JP2006239808A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006239808A JP2006239808A JP2005058507A JP2005058507A JP2006239808A JP 2006239808 A JP2006239808 A JP 2006239808A JP 2005058507 A JP2005058507 A JP 2005058507A JP 2005058507 A JP2005058507 A JP 2005058507A JP 2006239808 A JP2006239808 A JP 2006239808A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- surface plate
- polishing pad
- polishing
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
【解決手段】 ウェハ102の表面104を研磨する研磨パッド106を、上面108で保持可能な定盤110を備えた研磨装置100であって、定盤110の上面108に形成され両端が上面108の外縁まで延びる溝114を有し、研磨パッド106が定盤110に保持された際に的確に空気が溝114に押し出されるようにした。
【選択図】 図1
Description
すなわち、特許文献1又は2に記載の研磨装置のような複雑な構造をとることなく、より簡便に研磨パッドと定盤の間の空気泡を除去することがのぞまれている。
図1に示すように、この研磨装置100は、ウェハ102の表面104を研磨する研磨パッド106を、上面108で保持可能な定盤110を備えている。平板状に形成された研磨パッド106の下面には、一体的に貼接部材112が設けられている。また、この研磨装置100は、定盤110の上面108に形成され、両端が上面108の外縁まで延びる溝114を有している。
図2に示すように、定盤110の上面108は、平面視で円形を呈し、表面には前述の溝114が形成されている。定盤110の上面108により、研磨パッド106が保持される。ここで、溝114は、上面108に形成されたものであって、定盤110を上下方向に貫通するものではない。本実施形態においては、溝114は直線状に形成される。また、溝114は複数形成され、各溝114が格子状に配される。ここで、同方向へ延びる溝114同士は互いに等間隔となるよう形成されており、図2に示すように、上面108が溝114により多数の正方形部分に仕切られている。
図3に示すように、各溝114は、断面が角形状となるよう形成される。各溝114は同一の断面形状を呈する。
102 ウェハ
104 表面
106 研磨パッド
108 上面
110 定盤
112 貼接部材
114 溝
116 ヘッド部
118 スラリ供給部
120 冷却水路
122a 周回区間
122b 供給区間
122c 排出区間
214 溝
314 溝
Claims (6)
- ウェハの表面を研磨する研磨パッドを、上面で保持可能な定盤を備え、
前記定盤の上面に形成され、両端が該上面の外縁まで延びる溝を有することを特徴とする研磨装置。 - 前記定盤は、冷却水が流通する冷却水路を内部に有し、
前記溝は前記冷却水路より上側に形成されることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記溝を複数形成し、少なくとも1組の前記溝が互いに交差するよう構成したことを特徴とする請求項1または2に記載の研磨装置。
- 前記溝を直線状に形成したことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の研磨装置。
- 前記溝を複数形成し、各溝を格子状に配したことを特徴とする請求項4に記載の研磨装置。
- 前記溝を、断面が角形状となるよう形成したことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005058507A JP2006239808A (ja) | 2005-03-03 | 2005-03-03 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005058507A JP2006239808A (ja) | 2005-03-03 | 2005-03-03 | 研磨装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006239808A true JP2006239808A (ja) | 2006-09-14 |
Family
ID=37046704
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005058507A Pending JP2006239808A (ja) | 2005-03-03 | 2005-03-03 | 研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006239808A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101238904B1 (ko) * | 2011-05-11 | 2013-03-12 | (주)디나옵틱스 | 기판 연마장치 |
CN105290956A (zh) * | 2014-05-30 | 2016-02-03 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 抛光盘及其冷却装置 |
CN107921606A (zh) * | 2015-09-03 | 2018-04-17 | 信越半导体株式会社 | 研磨方法以及研磨装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0531867U (ja) * | 1991-10-09 | 1993-04-27 | スピードフアム株式会社 | 平面研磨装置用定盤 |
JPH10315121A (ja) * | 1997-05-13 | 1998-12-02 | Toshiba Mach Co Ltd | 平面研磨装置 |
JP2000288918A (ja) * | 1999-04-02 | 2000-10-17 | Applied Materials Inc | パターン面を備える改良型cmpプラテン |
JP2002103209A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-04-09 | Ibiden Co Ltd | ウェハ研磨装置用テーブル |
-
2005
- 2005-03-03 JP JP2005058507A patent/JP2006239808A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0531867U (ja) * | 1991-10-09 | 1993-04-27 | スピードフアム株式会社 | 平面研磨装置用定盤 |
JPH10315121A (ja) * | 1997-05-13 | 1998-12-02 | Toshiba Mach Co Ltd | 平面研磨装置 |
JP2000288918A (ja) * | 1999-04-02 | 2000-10-17 | Applied Materials Inc | パターン面を備える改良型cmpプラテン |
JP2002103209A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-04-09 | Ibiden Co Ltd | ウェハ研磨装置用テーブル |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101238904B1 (ko) * | 2011-05-11 | 2013-03-12 | (주)디나옵틱스 | 기판 연마장치 |
CN105290956A (zh) * | 2014-05-30 | 2016-02-03 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 抛光盘及其冷却装置 |
CN107921606A (zh) * | 2015-09-03 | 2018-04-17 | 信越半导体株式会社 | 研磨方法以及研磨装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100632468B1 (ko) | 리테이너 링, 연마 헤드 및 화학적 기계적 연마 장치 | |
JP2007049146A (ja) | 研磨パッド、研磨パッドを製造する方法、及び研磨パッドを具備する化学機械的研磨装置 | |
JP2008528309A (ja) | 低圧研磨のための多層研磨パッド | |
US6942549B2 (en) | Two-sided chemical mechanical polishing pad for semiconductor processing | |
US10343257B2 (en) | Wafer grinding device | |
JP2007103602A (ja) | 研磨パッド及び研磨装置 | |
JP2008153434A (ja) | 半導体装置の製造装置及び、半導体装置の製造方法 | |
JP4620501B2 (ja) | 研磨パッド | |
JP2007030157A (ja) | 研磨装置及び研磨方法 | |
JP2006239808A (ja) | 研磨装置 | |
JP2007158190A (ja) | 吸着装置、研磨装置、半導体デバイス製造方法およびこの方法により製造される半導体デバイス | |
JPH1076439A (ja) | 薄板保持装置 | |
JP2004221566A (ja) | ポリシングヘッド及び化学機械的研磨装置 | |
JP5105391B2 (ja) | 研磨パッド | |
WO2001063655A1 (fr) | Dispositif de polissage chimiomecanique, dispositif formant un cablage damasquine et procede de formation d'un cablage damasquine | |
JPH11151662A (ja) | 研磨布 | |
JP5132830B2 (ja) | 研磨パッド | |
KR101592095B1 (ko) | Cmp 헤드용 리테이너링 | |
JP2005138277A (ja) | 不均一強度を有する研磨面を使用した化学的機械的研磨装置および方法 | |
JP2003205451A (ja) | 研磨パッド | |
JP2005169592A (ja) | 非磁性ワ−クのチャック機構 | |
KR100614831B1 (ko) | 폴리싱 패드 및 그 제조방법 | |
JP2006165323A (ja) | Cmp加工用研磨布、cmp装置並びに半導体装置の製造方法 | |
JP2003197580A (ja) | ウェーハ研磨装置 | |
JPH10296619A (ja) | 研磨用定盤 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100119 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100121 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100304 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100720 |