JP2022515025A - イオン源のためのテトロード引出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、“TETRODE EXTRACTION APPARATUS FOR ION SOURCE”というタイトルが付された、2018年12月20日に出願された米国特許出願第16/227,296号の利益を主張する。当該特許出願の内容全体は、参照により本明細書に組み込まれる。
本発明は、一般的にはイオン注入システムに関する。より詳細には、本発明は、高電流イオン注入装置のためのイオン源に応じた接地電極-抑制電極-接地電極(ground-suppression-ground electrodes)を有するテトロード引出装置(四極管引出装置)に関する。
半導体デバイスおよび他のイオン関連製品の製造において、イオン注入システムは、ドーパント要素(成分)を半導体ウェハ、ディスプレイパネル、または他の種類のワークピース内に供給するために使用される。典型的なイオン注入システムまたはイオン注入装置は、n型またはp型のドープ領域を生成するために、または、ワークピース内にパッシベーション層を形成するために、公知のレシピまたはプロセスを利用して、イオンビームをワークピースに衝突させる。半導体をドーピングするために使用される場合、イオン注入システムは、所望の外因性材料を生成するために、選択されたイオン種を注入する。典型的には、ドーパント原子または分子は、イオン化され、分離され、場合によっては加速または減速され、ビームへと形成され、そしてワークピース内に注入される。ドーパントイオンは、ワークピースの表面に物理的に衝撃を与えて当該表面に入り、続いて、ワークピースの結晶格子構造内にて、ワークピース表面の下方において静止する。
本発明は、高電流イオン注入システムのための効率的な引出電極システムを提供することによって、従来技術の制限を克服する。そこで、以下では、本発明の一部の態様についての基本的な理解を提供するために、本開示についての簡略化された概要を提示する。この要約は、本発明の広い概観ではない。また、本発明の重要または主要な要素を特定することも、本発明の範囲を規定することも意図していない。本概要の目的は、後に提示されるより詳細な説明の前置きとして、本開示の一部のコンセプトを簡略化された形式にて提示することにある。
図1は、従来技術のイオン源引出装置の模式図である;
図2は、本発明の一態様に係るイオン注入システムを示す;
図3は、本発明の一態様に係るイオン源装置の断面図である;
図4は、本発明の別の態様に係るイオン源電極装置(イオンソース電極装置)の断面図を示す;
図5は、本発明のさらに別の例示的な態様に係る電極の斜視図である。
本発明は、イオン注入システムにおいて使用するための改良されたイオン引出電極装置、システム、および方法を概ね対象としている。そこで、以下では、図面を参照して本発明を説明する。図面において、同様の参照番号は、全体を通して同様の要素(部材)を指すために使用されてよい。これらの態様についての説明は、単に例示的なものであり、限定的な意味合いにて解釈されるべきではないことを理解されたい。以下の記載では、説明を目的として、本発明についての十分な理解を提供すべく、様々な特定の詳細部が開示されている。当業者であれば、本発明は、これらの特定の詳細部がなくとも実施されうることが明らかであろう。さらに、本発明の範囲は、添付の図面を参照して以下に記載されている実施形態または例によって限定されることは意図されていない。本発明の範囲は、添付のクレームおよびその均等物によってのみ限定されることが意図されている。
Claims (20)
- イオン源のための電極システムであって、
上記イオン源に関連するソース電極と、
上記ソース電極に近接して配置された第1接地電極と、
ビームラインに沿って上記第1接地電極の下流に配置された抑制電極と、
上記ビームラインに沿って上記抑制電極の下流に配置された第2接地電極と、を備えており、
上記ソース電極は、イオン源チャンバの外壁内にソース開口を概ね画定し、
上記ソース開口は、ソース電源に電気的に接続されており、
上記第1接地電極は、第1接地開口を概ね画定し、
上記第1接地電極は、電気的接地電位に電気的に接続されており、かつ、上記ビームラインに沿って上記イオン源からイオンを引き出し、
上記抑制電極は、抑制開口を概ね画定し、
上記抑制電極は、抑制電源に電気的に接続されており、
上記第2接地電極は、第2接地開口を概ね画定し、
上記第1接地電極および上記第2接地電極は、相互に固定的に接続されており、かつ、上記電気的接地電位に電気的に接続されている、電極システム。 - ソース電極は、ソースギャップによって、上記第1接地電極から電気的に隔離されている、請求項1に記載の電極システム。
- 上記ソース電源は、上記接地電位に対して正のソース電圧を上記ソース電極に供給する、請求項1に記載の電極システム。
- 上記抑制電源は、上記ソース電極に対して負の電位を上記抑制電極に印加する、請求項3に記載の電極システム。
- 上記第1接地電極を上記第2接地電極に固定的に接続する、1つ以上の接地ロッドをさらに備えている、請求項1に記載の電極システム。
- 上記1つ以上の接地ロッドは、導電性を有しており、上記第1接地電極を上記第2接地電極に電気的に接続する、請求項5に記載の電極システム。
- 上記第1接地電極および上記第2接地電極のうちの1つ以上に電気的に接続された接地部材をさらに備えており、
上記接地部材は、上記第1接地電極および上記第2接地電極をターミナル接地に電気的に接続する、請求項5に記載の電極システム。 - 上記接地部材は、ワイヤ、ケーブル、およびロッドのうちの1つ以上を含んでいる、請求項7に記載の電極システム。
- 上記第1接地電極、上記抑制電極、および上記第2接地電極は、相互に固定的に接続されており、
上記抑制電極は、上記第1接地電極および上記第2接地電極から電気的に絶縁されている、請求項1に記載の電極システム。 - 上記第1接地電極、上記抑制電極、および上記第2接地電極は、引出マニピュレータを概ね画定し、
上記引出マニピュレータは、上記ビームラインに対して少なくとも1つ以上の方向に移動する、請求項9に記載の電極システム。 - イオン注入システムのためのイオン源であって、
内部領域を有するアークチャンバと、
ソース電極と、
上記ソース電極に近接して配置された第1接地電極と、
ビームラインに沿って上記第1接地電極の下流に配置された抑制電極と、
上記ビームラインに沿って上記抑制電極の下流に配置された第2接地電極と、を備えており、
上記アークチャンバは、正イオンを含むプラズマを形成し、
上記ソース電極は、上記アークチャンバの外壁内にソース開口を概ね画定し、かつ、上記アークチャンバの上記内部領域を概ね包囲し、
上記ソース開口は、ソース電源に電気的に接続されており、
上記第1接地電極は、第1接地開口を概ね画定し、
上記第1接地電極は、電気的接地電位に電気的に接続されており、かつ、上記ビームラインに沿って上記イオン源から上記正イオンを引き出し、
上記抑制電極は、抑制開口を概ね画定し、
上記抑制電極は、抑制電源に電気的に接続されており、
上記第2接地電極は、第2接地開口を概ね画定し、
上記第1接地電極および上記第2接地電極は、相互に固定的に接続されており、かつ、上記電気的接地電位に電気的に接続されている、イオン源。 - ソース電極は、ソースギャップによって、上記第1接地電極から電気的に隔離されている、請求項11に記載のイオン源。
- 上記抑制電源は、上記第1接地電極および上記第2接地電極に対して負の電位を上記抑制電極に印加する、請求項11に記載のイオン源。
- 上記第1接地電極を上記第2接地電極に固定的に接続する、1つ以上の接地ロッドをさらに含んでいる、請求項1に記載のイオン源。
- 上記1つ以上の接地ロッドは、導電性を有しており、上記第1接地電極を上記第2接地電極に電気的に接続する、請求項14に記載のイオン源。
- 上記第1接地電極、上記抑制電極、および上記第2接地電極は、相互に固定的に接続されており、
上記抑制電極は、上記第1接地電極および上記第2接地電極から電気的に絶縁されている、請求項11に記載のイオン源。 - 上記第1接地電極、上記抑制電極、および上記第2接地電極は、引出マニピュレータを概ね画定し、
上記引出マニピュレータは、上記ビームラインに対して少なくとも1つ以上の方向に移動する、請求項16に記載のイオン源。 - イオン注入システムであって、
プラズマを形成するイオン源と、
ソース電源と、
抑制電源と、
電極システムと、を備えており、
上記電極システムは、
ソース電極と、
上記ソース電極に近接して配置された第1接地電極と、
ビームラインに沿って上記第1接地電極の下流に配置された抑制電極と、
上記ビームラインに沿って抑制電極の下流に配置された第2接地電極と、
導電性を有する1つ以上の接地ロッドと、
質量分析器と、
加速/減速装置と、
エンドステーションと、を備えており、
上記ソース電極は、上記イオン源の外壁内にソース開口を概ね画定し、かつ、上記イオン源の上記内部領域を概ね包囲し、
上記ソース開口は、上記ソース電極は、上記ソース電源に電気的に接続されており、
上記第1接地電極は、第1接地開口を概ね規定し、
上記第1接地電極は、電気的接地電位に電気的に接続されており、上記イオン源から正イオンを引き出すことによって、上記ビームラインに沿ったイオンビームを画定し、
上記抑制電極は、抑制開口を概ね画定し、
上記抑制電極は、上記抑制電源に電気的に接続されており、
上記第2接地電極は、第2接地開口を概ね画定し、
上記第1接地電極および上記第2接地電極は、相互に固定的に接続されており、かつ、上記電気的接地電位に電気的に接続されており、
上記1つ以上の接地ロッドは、上記第1接地電極を上記第2接地電極に固定的かつ電気的に接続し、
上記質量分析器は、上記ビームラインに沿って上記イオンビームを質量分析し、
上記加速/減速装置は、所望の注入エネルギーまで上記イオンビームを加速または減速させ、
上記エンドステーションは、上記ビームラインに沿った注入のためにワークピースを支持する、イオン注入システム。 - 少なくとも上記イオン源および上記電極システムを概ね包囲する真空チャンバと、
上記真空チャンバ内に真空をもたらす真空源と、
上記真空チャンバに関連する1つ以上の真空フィードスルーと、をさらに備えており、
上記ソース電源および上記抑制電源は、上記真空チャンバに内包されておらず、
上記1つ以上の真空フィードスルーは、上記真空チャンバ内の上記真空を維持しつつ、上記ソース電源および上記抑制電源を、上記ソース電極および上記抑制電極にそれぞれ電気的に接続する、請求項18に記載のイオン注入システム。 - 上記1つ以上の真空フィードスルーは、上記真空チャンバ内の上記真空を維持しつつ、上記第1接地電極および上記第2電極を、上記真空チャンバの外部のターミナル接地電位に電気的に接続する、請求項18に記載のイオン注入システム。
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