JP2007290114A - 研磨パッド、研磨方法及び研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一方の面を研磨面12a、他方の面を支持面12bとした板状のパッド本体12と、パッド本体12を研磨面12aから支持面12bまで貫通し、その開口部が上記研磨液の流動方向に沿って形成されている貫通孔20を複数備えている。
【選択図】 図1
Description
Claims (9)
- 被研磨物を回転研磨する研磨パッドにおいて、
一方の面を研磨面、他方の面を支持面とした板状のパッド本体と、
このパッド本体を上記研磨面から上記支持面まで貫通し、その開口部が上記研磨パッドの径方向に対して所定の角度で形成されている孔部を複数備えていることを特徴とする研磨パッド。 - 上記開口部は楕円形状を有していることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 上記開口部は径方向に対して所定の方向に漸次広くなる部分を有していることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 上記開口部は、その長径が径方向に対して所定の角度に傾けて配置されていることを特徴とする請求項4に記載の研磨パッド。
- 上記開口部は径方向に対して所定の方向に漸次広くなり、かつ、下流側が内周側に傾けられている部分を有していることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 上記開口部は径方向に対して所定の方向に漸次広くなり、かつ、下流側が外周側に傾けられている部分を有していることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 上記開口部は、その長径が径方向に対して所定の角度に傾けて配置されていることを特徴とする請求項2、5または6に記載の研磨パッド。
- 被研磨物を回転研磨する研磨装置において、
上記被研磨物を保持する保持機構と、
この保持機構に保持された上記被研磨物に対向配置された研磨パッドと、
この研磨パッドを回転駆動する回転駆動機構とを備え、
上記研磨パッドは、一方の面を研磨面、他方の面を支持面とした板状のパッド本体と、
このパッド本体を上記研磨面から上記支持面まで貫通し、その開口部が上記研磨パッドの径方向に対して所定の角度で形成されている孔部を複数備えていることを特徴とする研磨装置。 - 被研磨物を回転研磨する研磨方法において、
上記被研磨物を研磨パッドに押圧しながら保持する保持工程と、
上記研磨パッドを回転させる回転工程とを具備し、
上記研磨パッドは、一方の面を研磨面、他方の面を支持面とした板状のパッド本体と、
このパッド本体を上記研磨面から上記支持面まで貫通し、その開口部が上記研磨パッドの径方向に対して所定の角度に傾けて形成されている孔部を複数備えていることを特徴とする研磨方法。
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- 2007-03-19 JP JP2007071407A patent/JP2007290114A/ja active Pending
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