JP2011526064A - ビーム相補スリットの形状を、ビーム形状にマッチングさせることにより、粒子および汚染物質を減少させるためのシステムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- ビーム経路に沿ったイオンビームを生成するように構成されたイオンソースと、
上記イオンビームの質量分析を実行するように構成され、上記イオンソースの下流側に配置された質量分析器と、
上記ビーム経路に沿い、かつ、上記質量分析器の下流側に配置されたビーム相補スリットとを含み、
上記ビーム相補スリットは、上記イオンビームの断面のビームエンベロープに対応するサイズおよび形状を有している、イオン注入システム。 - 上記ビーム相補スリットは、分析スリットの上流側に配置されている、請求項1に記載のイオン注入システム。
- 上記ビーム相補スリットは、分析スリットの下流側に配置されている、請求項1に記載のイオン注入システム。
- 上記ビーム相補スリットは、上記イオンビームの形状にほぼ合うように、サイズおよび形状に関して、電子機械的に制御されている、請求項1に記載のイオン注入システム。
- 上記ビーム相補スリットは、ほぼバナナ形状である、請求項1に記載のイオン注入システム。
- 上記イオンビームの形状は、電子機械的なシステムを用いて正確に決定されるものであり、
上記電子機械的なシステムは、各センサ、コントロールシステム、および、取り付け位置にて動的に制御されて変化可能なスリットを有し、
上記電子機械的なシステムは、上記変化可能なスリットにより遮られる電流を測定することによって上記イオンビームの各端部を検出するように構成され、上記変化可能なスリットのサイズおよび形状を調整するものである、請求項1に記載のイオン注入システム。 - 上記イオンビームの断面のビームエンベロープは、
上記イオンビームを垂直方向および水平方向の双方にてスウィープする分割された各ディテクタを備えたシステムを用いて測定され、
2つの各次元での上記イオンビームのイメージを提供するように構成され、プレート内にパターン化される、回転するラセン状のホールを用いて測定され、
材料上に、単にビームを焼き付けて測定され、または、
イオンビームの近接位置内へ、フローティング開口を移動させることによって上記イオンビームの各端部を検出することによって測定される、請求項1に記載のイオン注入システム。 - ビーム経路に沿ったイオンビームを生成するように構成されたイオンソースと、
上記イオンビームの質量分析を実行するように構成され、上記イオンソースの下流側に配置された質量分析器と、
上記質量分析器の下流側に配置され、プラズマ電子流アッセンブリ、分析スリット、および、少なくとも1つのビーム相補スリットとを有する分析アッセンブリとを含み、
上記分析アッセンブリは、上記分析スリット、および、上記少なくとも1つのビーム相補スリットとを所定の間隔にて支持するように構成され、
上記分析スリットは、上記質量分析器の部品の下流側に配置され、
上記少なくとも1つのビーム相補スリットは、上記ビーム経路に沿った、上記分析スリットから下流側にあり、
上記少なくとも1つのビーム相補スリットは、上記イオンビームの断面のエンベロープに対応するサイズおよび形状を有している、イオン注入システム。 - 上記少なくとも1つのビーム相補スリットは、上記分析スリットの上流側に配置されている、請求項8に記載のイオン注入システム。
- 上記少なくとも1つのビーム相補スリットは、上記分析スリットの下流側に配置されている、請求項8に記載のイオン注入システム。
- 上記少なくとも1つのビーム相補スリットは、変更可能に構成され、上記イオンビームの断面のエンベロープにほぼ対応するサイズおよび形状に、電子機械的に制御され得るものである、請求項8に記載のイオン注入システム。
- 上記少なくとも1つのビーム相補スリットは、ほぼバナナ形状である、請求項8に記載のイオン注入システム。
- 上記イオンビームの形状は、電子機械的なシステムを用いて正確に決定されるものであり、
上記電子機械的なシステムは、各センサ、コントロールシステム、および、取り付け位置にて動的に制御されて変化可能なスリットを有し、
上記電子機械的なシステムは、上記変化可能なスリットにより遮られる電流を測定することによって上記イオンビームの各端部を検出するように構成され、上記変化可能なスリットのサイズおよび形状を調整するものである、請求項8に記載のイオン注入システム。 - ビーム相補スリットのサイズをイオンビームのサイズおよび形状に合わせることによって粒子および汚染物質を低減する方法であって、
(a)イオンビームのソースの各パラメータを選択し、
(b)質量分析器の、フィールド強度を含む各パラメータを選択し、
(c)分析スリットの位置を選択し、
(d)イオンビームの断面のエンベロープを決定し、
(e)上記イオンビームの断面のエンベロープとほぼ同じビーム相補スリットを作製し、かつ、上記ビーム相補スリットを実装し、
(f)イオンビームの重要な各因子を測定し、
上記測定されたイオンビームの重要な各因子が許容されない場合、(e)に戻り、
方法を終了する、方法。 - 上記ビーム相補スリットを、上記分析スリットの上流側とする、請求項14に記載の方法。
- 上記ビーム相補スリットを、上記分析スリットの下流側とする、請求項14に記載の方法。
- 上記ビーム相補スリットを、ほぼバナナ形状とする、請求項14に記載の方法。
- 上記イオンビームの形状を、電子機械的なシステムを用いて正確に決定し得、
上記電子機械的なシステムは、各センサ、コントロールシステム、および、取り付け位置にて動的に制御されて変更可能なスリットを有し、
上記変更可能なスリットは、上記ビーム相補スリットにより遮られる電流を測定することによって上記イオンビームの各端部を検出する、請求項14に記載の方法。 - 上記イオンビームの断面のビームエンベロープを、
上記イオンビームを垂直方向および水平方向の双方にてスウィープする分割された各ディテクタを備えたシステムを用いて測定する、
2つの各次元での上記イオンビームのイメージを提供するように構成され、プレート内にパターン化される、回転するラセン状のホールを用いて測定する、
材料上に、単にビームを焼き付けて測定する、または、
イオンビームの近接位置内へ、フローティング開口を移動させることによって上記イオンビームの各端部を検出することによって測定する、請求項14に記載の方法。 - 上記ビーム相補スリットを、変更可能に構成し、上記イオンビームの断面のエンベロープにほぼ対応するサイズおよび形状に、電子機械的に制御し得る、請求項14に記載の方法。
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