JP2006289605A - 半径方向の偏った研磨パッド - Google Patents
半径方向の偏った研磨パッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006289605A JP2006289605A JP2006109276A JP2006109276A JP2006289605A JP 2006289605 A JP2006289605 A JP 2006289605A JP 2006109276 A JP2006109276 A JP 2006109276A JP 2006109276 A JP2006109276 A JP 2006109276A JP 2006289605 A JP2006289605 A JP 2006289605A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- radial
- track
- microchannels
- width
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/11—Lapping tools
- B24B37/20—Lapping pads for working plane surfaces
- B24B37/26—Lapping pads for working plane surfaces characterised by the shape of the lapping pad surface, e.g. grooved
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D21—PAPER-MAKING; PRODUCTION OF CELLULOSE
- D21H—PULP COMPOSITIONS; PREPARATION THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASSES D21C OR D21D; IMPREGNATING OR COATING OF PAPER; TREATMENT OF FINISHED PAPER NOT COVERED BY CLASS B31 OR SUBCLASS D21G; PAPER NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D21H27/00—Special paper not otherwise provided for, e.g. made by multi-step processes
- D21H27/18—Paper- or board-based structures for surface covering
- D21H27/20—Flexible structures being applied by the user, e.g. wallpaper
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D21—PAPER-MAKING; PRODUCTION OF CELLULOSE
- D21H—PULP COMPOSITIONS; PREPARATION THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASSES D21C OR D21D; IMPREGNATING OR COATING OF PAPER; TREATMENT OF FINISHED PAPER NOT COVERED BY CLASS B31 OR SUBCLASS D21G; PAPER NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D21H27/00—Special paper not otherwise provided for, e.g. made by multi-step processes
- D21H27/001—Release paper
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D21—PAPER-MAKING; PRODUCTION OF CELLULOSE
- D21H—PULP COMPOSITIONS; PREPARATION THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASSES D21C OR D21D; IMPREGNATING OR COATING OF PAPER; TREATMENT OF FINISHED PAPER NOT COVERED BY CLASS B31 OR SUBCLASS D21G; PAPER NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D21H27/00—Special paper not otherwise provided for, e.g. made by multi-step processes
- D21H27/30—Multi-ply
- D21H27/32—Multi-ply with materials applied between the sheets
- D21H27/34—Continuous materials, e.g. filaments, sheets, nets
- D21H27/36—Films made from synthetic macromolecular compounds
Abstract
【解決手段】研磨パッド200は、回転中心202と同心であり、ある幅を有する環状研磨トラック225を有する研磨層を含む。前記研磨パッドは、カーブした半径方向の溝220を有している。カーブした半径方向の溝は、その第一端を研磨トラックの内境界232に有し、その第二端を周線201に有する。カーブした半径方向の溝は、ウェーハ230を横切る方向での除去速度を制御し、中心高速及び中心低速の研磨を得るように調節するのに有用である。
【選択図】図2
Description
Claims (10)
- a)回転中心を有し、前記回転中心と同心であり、ある幅を有する環状研磨トラックを含む研磨層であって、前記環状研磨トラックの幅が、溝パターン転写を減らすために非半径方向の溝を有しないものであり、非半径方向の溝が、前記回転中心に対して周方向に30°範囲内の向きを有するものである研磨層、及び
b)前記研磨層中の、前記環状研磨トラックの幅の範囲内にある複数の半径方向のミクロチャネルであって、大多数が、主として半径方向の向きを有し、50μm未満の平均幅を有する半径方向のミクロチャネル
を含む、磁性基材、光学基材及び半導体基材の少なくとも一つを研磨するのに有用な研磨パッド。 - 前記研磨層が、15,000μm2を超える平均断面積を有する溝を前記環状研磨トラック内に含まない、請求項1記載の研磨パッド。
- a)回転中心を有し、前記回転中心と同心であり、ある幅を有する環状研磨トラックを含む研磨層であって、前記環状研磨トラックの幅が半径方向の溝を含むものであり、前記半径方向の溝が、ある平均断面積を有するものである研磨層、及び
b)前記研磨層中の、前記環状研磨トラックの幅の範囲内にある複数の半径方向のミクロチャネルであって、前記半径方向の溝の平均断面積の10分の1以下である平均断面積を有し、大多数が主として半径方向の向きを有する半径方向のミクロチャネル
を含む、磁性基材、光学基材及び半導体基材の少なくとも一つを研磨するのに有用な研磨パッド。 - 前記半径方向のミクロチャネルの大多数が前記半径方向の溝と交差しない、請求項3記載の研磨パッド。
- 前記研磨層がカーブした半径方向の溝を含み、前記半径方向のミクロチャネルがカーブした半径方向のミクロチャネルを含む、請求項3記載の研磨パッド。
- 前記研磨層が、少なくとも15,000μm2の平均断面積を有する溝を前記環状研磨トラック内に含まない、請求項1記載の研磨パッド。
- 磁性基材、光学基材及び半導体基材の少なくとも一つを研磨媒体の存在下で研磨する方法であって、
回転中心を有し、前記回転中心と同心であり、ある幅を有する環状研磨トラックを含む研磨層であって、前記環状研磨トラックの幅が、溝パターン転写を減らすために非半径方向の溝を有しないものであり、非半径方向の溝が、前記回転中心に対して周方向に30°範囲内の向きを有するものである研磨層、及び前記研磨層中の、前記環状研磨トラックの幅の範囲内にある複数の半径方向のミクロチャネルであって、大多数が、主として半径方向の向きを有し、50μm未満の平均幅を有する半径方向のミクロチャネルを含む研磨パッドを用いて研磨を実施すること、及び
研磨中に前記パッドをコンディショニングしてさらなる半径方向のミクロチャネルを設けること
を含む方法。 - 磁性基材、光学基材及び半導体基材の少なくとも一つを研磨媒体の存在下で研磨する方法であって、
回転中心を有し、前記回転中心と同心であり、ある幅を有する環状研磨トラックを含む研磨層であって、前記環状研磨トラックの幅が半径方向の溝を含むものであり、前記半径方向の溝が、ある平均断面積を有するものである研磨層、及び前記研磨層中の、前記環状研磨トラックの幅の範囲内にある複数の半径方向のミクロチャネルであって、前記半径方向の溝の平均断面積の10分の1以下である平均断面積を有し、大多数が主として半径方向の向きを有する半径方向のミクロチャネルを含む研磨パッドを用いて研磨を実施すること、及び
研磨中に前記パッドをコンディショニングしてさらなる半径方向のミクロチャネルを設けること
を含む方法。 - 前記コンディショニングが、前記半径方向のミクロチャネルの大多数が前記半径方向の溝と交差しない前記ミクロチャネルを設ける、請求項8記載の方法。
- 前記半径方向の溝がカーブした半径方向の溝であり、前記コンディショニングがカーブした半径方向のミクロチャネルを設ける、請求項8記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US67046605P | 2005-04-12 | 2005-04-12 | |
US60/670,466 | 2005-04-12 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006289605A true JP2006289605A (ja) | 2006-10-26 |
JP2006289605A5 JP2006289605A5 (ja) | 2009-05-07 |
JP5089073B2 JP5089073B2 (ja) | 2012-12-05 |
Family
ID=37054983
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006109276A Active JP5089073B2 (ja) | 2005-04-12 | 2006-04-12 | 半径方向の偏った研磨パッド |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7255633B2 (ja) |
JP (1) | JP5089073B2 (ja) |
KR (1) | KR101279819B1 (ja) |
CN (1) | CN100515685C (ja) |
DE (1) | DE102006016312B4 (ja) |
FR (1) | FR2884164B1 (ja) |
TW (1) | TWI372093B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012039094A (ja) * | 2010-07-12 | 2012-02-23 | Jsr Corp | 化学機械研磨パッドおよび化学機械研磨方法 |
JP2015532005A (ja) * | 2012-08-24 | 2015-11-05 | キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション | 白金及びルテニウム材料を選択的に研磨するための組成物及び方法 |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20020068516A1 (en) * | 1999-12-13 | 2002-06-06 | Applied Materials, Inc | Apparatus and method for controlled delivery of slurry to a region of a polishing device |
JP2008062367A (ja) * | 2006-09-11 | 2008-03-21 | Nec Electronics Corp | 研磨装置、研磨パッド、研磨方法 |
TWI455795B (zh) * | 2007-10-18 | 2014-10-11 | Iv Technologies Co Ltd | 研磨墊及研磨方法 |
US7927092B2 (en) | 2007-12-31 | 2011-04-19 | Corning Incorporated | Apparatus for forming a slurry polishing pad |
US9180570B2 (en) | 2008-03-14 | 2015-11-10 | Nexplanar Corporation | Grooved CMP pad |
US9117870B2 (en) * | 2008-03-27 | 2015-08-25 | Lam Research Corporation | High throughput cleaner chamber |
WO2009139401A1 (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-19 | 東レ株式会社 | 研磨パッド |
TWI449597B (zh) * | 2008-07-09 | 2014-08-21 | Iv Technologies Co Ltd | 研磨墊及其製造方法 |
TWI535527B (zh) * | 2009-07-20 | 2016-06-01 | 智勝科技股份有限公司 | 研磨方法、研磨墊與研磨系統 |
JP5544124B2 (ja) * | 2009-08-18 | 2014-07-09 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 研磨パッド |
US8562272B2 (en) * | 2010-02-16 | 2013-10-22 | Lam Research Corporation | Substrate load and unload mechanisms for high throughput |
US8282698B2 (en) * | 2010-03-24 | 2012-10-09 | Lam Research Corporation | Reduction of particle contamination produced by moving mechanisms in a process tool |
US8893642B2 (en) | 2010-03-24 | 2014-11-25 | Lam Research Corporation | Airflow management for low particulate count in a process tool |
US9522454B2 (en) * | 2012-12-17 | 2016-12-20 | Seagate Technology Llc | Method of patterning a lapping plate, and patterned lapping plates |
KR20170096025A (ko) * | 2014-12-22 | 2017-08-23 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 제거 가능한 연마 부재를 갖는 연마 용품 및 이들의 분리 및 교체 방법 |
US10589399B2 (en) * | 2016-03-24 | 2020-03-17 | Applied Materials, Inc. | Textured small pad for chemical mechanical polishing |
US10875146B2 (en) * | 2016-03-24 | 2020-12-29 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings | Debris-removal groove for CMP polishing pad |
US10625393B2 (en) | 2017-06-08 | 2020-04-21 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Chemical mechanical polishing pads having offset circumferential grooves for improved removal rate and polishing uniformity |
US10857647B2 (en) | 2017-06-14 | 2020-12-08 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings | High-rate CMP polishing method |
US10861702B2 (en) | 2017-06-14 | 2020-12-08 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings | Controlled residence CMP polishing method |
US10777418B2 (en) | 2017-06-14 | 2020-09-15 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, I | Biased pulse CMP groove pattern |
US10857648B2 (en) | 2017-06-14 | 2020-12-08 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings | Trapezoidal CMP groove pattern |
US10586708B2 (en) | 2017-06-14 | 2020-03-10 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Uniform CMP polishing method |
US10654146B2 (en) | 2018-01-23 | 2020-05-19 | Seagate Technology Llc | One or more charging members used in the manufacture of a lapping plate, and related apparatuses and methods of making |
CN110039380B (zh) * | 2019-04-11 | 2020-12-01 | 上海理工大学 | 一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置 |
CN112720282B (zh) * | 2020-12-31 | 2022-04-08 | 湖北鼎汇微电子材料有限公司 | 一种抛光垫 |
WO2023013576A1 (ja) * | 2021-08-04 | 2023-02-09 | 株式会社クラレ | 研磨パッド |
CN114770371B (zh) * | 2022-03-10 | 2023-08-25 | 宁波赢伟泰科新材料有限公司 | 一种高抛光液使用效率的抛光垫 |
CN114918824A (zh) * | 2022-06-29 | 2022-08-19 | 万华化学集团电子材料有限公司 | 一种具有径向微沟槽的抛光垫 |
US20240139906A1 (en) * | 2022-10-27 | 2024-05-02 | Applied Materials, Inc. | Control of carrier head sweep and platen shape |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09117855A (ja) * | 1995-10-25 | 1997-05-06 | Nec Corp | 研磨パッド |
JP2001001253A (ja) * | 1999-06-21 | 2001-01-09 | Toray Ind Inc | 研磨布 |
JP2002100592A (ja) * | 2000-09-20 | 2002-04-05 | Rodel Nitta Co | 研磨パッド |
JP2003145413A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-20 | Applied Materials Inc | 研磨パッド |
JP2003303793A (ja) * | 2002-04-12 | 2003-10-24 | Hitachi Ltd | 研磨装置および半導体装置の製造方法 |
JP2004167605A (ja) * | 2002-11-15 | 2004-06-17 | Rodel Nitta Co | 研磨パッドおよび研磨装置 |
WO2005023487A1 (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-17 | Toho Engineering Kabushiki Kaisha | 研磨パッドおよびその製造方法と製造装置 |
WO2005030439A1 (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-07 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | 研磨布及び研磨布の加工方法並びにそれを用いた基板の製造方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5081051A (en) | 1990-09-12 | 1992-01-14 | Intel Corporation | Method for conditioning the surface of a polishing pad |
US5216843A (en) | 1992-09-24 | 1993-06-08 | Intel Corporation | Polishing pad conditioning apparatus for wafer planarization process |
US5456627A (en) | 1993-12-20 | 1995-10-10 | Westech Systems, Inc. | Conditioner for a polishing pad and method therefor |
US5785585A (en) | 1995-09-18 | 1998-07-28 | International Business Machines Corporation | Polish pad conditioner with radial compensation |
US5611943A (en) | 1995-09-29 | 1997-03-18 | Intel Corporation | Method and apparatus for conditioning of chemical-mechanical polishing pads |
US5938507A (en) | 1995-10-27 | 1999-08-17 | Applied Materials, Inc. | Linear conditioner apparatus for a chemical mechanical polishing system |
US5645469A (en) | 1996-09-06 | 1997-07-08 | Advanced Micro Devices, Inc. | Polishing pad with radially extending tapered channels |
US5885147A (en) | 1997-05-12 | 1999-03-23 | Integrated Process Equipment Corp. | Apparatus for conditioning polishing pads |
US5916010A (en) | 1997-10-30 | 1999-06-29 | International Business Machines Corporation | CMP pad maintenance apparatus and method |
US6027659A (en) | 1997-12-03 | 2000-02-22 | Intel Corporation | Polishing pad conditioning surface having integral conditioning points |
US6306008B1 (en) | 1999-08-31 | 2001-10-23 | Micron Technology, Inc. | Apparatus and method for conditioning and monitoring media used for chemical-mechanical planarization |
US6626743B1 (en) | 2000-03-31 | 2003-09-30 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for conditioning a polishing pad |
EP1289713A2 (en) | 2000-05-31 | 2003-03-12 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Polishing methods and apparatus for semiconductor and integrated circuit manufacture |
US6767427B2 (en) | 2001-06-07 | 2004-07-27 | Lam Research Corporation | Apparatus and method for conditioning polishing pad in a chemical mechanical planarization process |
US6976907B2 (en) | 2003-01-10 | 2005-12-20 | Intel Corporation | Polishing pad conditioning |
US6843711B1 (en) * | 2003-12-11 | 2005-01-18 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc | Chemical mechanical polishing pad having a process-dependent groove configuration |
-
2006
- 2006-03-17 KR KR1020060025061A patent/KR101279819B1/ko active IP Right Grant
- 2006-03-29 US US11/392,373 patent/US7255633B2/en active Active
- 2006-04-06 DE DE102006016312.5A patent/DE102006016312B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2006-04-10 TW TW095112634A patent/TWI372093B/zh active
- 2006-04-11 CN CNB2006100747763A patent/CN100515685C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-04-11 FR FR0651303A patent/FR2884164B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 2006-04-12 JP JP2006109276A patent/JP5089073B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09117855A (ja) * | 1995-10-25 | 1997-05-06 | Nec Corp | 研磨パッド |
JP2001001253A (ja) * | 1999-06-21 | 2001-01-09 | Toray Ind Inc | 研磨布 |
JP2002100592A (ja) * | 2000-09-20 | 2002-04-05 | Rodel Nitta Co | 研磨パッド |
JP2003145413A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-20 | Applied Materials Inc | 研磨パッド |
JP2003303793A (ja) * | 2002-04-12 | 2003-10-24 | Hitachi Ltd | 研磨装置および半導体装置の製造方法 |
JP2004167605A (ja) * | 2002-11-15 | 2004-06-17 | Rodel Nitta Co | 研磨パッドおよび研磨装置 |
WO2005023487A1 (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-17 | Toho Engineering Kabushiki Kaisha | 研磨パッドおよびその製造方法と製造装置 |
WO2005030439A1 (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-07 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | 研磨布及び研磨布の加工方法並びにそれを用いた基板の製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012039094A (ja) * | 2010-07-12 | 2012-02-23 | Jsr Corp | 化学機械研磨パッドおよび化学機械研磨方法 |
JP2015532005A (ja) * | 2012-08-24 | 2015-11-05 | キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション | 白金及びルテニウム材料を選択的に研磨するための組成物及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7255633B2 (en) | 2007-08-14 |
JP5089073B2 (ja) | 2012-12-05 |
FR2884164B1 (fr) | 2014-04-11 |
CN100515685C (zh) | 2009-07-22 |
KR101279819B1 (ko) | 2013-06-28 |
DE102006016312B4 (de) | 2018-10-31 |
US20060229002A1 (en) | 2006-10-12 |
KR20060108211A (ko) | 2006-10-17 |
FR2884164A1 (fr) | 2006-10-13 |
TW200642797A (en) | 2006-12-16 |
CN1846940A (zh) | 2006-10-18 |
DE102006016312A1 (de) | 2006-10-19 |
TWI372093B (en) | 2012-09-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5089073B2 (ja) | 半径方向の偏った研磨パッド | |
JP3823086B2 (ja) | 研磨パッド及び研磨方法 | |
TWI788070B (zh) | 拋光物和用於製造化學機械拋光物的整合系統 | |
KR101507611B1 (ko) | 화학적 기계적 연마를 위한 상호침투 망상조직 | |
JP3072526B2 (ja) | 研磨パッドおよびその使用方法 | |
KR101539462B1 (ko) | 화학적 기계적 연마를 위한 적층된-필라멘트 격자 | |
EP1502703B1 (en) | Porous polyurethane polishing pads | |
US7458885B1 (en) | Chemical mechanical polishing pad and methods of making and using same | |
KR101601281B1 (ko) | 고속 연마 방법 | |
US20070173187A1 (en) | Chemical mechanical polishing pad with micro-holes | |
JP2009101487A (ja) | 研磨パッド | |
KR20070067641A (ko) | 결함률이 개선된 다층 연마 패드 및 이의 제조 방법 | |
KR20070032236A (ko) | 화학적 기계적 연마 패드의 제조 방법 | |
KR20070082575A (ko) | 화학 기계적 연마를 위한 3차원 네트워크 | |
US20220226963A1 (en) | Chemical mechanical planarization tools, and related pads for chemical mechanical planarization tools | |
JP2007030157A (ja) | 研磨装置及び研磨方法 | |
JPH11285961A (ja) | 研磨パッド及び研磨方法 | |
JP2647046B2 (ja) | 研磨布および研磨方法 | |
JP2008187086A (ja) | 化学機械研磨パッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090325 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110920 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111219 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20111222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120605 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120809 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120828 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120911 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150921 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5089073 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |