JP2003101362A - 輪郭圧電結晶振動子とその製造方法 - Google Patents
輪郭圧電結晶振動子とその製造方法Info
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- JP2003101362A JP2003101362A JP2001331715A JP2001331715A JP2003101362A JP 2003101362 A JP2003101362 A JP 2003101362A JP 2001331715 A JP2001331715 A JP 2001331715A JP 2001331715 A JP2001331715 A JP 2001331715A JP 2003101362 A JP2003101362 A JP 2003101362A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 等価直列抵抗Ｒ１の小さい高周波数の輪郭圧
電結晶振動子を提供することにある。 【解決手段】 振動部と接続部と支持部を具えて構成さ
れ、振動部の上面と下面に電極を設け、マウント部は他
の部材に接着する。その結果、振動子の厚みを薄くでき
るので、高周波数で等価直列抵抗Ｒ１の小さい輪郭圧電
結晶振動子が実現できる。
電結晶振動子を提供することにある。 【解決手段】 振動部と接続部と支持部を具えて構成さ
れ、振動部の上面と下面に電極を設け、マウント部は他
の部材に接着する。その結果、振動子の厚みを薄くでき
るので、高周波数で等価直列抵抗Ｒ１の小さい輪郭圧電
結晶振動子が実現できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は高い電気機械変換効
率を有する輪郭圧電結晶振動子とその製造方法に関す
る。更に、本発明は輪郭圧電結晶振動子の形状と電極構
成に関する。特に、圧電材料として、水晶、タンタル酸
リチウムとニオブ酸リチウムを用い、高周波数、小型、
高精度、耐衝撃性、低廉化などの要求の強い携帯機器
用、情報通信機器用、及び民生機器用の基準信号源とし
て最適な振動子形状と電極構成を有する輪郭圧電結晶振
動子に関する。
率を有する輪郭圧電結晶振動子とその製造方法に関す
る。更に、本発明は輪郭圧電結晶振動子の形状と電極構
成に関する。特に、圧電材料として、水晶、タンタル酸
リチウムとニオブ酸リチウムを用い、高周波数、小型、
高精度、耐衝撃性、低廉化などの要求の強い携帯機器
用、情報通信機器用、及び民生機器用の基準信号源とし
て最適な振動子形状と電極構成を有する輪郭圧電結晶振
動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術としては、圧電材料として水
晶を用いたＮＳ−ＧＴカット輪郭水晶振動子がよく知ら
れている。図４にはこの従来例の平面図を示す。図４に
於いて水晶振動子１００は振動部１０１、接続部１０
３、１０６及び支持部１０４、１０７を具えて構成され
ている。支持部１０４と１０７はそれぞれマウント部１
０５と１０８を包含している。更に、図４と図５に示さ
れているように、振動部１０１の上下面には電極１０２
と１１１が配置され、振動部の電極１０２は接続部１０
３を介してマウント部１０５にまで延在している。これ
に対して、振動部の電極１１１も同様に接続部１０６を
介してマウント部１０８にまで延在している。電極１０
２と電極１１１は異極となるように構成され、２電極端
子を構成している。そして、振動子はマウント部１０５
と１０８でリード線や台座に接着剤などで固定される。
又、振動子は一様な厚みＴを有する。
晶を用いたＮＳ−ＧＴカット輪郭水晶振動子がよく知ら
れている。図４にはこの従来例の平面図を示す。図４に
於いて水晶振動子１００は振動部１０１、接続部１０
３、１０６及び支持部１０４、１０７を具えて構成され
ている。支持部１０４と１０７はそれぞれマウント部１
０５と１０８を包含している。更に、図４と図５に示さ
れているように、振動部１０１の上下面には電極１０２
と１１１が配置され、振動部の電極１０２は接続部１０
３を介してマウント部１０５にまで延在している。これ
に対して、振動部の電極１１１も同様に接続部１０６を
介してマウント部１０８にまで延在している。電極１０
２と電極１１１は異極となるように構成され、２電極端
子を構成している。そして、振動子はマウント部１０５
と１０８でリード線や台座に接着剤などで固定される。
又、振動子は一様な厚みＴを有する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ＮＳ−ＧＴカット輪郭
水晶振動子では、厚みＴを有する振動部の面積が大きい
程（低周波数）、等価直列抵抗Ｒ１が小さくなり、品質
係数Ｑ値が大きくなる。しかしながら２つの振動モード
が結合した、ＮＳ−ＧＴカット輪郭水晶振動子は、それ
らの周波数がそれぞれ幅Ｗと長さＬに反比例し、且つ、
周波数温度特性が幅Ｗと長さＬの比、Ｗ／Ｌによって決
定され、更に、周波数温度特性が良好となる辺比Ｗ／Ｌ
≒０．９５となるので、高周波数化しようとすると、振
動部の面積が小さくなる。そのため、電気機械変換効率
が小さくなり、その結果、等価直列抵抗Ｒ１が大きくな
り、品質係数Ｑ値が小さくなるなどの課題が残された。
このようなことから、高周波数で、等価直列抵抗Ｒ１が
小さく、品質係数Ｑ値が高くなるような振動子形状と電
極構成を有する輪郭圧電結晶振動子が所望されていた。
水晶振動子では、厚みＴを有する振動部の面積が大きい
程（低周波数）、等価直列抵抗Ｒ１が小さくなり、品質
係数Ｑ値が大きくなる。しかしながら２つの振動モード
が結合した、ＮＳ−ＧＴカット輪郭水晶振動子は、それ
らの周波数がそれぞれ幅Ｗと長さＬに反比例し、且つ、
周波数温度特性が幅Ｗと長さＬの比、Ｗ／Ｌによって決
定され、更に、周波数温度特性が良好となる辺比Ｗ／Ｌ
≒０．９５となるので、高周波数化しようとすると、振
動部の面積が小さくなる。そのため、電気機械変換効率
が小さくなり、その結果、等価直列抵抗Ｒ１が大きくな
り、品質係数Ｑ値が小さくなるなどの課題が残された。
このようなことから、高周波数で、等価直列抵抗Ｒ１が
小さく、品質係数Ｑ値が高くなるような振動子形状と電
極構成を有する輪郭圧電結晶振動子が所望されていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は以下の方法で従
来の課題を解決した輪郭圧電結晶振動子を提供すること
を目的とするものである。同時に、その製造方法を提供
するものである。
来の課題を解決した輪郭圧電結晶振動子を提供すること
を目的とするものである。同時に、その製造方法を提供
するものである。
【０００５】即ち、本発明の輪郭圧電結晶振動子の第１
の態様は、振動部と接続部と支持部とを具えて構成さ
れ、前記振動部の上面と下面に電極が配置されている輪
郭圧電結晶振動子において、前記振動部を囲むようにフ
レームを形成し、前記支持部のマウント部と前記フレー
ムは溶液を介して接着されると同時に振動部とフレーム
との間に段差を有する隙間を設けた輪郭圧電結晶振動子
である。
の態様は、振動部と接続部と支持部とを具えて構成さ
れ、前記振動部の上面と下面に電極が配置されている輪
郭圧電結晶振動子において、前記振動部を囲むようにフ
レームを形成し、前記支持部のマウント部と前記フレー
ムは溶液を介して接着されると同時に振動部とフレーム
との間に段差を有する隙間を設けた輪郭圧電結晶振動子
である。
【０００６】本発明の輪郭圧電結晶振動子の第２の態様
は、振動部と接続部と支持部とを具えて構成され、前記
振動部の上面と下面に電極が配置されている輪郭圧電結
晶振動子において、前記振動部を囲むようにフレームと
マウント部を形成し、前記フレームとマウント部は溶液
を介して他の部材に接着されている輪郭圧電結晶振動子
である。
は、振動部と接続部と支持部とを具えて構成され、前記
振動部の上面と下面に電極が配置されている輪郭圧電結
晶振動子において、前記振動部を囲むようにフレームと
マウント部を形成し、前記フレームとマウント部は溶液
を介して他の部材に接着されている輪郭圧電結晶振動子
である。
【０００７】本発明の輪郭圧電結晶振動子の第３の態様
は、振動部と接続部と支持部とを具えて構成される輪郭
圧電結晶振動子の製造方法において、少なくとも圧電結
晶板の片面をポリッシングする工程、前記圧電結晶板を
溶液を介して他の部材に接着する工程、前記圧電結晶板
を研磨とポリッシングする工程、前記部材の表面にレジ
ストを塗布し、その一部を除去する工程、前記圧電結晶
板と前記部材の表面に金属膜を付着する工程、前記金属
膜の表面にレジストを塗布する工程、更に、輪郭振動子
形状を形成する工程から成る輪郭圧電結晶振動子の製造
方法である。
は、振動部と接続部と支持部とを具えて構成される輪郭
圧電結晶振動子の製造方法において、少なくとも圧電結
晶板の片面をポリッシングする工程、前記圧電結晶板を
溶液を介して他の部材に接着する工程、前記圧電結晶板
を研磨とポリッシングする工程、前記部材の表面にレジ
ストを塗布し、その一部を除去する工程、前記圧電結晶
板と前記部材の表面に金属膜を付着する工程、前記金属
膜の表面にレジストを塗布する工程、更に、輪郭振動子
形状を形成する工程から成る輪郭圧電結晶振動子の製造
方法である。
【０００８】
【作用】このように、本発明は輪郭圧電結晶振動子とそ
の製造方法で、電気的諸特性に優れた超小型で、高周波
数の輪郭圧電結晶振動子が得られる。
の製造方法で、電気的諸特性に優れた超小型で、高周波
数の輪郭圧電結晶振動子が得られる。
【０００９】
【本発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に
基づき具体的に述べる。
基づき具体的に述べる。
【００１０】（第１実施例）図１は本発明の第１実施例
の輪郭圧電結晶振動子の上面図（ａ）と側面図（ｂ）で
ある。輪郭圧電結晶振動子２は振動部３、接続部６と９
及び、マウント部８と１１をそれぞれ含む支持部７と１
０を具えて構成されている。更に、支持部７と支持部１
０にはそれぞれ穴７ａと穴１０ａが設けられている。ま
た、振動部３の上面と下面には電極４と電極５が対抗し
て配置され、それらの電極は異極となるように構成され
ている。即ち、一対の電極が配置されている。
の輪郭圧電結晶振動子の上面図（ａ）と側面図（ｂ）で
ある。輪郭圧電結晶振動子２は振動部３、接続部６と９
及び、マウント部８と１１をそれぞれ含む支持部７と１
０を具えて構成されている。更に、支持部７と支持部１
０にはそれぞれ穴７ａと穴１０ａが設けられている。ま
た、振動部３の上面と下面には電極４と電極５が対抗し
て配置され、それらの電極は異極となるように構成され
ている。即ち、一対の電極が配置されている。
【００１１】更に、電極４は一方の接続部９を介してマ
ウント部１１にまで延在して配置されている。また、電
極５は他方の接続部６を介してマウント部８にまで延在
して配置されている。更に、振動部３と接続部６と９を
囲むように、フレーム２６、２７、２８と２９が設けら
れ、フレームは一体に形成されている。又、一方のマウ
ント部８は溶液３５を介してフレーム２６に接着され、
他方のマウント部１１は溶液３５を介してフレーム２８
に接着されている。溶液としては、純水などが用いられ
る。又、振動部３とフレーム２７，２９との間には段差
を有する隙間が設けられている。更に、マウント部８と
フレーム２６、及びマウント部１１とフレーム２８の間
の接着強度を高めるため、さらに接着剤を用いて補強固
定しても良い。又、振動子と接着されるフレーム２６と
フレーム２８の少なくとも一方がマウント部として働
き、台座やリード線等に接着剤や半田などによって固定
される。
ウント部１１にまで延在して配置されている。また、電
極５は他方の接続部６を介してマウント部８にまで延在
して配置されている。更に、振動部３と接続部６と９を
囲むように、フレーム２６、２７、２８と２９が設けら
れ、フレームは一体に形成されている。又、一方のマウ
ント部８は溶液３５を介してフレーム２６に接着され、
他方のマウント部１１は溶液３５を介してフレーム２８
に接着されている。溶液としては、純水などが用いられ
る。又、振動部３とフレーム２７，２９との間には段差
を有する隙間が設けられている。更に、マウント部８と
フレーム２６、及びマウント部１１とフレーム２８の間
の接着強度を高めるため、さらに接着剤を用いて補強固
定しても良い。又、振動子と接着されるフレーム２６と
フレーム２８の少なくとも一方がマウント部として働
き、台座やリード線等に接着剤や半田などによって固定
される。
【００１２】図１の側面図（ｂ）で示すように、振動部
３の上面と下面に電極４と電極５が配置されている。
又、フレーム２９の厚みＴ１は輪郭圧電結晶振動子の厚
みＴ０より著しく大きくすることができる。即ち、振動
部３の厚みを極めて薄くできる。その結果、厚み方向に
働く電界Ｅｔが大きくなり、高い電気機械変換効率を有
するので、高周波数でも等価直列抵抗Ｒ１の小さい輪郭
圧電結晶振動子が得られる。更に、振動子は厚いフレー
ム２６と２８に接着されているので、衝撃に対しても強
い振動子が実現できる。又、電界Ｅｔによって、振動部
の幅Ｗ０と長さＬ０に反比例して周波数が決まる輪郭振
動モードの振動子が励振される。本実施例では、図示さ
れていないが、例えば、電極５をフレーム２９を介して
電極４と同じ方向に配置してもよい。
３の上面と下面に電極４と電極５が配置されている。
又、フレーム２９の厚みＴ１は輪郭圧電結晶振動子の厚
みＴ０より著しく大きくすることができる。即ち、振動
部３の厚みを極めて薄くできる。その結果、厚み方向に
働く電界Ｅｔが大きくなり、高い電気機械変換効率を有
するので、高周波数でも等価直列抵抗Ｒ１の小さい輪郭
圧電結晶振動子が得られる。更に、振動子は厚いフレー
ム２６と２８に接着されているので、衝撃に対しても強
い振動子が実現できる。又、電界Ｅｔによって、振動部
の幅Ｗ０と長さＬ０に反比例して周波数が決まる輪郭振
動モードの振動子が励振される。本実施例では、図示さ
れていないが、例えば、電極５をフレーム２９を介して
電極４と同じ方向に配置してもよい。
【００１３】（第２実施例）図２は本発明の第２実施例
の輪郭圧電結晶振動子１２の上面図（ａ）と側面図
（ｂ）である。輪郭圧電結晶振動子１２は振動部１３、
接続部１４と２１，マウント部１６とそれに接続される
フレーム１７，１８と１９を含む支持部１５、及びマウ
ント部２３とそれに接続されるマウント部２０を含む支
持部２２を具えて構成されている。更に、フレーム１７
の両端部はフレーム１８，１９の一端部に接続され、フ
レーム１８と１９の他端部はマウント部２０に接続され
ている。支持部１５には穴１５ａが、支持部２２には穴
２２ａが設けられている。又、振動部１３とフレーム１
８，１９の間には隙間が設けられている。
の輪郭圧電結晶振動子１２の上面図（ａ）と側面図
（ｂ）である。輪郭圧電結晶振動子１２は振動部１３、
接続部１４と２１，マウント部１６とそれに接続される
フレーム１７，１８と１９を含む支持部１５、及びマウ
ント部２３とそれに接続されるマウント部２０を含む支
持部２２を具えて構成されている。更に、フレーム１７
の両端部はフレーム１８，１９の一端部に接続され、フ
レーム１８と１９の他端部はマウント部２０に接続され
ている。支持部１５には穴１５ａが、支持部２２には穴
２２ａが設けられている。又、振動部１３とフレーム１
８，１９の間には隙間が設けられている。
【００１４】また、振動部１３の上面と下面には異極で
対抗する電極２４と電極３０が配置されている。更に、
電極２４は一方の接続部２１を介してマウント部２０に
まで延在して配置され、マウント部２０に一方の電極端
子となる電極２５が形成される。又、電極３０は他方の
接続部１４とフレーム１７と１８を介してマウント部２
０にまで延在して配置され、マウント部２０に他方の電
極端子となる電極３１が形成される。即ち、２電極端子
を形成する。
対抗する電極２４と電極３０が配置されている。更に、
電極２４は一方の接続部２１を介してマウント部２０に
まで延在して配置され、マウント部２０に一方の電極端
子となる電極２５が形成される。又、電極３０は他方の
接続部１４とフレーム１７と１８を介してマウント部２
０にまで延在して配置され、マウント部２０に他方の電
極端子となる電極３１が形成される。即ち、２電極端子
を形成する。
【００１５】更に、フレーム１７，１８，１９とマウン
ト部２０は部材３２に溶液を介して接着される。更に詳
述するならば、振動部１３と部材３２は同一平面内では
なく、段差を有するように構成されている。又、部材３
２の厚みは輪郭圧電結晶振動子の厚みより著しく大きく
できる。このように構成することにより、高周波数でも
等価直列抵抗Ｒ１の小さい、しかも耐衝撃性に優れた輪
郭圧電結晶振動子が実現できる。
ト部２０は部材３２に溶液を介して接着される。更に詳
述するならば、振動部１３と部材３２は同一平面内では
なく、段差を有するように構成されている。又、部材３
２の厚みは輪郭圧電結晶振動子の厚みより著しく大きく
できる。このように構成することにより、高周波数でも
等価直列抵抗Ｒ１の小さい、しかも耐衝撃性に優れた輪
郭圧電結晶振動子が実現できる。
【００１６】（第３実施例）図３は本発明の第３実施例
の輪郭圧電結晶振動子の製造方法を示す。まず（１）の
工程で圧電結晶板３３は所望の角度に切断され、少なく
とも片面がポリッシングされる。次に（２）の工程でこ
のポリッシングされた面を溶液（純水など）３５を介し
て部材３４に接着される。更に、（３）の工程で圧電結
晶板はラッピング及びポリッシングにて所望の厚みに加
工する。次に、洗浄後、（４）の工程で前記部材３４の
表面にレジストを塗布し、フォトリソの工程により、部
材３４の一部３８は除去され、部材３６と３７が形成さ
れる。更に、（５）の工程で圧電結晶板３３と部材３６
と３７の表面に金属膜３９と４０が付着される。最後に
（６）の工程で、前記金属膜の表面にレジストを塗布
し、フォトリソ工程により振動子形状を残し、輪郭振動
子形状が形成される。
の輪郭圧電結晶振動子の製造方法を示す。まず（１）の
工程で圧電結晶板３３は所望の角度に切断され、少なく
とも片面がポリッシングされる。次に（２）の工程でこ
のポリッシングされた面を溶液（純水など）３５を介し
て部材３４に接着される。更に、（３）の工程で圧電結
晶板はラッピング及びポリッシングにて所望の厚みに加
工する。次に、洗浄後、（４）の工程で前記部材３４の
表面にレジストを塗布し、フォトリソの工程により、部
材３４の一部３８は除去され、部材３６と３７が形成さ
れる。更に、（５）の工程で圧電結晶板３３と部材３６
と３７の表面に金属膜３９と４０が付着される。最後に
（６）の工程で、前記金属膜の表面にレジストを塗布
し、フォトリソ工程により振動子形状を残し、輪郭振動
子形状が形成される。
【００１７】本発明の振動子は上記工程により製造され
るが、この製造工程に限定されるものではない。例え
ば、（３）の工程の後に、輪郭振動子形状を形成し、そ
の後に、フォトリソの工程により、振動子の電極構成と
部材の一部を除去する工程でも良い。
るが、この製造工程に限定されるものではない。例え
ば、（３）の工程の後に、輪郭振動子形状を形成し、そ
の後に、フォトリソの工程により、振動子の電極構成と
部材の一部を除去する工程でも良い。
【００１８】次に、本発明の輪郭圧電結晶振動子は幅縦
モード、長辺モード、ラーメモード及びすべりモードを
包含するものである。又、各実施例では振動部に一対の
電極構成について説明したが上記実施例に本発明は限定
されるものでなく、例えば、ｎ対（３，５，７，９・
・）と奇数対の電極構成をも包含するものである。この
場合、対抗電極は異なる極性で、隣接する電極をも異な
る極性を有している。
モード、長辺モード、ラーメモード及びすべりモードを
包含するものである。又、各実施例では振動部に一対の
電極構成について説明したが上記実施例に本発明は限定
されるものでなく、例えば、ｎ対（３，５，７，９・
・）と奇数対の電極構成をも包含するものである。この
場合、対抗電極は異なる極性で、隣接する電極をも異な
る極性を有している。
【００１９】更に、本実施例では振動部からの接続部は
各々の片側に一個設けた場合を示しているが、本発明は
各々の片側に複数個の接続部を設けることをも包含する
ものである。又、本発明の振動子はバッチ処理にて一度
に大量の振動子を製造することができる。それ故、安価
な振動子が実現できる。
各々の片側に一個設けた場合を示しているが、本発明は
各々の片側に複数個の接続部を設けることをも包含する
ものである。又、本発明の振動子はバッチ処理にて一度
に大量の振動子を製造することができる。それ故、安価
な振動子が実現できる。
【００２０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の輪郭圧電結
晶振動子を提供することにより、次の著しい効果を有す
る。 （１）振動部の厚みを極めて薄くすることができる。そ
の結果、振動子の厚み方向に働く電界Ｅｔが大きくな
り、高い電気機械変換効率を有するので高周波数でも等
価直列抵抗Ｒ１の小さい超小型の輪郭圧電結晶振動子が
得られる。 （２）振動子は厚いフレームに接着されているので、衝
撃に対しても強い振動子が実現できる。 （３）振動子のフレームと接着される部材の厚みは輪郭
圧電結晶振動子の厚みより著しく大きくできるので、高
周波数でも等価直列抵抗Ｒ１の小さい、しかも、耐衝撃
性に優れた輪郭圧電結晶振動子が実現できる。 （４）本発明の振動子はバッチ処理にて一度に大量の振
動子を製造することができる。その結果、安価な振動子
が実現できる。 （５）振動部とフレームあるいは振動部と部材は段差を
有するように構成されるので、作業性が良く、安価な振
動子が実現できる。
晶振動子を提供することにより、次の著しい効果を有す
る。 （１）振動部の厚みを極めて薄くすることができる。そ
の結果、振動子の厚み方向に働く電界Ｅｔが大きくな
り、高い電気機械変換効率を有するので高周波数でも等
価直列抵抗Ｒ１の小さい超小型の輪郭圧電結晶振動子が
得られる。 （２）振動子は厚いフレームに接着されているので、衝
撃に対しても強い振動子が実現できる。 （３）振動子のフレームと接着される部材の厚みは輪郭
圧電結晶振動子の厚みより著しく大きくできるので、高
周波数でも等価直列抵抗Ｒ１の小さい、しかも、耐衝撃
性に優れた輪郭圧電結晶振動子が実現できる。 （４）本発明の振動子はバッチ処理にて一度に大量の振
動子を製造することができる。その結果、安価な振動子
が実現できる。 （５）振動部とフレームあるいは振動部と部材は段差を
有するように構成されるので、作業性が良く、安価な振
動子が実現できる。
【図１】 本発明の第１実施例の輪郭圧電結晶振動子
の上面図（ａ）と側面図（ｂ）である。
の上面図（ａ）と側面図（ｂ）である。
【図２】 本発明の第２実施例の輪郭圧電結晶振動子
の上面図（ａ）と側面図（ｂ）である。
の上面図（ａ）と側面図（ｂ）である。
【図３】 本発明の第３実施例の輪郭圧電結晶振動子
の製造方法である。
の製造方法である。
【図４】 従来のＮＳ−ＧＴカット輪郭水晶振動子の
平面図である。
平面図である。
【図５】 従来のＮＳ−ＧＴカット輪郭水晶振動子の
側面図である。
側面図である。
Ｗ，Ｗ０ 振動部の幅
Ｌ，Ｌ０ 振動部の長さ
Ｔ，Ｔ０ 振動部の厚み
Ｔ１ フレームの厚み
２，１２ 輪郭圧電結晶振動子
３，１３，１０１ 振動部
４，５，２４，２５，３０，３１，４１，４２，１０
２，１１１ 電極 ６，９，１４，２１，１０３，１０６ 接続部 ７，１０，１５，１６，２２，１０４，１０７ 支持部 ８，１１，２０，２３，１０５，１０８ マウント部 １７，１８，１９，２６，２７，２８，２９ フレーム ３２，３４，３６，３７ 部材 ３３ 圧電結晶板 ３５ 溶液 ３８ 部材３４の一部分 ３９，４０ 金属膜 Ｅｔ 電界 Ｒ１ 等価直列抵抗 Ｑ 品質係数 ７ａ，１０ａ，１５ａ，２２ａ，１０９，１１０ 穴 １００ 水晶振動子
２，１１１ 電極 ６，９，１４，２１，１０３，１０６ 接続部 ７，１０，１５，１６，２２，１０４，１０７ 支持部 ８，１１，２０，２３，１０５，１０８ マウント部 １７，１８，１９，２６，２７，２８，２９ フレーム ３２，３４，３６，３７ 部材 ３３ 圧電結晶板 ３５ 溶液 ３８ 部材３４の一部分 ３９，４０ 金属膜 Ｅｔ 電界 Ｒ１ 等価直列抵抗 Ｑ 品質係数 ７ａ，１０ａ，１５ａ，２２ａ，１０９，１１０ 穴 １００ 水晶振動子
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(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０３Ｈ 9/19 Ｈ０１Ｌ 41/18 １０１Ａ
Claims (3)
- 【請求項１】 振動部と接続部と支持部とを具えて構成
され、前記振動部の上面と下面に電極が配置されている
輪郭圧電結晶振動子において、前記振動部を囲むように
フレームを形成し、前記支持部のマウント部と前記フレ
ームは溶液を介して接着されると同時に振動部とフレー
ムとの間に段差を有する隙間を設けた事を特徴とする輪
郭圧電結晶振動子。 - 【請求項２】 振動部と接続部と支持部とを具えて構成
され、前記振動部の上面と下面に電極が配置されている
輪郭圧電結晶振動子において、前記振動部を囲むように
フレームとマウント部を形成し、前記フレームとマウン
ト部は溶液を介して他の部材に接着されている事を特徴
とする輪郭圧電結晶振動子。 - 【請求項３】 振動部と接続部と支持部とを具えて構成
される輪郭圧電結晶振動子の製造方法において、少なく
とも圧電結晶板の片面をポリッシングする工程、前記圧
電結晶板を溶液を介して他の部材に接着する工程、前記
圧電結晶板を研磨とポリッシングする工程、前記部材の
表面にレジストを塗布し、その一部を除去する工程、前
記圧電結晶板と前記部材の表面に金属膜を付着する工
程、前記金属膜の表面にレジストを塗布する工程、更
に、輪郭振動子形状を形成する工程から成る事を特徴と
する輪郭圧電結晶振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001331715A JP2003101362A (ja) | 2001-09-21 | 2001-09-21 | 輪郭圧電結晶振動子とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001331715A JP2003101362A (ja) | 2001-09-21 | 2001-09-21 | 輪郭圧電結晶振動子とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003101362A true JP2003101362A (ja) | 2003-04-04 |
Family
ID=19147233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001331715A Pending JP2003101362A (ja) | 2001-09-21 | 2001-09-21 | 輪郭圧電結晶振動子とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003101362A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007274347A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Kyocera Kinseki Corp | ラーメモード水晶振動子およびその製造方法 |
| WO2018008480A1 (ja) * | 2016-07-05 | 2018-01-11 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
-
2001
- 2001-09-21 JP JP2001331715A patent/JP2003101362A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007274347A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Kyocera Kinseki Corp | ラーメモード水晶振動子およびその製造方法 |
| WO2018008480A1 (ja) * | 2016-07-05 | 2018-01-11 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
| WO2018008198A1 (ja) * | 2016-07-05 | 2018-01-11 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
| JPWO2018008480A1 (ja) * | 2016-07-05 | 2019-03-07 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
| CN109478876A (zh) * | 2016-07-05 | 2019-03-15 | 株式会社村田制作所 | 谐振器和谐振装置 |
| US11329624B2 (en) | 2016-07-05 | 2022-05-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Resonator and resonance device |
| CN109478876B (zh) * | 2016-07-05 | 2022-05-31 | 株式会社村田制作所 | 谐振器和谐振装置 |
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