WO2023013576A1 - 研磨パッド - Google Patents
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Abstract
Description
数平均分子量850のポリテトラメチレングリコール[略号:PTMG]、数平均分子量600のポリエチレングリコール[略号:PEG]、1,4-ブタンジオール[略号:BD]、及び4,4’-ジフェニルメタンジイソシアネート[略号:MDI]を、PTMG:PEG:BD:MDIの質量比が24.6:11.6:13.8:50.0となるような割合で配合し、定量ポンプにより、同軸で回転する二軸押出機に連続的に供給して、熱可塑性ポリウレタンを連続溶融重合した。そして、重合された熱可塑性ポリウレタンの溶融物をストランド状に水中に連続的に押出した後、ペレタイザーで細断してペレットを得た。このペレットを70℃で20時間除湿乾燥した後、単軸押出機に供給し、T-ダイから押出して、シートを成形した。そして、得られたシートの表面を研削して厚さ2.0mmの均一なシートとした後、直径740mmの円形状に切り抜くことにより、非発泡体である研磨層用シートを得た。JIS K 7311に準じて、測定温度25℃の条件で測定した研磨層用シートのD硬度は62であった。
製造例1において、PTMG:PEG:BD:MDIの質量比が24.6:11.6:13.8:50.0となるような割合で配合したポリウレタン原料を用いた代わりに、数平均分子量850のポリテトラメチレングリコール、3-メチル-1,5-ペンタンジオール[略号:MPD]、1,4-ブタンジオール、及び4,4’-ジフェニルメタンジイソシアネートを、PTMG:MPD:BD:MDIの質量比が12.5:5.7:17.5:64.3となるような割合で配合したポリウレタン原料を用いた以外は、製造例1と同様にして、熱可塑性ポリウレタンのペレットを得た。そして、製造例1と同様にして、非発泡体である研磨層用シートを得た。JIS K 7311に準じて、測定温度25℃の条件で測定した研磨層用シートのD硬度は86であった。
製造例1において、PTMG:PEG:BD:MDIの質量比が24.6:11.6:13.8:50.0となるような割合で配合したポリウレタン原料を用いた代わりに、数平均分子量850のポリテトラメチレングリコール]、数平均分子量600のポリエチレングリコール[略号:PEG]、1,9-ノナンジオール[略号:ND]、及び4,4’-ジフェニルメタンジイソシアネートを、PTMG:PEG:ND:MDIの質量比が32.2:5.7:19.6:42.5となるような割合で配合したポリウレタン原料を用いた以外は、製造例1と同様にして、熱可塑性ポリウレタンのペレットを得た。そして、製造例1と同様にして、非発泡体である研磨層用シートを得た。JIS K 7311に準じて、測定温度25℃の条件で測定した研磨層用シートのD硬度は56であった。
製造例1において、PTMG:PEG:BD:MDIの質量比が24.6:11.6:13.8:50.0となるような割合で配合したポリウレタン原料を用いた代わりに、数平均分子量850のポリテトラメチレングリコール、数平均分子量600のポリエチレングリコール、3-メチル-1,5-ペンタンジオール[略号:MPD]、1,9-ノナンジオール、及び4,4’-ジフェニルメタンジイソシアネートを、PTMG:PEG:MPD:ND:MDIの質量比が36.1:6.4:1.3:15.7:40.5となるような割合で配合したポリウレタン原料を用いた以外は、製造例1と同様にして、熱可塑性ポリウレタンのペレットを得た。そして、製造例1と同様にして、非発泡体である研磨層用シートを得た。JIS K 7311に準じて、測定温度25℃の条件で測定した研磨層用シートのD硬度は46であった。
製造例1で得られたD硬度62の研磨層用シートの一面である研磨面に、表1及び表2に記載の形状のパターンを有する溝を切削加工で形成した。
〈研磨速度〉
得られた研磨パッドを(株)荏原製作所製の研磨装置「FREX-300」に装着した。そして、日立化成(株)製のスラリー「HS-8005」を10倍に希釈して調整したスラリーを準備し、プラテン回転数100rpm、ヘッド回転数99rpm、研磨圧力30.0kPaの条件において、200mL/分の速度でスラリーを研磨パッドの研磨面に供給しながら膜厚2000nmの酸化ケイ素膜を表面に有する直径12インチのシリコンウェハを60秒間研磨した。
研磨速度の改善率(%)=研磨速度÷1050×100
Sb/Saの異なる12個の実施例の研磨パッドを選択した。そして、〈研磨速度〉の測定方法と同様にして、複数枚のシリコンウェハを研磨した。そして、未使用の研磨層の環状溝の溝深さに比べて溝深さが50%減少するまで研磨した研磨パッドの、研磨均一性を以下のように評価した。
製造例2で得られたD硬度86の研磨層用シート、製造例3で得られたD硬度56の研磨層用シートまたは、製造例4で得られたD硬度49の研磨層用シート、をそれぞれ用いた以外は、実施例10と同様にして研磨パッドを作成した(実施例26,27、28)。そして、研磨層のD硬度の研磨均一性への影響を検討した。
研磨層のD硬度の研磨均一性への影響の評価結果を表3に示す。
製造例1で得られた研磨層用シートの一面である研磨面に、表5及び表6に記載の形状のパターンを有する溝を切削加工で形成した。なお、実施例30及び実施例32においては、同心円の中心が研磨面の中心から15mm偏心した同心円溝を形成した。このとき、同心円溝の中心は研磨面の中心から半径に対して約4%の距離が離れた位置であった。また、放射溝の中心は同心円溝の中心に一致していた。また、各実施例における溝は、長方形状の断面のコーナーが面取りされたY字状、逆台形状、または長方形状であった。そして、各溝の溝幅及び溝の断面積、溝ピッチ、深さを上述した方法と同様にして測定した。
得られた研磨パッドを(株)荏原製作所製の研磨装置「FREX-300」に装着した。そして、Cabot Microelectronics製のスラリー「SEMI-SPERSE25」を2倍に希釈して調整したスラリーを準備し、プラテン回転数100rpm、ヘッド回転数99rpm、研磨圧力20.0kPaの条件において、200mL/分の速度でスラリーを研磨パッドの研磨面に供給しながら膜厚2000nmの酸化ケイ素膜を表面に有する直径12インチのシリコンウェハを60秒間研磨した。
研磨速度の改善率(%)=研磨速度÷2400×100
結果を表5及び表6に示す。
10,20 研磨パッド
E1 第1の端部
E2 第2の端部
C1~C9 環状溝(同心円状溝)
S1~S8 線分状溝(放射溝)
H 螺旋状溝
F 研磨面
Claims (12)
- 円形の研磨面を有する研磨層を含む研磨パッドであって、
前記研磨面は、前記研磨面の中心から半径に対して、0~10%の範囲である中央領域と、90~100%の範囲である周縁領域とを備え、
前記研磨層は、
前記中央領域から前記周縁領域にまで渡って配された、少なくとも1条の螺旋状溝又は同心円状に配置された複数の環状溝からなる同心円状溝を備え、さらに、前記中央領域から周縁領域に向かって延びる少なくとも2本の線分状溝からなる放射溝、を備え、
前記螺旋状溝の中心,前記同心円状溝の中心,及び前記放射溝の中心は、前記中央領域に存在し、
前記線分状溝は、前記研磨面の半径に対して30~65%の割合の平均長さを有し、且つ、前記放射溝の中心から前記研磨面の半径に対して、5~10%の距離の領域に第1の端部を、35~70%の距離の領域に第2の端部を有し、
前記線分状溝の長さ方向に対する垂直な方向の断面の断面積の平均である断面積Sa(mm2)と、前記螺旋状溝又は前記同心円状溝の接線方向に対する垂直な方向の断面の断面積の平均である断面積Sb(mm2)とが、0.1≦Sb/Sa<1.0 を満たす、ことを特徴とする研磨パッド。 - 0.25≦Sb/Sa≦0.85を満たす、請求項1に記載の研磨パッド。
- 0.44≦Sb/Sa≦0.80を満たす、請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記線分状溝の幅の平均である溝幅Wa(mm)と、前記螺旋状溝又は前記同心円状溝の幅の平均である溝幅Wb(mm)とが、0.1≦Wb/Wa<1.0 を満たす、請求項1~3の何れか1項に記載の研磨パッド。
- 前記螺旋状溝又は前記同心円状溝の幅の平均である溝幅Wb(mm)と、前記螺旋状溝又は前記同心円状溝の平均溝ピッチP(mm)とが、0.02≦Wb/P≦0.25、を満たす、請求項1~4の何れか1項に記載の研磨パッド。
- 前記線分状溝の幅の平均である溝幅Wa(mm)と、前記螺旋状溝又は前記同心円状溝の幅の平均である溝幅Wb(mm)と、前記螺旋状溝又は前記同心円状溝の平均溝ピッチP(mm)とが、0.2≦{Wb2/(P×Wa)}×100≦25を満たす、請求項1~5の何れか1項に記載の研磨パッド。
- 前記螺旋状溝を含む請求項1~6の何れか1項に記載の研磨パッド。
- 前記同心円状溝を含む請求項1~7の何れか1項に記載の研磨パッド。
- 前記研磨層が熱可塑性ポリウレタンを含む請求項1~8の何れか1項に記載の研磨パッド。
- 前記研磨層が非発泡体である請求項1~9の何れか1項に記載の研磨パッド。
- 前記研磨層は、JIS D硬度が45~90である請求項1~10の何れか1項に記載の研磨パッド。
- 前記研磨層は、密度が1.00~1,20g/cm3である請求項1~11の何れか1項に記載の研磨パッド。
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JP2000237950A (ja) | 1999-02-18 | 2000-09-05 | Nec Corp | 半導体ウェハーの研磨パッド及び半導体装置の製造方法 |
JP2005183708A (ja) * | 2003-12-19 | 2005-07-07 | Toyo Tire & Rubber Co Ltd | Cmp用研磨パッド、及びそれを用いた研磨方法 |
JP2011177884A (ja) | 2010-02-05 | 2011-09-15 | Kuraray Co Ltd | 研磨パッド |
TWM459065U (zh) | 2013-04-29 | 2013-08-11 | Iv Technologies Co Ltd | 硏磨墊以及硏磨系統 |
JP2017208530A (ja) | 2016-03-24 | 2017-11-24 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ シーエムピー ホウルディングス インコーポレイテッド | Cmp研磨パッドのための研磨くず除去溝 |
JP2020009987A (ja) * | 2018-07-12 | 2020-01-16 | 株式会社荏原製作所 | 基板搬送装置および基板搬送装置を備える基板処理装置 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000237950A (ja) | 1999-02-18 | 2000-09-05 | Nec Corp | 半導体ウェハーの研磨パッド及び半導体装置の製造方法 |
JP2005183708A (ja) * | 2003-12-19 | 2005-07-07 | Toyo Tire & Rubber Co Ltd | Cmp用研磨パッド、及びそれを用いた研磨方法 |
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TWM459065U (zh) | 2013-04-29 | 2013-08-11 | Iv Technologies Co Ltd | 硏磨墊以及硏磨系統 |
JP2017208530A (ja) | 2016-03-24 | 2017-11-24 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ シーエムピー ホウルディングス インコーポレイテッド | Cmp研磨パッドのための研磨くず除去溝 |
JP2020009987A (ja) * | 2018-07-12 | 2020-01-16 | 株式会社荏原製作所 | 基板搬送装置および基板搬送装置を備える基板処理装置 |
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