JP2007274347A - ラーメモード水晶振動子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 課題を解決するために本発明は、矩形状の水晶素子に電荷を加えたときに、前記水晶素子の角部4点を節として、前記矩形状の長手方向に伸びたときには短手方向に伸縮し、かつ、前記矩形状の短手方向に伸びたときには長手方向に伸縮する輪郭振動の振動形態を生じる、LQ1Tカットあるいは、LQ2Tカットの水晶基板から成り、振動部、支持部、接続部で構成するラーメモード水晶振動子において、前記水晶素子の前記接続部にガラス材が接合されているラーメモード水晶振動子とその製造方法により課題を解決する。
【選択図】 図4
Description
圧電素板を基板にした水晶素子1で、その基板の辺比の一方の寸法を1(L)としたとき、もう一方の寸法が整数比(1(L)〜n)を満たす板の四隅に無振動部を有することにラーメモード振動子の特徴がある。図1に示すように正方形板の場合は四隅が節となって向かい合う2辺Aが正方形の中心方向に変位したときはもう一方の2辺Bが正方形の外方向に変位し、また向かい合う2辺Aが正方形の外方向に変位したときはもう一方の2辺Bが正方形の中心方向に変位する振動形態である。
2 支持部
3 接続部
4 ガラス
Claims (3)
- 矩形状の水晶素子に電荷を加えたときに、前記水晶素子の角部4点を節として、前記矩形状の長手方向に伸びたときには短手方向に伸縮し、かつ、前記矩形状の短手方向に伸びたときには長手方向に伸縮する輪郭振動の振動形態を生じる、LQ1Tカットあるいは、LQ2Tカットの水晶基板から成り、振動部、支持部、接続部で構成するラーメモード水晶振動子において、
前記水晶素子の前記接続部にガラス材が接合されていることを特徴とするラーメモード水晶振動子。 - 矩形状の水晶素子に電荷を加えたときに、前記水晶素子の角部4点を節として、前記矩形状の長手方向に伸びたときには短手方向に伸縮し、かつ、前記矩形状の短手方向に伸びたときには長手方向に伸縮する輪郭振動の振動形態を生じる、LQ1Tカットあるいは、LQ2Tカットの水晶基板から成り、振動部、支持部、接続部で構成するラーメモード水晶振動子の製造方法おいて、
前記水晶素子の主面にガラスの平板を接合する工程と、前記水晶素子の接続部を除く部位全てのガラスを除去する工程と、前記水晶素子にパターンニングする工程と、前記水晶素子に電極を形成する工程とにより構成されることを特徴とするラーメモード水晶振動子の製造方法。 - 請求項2において、ガラスの除去工程と水晶素子にパターンニングする工程にはウェットエッチング工法が用いられていることを特徴とするラーメモード水晶振動子の製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014131221A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶振動子の製造方法 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06291587A (ja) * | 1992-07-08 | 1994-10-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電振動子 |
JPH07154197A (ja) * | 1993-10-01 | 1995-06-16 | Murata Mfg Co Ltd | ラダー型フィルタ |
JPH08162875A (ja) * | 1994-11-30 | 1996-06-21 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振部品の製造方法 |
JPH08288785A (ja) * | 1995-04-11 | 1996-11-01 | Murata Mfg Co Ltd | 幅モードを利用した共振子及び共振部品 |
JP2001313537A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | River Eletec Kk | 圧電素子とその製造方法 |
JP2003101362A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-04 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 輪郭圧電結晶振動子とその製造方法 |
JP2003101378A (ja) * | 2002-09-17 | 2003-04-04 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | ラーメモード水晶振動子 |
JP2003110400A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-11 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 輪郭水晶振動子 |
JP2003115747A (ja) * | 2001-10-04 | 2003-04-18 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | ラーメモード水晶振動子 |
JP2003142979A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-16 | River Eletec Kk | 水晶振動子及びその製造方法 |
JP2004242256A (ja) * | 2003-02-10 | 2004-08-26 | River Eletec Kk | 水晶振動子 |
JP2004336677A (ja) * | 2003-05-02 | 2004-11-25 | Yukio Yokoyama | 複合輪郭モード水晶振動子 |
JP2005109886A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスとその製造方法ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP2005244702A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動子 |
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Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06291587A (ja) * | 1992-07-08 | 1994-10-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電振動子 |
JPH07154197A (ja) * | 1993-10-01 | 1995-06-16 | Murata Mfg Co Ltd | ラダー型フィルタ |
JPH08162875A (ja) * | 1994-11-30 | 1996-06-21 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振部品の製造方法 |
JPH08288785A (ja) * | 1995-04-11 | 1996-11-01 | Murata Mfg Co Ltd | 幅モードを利用した共振子及び共振部品 |
JP2001313537A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | River Eletec Kk | 圧電素子とその製造方法 |
JP2003101362A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-04 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 輪郭圧電結晶振動子とその製造方法 |
JP2003110400A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-11 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 輪郭水晶振動子 |
JP2003115747A (ja) * | 2001-10-04 | 2003-04-18 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | ラーメモード水晶振動子 |
JP2003142979A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-16 | River Eletec Kk | 水晶振動子及びその製造方法 |
JP2003101378A (ja) * | 2002-09-17 | 2003-04-04 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | ラーメモード水晶振動子 |
JP2004242256A (ja) * | 2003-02-10 | 2004-08-26 | River Eletec Kk | 水晶振動子 |
JP2004336677A (ja) * | 2003-05-02 | 2004-11-25 | Yukio Yokoyama | 複合輪郭モード水晶振動子 |
JP2005109886A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスとその製造方法ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP2005244702A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動子 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014131221A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶振動子の製造方法 |
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