JP2007250916A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】パッド電極部の直下へのダメージ低減とその接続信頼性を満足できる半導体装置を提供することを目的とする。
【解決手段】第1,第2の半導体素子2c,2bは、互いの電極パット部7b,7cを対向させて配設され、第1の半導体素子2cの内周側の電極パッド部7cとこの内周側の電極パッド部7cよりも外周側の電極パッド部7dのうちの内周側の電極パッド部7cと第2の半導体素子2bの電極パッド部7bとがバンプ10aを介して電気的に接続され、第1の半導体素子2cの外周側の電極パッド部7dは、第1の半導体素子2cを収容する凹部1bに形成された配線電極部4bと電気的に接続されている。
【選択図】図1
【解決手段】第1,第2の半導体素子2c,2bは、互いの電極パット部7b,7cを対向させて配設され、第1の半導体素子2cの内周側の電極パッド部7cとこの内周側の電極パッド部7cよりも外周側の電極パッド部7dのうちの内周側の電極パッド部7cと第2の半導体素子2bの電極パッド部7bとがバンプ10aを介して電気的に接続され、第1の半導体素子2cの外周側の電極パッド部7dは、第1の半導体素子2cを収容する凹部1bに形成された配線電極部4bと電気的に接続されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、ESD(Electro Static Discharge、静電気放電)保護素子の上に電極パッド部を形成したパッドオンエレメント(POE)と称するパッド構造や、回路形成領域のアクティブ領域に電極パッド部を形成したエリアパッド構造を有した半導体素子を積層させた半導体装置とその製造方法に関するものである。
図7は従来の半導体装置を示す。
この半導体装置は、多層回路基板1に半導体素子2a,2b,2cが積層して実装されている。21はアンダーフィル樹脂,22a,22bは接着剤、23はモールド用の封止樹脂である。
この半導体装置は、多層回路基板1に半導体素子2a,2b,2cが積層して実装されている。21はアンダーフィル樹脂,22a,22bは接着剤、23はモールド用の封止樹脂である。
多層回路基板1の上面には、内側に配置された配線電極部24aとその外側に配設された配線電極部24bが形成されており、配線電極部24a,24bは多層回路基板1の内部配線を介して相互間が接続されたり、多層回路基板1の下面に形成されている半田ボール25に接続されている。
半導体素子2aは電極パット部26aを多層回路基板1の上面側に向けて配置されており、電極パッド部26aは、多層回路基板1の配線電極部24aにバンプ27を介してフリップチップ接続されている。
半導体素子2aの上には、半導体素子2bが回路形成面を上向きに実装され、パッド電極部26bが、多層回路基板1の配線電極部24bとワイヤー配線28aで接続されている。半導体素子2bの上には、半導体素子2cが回路形成面を上向きに実装され、パッド電極部26cが、多層回路基板1の配線電極部24bとワイヤー配線28bで接続されている。
図8は別の従来例を示している。
図7に示した半導体装置では、中央の半導体素子2bが回路形成面を上向きに実装されていたが、図8に示した半導体装置では、回路形成面を下向きにした半導体素子2bが半導体素子2aの上に取り付けられている点が異なっている。半導体素子2bのパッド電極部26bは、多層回路基板1の配線電極部24cとバンプ29で接続されている。
図7に示した半導体装置では、中央の半導体素子2bが回路形成面を上向きに実装されていたが、図8に示した半導体装置では、回路形成面を下向きにした半導体素子2bが半導体素子2aの上に取り付けられている点が異なっている。半導体素子2bのパッド電極部26bは、多層回路基板1の配線電極部24cとバンプ29で接続されている。
図7と図8に示した構造は、数個程度の半導体素子を積層するのに適しているが、更なる高機能のために、半導体素子の積層数が増加し、多ピン化した場合には、積層化する半導体素子の寸法サイズに大きな制約が発生する。
すなわち、半導体素子の積層上層部になるにつれ、半導体素子が小さくなり、積層化に限界を有した積層構造となり、更なる高機能化、多ピン化が図れない。
そこで、積層化における半導体素子の制約を回避できる図9に示した別の従来例がある。この従来例の多層回路基板1には、下層から上層に向かって各層の面積が大きくなるように階段状の凹部が形成されている。この凹部は下層から上層に向かって第1凹部1a,第2凹部1b,第3凹部1c,第4凹部1dとで構成されている。
そこで、積層化における半導体素子の制約を回避できる図9に示した別の従来例がある。この従来例の多層回路基板1には、下層から上層に向かって各層の面積が大きくなるように階段状の凹部が形成されている。この凹部は下層から上層に向かって第1凹部1a,第2凹部1b,第3凹部1c,第4凹部1dとで構成されている。
第1凹部1aの底部には回路形成面を上にした半導体素子2aがダイスボンドされている。この半導体素子2aの電極パッド部26aは、それぞれAu等のワイヤ−配線30aで多層回路基板1の配線電極部31aに接続されて、エポキシ系樹脂材32aで充填被覆されている。
エポキシ系樹脂材32aで覆われた界面上に、半導体素子2bがダイシボンドされ、半導体素子2bの電極パッド部26bは、多層回路基板1の配線電極部31aよりは一段上の左右階段上にある複数の配線電極部31bに、それぞれワイヤ−配線30bで接続されて、エポキシ系樹脂材32bで充填被覆されている。
エポキシ系樹脂材32bで覆われた界面上に、半導体素子2cがダイシボンドされ、半導体素子2cの電極パッド部31cは、 多層回路基板1の配線電極部31bよりは一段上の左右階段上にある複数の配線電極部31cに、それぞれワイヤ−配線30cで接続されて、エポキシ系樹脂材32cで充填被覆して積層化した構造を有している。
特開2001−217384公報
特開2001−291818公報
しかしながら図7,図8に示した半導体装置では、半導体素子の寸法サイズの制約があり、積層することができる半導体素子の数量が限定され、更なる高機能化の実現が非常に困難な積層構造である。
一方、図9に示したように、下層から上層に向かって各層の面積が大きくなるように複数の凹部1a〜1dが形成された多層回路基板1を用いて積層するため、積層する半導体素子の数量には制約はなくなったが、昨今、技術的に注目されているエリアパッド構造を有した半導体素子の回路形成面の内周に電極パッド部を設けたアクティブエリアパッド構造では、ワイヤーボンド接続時に発生する超音波や高温熱、高荷重等の負荷により、電極パッド部直下の層間膜クラックやトランジスタ特性変動などの不具合が発生する。
また、積層上層部でのワイヤー配線の配線長は、積層最下面部のワイヤー配線の配線長に比べ長くなるので、積層間での電気的信号処理能力である遅延速度等が大きく異なり、製品本来の電気特性を確保することが困難である。
また半導体素子と樹脂硬化を繰り返すことで多大な積層工程を有し、生産性が非常に悪く低コスト生産の実現が非常に困難である。更に、積層化した従来構造では、各半導体素子で発熱する熱の放熱効率が非常に低い構造であり、半導体素子の熱的破壊が頻繁に発生する致命的な積層型構造である。
本発明は、特に前述したエリアパッド構造の電極パッド部にフリップチップ実装方式でバンプ形成とパッケージ組み立てを実施した際の、パッド電極部の直下へのダメージ低減とその接続信頼性を満足できる半導体装置とその製造方法を提供することを目的とする。
さらに、高い機能特性と高放熱構造を有した半導体装置とその製造方法を提供することを目的とする。
本発明の請求項1記載の半導体装置は、複数の半導体素子を積層して多層回路基板に形成された凹部に実装した半導体装置において、多層回路基板に形成された前記凹部が、下層から上層に向かって各層の面積が大きくなるように形成され、前記複数の半導体素子のうちの第1,第2の半導体素子は、互いの電極パット部を対向させて配設され、第1の半導体素子の内周側の電極パッド部とこの内周側の電極パッド部よりも外周側の電極パッド部のうちの前記内周側の電極パッド部と第2の半導体素子の電極パッド部とがバンプを介して電気的に接続され、第1の半導体素子の前記外周側の電極パッド部は、多層回路基板の前記凹部のうちの第1の半導体素子を収容する凹部に形成された配線電極部と電気的に接続されたことを特徴とする。
本発明の請求項2記載の半導体装置は、請求項1において、第1の半導体素子の内周側の電極パッド部は回路形成領域に形成されており、第1の半導体素子の内周側の電極パッド部と第2の半導体素子の電極パッド部との間の前記バンプを、第1の半導体素子の前記外周側の電極パッド部と多層回路基板の前記配線電極部との間のバンプよりも低荷重で変形する材質で形成したことを特徴とする。
本発明の請求項3記載の半導体装置は、請求項1において、第1の半導体素子の内周側の電極パッド部は回路形成領域に形成されており、第1の半導体素子の内周側の電極パッド部と第2の半導体素子の電極パッド部との間の前記バンプと、第1の半導体素子の前記外周側の電極パッド部と多層回路基板の前記配線電極部との間のバンプとの材質が同じであることを特徴とする。
本発明の請求項4記載の半導体装置は、請求項1において、第1の半導体素子の内周側の電極パッド部は回路形成領域に形成されており、第1の半導体素子の内周側の電極パッド部と第2の半導体素子の電極パッド部との間の前記バンプを、第1の半導体素子と第2の半導体素子の側の少なくとも一方の半導体素子側に、半田メッキのバンプを形成して構成したことを特徴とする。
本発明の請求項5記載の半導体装置は、請求項1において、多層回路基板に形成された前記凹部と前記複数の半導体素子の間に絶縁性樹脂材を充填塗布し、かつ、多層回路基板に形成された前記凹部の開口部を放熱機能を有する放熱板で閉塞すると共に、最上層に配置された半導体素子を前記放熱板に熱結合したことを特徴とする。
本発明の請求項6記載の半導体装置は、請求項1において、多層回路基板に形成された前記凹部と前記複数の半導体素子の間に、最上層部にある前記半導体素子を超えない範囲で絶縁性樹脂材を充填塗布したことを特徴とする。
本発明の請求項7記載の半導体装置は、請求項1において、多層回路基板に形成された前記凹部の開口部と最上層部にある前記半導体素子との間に、絶縁性樹脂材の充填用に隙間を形成すると共に、多層回路基板に形成された前記凹部と前記複数の半導体素子の間に絶縁性樹脂材を充填塗布したことを特徴とする。
本発明の請求項8記載の半導体装置は、請求項1において、多層回路基板に形成された前記凹部の底部に前記半導体素子の一つで回路形成領域の外周辺部のみに電極パッド部が形成された半導体素子を、フリップチップ実装したことを特徴とする。
本発明の請求項9記載の半導体装置は、請求項1において、第1の半導体素子の前記外周側の電極パッド部を、多層回路基板の前記凹部のうちの第1の半導体素子を収容する凹部に形成された配線電極部に、ダイレクトに接続または導電性接着剤を介して電気的に接続されたことを特徴とする。
本発明の請求項10記載の半導体装置の製造方法は、多層回路基板に下層から上層に向かって各層の面積が大きくなるように形成された凹部の最下層に形成された配線電極部の上に、第1の半導体素子をフリップチップ実装し、第2の半導体素子の内周側の電極パッド部とこの内周側の電極パッド部よりも外周側の電極パッド部のうちの前記内周側の電極パッド部に第3の半導体素子をフリップチップ実装した積層体を、多層回路基板の前記凹部に、第3の半導体素子の裏面が第1の半導体素子の裏面に対向するように実装して、第2の半導体素子の前記外周側の電極パッド部を、多層回路基板の前記凹部のうちの第1の半導体素子を収容する凹部に形成された配線電極部と電気的に接続することを特徴とする。
本発明の請求項11記載の半導体装置の製造方法は、請求項10において、第2の半導体素子の内周側の電極パッド部に第3の半導体素子を、半田メッキ等の低ダメージバンプでフリップチップ実装して積層体を形成したことを特徴とする。
本発明の請求項12記載の半導体装置の製造方法は、請求項11において、第3の半導体素子の裏面を第1の半導体素子の裏面に熱結合し、第2の半導体素子の裏面に放熱板を熱結合させることを特徴とする。
本発明の請求項13記載の半導体装置の製造方法は、請求項12において、第1の半導体素子の裏面と第3の半導体素子の裏面の間に放熱性と接着性を有した第1の接着材を介装して実装し、第2の半導体素子の裏面と前記放熱板との間に放熱性と接着性を有した第2の接着材を介装して実装し、多層回路基板の前記凹部と前記半導体素子の間に充填された絶縁性樹脂と前記第1,第2の接着剤とを、最終段階で同時に一括硬化させることを特徴とする。
この構成によると、回路形成領域である半導体素子内部のアクティブ回路形成領域にあるパッド電極部に負荷するダメージを大きく低減させる接続プロセスを介して、もう一つの半導体装置の電極パッド部と電気的に接続された半導体素子の積層体が、何段階の凹型形状を有する多層回路基板上に積み上げ実装することにより、更なる高機能、多ピン化を図ることができる。
以下、本発明の各実施の形態を図1〜図6に基づいて説明する。
(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1の半導体装置を示し、図2(a)〜図2(e)はその製造方法を示している。
(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1の半導体装置を示し、図2(a)〜図2(e)はその製造方法を示している。
図1に示す実施の形態1の半導体装置は、下層から上層に向かって各層の面積が大きくなるように階段状の凹部が形成された多層回路基板1に、半導体素子2a,2b,2cが実装されている。多層回路基板1の凹部は、下層から上層に向かって第1凹部1aと第2凹部1bで構成されている。多層回路基板1の外側の底部には必要数の外部端子3が形成されている。多層回路基板1の第1凹部1aの底部には、複数の配線電極部4aが形成されており、この配線電極部4aは多層回路基板1に設けられた内層ビア5aを介して外部端子3に接続されている。多層回路基板1の第2凹部1bの底部には、複数の配線電極部4bが形成されており、この配線電極部4bは多層回路基板1に設けられた内層ビア5bを介して外部端子3に接続されている。6は放熱板で、多層回路基板1の開口部を閉塞するように取り付けられている。
半導体素子2a,2b,2cは図2(a)〜図2(e)の工程で実装されている。
図2(a)に示すように、半導体素子2aを、半導体素子2aの電極パッド部7aに形成されたAu等のバンプ8aが、多層回路基板1の第1凹部1aに設けられた配線電極部4aに当接するように、第1凹部1aの中央部にフリップチップ接続する。具体的には、配線電極部4aに貼り付けたシール状のエポキシ系樹脂材9の上から半導体素子2aを多層回路基板1の第1凹部1aの底部に押し付けて、半導体素子2aがフリップチップ接続されている。なお、この半導体素子2aは回路形成領域の外周辺部のみに電極パッド部7aが形成されている。
図2(a)に示すように、半導体素子2aを、半導体素子2aの電極パッド部7aに形成されたAu等のバンプ8aが、多層回路基板1の第1凹部1aに設けられた配線電極部4aに当接するように、第1凹部1aの中央部にフリップチップ接続する。具体的には、配線電極部4aに貼り付けたシール状のエポキシ系樹脂材9の上から半導体素子2aを多層回路基板1の第1凹部1aの底部に押し付けて、半導体素子2aがフリップチップ接続されている。なお、この半導体素子2aは回路形成領域の外周辺部のみに電極パッド部7aが形成されている。
次に、半導体素子2bと半導体素子2cとの接続を行う。図2(b)はその途中工程を示している。回路形成領域に電極パッド部7bを設けたアクティブエリアパッド構造を有した半導体素子2bと、回路形成領域に電極パッド部7cを設けたアクティブエリアパッド構造を有した半導体素子2cは、それぞれの電極パッド部7b,7cが向き合う状態で、半田あるいはNiメッキ等の低荷重負荷のバンプ10aを介して図2(c)に示すように電気的に接続した積層体11aとする。半導体素子2cの外周の電極パッド部7dには、Au等のバンプ12aが形成されている。バンプ10aはバンプ12aより低荷重で変形する材質である。さらに、バンプ10aを詳しく説明すると、バンプ10aは、各電極パッド部7bの上と各電極パッド部7cの上にそれぞれ形成されており、下記の何れかの組み合わせで構成されている。
・ 接触する一方の電極パッドに半田メッキ、他方の電極パッドにNiメッキの場合
・ 接触する一方の電極パッドと他方の電極パッドが共に半田メッキの場合
なお、バンプ12aについて、バンプ10aはバンプ12aより低荷重で変形する材質である具体例を記載したが、バンプ10aとバンプ12aは何れも半田などの低荷重で変形する同一材質で構成しても実施できる。
・ 接触する一方の電極パッドと他方の電極パッドが共に半田メッキの場合
なお、バンプ12aについて、バンプ10aはバンプ12aより低荷重で変形する材質である具体例を記載したが、バンプ10aとバンプ12aは何れも半田などの低荷重で変形する同一材質で構成しても実施できる。
この積層体11aは、図2(c)の工程を経て図2(d)に示すように、半導体素子2bの裏面側を下にして、半導体素子2aの裏面側に塗布した放熱性接着剤13aを介して、積層体11aと半導体素子2aとを接着する。この際に半導体素子2cのバンプ12aは、多層回路基板1の第2凹部1bに設けられた配線電極部4bに導電性接着材14aを介してフリップチップ実装される。なお、アクティブエリアパッド構造部以外でのバンプと多層回路基板上の配線電極部とが導電性接着剤を介する場合と介さずにシール状のエポキシ系樹脂材を介して接続される場合、またはダイレクトにバンプのみを形成した場合のどちらの接続方法でも適用が可能である。
更に図2(d)では、積層された最上層部にある半導体素子2cと多層回路基板1との隙間部15より絶縁性樹脂としてのエポキシ系樹脂材16を注入塗布する。
最後に、図2(e)に示すように、積層された最上層部にある半導体素子2cの裏面に、放熱性接着剤13bを介して放熱板6を貼り合わせ、エポキシ系樹脂材16と放熱性接着剤13b等の熱処理を同時に一括で対応することが可能な熱硬化処理を実施する。放熱板6の裏面にはマークインク17で品名や製造密番等が記載されている。
最後に、図2(e)に示すように、積層された最上層部にある半導体素子2cの裏面に、放熱性接着剤13bを介して放熱板6を貼り合わせ、エポキシ系樹脂材16と放熱性接着剤13b等の熱処理を同時に一括で対応することが可能な熱硬化処理を実施する。放熱板6の裏面にはマークインク17で品名や製造密番等が記載されている。
このようにして実装された半導体装置は、複数の半導体素子2a,2b,2cの電気回路が、多層回路基板1の内層ビア5a,5bを通じて、外部端子3または半田ボール18に接続された構造を有している。
具体的には、回路形成領域である半導体素子内部のアクティブ回路形成領域にあるパッド電極部に負荷するダメージを大きく低減させるメッキバンプ工法を採用し、耐ダメージ性への影響度合いが低い部分には、Au等のスタッドバンプ工程を介して、もう一つの半導体装置の電極パッド部と、が電気的に接続された半導体素子の積層体が少なくとも一つ以上で構成された積層体が、何段階の凹型形状を有する多層回路基板上に積み上げ実装することにより、更なる高機能、多ピン化を図ることができるものである。
また、半導体素子の回路形成領域内部に存在する回路コア周辺部に入出力I/Oセル上に電極パッド部を形成する構成を有することにより、従来の回路コア部から半導体素子外周部の電極パッド部への配線長を極端に短くすることができるため、回路コア部の出力電圧が降下するIRドロップ現象を防止することもでき、半導体素子の更なる高速化の実現をも図り、今後更に進展してゆく微細プロセスに対するデバイス性能の向上化の実現に確実に寄与できる。
また、多層回路基板に設けた複数の階段状の凹部形状は、上層部になるにつれ広がっており、半導体素子の寸法サイズの制約や積層する半導体素子の数量制約をも回避することができる。
また、多層回路基板の配線電極部と積層する各半導体素子の電極パッド部は、従来のワイヤ−配線と異なり、フリップチップ実装方式でバンプ接続されているので、接続信号配線の長さが短く且つ均一な構成により、電気的な信号処理能力に大きなバラツキ差は生じない電気特性上の利点を有している。
また、発熱する複数の積層半導体素子からの熱エネルギーをフリップチップ実装側のBGA面と最上層に設けた放熱板および放熱接着剤を介して効率よく熱放散させることができ、半導体素子の熱的破壊を防止し、且つ半導体素子及び半導体装置の低消費電力化をも実現できる構成を有しているものである。これにより、半導体装置の高い信頼性向上を図ることができるものである。
また、エポキシ系樹脂と放熱性接着剤の熱硬化工程を最終段階で同時に一括して硬化することにより、従来の多大な熱硬化工程の繰り返しによる工程数と生産タクトを短縮化することが可能となり、大幅に生産性を向上することが可能となる。これにより複数の半導体素子を積層する高機能且つ高コストを有する積層型半導体装置の製造コストを大幅に低減することが可能となり、積層型半導体装置の製品コストの低減化を実現できるものである。
なお、上記の説明では多層回路基板1の開口部は放熱板6で閉塞されていたが、図3に示すように放熱板6を設けない構成でも実施できる。具体的には、積層した最上層部にあたる半導体素子2cを超えない範囲で、エポキシ系樹脂材16が塗布硬化された構造を有しているものである。完成した半導体装置の重さは、図1の放熱板6を取り付けた構造に比べ、軽量化が図れる利点を有している。その他は図1と同じである。
(実施の形態2)
図4は本発明の実施の形態2の半導体装置を示し、図5(a)〜図5(d)はその製造方法を示している。図1では半導体素子2a,2b,2cの積層構造であったが、この実施の形態2では半導体素子2a,2b,2cの上に、更に半導体素子2d,2eを積み重ねた積層構造である。
図4は本発明の実施の形態2の半導体装置を示し、図5(a)〜図5(d)はその製造方法を示している。図1では半導体素子2a,2b,2cの積層構造であったが、この実施の形態2では半導体素子2a,2b,2cの上に、更に半導体素子2d,2eを積み重ねた積層構造である。
具体的には、多層回路基板1としては、下層から上層に向かって各層の面積が大きくなるように第1凹部1a,第2凹部1bと第3凹部1cが形成されたものを使用している。さらに、多層回路基板1の外側の底部に形成された外部端子3と第1凹部1aの配線電極部4aとを接続する内層ビア5a,多層回路基板1の外側の底部に形成された外部端子3と第2凹部1bの配線電極部4bとを接続する内層ビア5bに加えて、多層回路基板1の外側の底部に形成された外部端子3と第3凹部1cの配線電極部4cとを接続する内層ビア5cが設けられている。
多層回路基板1の第1凹部1aには、図1と同様に半導体素子2a,2bが実装されている。第2凹部1bには、半導体素子2c,2dが実装されている。第3凹部1cには、半導体素子2eが実装されている。
半導体素子2cの上に半導体素子2dを実装するまでは実施の形態1と同じである。図5(b)に示す工程に先立って、半導体素子2d,2eの積層体11bを作成する。
図5(a)はその途中工程を示しており、回路形成領域に電極パッド部7eを設けたアクティブエリアパッド構造を有した半導体素子2dと、回路形成領域に電極パッド部7fを設けたアクティブエリアパッド構造を有した半導体素子2eは、それぞれの電極パッド部7e,7fが向き合う状態で、半田あるいはNiメッキ等の低荷重負荷のバンプ10bを介して図5(b)に示すように電気的に接続した積層体11bとする。半導体素子2eの外周の電極パッド部7gには、Au等のバンプ12cが形成されている。
図5(a)はその途中工程を示しており、回路形成領域に電極パッド部7eを設けたアクティブエリアパッド構造を有した半導体素子2dと、回路形成領域に電極パッド部7fを設けたアクティブエリアパッド構造を有した半導体素子2eは、それぞれの電極パッド部7e,7fが向き合う状態で、半田あるいはNiメッキ等の低荷重負荷のバンプ10bを介して図5(b)に示すように電気的に接続した積層体11bとする。半導体素子2eの外周の電極パッド部7gには、Au等のバンプ12cが形成されている。
バンプ10bはバンプ12cより低荷重で変形する材質である。バンプ10bは、各電極パッド部7eの上と各電極パッド部7fの上にそれぞれ形成されており、下記の何れかの組み合わせで構成されている。バンプ10aの場合と同様である。
・ 接触する一方の電極パッドに半田メッキ、他方の電極パッドにNiメッキの場合
・ 接触する一方の電極パッドと他方の電極パッドが共に半田メッキの場合
なお、バンプ12bについて、バンプ10bはバンプ12bより低荷重で変形する材質である具体例を記載したが、バンプ10bとバンプ12bは何れも半田などの低荷重で変形する同一材質で構成しても実施できる。
・ 接触する一方の電極パッドと他方の電極パッドが共に半田メッキの場合
なお、バンプ12bについて、バンプ10bはバンプ12bより低荷重で変形する材質である具体例を記載したが、バンプ10bとバンプ12bは何れも半田などの低荷重で変形する同一材質で構成しても実施できる。
このようにして形成された積層体11bは、図5(b)の工程を経て図5(c)に示すように、半導体素子2dの裏面側を下にして、半導体素子2cの裏面側に塗布した放熱性接着剤13bを介して、前記積層体11bと前記半導体素子2cとを接着する。この際に半導体素子2eのバンプ12bは、多層回路基板1の第3凹部1cに設けられた配線電極部4cに導電性接着材9を介してフリップチップ実装される。なお、アクティブエリアパッド構造部以外でのバンプ7gと多層回路基板1上の配線電極部4cとが導電性接着剤14bを介す場合と介さずにシール状のエポキシ系樹脂材を介して接続される場合、またはダイレクトにバンプ12bのみを形成した場合のどちらの接続方法でも適用が可能である。
更に図5(c)では、積層された最上層部にある半導体素子2eと多層回路基板1との隙間部15より、絶縁性樹脂としてのエポキシ系樹脂材16を注入塗布する。この注入されたエポキシ系樹脂材16は、複数の半導体素子2a〜2eをサージ等から保護している。
最後に、図5(d)に示すように、積層された最上層部にある半導体素子2eの裏面に、放熱性接着剤13cを介して放熱板6を貼り合わせ、エポキシ系樹脂材16と放熱性接着剤13a,13b,13c等の熱処理を同時に一括で対応することが可能な熱硬化処理を実施する。放熱板6の裏面にはマークインク17で品名や製造密番等が記載されている。
このようにして実装された半導体装置は、複数の半導体素子2a,2b,2c,2d,2eの電気回路が、多層回路基板1の内層ビア5a,5b,5cを通じて、外部端子3または半田ボール18に接続されている。
なお、上記の説明では多層回路基板1の開口部は放熱板6で閉塞されていたが、図6に示すように放熱板6を設けない構成でも実施できる。具体的には、積層した最上層部にあたる半導体素子2eを超えない範囲で、エポキシ系樹脂材16が塗布硬化された構造を有しているものである。完成した半導体装置の重さは、図4の放熱板6を取り付けた構造に比べ、軽量化が図れる利点を有している。その他は図4と同じである。
本発明は微細プロセスなどの半導体装置のデバイス性能の向上化に寄与できる。
1 多層回路基板
1a,1b,1c 第1,第2,第3凹部
2a,2b,2c,2d,2e 半導体素子
3 外部端子
4a,4b,4c 配線電極部
5a,5b,5c 内層ビア
6 放熱板
7a,7b,7c,7d,7e,7f,7g 電極パッド部
8a,10a,10b,12a,12b バンプ
11a,11b 積層体
13a,13b 放熱性接着剤
14a,14b 導電性接着材
15 半導体素子2cと多層回路基板1との隙間部
16 エポキシ系樹脂材
1a,1b,1c 第1,第2,第3凹部
2a,2b,2c,2d,2e 半導体素子
3 外部端子
4a,4b,4c 配線電極部
5a,5b,5c 内層ビア
6 放熱板
7a,7b,7c,7d,7e,7f,7g 電極パッド部
8a,10a,10b,12a,12b バンプ
11a,11b 積層体
13a,13b 放熱性接着剤
14a,14b 導電性接着材
15 半導体素子2cと多層回路基板1との隙間部
16 エポキシ系樹脂材
Claims (13)
- 複数の半導体素子を積層して多層回路基板に形成された凹部に実装した半導体装置において、
多層回路基板に形成された前記凹部が、下層から上層に向かって各層の面積が大きくなるように形成され、
前記複数の半導体素子のうちの第1,第2の半導体素子は、互いの電極パット部を対向させて配設され、第1の半導体素子の内周側の電極パッド部とこの内周側の電極パッド部よりも外周側の電極パッド部のうちの前記内周側の電極パッド部と第2の半導体素子の電極パッド部とがバンプを介して電気的に接続され、
第1の半導体素子の前記外周側の電極パッド部は、多層回路基板の前記凹部のうちの第1の半導体素子を収容する凹部に形成された配線電極部と電気的に接続された
半導体装置。 - 第1の半導体素子の内周側の電極パッド部は回路形成領域に形成されており、第1の半導体素子の内周側の電極パッド部と第2の半導体素子の電極パッド部との間の前記バンプを、第1の半導体素子の前記外周側の電極パッド部と多層回路基板の前記配線電極部との間のバンプよりも低荷重で変形する材質で形成した
請求項1記載の半導体装置。 - 第1の半導体素子の内周側の電極パッド部は回路形成領域に形成されており、第1の半導体素子の内周側の電極パッド部と第2の半導体素子の電極パッド部との間の前記バンプと、第1の半導体素子の前記外周側の電極パッド部と多層回路基板の前記配線電極部との間のバンプとの材質が同じである
請求項1記載の半導体装置。 - 第1の半導体素子の内周側の電極パッド部は回路形成領域に形成されており、第1の半導体素子の内周側の電極パッド部と第2の半導体素子の電極パッド部との間の前記バンプを、
第1の半導体素子と第2の半導体素子の側の少なくとも一方の半導体素子側に、半田メッキのバンプを形成して構成した
請求項1記載の半導体装置。 - 多層回路基板に形成された前記凹部と前記複数の半導体素子の間に絶縁性樹脂材を充填塗布し、かつ、
多層回路基板に形成された前記凹部の開口部を放熱機能を有する放熱板で閉塞すると共に、最上層に配置された半導体素子を前記放熱板に熱結合した
請求項1記載の半導体装置。 - 多層回路基板に形成された前記凹部と前記複数の半導体素子の間に、
最上層部にある前記半導体素子を超えない範囲で絶縁性樹脂材を充填塗布した
請求項1記載の半導体装置。 - 多層回路基板に形成された前記凹部の開口部と最上層部にある前記半導体素子との間に、絶縁性樹脂材の充填用に隙間を形成すると共に、
多層回路基板に形成された前記凹部と前記複数の半導体素子の間に絶縁性樹脂材を充填塗布した
請求項1記載の半導体装置。 - 多層回路基板に形成された前記凹部の底部に前記半導体素子の一つで回路形成領域の外周辺部のみに電極パッド部が形成された半導体素子を、フリップチップ実装した
請求項1記載の半導体装置。 - 第1の半導体素子の前記外周側の電極パッド部を、多層回路基板の前記凹部のうちの第1の半導体素子を収容する凹部に形成された配線電極部に、ダイレクトに接続または導電性接着剤を介して電気的に接続された
請求項1記載の半導体装置。 - 多層回路基板に下層から上層に向かって各層の面積が大きくなるように形成された凹部の最下層に形成された配線電極部の上に、第1の半導体素子をフリップチップ実装し、
第2の半導体素子の内周側の電極パッド部とこの内周側の電極パッド部よりも外周側の電極パッド部のうちの前記内周側の電極パッド部に第3の半導体素子をフリップチップ実装した積層体を、多層回路基板の前記凹部に、第3の半導体素子の裏面が第1の半導体素子の裏面に対向するように実装して、第2の半導体素子の前記外周側の電極パッド部を、多層回路基板の前記凹部のうちの第1の半導体素子を収容する凹部に形成された配線電極部と電気的に接続する
半導体装置の製造方法。 - 第2の半導体素子の内周側の電極パッド部に第3の半導体素子を、半田メッキ等の低ダメージバンプでフリップチップ実装して積層体を形成した
請求項10記載の半導体装置の製造方法。 - 第3の半導体素子の裏面を第1の半導体素子の裏面に熱結合し、
第2の半導体素子の裏面に放熱板を熱結合させる
請求項11記載の半導体装置の製造方法。 - 第1の半導体素子の裏面と第3の半導体素子の裏面の間に放熱性と接着性を有した第1の接着材を介装して実装し、
第2の半導体素子の裏面と前記放熱板との間に放熱性と接着性を有した第2の接着材を介装して実装し、
多層回路基板の前記凹部と前記半導体素子の間に充填された絶縁性樹脂と前記第1,第2の接着剤とを、最終段階で同時に一括硬化させる
請求項12記載の半導体装置の製造方法。
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-
2006
- 2006-03-17 JP JP2006073620A patent/JP2007250916A/ja not_active Withdrawn
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