JP2007274610A - 水晶振動子及び水晶振動子パッケージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】音叉型水晶振動子に音叉振動を発生させるための励振電極41、51等の電極パターンの電極材料として、従来から使用されているAu(金)よりも比重が小さく、剛性の低いシリコン材料を使用する。これにより水晶振動子が振動し易くなるので、電気エネルギーを音叉振動に変換する際の振動損失(CI値)を低くすることができる。
【選択図】図3
Description
前記電極パターンはポリシリコンまたはアモルファスシリコンであるシリコン材料からなることを特徴とする。
2、2a、2b 振動腕部
6 原型
7 パッケージ
7a ケース体
7b 蓋体
7c シール材
7d 導電性接着剤
11 切り欠き部
31、32 溝部
20 最下部
21 側面
22 主面
40 調整用錘
41 励振電極(一方の励振電極)
42 引き出し電極
50 調整用錘
51 励振電極(他方の励振電極)
52 引き出し電極
70 水晶振動子
71 台座
72、73 導電路
74、75 電極
前記電極パターンのうち少なくとも励振電極はポリシリコンまたはアモルファスシリコンであるシリコン材料からなることを特徴とする。
前記電極パターンのうち少なくとも励振電極はポリシリコンまたはアモルファスシリコンであるシリコン材料からなることを特徴とする。
Claims (5)
- 基部から振動腕部が2本伸び出して音叉型に形成されている水晶片の表裏両面に電極パターンが形成された水晶振動子において、
前記電極パターンはポリシリコンまたはアモルファスシリコンであるシリコン材料からなることを特徴とする水晶振動子。 - 前記シリコン材料は、p型またはn型の不純物をドープしたものであることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子。
- 前記シリコン材料は、当該水晶振動子を構成する水晶のキューリー点よりも低い温度で前記振動腕部にデポジションされたものであることを特徴とする請求項1または2に記載の水晶振動子。
- 前記振動腕部の先端部に前記シリコン材料よりも比重の大きい周波数調整用の金属膜が形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の水晶振動子。
- パッケージと、
このパッケージの中に設けられた請求項1ないし4のいずれか一つに記載の水晶振動子と、
前記パッケージの外に設けられ、前記水晶振動子の電極パターンに電気的に接続された電極と、を備えたことを特徴とする水晶振動子パッケージ。
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