JP2014131221A - 水晶振動子の製造方法 - Google Patents
水晶振動子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014131221A JP2014131221A JP2012288547A JP2012288547A JP2014131221A JP 2014131221 A JP2014131221 A JP 2014131221A JP 2012288547 A JP2012288547 A JP 2012288547A JP 2012288547 A JP2012288547 A JP 2012288547A JP 2014131221 A JP2014131221 A JP 2014131221A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- corrosion
- crystal
- crystal piece
- resistant film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】 耐食膜141,142が形成された中間ウェハ10、耐食膜24が形成された上側ウェハ20及び耐食膜34が形成された下側ウェハ30をそれぞれの厚み方向に貼り合せ、貼り合わされた中間ウェハ10、上側ウェハ20及び下側ウェハ30に対しウェットエッチングを施すことにより、水晶片及び外枠を形成する。
【選択図】 図1
Description
第一のウェハに、水晶片とこの水晶片を囲む外枠とをウェットエッチングにより形成するための耐食膜のパターンを形成する第一工程と、
第二のウェハに、前記外枠をウェットエッチングにより形成するための耐食膜のパターンを形成する第二工程と、
前記耐食膜が形成された前記第一のウェハと前記耐食膜が形成された前記第二のウェハとを、それぞれの厚み方向に貼り合せる第三工程と、
前記貼り合わされた前記第一のウェハ及び前記第二のウェハに対しウェットエッチングを施すことにより、前記水晶片及び前記外枠を形成する第四工程と、
を含む。
11 水晶片
12 キャビティ
13 外枠
141,142 耐食膜
20 上側ウェハ
24 耐食膜
25a,25b 支持部
26a,26b ビア孔
30 下側ウェハ
34 耐食膜
41 蓋部材ウェハ
42 基板部ウェハ
43a,43b 外部電極
44a,44b ダミー電極
51 水晶片
52 キャビティ
53 外枠
541,542 耐食膜
56a,56b ビア孔
60 上側ウェハ
64 耐食膜
70 下側ウェハ
741,742 耐食膜
75 支持部
75a,75b 配線パターン
81 蓋部材ウェハ
82 基板部ウェハ
83a,83b 外部電極
84a,84b ダミー電極
110 振動素子
111 基部
112a,112b 振動腕部
113a,113b 溝部
121a,121b パッド電極
122a,122b 励振電極
123a,123b 周波数調整用金属膜
124a,124b 配線パターン
Claims (5)
- 第一のウェハに、水晶片とこの水晶片を囲む外枠とをウェットエッチングにより形成するための耐食膜のパターンを形成する第一工程と、
第二のウェハに、前記外枠を前記ウェットエッチングにより形成するための耐食膜のパターンを形成する第二工程と、
前記耐食膜が形成された前記第一のウェハと前記耐食膜が形成された前記第二のウェハとを、それぞれの厚み方向に貼り合せる第三工程と、
前記貼り合わされた前記第一のウェハ及び前記第二のウェハに対し前記ウェットエッチングを施すことにより、前記水晶片及び前記外枠を形成する第四工程と、
を含む水晶振動子の製造方法。 - 前記第二のウェハは、前記第一のウェハの一方の面を上とし他方の面を下としたとき、前記第一のウェハの上に貼り合わされる上側ウェハと、前記第一のウェハの下に貼り合わされる下側ウェハとからなり、
前記第二工程では、前記上側ウェハに、前記水晶片を固定する支持部及び前記水晶片に電気的に接続するビア孔を前記ウェットエッチングで形成するための耐食膜のパターンも形成する、
請求項1記載の水晶振動子の製造方法。 - 前記第二のウェハは、前記第一のウェハの一方の面を上とし他方の面を下としたとき、前記第一のウェハの上に貼り合わされる上側ウェハと、前記第一のウェハの下に貼り合わされる下側ウェハからなり、
前記第一工程では、前記第一のウェハに、前記水晶片に電気的に接続するビア孔をウェットエッチングで形成するための耐食膜のパターンを形成し、
前記第二工程では、前記下側ウェハに、前記水晶片を当該水晶片よりも狭い幅で固定する支持部をウェットエッチングで形成するための耐食膜のパターンを形成する、
請求項1記載の水晶振動子の製造方法。 - 前記耐食膜は、拡散接合に用いられる接合膜を兼ねており、
前記第三工程では、前記第一のウェハと前記第二のウェハとを、前記耐食膜を介して拡散接合により貼り合せる、
請求項1乃至3のいずれか一つに記載の水晶振動子の製造方法。 - 前記第三工程と前記第四工程の間で、前記貼り合わされた前記第一のウェハ及び前記第二のウェハの少なくとも一方を研磨する工程を、
更に含む請求項1乃至4のいずれか一つに記載の水晶振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012288547A JP6110663B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 水晶振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012288547A JP6110663B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 水晶振動子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014131221A true JP2014131221A (ja) | 2014-07-10 |
JP6110663B2 JP6110663B2 (ja) | 2017-04-05 |
Family
ID=51409223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012288547A Active JP6110663B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 水晶振動子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6110663B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0774569A (ja) * | 1993-07-22 | 1995-03-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子およびその製造方法 |
JP2006311393A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Seiko Epson Corp | 水晶振動子の製造方法 |
JP2007274347A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Kyocera Kinseki Corp | ラーメモード水晶振動子およびその製造方法 |
JP2008205888A (ja) * | 2007-02-21 | 2008-09-04 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片の製造方法及び圧電振動素子 |
-
2012
- 2012-12-28 JP JP2012288547A patent/JP6110663B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0774569A (ja) * | 1993-07-22 | 1995-03-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子およびその製造方法 |
JP2006311393A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Seiko Epson Corp | 水晶振動子の製造方法 |
JP2007274347A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Kyocera Kinseki Corp | ラーメモード水晶振動子およびその製造方法 |
JP2008205888A (ja) * | 2007-02-21 | 2008-09-04 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片の製造方法及び圧電振動素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6110663B2 (ja) | 2017-04-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5630267B2 (ja) | 振動ジャイロ素子及びその製造方法 | |
JPH06350371A (ja) | 圧電デバイスの製造方法 | |
JP2007258918A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2007258917A (ja) | 圧電デバイス | |
JPWO2007080734A1 (ja) | 弾性表面波装置の製造方法及び弾性表面波装置 | |
JP2010187326A (ja) | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子および発振器 | |
JP4292825B2 (ja) | 水晶振動片の製造方法 | |
US8516888B2 (en) | Angular velocity sensor and method of manufacturing the same | |
JP2007173915A (ja) | 圧電デバイスユニット及びその製造方法 | |
US8341814B2 (en) | Methods for manufacturing piezoelectric devices | |
JP5171210B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
JP5007522B2 (ja) | 圧電振動子およびその製造方法 | |
JP5347546B2 (ja) | 振動片、振動片の製造方法および振動子 | |
JP4636170B2 (ja) | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 | |
JP6110663B2 (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
JP2010187195A (ja) | 振動片、振動片の製造方法および振動子 | |
JP6756564B2 (ja) | 水晶素子、水晶デバイスおよび水晶素子の製造方法 | |
JP6004957B2 (ja) | 水晶振動子及びその製造方法 | |
JP2012029024A (ja) | 屈曲振動片、振動子、発振器、および電子機器 | |
JP2012147329A (ja) | 音叉型水晶振動片 | |
JP5113870B2 (ja) | 表面実装用水晶振動子の製造方法 | |
JP5599057B2 (ja) | パッケージおよび圧電振動子 | |
JP5533349B2 (ja) | 屈曲振動片、屈曲振動子、発振器、および電子機器 | |
JP2007184810A (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
WO2021106921A1 (ja) | 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器並びに水晶素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151016 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160720 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160809 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160926 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170307 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170310 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6110663 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |