、この部分にはエッチングは進行しない。つまり、ウェハ34周辺部においてはシリコンの露出はない。
次に、図12の(k)に示すように、ICPドライエッチャーを使用してSi基板21を約350μm程度の深掘りエッチングを行い、連通管部37を形成し、その後レジスト36を除去した。
次に、図12の(l)に示すように、水酸化カリウム水溶液によりシリコンの異方性エッチングを行い、連通管部37を貫通、完成させた。この時、ウェハ34周辺部においては、他のマスク部分と同様に窒化膜、酸化膜に守られ、エッチングの進行はない。
さらに、連通管部37の貫通形成を前記ICPエッチングと当該ウェットエッチとの組み合わせで行うことにより、ICPエッチング単独での貫通形成での不具合、例えば、貫通部からウェハ電極部へのプラズマダメージ、ウェハ裏面冷却用He(ヘリウム)の漏洩、ウェハ吸着が難しくなることによる搬送不良等を回避することができる。また、必要エッチング量が少なくなることにより、高価なICPエッチャーの負荷を軽減することができ、コストダウンが図れる。
この時、ノズル面16のダミーパターン40も同時にかつ加圧液室深さと同じ深さに形成されるため、ダミーパターン40のみを形成する工程は必要なく低コスト化を実現できる。
最後に、図12の(o)に示すように、窒化膜23及びシリコン酸化膜22の除去を行う。これによりSi流路板の外形形成が完了する。その後、図12の(p)に示すように、耐インク接液膜としてシリコン酸化膜41を1μmの厚さで形成する。また当該接液膜としては窒化チタン膜も有効である。
また、上記製造方法では、ダミーパターンと加圧液室は同時に形成することができるため工程コストを下げることができる。これにより、安価な液滴吐出ヘッドを製造することができる。
さらに、耐液性薄膜が酸化膜または窒化チタン膜である構成とした液滴吐出ヘッドにおいて、アルカリ系のインクを使用する場合にシリコンがインクに溶出しまうことを防止できることにより耐液性が向上し、高信頼性を有する液滴吐出ヘッドを安価に製造することができる。
窒化膜53はLP−CVD膜が最も品質(異方性エッチングマスク耐性)が高く、所望寸法の制御に有利であるが、その他の熱CVD膜、スパッタ膜、プラズマCVD膜を用いることもできる。また、シリコン熱酸化膜52についても同様に熱CVD膜、スパッタ膜、プラズマCVD膜を使用することができる。
次に、図13の(b)に示すように、ノズル面連通管部パターン55及びダミー液室パターン56のレジストパターニングを行い、その後ポリシリコン膜54及び窒化膜53をドライエッチングにてパターニングを行い、図13の(c)に示すポリシリコン膜54及び窒化膜23パターンのノズル面パターン57を形成した。
次に、図13の(e)に示すように、ウェハを反転し、加圧液室面パターン59のレジストパターニングを行い、その後、図13の(f)に示すように、ポリシリコン膜54及び窒化膜53をドライエッチングにてエッチングし、ポリシリコン膜54及び窒化膜53の液室面パターン60を形成した。
次に、図13の(g)に示すように、連通管形成パターン61のレジストパターニングを行った。この時、次工程において使用される一般的なクランプ式酸化膜ドライエッチ装置のクランプ63bが直接レジストに接触しないようにウェハ62周辺は周辺露光、サイドリンス、バックリンス等によりレジストが除去されている。
次に、図13の(i)に示すように、前記(h)でパターニングを行ったレジストをいったん除去し、再度連通管形状にレジストパターン64を形成した。この時のレジスト膜厚は8μmにて行った。
次に、図13の(k)に示すように、水酸化カリウム水溶液によりシリコンの異方性エッチングを行い、連通管66を貫通させた。この時、ノズル面16のダミー液室67もエッチングが進行するが、当該部位はエッチングが進行して形成される111テーパ面が交差するサイズに分割されており、111面が交差した時点でエッチングがストップする。
この時、ウェハ62周辺部においては他のマスク部分と同様に窒化膜、酸化膜に守られエッチングの進行はない。また、この時の水酸化カリウム水溶液でのウェットエッチングにより酸化膜ドライエッチング時のウェハ62周辺部保護のためのポリシリコン膜54も同時に除去されるため、このポリシリコン膜54の除去のための工程を追加する必要はない。
最後に、図13の(n)に示すように、熱リン酸で窒化膜53を除去し、次に稀フッ酸で熱シリコン酸化膜52の除去を行う。これによりSi流路板の外形形成が完了する。その後、図13の(o)に示すように、耐インク接液膜としてシリコン酸化膜70を1μmの厚さで形成する。また、当該接液膜としては窒化チタン膜も有効である。
また、流路板3のダミーパターンのエッチング深さはシリコン面方位111交差面が完成された時点で決定され、その時間以上にエッチング時間を追加してもダミーパターンの深さに変化はない。これによりプロセス自由度が広がり、量産性に優れたプロセスフローを持つ液滴吐出ヘッドを製造することができる。
このように液体タンク一体型の液滴吐出ヘッドの場合、この液滴吐出ヘッドの性能は直ちに液体カートリッジ全体の性能に繋がるので、前述した高密度、長尺の液滴吐出ヘッドを使用することにより、高画質、高速の液体カートリッジ71を達成することができる。
このインクジェット記録装置(画像形成装置)81は、その本体内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ93、このキャリッジ93に搭載されかつ本発明を実施したインクジェットヘッドからなる記録ヘッド94、この記録ヘッド94へインクを供給するインクカートリッジ95等で構成される印字機構部82等を収納している。
インクジェット記録装置81本体の下方部には前方側から多数枚の用紙83を積載可能な給紙カセット(或いは給紙トレイでもよい)84を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙83を手差しで給紙するための手差しトレイ85を開倒することができる。
印字機構部82は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド91と従ガイドロッド92とでキャリッジ93を主走査方向に摺動自在に保持している。
このキャリッジ93には、イエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(Bk)の各色のインク滴を吐出する本発明に係るインクジェットヘッドからなる記録ヘッド94を、複数のインク吐出口(ノズル)を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。また、キャリッジ93には、記録ヘッド94に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ95を交換可能に装着している。
インクジェット記録ヘッド94へ供給されるインクは多孔質体の毛管力によって僅かな負圧に維持されている。また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド94を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する1個のヘッドでもよい。
ここで、キャリッジ93は後方側(用紙搬送方向下流側)を主ガイドロッド91に摺動自在に嵌装し、前方側(用紙搬送方向上流側)を従ガイドロッド92に摺動自在に載置している。
そして、このキャリッジ93を主走査方向に移動走査するために、主走査モータ97で回転駆動される駆動プーリ98と従動プーリ99との間にタイミングベルト100を張装し、このタイミングベルト100をキャリッジ93に固定しており、主走査モータ97の正及び逆回転によりキャリッジ93が往復駆動される。
そして、キャリッジ93の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ104から送り出された用紙83を記録ヘッド94の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材109を設けている。この印写受け部材109の用紙搬送方向下流側には、用紙83を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ111、拍車112を設け、さらに用紙83を排紙トレイ86に送り出す排紙ローラ113及び拍車114と、排紙経路を形成するガイド部材115、116とを配設している。
また、キャリッジ93の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、記録ヘッド94の吐出不良を回復するための回復装置117を配置している。この回復装置117は図示してないがキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。
キャリッジ93は、印字待機中には、回復装置117側に移動されてキャッピング手段で記録ヘッド94をキャッピングする位置に置かれ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
また、吸引されたインクは、インクジェット記録装置81の本体下部に設置された廃インク溜(図示せず)に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
このように、このインクジェット記録装置81においては本発明を実施したインクジェット記録ヘッドを搭載しているので、生産性に優れるとともに、高画質、高速での記録を行うことができる。また高速であるので、インクジェット記録装置81全体の消費電力も低減できる。
2 ノズル
3 加圧液室形成部材(流路板)
4 加圧液室
6 振動板
10 アクチュエータ(基板)
11 アクチュエータ(圧電素子)
14 加圧液室形成面(加圧液室面)
15 加圧液室パターン
16 加圧液室形成面に対向する面(ノズル面)
17 連通管パターン
18 加圧液室パターンに似たパターン(ダミーパターン)
21 シリコン基板
22 シリコン熱酸化膜(耐液性薄膜)
23 窒化膜
24 ポリシリコン膜
25 連通管パターン
26 ダミーパターン
37 連通管部
39 加圧液室部
40 ダミーパターン
51 シリコン基板
52 シリコン熱酸化膜
53 窒化膜
54 ポリシリコン膜
67 ダミー液室
71 インクカートリッジ
81 インクジェット記録装置
94 液滴吐出ヘッド
Claims (8)
- 複数のノズルを形成したノズル形成部材と、前記ノズルが連通しかつ液体を加圧するための加圧液室が形成された加圧液室形成部材と、前記加圧液室内の液体にアクチュエータからの圧力を伝達する振動板とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記加圧液室形成部材はシリコンで形成されており、かつその表面は耐液性薄膜で覆われており、前記加圧液室形成部材の加圧液室形成面には、加圧液室パターンが配置され、前記加圧液室形成面に対向する面には、全面に前記加圧液室パターンに似たダミーパターンが前記加圧液室パターンと対向して前記加圧液室パターンの長手方向に対して平行に配置され、かつ前記加圧液室パターンの短手方向に対して隣り合うダミーパターンとは千鳥に配置されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 前記加圧液室パターンの長手方向に対して平行に配置される前記ダミーパターンの長手方向の長さは、前記加圧液室パターン長さの1/12以上であることを特徴とする請求項1記載の液滴吐出ヘッド。
- 前記ダミーパターンの深さは前記加圧液室の深さと同じ深さであることを特徴とする請求項1又は2記載の液滴吐出ヘッド。
- 前記ダミーパターンは、シリコン面方位111面で囲まれていることを特徴とする請求項1又は2記載の液滴吐出ヘッド。
- 前記加圧液室形成部材の前記耐液性薄膜は酸化膜又は窒化チタン膜であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の液滴吐出ヘッド。
- 請求項1乃至4のいずれか1項記載の液滴吐出ヘッドにおける加圧液室形成部材を製造する加圧液室形成部材の製造方法において、前記加圧液室形成部材を、シリコン深掘りドライエッチングと異方性ウェットエッチングとを併用して形成することを特徴とする加圧液室形成部材の製造方法。
- 液滴を吐出する液滴吐出ヘッドとこの液滴吐出ヘッドに液体を供給する液体タンクを一体化した液体カートリッジにおいて、前記液滴吐出ヘッドが請求項1乃至5のいずれか1項記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする液体カートリッジ。
- 液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出記録装置において、前記液滴吐出ヘッドが請求項1乃至5のいずれか1項記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする液滴吐出記録装置。
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