JP2007273368A - イオン注入装置 - Google Patents
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- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 title claims abstract description 59
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims abstract description 214
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 159
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 46
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 13
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 abstract description 112
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- ZOCHARZZJNPSEU-UHFFFAOYSA-N diboron Chemical compound B#B ZOCHARZZJNPSEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001209 Low-carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- -1 hydrogen ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000005405 multipole Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
- H01J37/3171—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation for ion implantation
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/05—Electron or ion-optical arrangements for separating electrons or ions according to their energy or mass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/08—Ion sources; Ion guns
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/09—Diaphragms; Shields associated with electron or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/04—Means for controlling the discharge
- H01J2237/045—Diaphragms
- H01J2237/0455—Diaphragms with variable aperture
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/05—Arrangements for energy or mass analysis
- H01J2237/057—Energy or mass filtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/26—Bombardment with radiation
- H01L21/263—Bombardment with radiation with high-energy radiation
- H01L21/265—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation
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- Analytical Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
【解決手段】質量分離電磁石17からのイオンビーム1を受けて所望のイオンを選別して通過させる分離スリット20を備えたイオン注入装置10において、分離スリット20は、イオンビーム1を通過させる隙間形状が可変に構成されている。また、引出し電極系15と質量分離電磁石17との間に配置され、イオンビーム1が通過する隙間を形成するものであって、イオン源12から引き出されたイオンビーム1の一部を遮蔽するように隙間形状が可変に構成された可変スリット30を備える。
【選択図】図1
Description
イオンは一様な磁場中を移動するとき、その電荷と質量に依存した曲率半径で回転運動を行なうので、質量分離電磁石中にイオンビームを通過させ、通過後に所望のイオン種が到達すると予測される軌道上にスリットを配置することによって、イオン種の質量分離を行なうことができる。
また、図7(b)に示したような、間隔を調整可能な1対のスリット板を用い、電流ロスを低減するために(換言すれば、ビーム電流量を増やすために)、スリット間隔を大きくすると、イオンの質量分離分解能が低下するという問題がある。
(1)すなわち、本発明にかかるイオン注入装置は、基板に注入すべき所望のイオン種を含むプラズマを発生させるイオン源と、該イオン源のプラズマ中から前記所望のイオン種を含む断面長方形状のイオンビームを引き出す引出し電極系と、引き出された前記イオンビームをその厚さ方向側に曲げて質量分離し所望のイオン種を含むイオンビームを導出する質量分離電磁石と、該質量分離電磁石からのイオンビームを受けて前記所望のイオンを選別して通過させる分離スリットと、を備え、前記分離スリットを通過したイオンビームを基板に照射してイオン注入を行なうイオン注入装置において、前記分離スリットは、イオンビームを通過させる隙間形状が可変に構成されている、ことを特徴とする。
また、イオンビームから引き出されたイオンビームの一部を遮蔽するように前記隙間形状が可変に構成された可変スリットを備えるので、質量分離電磁石を通過後に電流密度が相対的に高くなると予測される部分を遮蔽し、予め除去しておくことにより、質量分離電磁石を通過した後のイオンビームの電流密度分布のムラを低減し均一化を図ることができる。
また、分割数を多くするほど、隙間形状を細かく変化させることができるので、質量分離電磁石を通過した後のイオンビームの電流密度分布のムラを低減する効果が向上し、より均一化を図ることができる。
このイオン注入装置10において、処理対象となる基板3は、半導体基板3、液晶パネル用のガラス基板等である。本実施形態において、基板3は長方形状をなし、例えば、短片寸法W1は730mmであり、長辺寸法W2は920mmである。だたし、基板形状は、長方形に限られず、正方形や円形であってもよい。
イオン源12と処理室19との間のイオンビーム1の経路は、真空容器16によって囲まれている。イオン源12と真空容器16、真空容器16と処理室19は、それぞれ互いに気密に接続されており、図示しない真空ポンプにより、内部が真空排気されるようになっている。
このイオン源12では、図示しないフィラメントにより熱電子を発生させ、供給された原料ガスの分子を電離させて所望のイオン種を含むプラズマ13を発生させる。
このイオンビーム進行方向に垂直な断面の長手方向の寸法は、基板3の短辺寸法W1よりも大きい。短辺寸法が730mmの場合、上記の長手方向の寸法は800mm(程度)以上となる。
また、本明細書において、断面長方形状とは、断面が長方形に近い、あるいは断面が長方形のような形状をも含む概念であり、完全な長方形のみを意味するものではない。
このように構成された質量分離電磁石17は、図1に示すように、イオン源12から引き出されたイオンビーム1をその厚さ方向側に曲げて質量分離し所望のイオン種を含むイオンビーム1を導出する。
本発明では、分離スリット20は、イオンビーム1を通過させる隙間形状が可変に構成されているので、質量分離電磁石17を通過したイオンビーム1の歪んだビーム形状に合わせて、その隙間形状を変化させることができる。例えば、上述した「く」の字型のビームに対しては同様の「く」の字型の隙間形状とすることができる。このため、高い質量分離分解能を維持しつつ電流ロスを低減できる。
図3に示すように、分離スリット20は、イオンビーム1の厚さ方向の両側に間隔を置いて対向配置された第1スリット21Aと第2スリット21Bとからなる。この第1スリット21Aと第2スリット21Bによって形成された隙間をイオンビーム1が通過する。第1スリット21A及び第2スリット21Bはイオンビーム1の幅方向に複数に分割された小スリット23,23・・・からなる。
本実施形態では、小スリット23は短冊状である。また、第1スリット21A及び第2スリット21Bは、ぞれぞれ、10分割され、ビームの厚さ方向に相対向する組を1対として、これが10対配置された構成となっている。
このような構成によれば、各小スリット23の位置を調整することにより、質量分離電磁石17を通過したイオンビーム1の歪んだビーム形状に合わせて、その隙間形状を容易に変化させることができる。
したがって、図3に示すように、所望のイオン種のみを含むビームの外形に沿うように各小スリット23の位置を調整することで、所望以外のイオン種を遮蔽し、所望のイオン種を選別して通過させることができるので、高い質量分離分解能を維持できるとともに電流ロスを低減できる。
また、分割数を多くするほど、ビーム形状の歪みに対する追従性が良くなるので、イオンの質量分離分解能が向上するとともに電流ロスがより低減できる。
なお、質量分離分解能向上と電流ロス低減のいずれを、どの程度優先させるかは、対象とする製品や、ユーザによって個別に決定されるべき事項であり、どちらがより優れているとも言えない。いずれを優先するにしても、高い質量分離分解能を維持できるとともに電流ロスを低減できるという優れた効果が得られることに変わりは無い。
ビームプロファイルモニタ40は、質量分離電磁石17よりもイオンビーム1進行方向下流側に配置され、イオンビーム1を受けて、このイオンビーム1の断面形状を測定するものである。本実施形態において、ビームプロファイルモニタ40は、可動ワイヤコレクタ40Aであり、図の矢印X方向(イオンビーム1の厚さ方向と同一)に往復移動可能に設けられた第1ワイヤ41と、図の矢印Y方向に往復移動可能に設けられた第2ワイヤ42とからなる。この可動ワイヤコレクタ40Aでは、イオンビーム1を受けながら、第1ワイヤ41と第2ワイヤ42を、それぞれ、X方向、Y方向に移動させることにより、イオンビーム1のX方向電流値とY方向電流値を得て、この電流値に基づいて、イオンビーム1の断面形状を測定することができる。なお、イオンビーム1の断面形状を測定するときは、分離スリット20のスリット幅を全開にしておく必要がある。
なお、ビームプロファイルモニタ40は、可動ワイヤコレクタ40Aに限られず、他の公知のものを採用してもよい。本実施形態では、ビームプロファイルモニタ40は、分離スリット20と処理室19との間に配置されているが、イオンビーム1を捕捉できる範囲内で、処理室19内における基板スライダ28の前面側又は背面側、あるいは質量分離電磁石17と分離スリット20との間に配置されてもよい。
本実施形態におけるイオンモニタ29は、X方向(イオンビーム1の厚さ方向と同一)には移動しないが、イオンビーム1の厚さに十分対応できるようになっている。さらに、このイオンモニタ29は、図示しない駆動装置によって、図のY方向(イオンビーム1の幅方向と同一)に往復移動可能に構成されている。
この構成により、イオンビーム1の幅方向の任意の位置の一定範囲において、そこに含まれるイオン種の種類及びその割合を測定することができる。このイオンモニタ29は、上述した小スリット23の1対ごと又は複数対ごとに対応した範囲のビームに含まれるイオン種及びその割合を測定できるようになっている。
図4に示すように、本実施形態にかかる可変スリット30は、上述した分離スリット20と同様の構成を有している。すなわち、可変スリット30は、イオンビーム1の厚さ方向の両側に間隔を置いて対向配置された第1スリット31Aと第2スリット31Bとからなる。この第1スリット31Aと第2スリット31Bによって形成された隙間をイオンビーム1が通過する。第1スリット31A及び第2スリット31Bはイオンビーム1の幅方向に複数に分割された小スリット33,33・・・からなる。
本実施形態では、小スリット33は短冊状である。また、第1スリット31A及び第2スリット31Bは、ぞれぞれ、10分割され、ビームの厚さ方向に相対向する組を1対として、これが10対配置された構成となっている。
ただし、上記の分離スリット20では所望以外のイオン種を遮蔽し所望のイオン種を選別する目的でイオンビーム1が通過する間隔が形成されないようにしたが、この可変スリット30では個々の小スリット33によりイオンビーム1の一部を遮蔽できれば良いので、必ずしも各小スリット33の間にイオンビーム1が通過する隙間が形成されないように配置されている必要は無い。
したがって、図4に示すように、質量分離電磁石17を通過後に電流密度が相対的に高くなると予測される部分を遮蔽し、予め除去しておくことができる。具体的に説明すると、例えば、質量分離電磁石17の通過後に、磁極18に近いビーム幅方向の両側付近における電流密度がビーム中央部よりも相対的に高くなると予測される場合、図4に示すように、ビーム幅方向の両側付近に当たる位置に配置された各小スリット33のスリット幅を狭めて、予めビームの一部を遮蔽し除去しておく。こうすると、イオンビーム1が質量分離電磁石17を通過したした後、一部が除去されたビーム幅方向の両側付近の電流密度が高くなるのを抑え、結果として、ビーム中央部の電流密度との電流密度差が緩和され、ビーム全体の電流密度分布が均一化する。
また、図6では、ファラデーカップアレイ40Bによる測定を行なう際に、ファラデーカップアレイ40Bへのイオンビーム1の照射の邪魔にならないよう、イオンモニタ29が破線で示す位置まで退避できるようになっている。
すなわち、隙間形状が可変の分離スリット20を備えるが可変スリット30は備えない構成であってもよく、この場合、イオンビーム1の電流密度の均一化効果は得られないが、高い質量分離分解能を維持しつつ電流ロスを低減できるという効果は得られる。
また、可変スリット30は備えるが、隙間形状が可変の分離スリット20は備えない構成であってもよく、この場合、高い質量分離分解能を維持しつつ電流ロスを低減できるという効果は得られないが、イオンビーム1の電流密度の均一化効果は得られる。ただし、隙間形状が可変の分離スリット20を備えない場合、所望のイオン種を選別するための、例えば図7に示したような何らかの別の分離スリットを備える必要がある。
3 基板
10 イオン注入装置
12 イオン源
13 プラズマ
15 引出し電極系
17 質量分離電磁石
19 処理室
20 分離スリット
21A 第1スリット
21B 第2スリット
23 小スリット
29 イオンモニタ
30 可変スリット
31A 第1スリット
31B 第2スリット
33 小スリット
38 制御装置
40 ビームプロファイルモニタ
Claims (7)
- 基板に注入すべき所望のイオン種を含むプラズマを発生させるイオン源と、該イオン源のプラズマ中から前記所望のイオン種を含む断面長方形状のイオンビームを引き出す引出し電極系と、引き出された前記イオンビームをその厚さ方向側に曲げて質量分離し所望のイオン種を含むイオンビームを導出する質量分離電磁石と、該質量分離電磁石からのイオンビームを受けて前記所望のイオンを選別して通過させる分離スリットと、を備え、前記分離スリットを通過したイオンビームを基板に照射してイオン注入を行なうイオン注入装置において、
前記分離スリットは、イオンビームを通過させる隙間形状が可変に構成されている、ことを特徴とするイオン注入装置。 - 基板に注入すべき所望のイオン種を含むプラズマを発生させるイオン源と、該イオン源のプラズマ中から前記所望のイオン種を含む断面長方形状のイオンビームを引き出す引出し電極系と、引き出された前記イオンビームをその厚さ方向側に曲げて質量分離し所望のイオン種を含むイオンビームを導出する質量分離電磁石と、該質量分離電磁石からのイオンビームを受けて前記所望のイオンを選別して通過させる分離スリットと、を備え、前記分離スリットを通過したイオンビームを基板に照射してイオン注入を行なうイオン注入装置において、
前記引出し電極系と前記質量分離電磁石との間に配置され、前記イオンビームが通過する隙間を形成するものであって、前記イオン源から引き出されたイオンビームの一部を遮蔽するように前記隙間形状が可変に構成された可変スリットを備える、ことを特徴とするイオン注入装置。 - 基板に注入すべき所望のイオン種を含むプラズマを発生させるイオン源と、該イオン源のプラズマ中から前記所望のイオン種を含む断面長方形状のイオンビームを引き出す引出し電極系と、引き出された前記イオンビームをその厚さ方向側に曲げて質量分離し所望のイオン種を含むイオンビームを導出する質量分離電磁石と、該質量分離電磁石からのイオンビームを受けて前記所望のイオンを選別して通過させる分離スリットと、を備え、前記分離スリットを通過したイオンビームを基板に照射してイオン注入を行なうイオン注入装置において、
前記分離スリットは、イオンビームを通過させる隙間形状が可変に構成されており、
さらに、前記引出し電極系と前記質量分離電磁石との間に配置され、前記イオンビームが通過する隙間を形成するものであって、前記イオン源から引き出されたイオンビームの一部を遮蔽するように前記隙間形状が可変に構成された可変スリットを備える、ことを特徴とするイオン注入装置。 - 前記分離スリットは、前記イオンビームの厚さ方向の両側に間隔を置いて対向配置された第1スリットと第2スリットとからなり、第1スリット及び第2スリットは前記イオンビームの幅方向に複数に分割された小スリットからなり、各小スリットは前記幅方向に隣接する当該各小スリットの間にイオンビームが通過する隙間が形成されないように配置され、各小スリットは前記厚さ方向に互いに独立に移動可能に構成されている、ことを特徴とする請求項1又は3に記載のイオン注入装置。
- 前記質量分離電磁石よりもイオンビーム進行方向下流側に配置され、前記イオンビームを受けて当該イオンビームの断面形状を測定するビームプロファイルモニタと、
前記分離スリットのイオンビーム進行方向下流側に配置され、分離スリットを通過したイオンビームを受けて当該イオンビームに含まれるイオン種の種類及びその割合を測定するイオンモニタと、
前記複数の小スリットの各々の動作を独立に制御可能であり、前記ビームプロファイルモニタと前記イオンモニタからの測定情報に基づいて、所望の質量分離分解能が得られるように前記各小スリットを制御する制御装置と、を備える、ことを特徴とする請求項4に記載のイオン注入装置。 - 前記可変スリットは、前記イオンビームの厚さ方向の両側に間隔を置いて対向配置された第1スリットと第2スリットとからなり、第1スリット及び第2スリットは前記イオンビームの幅方向に複数に分割された小スリットからなり、各小スリットは前記厚さ方向に互いに独立に移動可能に構成されている、ことを特徴とする請求項2又は3に記載のイオン注入装置。
- 前記質量分離電磁石よりもイオンビーム進行方向下流側に配置され、前記イオンビームを受けて当該イオンビームの断面形状及び電流密度分布を測定するビームプロファイルモニタと、
前記複数の小スリットの各々の動作を独立に制御可能であり、前記ビームプロファイルモニタからの測定情報に基づいて、前記可変スリットが受けるイオンビームのうち前記質量分離電磁石を通過した後に電流密度が相対的に高くなる部分を予測し、予測した部分に当たる位置に配置された各小スリットによりイオンビームの一部を遮蔽するように前記各小スリットを制御する制御装置と、を備えることを特徴とする請求項6に記載のイオン注入装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006099477A JP4882456B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | イオン注入装置 |
US12/294,674 US7964856B2 (en) | 2006-03-31 | 2007-03-27 | Ion implanting apparatus |
CN2007800120232A CN101416270B (zh) | 2006-03-31 | 2007-03-27 | 离子注入装置 |
PCT/JP2007/056474 WO2007114120A1 (ja) | 2006-03-31 | 2007-03-27 | イオン注入装置 |
KR1020087023935A KR101068345B1 (ko) | 2006-03-31 | 2007-03-27 | 이온 주입 장치 |
TW096110940A TWI366857B (en) | 2006-03-31 | 2007-03-29 | Ion implant apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006099477A JP4882456B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | イオン注入装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007273368A true JP2007273368A (ja) | 2007-10-18 |
JP4882456B2 JP4882456B2 (ja) | 2012-02-22 |
Family
ID=38563389
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006099477A Expired - Fee Related JP4882456B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | イオン注入装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7964856B2 (ja) |
JP (1) | JP4882456B2 (ja) |
KR (1) | KR101068345B1 (ja) |
CN (1) | CN101416270B (ja) |
TW (1) | TWI366857B (ja) |
WO (1) | WO2007114120A1 (ja) |
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- 2007-03-27 CN CN2007800120232A patent/CN101416270B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2007-03-27 KR KR1020087023935A patent/KR101068345B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-03-27 US US12/294,674 patent/US7964856B2/en not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110706 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110905 |
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