KR0143433B1 - 이온주입기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조시 불순물 도핑 공정에 사용되는 이온주입기에 관한 것으로써, 이온빔 수송계 구성품을 전기장형 대신 자기장(Magnetic Field)형으로 하여 이온빔의 자체 전하에 의하여 발생된 전기장이 외부에서 이온운동을 제어하기 위하여 인가된 자기장과 상호작용이 없도록 하여 제어장의 왜곡을 피하므로서 수십∼수백㎃까지 대전류 이온빔을 균일 밀도로 수송할 수 있고, 강 집속형 가속관을 사용, 안정하게 대전류를 가속하는 것이다.

Description

이온주입기(Ion Implanter)

제 1 도는 본 발명의 수평면의 이온빔 형상이 도시된 이온주입기의 평면 구성도

제 2 도는 수직면의 이온빔 형상 및 이온빔 주사도가 도시된 이온주입기의 수직면 구성도

제 3 도는 이온광학계를 채택한 이온주입장치도

제 4 도는 이온광학계를 채택한 이온빔의 수평 수직 형상예시도

제 5 도는 양산 처리용 표적계의 예시도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1:이온원 2:질량분리전자석

3:슬릿 4:가속관

5:자기4극 6:편향 주사 전자석

7:플라즈마 중화계 8:이온전류 측정용 패러데이 컵

9:표적계 10:이온빔

11:전류밀도분포 측정용 패러데이 스캐너

12,13,14:분자펌프 15:게이트 밸브

16,17:진공함 18:고전압 전극

19:절연지지대 20:고전압 전원공급기

21:절연변압기 22:이온원 전원공급기

23:웨이퍼 24:다중 표적계

본 발명은 반도체 소자 제조시 3가 또는 5가의 불순물 이온들의 도핑(Doping) 공정에 사용되는 이온주입기에 관한 것으로, 특히 직경 10인치 이상의 대형 웨이퍼의 처리량을 향상시키도록 대전류 이온빔 수송에 적합한 장치계의 구성과, 동시에 동일장치로써 여러 다른종류의 이온주입 공정에 적용할수 있도록 이온의 종류, 이온전류 및 에너지의 다양화를 이룩한 반도체 제조용 이온주입장치에 관한 것이다.

종래의 이온주입기에서는 이온원으로부터 인출된 이온빔을 표적계 웨이퍼까지 손실적게 수송 주사하는데 요구되는 이온빔 수송계통의 구성품들인 이온빔 집속계, 편향계, 주사계 등은 원리적으로 전기장(Electric Field)을 이용하여 이온의 운동을 제어하는 방식을 사용하였다. 이 방법은 이온빔 수송시, 하전입자들인 이온들이 발생하는 자체 전기장(공간전하에 위하여 발생된 전기장)과 이온빔을 집속, 편향등 제어하기 위하여 가해준 외부 전기장이 합성되고 이에따른 상호작용에 의하여, 외부 제어 전기장이 왜곡됨으로 이온빔 집속(Focusing), 편향(Deflecting), 주사(Scsnning)시 정밀한 조종 및 제어가 원리적으로 곤란하였다. 따라서 전기장형 제어방식은 이러한 공간 전하효과의 영향이 비교적 적은 이온전류 수㎃ 이하의 증 전류 이온주입기에만 사용이 가능하였으며, 이를 확장한 10㎃ 이상의 대전류 이온주입기에서는 이온빔 수송도중 손실, 공간적인 불균일로 넓은 면적의 균일 이온전류 밀도를 얻는데 문제가 되어왔다.

그러나 최근 반도체 소자, 특히 메모리분야의 CMOS형 IC소자 개발은 64M, 256M, 1G로 고집적화 되어가고, 생산성 향상을 위하여 웨이퍼 크기는 기존의 6-8인치 구경에서 10-12 인치 대형화 되는 추세이다. 따라서 이온주입공정도 소자의 고집적화에 따른 얕은 주입 깊이를 확보하기 위하여 주입이온빔의 저에너지화, 웨이퍼 구경의 대형화에 따른 주입이온빔 전류가 10㎃ 이상의 대전류화, 주입시 웨이퍼상에 주입된 이온들에 의하여 발생된 정전기에 의한 절연층 파괴를 감소시키기 위한 이온전류 밀도의 감소화와 균일성 확보(균질한 대면적의 이온빔), 그리고 기계적 구동시 주로 발생되는 크기 0.3 미크론 정도의 미소입자(분진)의 발생억제 및 제어가 이온주입장치 기술의 주요 현안으로 대두되고 있다.

이에따라 현재 상용화되어 있는 대전류 이온주입기에서는 이온주입시 웨이퍼에 대전류 균일 밀도의 이온빔을 조사하기 위하여 이온빔을 표적에 고정하고 웨이퍼가 부착된 표적을 고속으로 회전하는 기계적 주사방식을 채택하므로서 이온주입의 균일성을 어느정도 확보하고 있으나, 소자가 고집적화가 됨에 따라 절연층이 얕아 정전 파괴 전압은 낮은데, 조사되는 이온빔의 전류밀도는 균일한 빔의 크기로 제한됨에 따라 고전류 밀도로 주입되므로 웨이퍼의 기판과 게이트 전극사이에 산화막의 정전기적 파괴가 일어나 불량의 원인이 되고, 특히 표적계의 고속 기계적 회전시 금속 분진발생이 야기되어 수율 저하의 주요한 원인이 되고 있다.

또한, 종래의 반도체용 이온주입기에서는 주로 후리만(Freeman) 이온원을 사용하여 이온 종류로는 B⁺, BF²⁺, P⁺, As⁺등의 이온을 생산하고 전류 규모로는 1㎃ 급의 중전류 이온주입기(Medium Curret Implanter), 10㎃ 급의 대전류 이온주입기(High Current Implanter)로 구분되어 상품화 되어있고, SIMOX(Separation by Implanted Oxygen) 공정에서 요구되는 산소 이온주입기(Oxygen Impalnter), 월(Wall) 공정에서 요구되는 고에너지 이온주입기(High Energy Implanter)로 구분되어 있어 각 공정마다 해당 이온 주입기에 웨이퍼가 이동하면서 조사되므로 웨이퍼의 표적계로의 빈번한 장착과 탈착, 대기증에 노출과 이동에 따른 분진에의 오염 증가를 가져오고, 특히 연구용으로 사용할때, 경우에 따라서는 4개의 각각 다른 이온주입기들이 요구되어져 왔다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 선행기술의 문제점을 극복코져 이온빔수송계 구성품을 전기장형 대신 자기장(Mahnetic Field)형으로 하여 이온빔의 자체 전하에 의하여 발생된 전기장이 외부에서 이온운동을 제어하기 위하여 인가된 자기장과 상호작용이 없도록 하여 제어장의 왜곡을 피하므로서 수십∼수백㎃ 까지 대전류 이온빔을 균일 밀도로 수송할 수 있고, 강 집속형 가속관을 사용, 안정하게 대전류를 가속한다는데 기본적인 목적이 있는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 상기 목적에 부가하여 장치의 수송계를 단순화하고 이온광학 부품의 기능을 복합화하여 이온의 이동 거리를 최소화하므로써, 수송도중 이온빔 손실을 줄여 수송효율을 높이도록 하였으며, 이온빔 조사 위치인 표적에서 이온빔의 모양을 막대(리본)형으로 대형화하여 낮은 전류밀도의 균일한 넓은 면적을 갖는 이온빔을 얻을 수 있고, 막대의 수직방향으로 이온빔을 주사함으로써 웨이퍼 전면적에 조사되는 이온빔의 균일도를 향상시키는 것에 그 목적이 있다.

본 발명의 또다른 목적은 종래 반도체용 이온주입기에서 구분되어 사용되어 지던 각각 다른 이온 주입기의 문제점을 개선하여 전자빔음극가열형 이온원을 사용하므로서, 산소, 불소, 염소 등 화학적으로 매우 활성이 강한 원자들의 이온들까지도 생성이 가능하고, 또한 이온을 만들기 위한 이온화 물질로 고체와 기체를 겸용으로 사용하므로써, 종래의 이온주입기에서와 달리 이온원을 교체하지 않고도 B⁺, BF²⁺, P⁺, As⁺, O⁺, N⁺, B⁺⁺, P⁺⁺, As⁺⁺, Mo⁺, W⁺, Ti⁺등의 각종 다양한 이온을 한이온원으로 부터 얻게된다. 이러한 기능을 갖는 이온원을 장착하면, 단일 이온주입기로서 기존의 중·대전류 이온주입기 기능뿐만 아니라, 소자간 분리 산화막 형성용 산소 이온주입기, 월(Wall) 형성용 고 에너지 이온 주입기, 더 나아가 차세대 공정으로 개발되고 있는 소자-리드간 저저항 접합(Contact) 형성용 금속 이온주입기의 여러장치의 복합기능을 하나의 이온주입기로 여러 이온주입공정을 수행하므로써 소요장치수의 감소에 따라 장치비 및 운전 유지비를 절약할 수 있고, 공정상으로는 한장치에서 웨이퍼의 이동없이 여러공정을 수행하게 됨으로 이동에 따른 분진 오염문제를 줄일 수 있어 수율을 향상할 수 있는 것에 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 이온원, 질량분리전자석, 가속관, 자기4극, 자장형 편향 주사계, 플라즈마 중화계, 회전표적계로 이온빔 수송계통 부품이 자장형이며 복합기능으로 구성되는 이온주입기로써, 상기 이온 주입기는 질량분리전자석의 입·출구측의 자극의 각도를 연속으로 변화시키어 이온원으로 부터 방출된 이온빔을 원형 입구를 갖는 가속관에 정합시키는 수편 수직방향 동시에 집속특성을 변동할 수 있는 접속특성 가변형 질량분리 전자석으로 이온원과 가속관 사이를 정합시키며, 가속관을 강집속성 다단형으로 하고 가속전압 변동에 따른 공극의 길이를 단계적으로 조정하여 집속특성을 일정하게 유지하는 집속특성 고정형 가속관을 채용하며, 이온빔 편향 및 주사계가 단일 자기2극에 의하여 2가지 기능의 복합기능을 수행하는 편향주사계로 구성되어 지고, 웨이퍼 표적 전단에 PIG형 플라즈마 전하 중화장치를 채택하며, 낱장 웨이퍼 처리용 3회전축 회전표적계 및 양상처리용 표적계로 구성되어 진다.

또한 이온빔의 공간적 분포가 이온원으로 부터 막대형(리본형)의 빔을 방출하고 적당한 수송 및 가속을 거친후 다시 표적에 막대형으로 되고 이를 수직으로 주사하여 3측 자유도를 갖는 표적계를 구성하여 이온빔의 공간적 분포를 균일하게 하여 넓은 면적의 저밀도 균일 이온빔을 얻고, 표적에 회전운동을 가하여 웨이퍼상에 균일 이온빔이 조사되도록 된 이온광학계로 구성되며,

이온원을 고체, 기체(활성기체 포함) 겸용을 사용하여 B⁺, BF²⁺, P⁺, As⁺의 일반적인 3족, 5족 이온과 O⁺, N⁺등 절연층 형성 이온, P⁺⁺, P⁺⁺⁺, B⁺⁺, As⁺⁺의 2가 또는 3가를 생성 고에너지 이온빔, 비정질화용 Si⁺, Ge⁺, Sb⁺및 리드 접합형성용(Siliside 형성용) Ni⁺, Cr⁺, Mo⁺등 이온들을 얻을 수 있는 이온원 사용한 장치로 산소 이온주입기, 고에너지 이온주입기, 금속이온주입기의 여러장치의 기능을 겸용하게 하는 이온원을 채용하는 이온주입기 및 그로부터 가속되는 이온빔을 특징으로 한다.

이하 본 발명을 첨부 도면 제 1 도 내지 제 5 도에 연계하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

제 1 도는 본 발명의 자기장형 이온빔 수송계통으로 구성된 이온주입기의 평면도로서, 주요구성품 및 이온빔의 궤적을 도시하였으며, 제 2 도는 이들에 대한 입면도를 도시하였다.

장치의 이온빔 생성, 가속, 수송, 표적계의 구성은 다음과 같다.

전자빔 음가열형 이온원(1)은 B⁺, BF2⁺, P⁺, As⁺, O⁺, N⁺, B⁺⁺, P⁺⁺, As⁺⁺, Si⁺, Ni⁺, Cr⁺, Mo⁺각종 이온을 생성하며 광학특성 가변형 질량분리전자석(2)은 이온원으로 부터 방출된 여러종류의 이온 중 특정한 종류 및 전하만을 갖도록 정상궤도로 회전시키어 질량분리 전자석 후단에 슬릿(3)을 두어 한 종류의 이온만 통과토록 한 다음, 가속관(4)은 분리된 이온을 이온주입 깊이에 적당한 에너지로 가속 또는 감속한다.

가속된 이온빔은 4극 전자석(Magnetic Quadrupole)(5)에 의하여 한방향(수직방향)으로는 집속되고, 다른 한방향(수평방향)으로는 발산되어 웨이퍼가 부착 조사되는 표적(9)에 막대(리본)형 형상의 빔(10)을 만든다. 막대형으로 형상이 갖추어진 이온빔은 주사용 2극 전자석(Scanning Dipole Magnet)에 의하여 편향과 동시에 상·하수직방향으로 웨이퍼 상에 균일하게 주사된다. 표적 전단에 플라즈마 중성화(Plasms Neutralizer)(10) 장치를 두어 저 에너지 전자를 이온빔 경로에 공급하므로서 대전류 이온빔의 전하를 중화시켜 수송 중 이온빔 발산을 방지하고 특히 웨이퍼상의 조사된 이온빔에 의한 공간저하를 중화하므로써 소자의 정전파괴를 방지한다. 이온빔은 3 회전축 대형웨이퍼 표적(9)위에 낱장으로 장착되어 조사되며, 공정에 따라 표적의 회전운동, 주입각도를 변동하기위한 경사운동, 회전 중심축 이동운동을 유도하여 공정에 따라 적절한 이온주입이 되도록 한다. 이외 표적에서 이온빔의 전류를 측정하는 패러데이 컵(Faraday Cup)(11) 및 표적에 들어오는 이온빔의 공간적 분포를 측정하는 패러데이 스태너(Faraday Scanner)(12) 등의 이온빔 측정장치, 기타 이온빔 수송계를 고진공으로 균일하게 유지하기 위하여는 빔 라인 전체를 분자펌프로 구성한 진공계로 구성된다.

제 3 도는 이러한 부품들로 구성된 반도체용 이온주입기를 도시하였다. 기타 기본 구성품으로는 이온 가속시 가속관 위단에 인가되는 고전압에 의한 대기중 방전을 막기 위한 고전압 전극(15) 및 절연지지대(16), 고전압 전원(17), 냉각계(18) 및 장치 조종반으로 구성된다.

기존 장치와 비교하여 이온빔 수송계통, 즉 이온광학계통(Ion Optical System) 구성에 있어 특징지워지는 요소는, 가속빔을 표적에 막대형으로 형성하기 위하여 제 4 도와 같이 이온원으로 부터 방출된 막대형 이온빔을 원통형구조의 가속관에 손실없이 입사시키기 위하여 질량분리 전자석 자극의 입사각과 방출각을 변동할 수 있도록하여 이온빔의 수직 수평 집속 특성을 변동시키는 방법을 채택하였으며, 원형모양으로 빔이 가속된 후 다시 이온빔을 원래대로 막대형으로 재현 및 확대시키는데 자기 4극을 사용하였다. 이 막대형 빔은 다시 주사용 자기2극을 이용하여 표적 웨이퍼에 균일하게 조사함과 동시에 이온빔 속에 포함된 중성입자를 걸러내도록 하였다. 이때 이온빔 편향과 주사는 자기2극을 사용하여 복합기능을 갖도록하여, 이온빔 제어요소를 2개에서 1개로 생략하므로 수송거리를 줄일 수 있어 대전류 이온빔을 효율적으로 수송하게 된다.

이온주입기의 기본 구성품의 기능과 특성은 다음과 같다.

이온원은 전자빔 음극가열형으로 택하므로써, 고체, 기체(활성기체 포함) 시료 겸용으로 사용하며 불순물 도핑용 B⁺, BF₂ ⁺, P⁺, As⁺의 3족, 5족 이온과 O⁺, N⁺등 절연측 형성 이온, 고 에너지 생성용 P⁺⁺, P⁺⁺⁺, B⁺⁺, As⁺⁺의 2가 또는 3가 이온 및 비정질화용 Si⁺, Ge⁺, Sb⁺및 리드접합형성용(Siliside 형성용) Ni⁺, Cr⁺, Mo⁺등 이온들을 얻어, 한이온원으로 교체없이 여러종류의 이온을 생산하므로써 다양한 이온을 얻는다.

표 1 은 이 이온원으로서 발생되는 각종 이온빔에 대한 기초자료이다.

이온원으로부터 인출된 이온들 중에 특정 질량 및 하전상태를 갖는 이온종류를 분리하기 위한 질량분리 전자석은 자기 2극으로서 종래의 질량분리의 단순 기능 이외에 입사각 및 방출각 각도를 연속적으로 변화시키는 방법을 채택함으로써, 수평 수직의 집속특성을 동시에 변동시키어 이온원으로부터 막대형으로 인출된 이온빔을 원통형인 가속관에 잘 통과할 수 있도록 빔 모양을 원형에 가까운 형태로 만들어주는 이온광학특성 가변의 기능을 갖는다.

분리된 이온을 반도체의 도핑 깊이에 따라 이온의 적당한 운동 에너지를 갖도록 가·감속하는 가속관은 역시 강집속 특성을 갖는 이온광학부품이다. 가속관의 이온 집속특성은 가속관 입구측에서의 전기장의 구배에 의하여 결정된다. 전기장의 세기 E는 가속전압 V, 공극거리 d에 대하여 E=V/d의 관계를 갖는다.

기존의 장치에서는 다단형으로 되어있어 입구측에서 전기장의 구배가 약하며, 또 공극거리가 일정하므로 가속정압을 변동하면 전기장의 세기도 변동하여 광학특성이 변동하므로 가속과 다음단에 위치하는 이온광학부품(Ion Opical Component)들의 특성을 조종하여야 된다.

본 발명의 장치에서 가속관은 3공극(3 Gaps)형으로 하여 입구측에서 강한 전기장을 얻게하고, 가속 에너지가 낮을 때는 앞의 1공극에만 전압을 인가하고, 높을때는 3공극 전부를 사용하는 등의 공극 거리를 가변하므로서 가속전압의 변도에 따른 광학특성을 거의 일정하게 유지하는 광학특성 고정형으로 구성한다.

가속관에서 나온 가속된 이온빔은 단일 자기4극에 의하여 막대형으로 재현 표적에 확대되어 조사된다. 따라서 이 자기4극은 수평방향으로는 빔을 발산하고 수직방향으로는 빔을 집속하는 역할을 수행한다.

막대형상의 이온빔을 대구경 웨이퍼 표적계에 균일하게 조사하기 위하여 2가지 기능이 요구된다. 표적에 도달하는 이온빔 중에 수송 도중 전하교환 등에 의하여 이온이 중성화되어 버린 경우 전기적으로 중성이 되므로 전기장 또는 자기장으로 제어할 수가 없다. 특히 중성입자이므로 하전입자 특정장치인 패러데이 컵(Farady Cup)에 반응하지 않아 들어오는 량을 알수가 없다. 이 때문에 표적 전단에서는 이온빔을 편향시키어 표적에 조사시키므로써 중성 입자를 걸러내는 방법을 채용하게 되고 이에따라 이온빔 편향장치가 요구된다. 또한 제한된 이온빔 크기로 넓은 면적의 웨이퍼에 조사하기 위하여 이온빔을 수평 수직방향으로 웨이퍼상에 주사하기 위하여 주사장치가 요구된다. 주사장치를 사용하지 않는 경우 이온빔은 고정하고 표적을 회전과 동시에 병진운동을 하는 표적운동 방법을 사용한다.

본 발명에서는 자기2극을 사용하여 이온빔 편향과 동시에 상·하방향으로 주사가 되도록 하여 2개의 장치의 기능을 복합화하여 이온빔 수송계의 구성을 단순화 하였다.

낱장 웨이퍼용 표적계는 웨이퍼가 장착되는 회전반과 3축 회전계로 되어 회전운동, -90도 -90도 경사각 운동, 회전반 중심축 이동운동을 하도록하여, 회전반의 회전에 따른 균일한 이온빔 조사를 가능하게하고, 경사각을 변화시키어 적절한 조사각도를 주어 채널링 현상(Channeling)을 방지하며, 중심 이동을 하여 중성입자를 적절히 분리하는 역할을 담당한다.

또한, 양산용 처리를 위하여 제 5 도와 같이 여러장 웨이퍼를 장착할 수 있는 표적계를 부착하여 사용될 수도 있다.

이와 같은 본 발명은 이온빔 수송계를 구성품을 모두 자장형으로 채택하여 수십 ㎃ 이상의 대전류 이온빔의 집속, 편향 및 주사 등 정확한 이온빔의 제어가 가능하여 표적 웨이퍼에서의 대전류 이온빔을 조사할 수 있어 반도체 소자 생산성을 향상을 기할 수 있으며,

이온원으로부터 수평 막대(리본)형 이온빔을 인출하고 이를 질량분리전자석에서 수평 수직 집속을 하여 슬릿에서 분리한후 가속관에 맞는 원형으로 이온빔의 형상을 만들고 가속 강집속 후 자기4극을 사용하여 다시 막대형으로 환원 표적에 웨이퍼의 직경 크기 정도로 확대하고 이를 수직 방향으로 주사하는 이온광학계를 도입하여 표적에서 이온빔의 크기를 증가시킴으로서 넓은 면적의 균일 이온빔을 얻을 수 있어, 10인치 이상의 차세대 대구경 웨이퍼의 처리가 가능하고, 조사시 전류밀도를 감소시키므로써 절연층의 정전파괴를 방지할 수 있으며,

이온빔 편향 및 주사 기능을 1개의 자기2극을 사용하여 복합화함으로써 부품의 수를 줄이고, 수송거리를 단축시킴으로서 대전류 수송 중 발산에 의한 손실을 줄여 수송효율을 높일 수 있는 효과와,

전자빔 음극 가열형 이온원을 사용하여 B⁺, BF₂ ⁺, P⁺, As⁺의 일반적인 3족, 5족 이온과 O⁺, N⁺등 절연층 형성 이온, 고 에너지 이온빔을 얻기 위한 P⁺⁺, P⁺⁺⁺, B⁺⁺, As⁺⁺의 2가 또는 3가 이온, 비정질화용 Si⁺, Ge⁺, Sb⁺및 리드 접합형성용(Siliside 형성용) Ni⁺, Cr⁺, Mo⁺등 이온들을 얻을 수 있는 이온원을 사용한 장치로 대전류 이온주입기 뿐만아니라, 산소 이온주입기, 고에너지 이온주입기, 금속이온주입기 등 여러장치의 기능을 겸용하므로서 한 장치로서 모든 이온주입공정 수행이 가능 하므로 고가의 장비수를 줄이고 단순화 하므로서, 연구용 및 생산용 장치로 많은 경제적인 효과를 기대할 수 있는 것이다.

Claims (8)

1. 이온원, 질량분리전자석, 가속관, 자기4극, 자장형 편향 주사계, 플라즈마 중화계, 회전표적계로 이온빔 수송계통 부품이 자장형이며 복합기능으로 구성되는 것을 특징으로 하는 이온주입기.
2. 제 1 항에 있어서, 질량분리전자석의 입·출구측의 자극의 각도를 연속으로 변화시키어 이온원으로 부터 방출된 이온빔을 원형 입구를 갖는 가속관에 정합시키는 수평 수직방향 동시에 집속특성을 변동할 수 있는 집속특성 가변형 질량분리 전자석으로 이온원과 가속관 사이를 정합시킨 것을 특징으로 하는 이온주입기.
3. 제 1 항에 있어서, 가속관을 강집속성 다단형으로 하고 가속전압 변동에 따른 공극의 길이를 단계적으로 조정하여 집속특성을 일정하게 유지하는 집속특성 고정형 가속관을 채용하는 것을 특징으로 하는 이온주입기.
4. 제 1 항에 있어서, 이온빔 편향 및 주사계가 단일 자기2극에 의하여 2가지 기능의 복합기능을 수행하는 편향 주사계로 구성되는 것을 특징으로 하는 이온주입기.
5. 제 1 항에 있어서, 웨이퍼 표적 전단에 PIG형 플라즈마 전하중화장치를 채택한 것을 특징으로 하는 이온주입기.
6. 제 1 항에 있어서, 낱장 웨이퍼 처리용 3회전축 회전표적계 및 양산처리용 표적계로 구성되는 것을 특징으로 하는 이온주입기.
7. 이온빔의 공간적 분포가 이온원으로 부터 막대형(리본형)의 빔을 방출하고 적당한 수송 및 가속을 거친후 다시 표적에 막대형으로 되고 이를 수직으로 주사하여 3축 자유도를 갖는 표적계를 구성하여 이온빔의 공간적 분포를 균일하게 하여 넓은 면적의 저밀도 균일 이온빔을 얻고, 표적에 분포를 균일하게 하여 넓은 면적의 저밀도 균일 이온빔을 얻고, 표적에 회전운동을 가하여 웨이퍼상에 균일 이온빔이 조사되도록 된 이온광학계로 구성되는 것을 특징으로 하는 이온주입기.
8. 이온원을 고체, 기체(활성기체 포함) 겸용으로 사용하여 B⁺, BF₂ ⁺, P⁺, As⁺의 일반적인 3족, 5족 이온과 O⁺,N⁺등 절연층 형성 이온, P⁺⁺, P⁺⁺⁺, B⁺⁺, As⁺⁺의 2가 또는 3가를 생성 고에너지 이온빔, 비정질화용 Si⁺, Ge⁺, Sb⁺및 리드 접합형성용(Siliside 형성용) Ni⁺, Cr⁺, Mo⁺등 이온들을 얻을 수 있는 이온원 사용한 장치로 산소 이온주입기, 고에너지 이온주입기, 금속이온주입기의 여러장치의 기능을 겸용하게 하는 이온원을 채용하는 것을 특징으로 하는 이온주입기

   9. 제 8 항에 있어서, 이온주입기로부터 가속되어 지는 것을 특징으로 하는 이온빔.