JP2007250878A - 半導体光デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体レーザ11aの活性層13aは、障壁層19と、井戸層21と、中間層23aとを含む。障壁層19は、構成元素として少なくともガリウムおよびヒ素を含む第1のIII−V化合物半導体からなる。井戸層21は、構成元素として少なくとも窒素およびヒ素を含む第2のIII−V化合物半導体からなる。中間層23aは、構成元素として少なくとも窒素およびヒ素を含む第3のIII−V化合物半導体からなる。中間層23aは、障壁層19と井戸層21との間に設けられている。中間層23aの厚みDは3nm以下であり、中間層23aの第3のIII−V化合物半導体は、構成元素としてインジウムを含まない。
【選択図】図1
Description
Electron.Lett. 36 (2000) pp725. Appl.Phys. Lett. 79 (2001) pp3386.
図1は、本実施の形態に係る半導体光デバイスといった半導体レーザを概略的に示す図面である。半導体レーザ11aは、活性層13aと、第1導電型半導体層15と、第2導電型半導体層17とを備える。活性層13aは、第1導電型半導体層15と第2導電型半導体層17との間に設けられている。活性層13aは、量子井戸構造を有しており、また障壁層19と、井戸層21と、中間層23aとを含む。障壁層19は、構成元素として少なくともガリウムおよびヒ素を含む第1のIII−V化合物半導体からなる。井戸層21は、構成元素として少なくとも窒素およびヒ素を含む第2のIII−V化合物半導体からなる。中間層23aは、構成元素として少なくとも窒素およびヒ素を含む第3のIII−V化合物半導体からなる。また、中間層23aは、障壁層19と井戸層21との間に設けられてており、また井戸層21に含まれる窒素元素の拡散を防止するように設けられている。中間層23aの厚みDは好ましくは3nm以下であり、中間層23aの第3のIII−V化合物半導体は、構成元素としてインジウムを含まない。
半導体基板25:n型GaAs
バッファ層27:n型GaAs
第1導電型半導体層15:n型クラッド層、n型AlGaAs
活性層13a
障壁層19:GaAs、8nm
井戸層21:GaInNAs、7nm
中間層23a:GaN0.01As0.99、2nm
第2導電型半導体層17:p型クラッド層、p型AlGaAs
コンタクト層29:p型GaAs
絶縁層31:窒化シリコン
第1の電極35:アノード
第2の電極33:カソード
である。活性層13aとしては単一量子井戸構造に限定されることなく、多重量子井戸構造を有することができる。
減圧有機金属気相成長(MOVPE)法を用いて、単一量子井戸(SQW)を活性層とするレーザ構造エピを作製した。Al、Ga、In、N、Asの原料として、それぞれ、TMAl、TEGa、TMIn、DMHy、TBAsを用いる。また、Si、Znドーパントのために、それぞれ、ドーピングガスTeESiおよびDEZnを用いる。
基板はSiドープGaAs(100)2゜オフ基板を用いた。
成長温度:摂氏510度、
成長速度:0.9μm/h、
モル比[DMHy]/[全V族原料]:0.99、
成長圧力:76Torr(10132.5Pa)
である。
減圧有機金属気相成長(MOVPE)法を用いて、単一量子井戸(SQW)を活性層とするレーザ構造エピを作製した。基板はSiドープGaAs(100)2゜オフ基板を用いた。
成長温度:摂氏510度、
成長速度:0.9μm/h、
モル比[DMHy]/[全V族原料]:0.99、
成長圧力:76Torr(10132.5Pa)
である。
GaNAs中間層の組成として、GaN0.01As0.99を用い、中間層の厚さの影響を調べるために、GaNAs中間層の異なる厚みを有する半導体レーザを作製した。その厚さとして、0、2nm、3nm、5nm、10nmを用いた。
図7は、本実施の形態に係る半導体光デバイスといった半導体レーザを概略的に示す図面である。半導体レーザ11bは、活性層13bと、第1導電型半導体層15と、第2導電型半導体層17とを備える。活性層13bは、量子井戸構造を有しており、また第1導電型半導体層15と第2導電型半導体層17との間に設けられている。活性層13bは、障壁層19と、井戸層21と、中間層23bとを含む。中間層23bは、障壁層19と井戸層21との間に設けられている。中間層23bの厚みDは3nm以下である。中間層23bは、構成元素として少なくとも燐、窒素およびヒ素を含む第3のIII−V化合物半導体からなる。また、中間層23bの第3のIII−V化合物半導体は、構成元素としてインジウムを含まない。
半導体基板25:n型GaAs
バッファ層27:n型GaAs
第1導電型半導体層15:n型クラッド層、n型AlGaAs
活性層13b
障壁層19:GaAs
井戸層21:GaInNAs、7nm
中間層23b:GaNPAs、2nm
第2導電型半導体層17:p型クラッド層、p型AlGaAs
コンタクト層29:p型GaAs
絶縁層31:窒化シリコン
第1の電極35:アノード
第2の電極33:カソード
である。活性層13aと同様に、活性層13bとしては単一量子井戸構造に限定されることなく、多重量子井戸構造を有することができる。
減圧有機金属気相成長(MOVPE)法を用いて、単一量子井戸(SQW)を活性層とするレーザ構造エピを作製した。基板はSiドープGaAs(100)2゜オフ基板を用いた。単一量子井戸構造は、井戸層/中間層/障壁層(GaInNAs/GaNPAs/GaAs)の組み合わせを有する。障壁層はGaAsで形成し、また光閉じ込め層との兼用のために、厚さ140nmの障壁層を形成した。中間層の厚さは例えば2nmである。中間層はGaNPAsで形成し、具体的には、GaN0.01P0.01As0.98からなることができる。GaInNAs井戸層の厚さは7nmであり、具体的には、井戸層はGa0.65In0.35N0.01As0.99からなることができる。井戸層の成長条件の一例:
井戸層の成長条件の一例:
成長温度:摂氏510度、
成長速度:0.9μm/h、
モル比[DMHy]/[全V族原料]:0.99、
成長圧力:76Torr(10132.5Pa)
である。
Claims (5)
- 構成元素として少なくともガリウムおよびヒ素を含む第1のIII−V化合物半導体からなる障壁層と、構成元素として少なくとも窒素およびヒ素を含む第2のIII−V化合物半導体からなる井戸層と、構成元素として少なくとも窒素およびヒ素を含む第3のIII−V化合物半導体からなり前記障壁層と前記井戸層との間に設けられ、前記井戸層に含まれる窒素元素の拡散を防止するための中間層とを含む量子井戸構造と、
第1導電型半導体層と、
第2導電型半導体層と
を備え、
前記量子井戸構造は、前記第1導電型半導体層と前記第2導電型半導体層との間に設けられており、
前記第3のIII−V化合物半導体は、構成元素としてインジウムを含まない、ことを特徴とする半導体光デバイス。 - 前記中間層の厚みは3nm以下であり、
前記中間層の窒素組成は前記井戸層の窒素組成以上である、ことを特徴とする請求項1に記載された半導体光デバイス。 - 前記第3のIII−V化合物半導体は構成元素として燐を含む、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載された半導体光デバイス。
- 前記第1のIII−V化合物半導体はGaAsであり、
前記第2のIII−V化合物半導体はGaInNAsであり、
前記第3のIII−V化合物半導体はGaNPAsである、ことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載された半導体光デバイス。 - 前記第1のIII−V化合物半導体はGaAsであり、
前記第2のIII−V化合物半導体はGaInNAsであり、
前記第3のIII−V化合物半導体はGaNAsである、ことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に半導体光デバイス。
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