JP2007250819A - 基板アニール装置用の遮熱板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水平に支持された平板状の基板1と、基板の上方に位置し基板上面を輻射熱で加熱するヒータ5と、基板とヒータとの間を遮蔽する遮蔽位置とその間から外れた開放位置との間を水平移動可能な遮熱板10とを有する基板アニール装置用の遮熱板。遮熱板10は、遮蔽位置における温度差でほとんど変形しない低熱膨張材(カーボンコンポジット材)で構成された構造部材12と、構造部材の上面を覆いこれをその許容温度以下に保持する断熱部材14とからなる。
【選択図】図2
Description
上述したシャッター板64は、従来、素早く移動させることができるように、例えばアルミニウウム、チタン等の軽量素材で形成されていた。
例えばガラス基板等の急速加熱にヒータを用いる場合、ヒータ側温度は従来よりも高温(例えば約750℃前後)となる。そのため、例えばアルミニウムは融点を超えるため、使用できない。
また、作動位置において、基板側は中温(例えば約400℃前後)であるため、遮熱板の両面間の温度差は約350℃以上にも達し、チタン等を用いた場合でも大きな熱変形が生じる。
さらに、耐熱温度の高いカーボン材を構造物として用いた場合でも、高温によるカーボン材の酸化(焼損)は避けられなかった。
前記遮熱板は、遮蔽位置における温度差でほとんど変形しない低熱膨張材で構成された構造部材と、該構造部材の上面を覆いこれをその許容温度以下に保持する断熱部材とからなる、ことを特徴とする基板アニール装置用の遮熱板が提供される。
遮熱板の下面を構成する底板と、
梁部材と底板を連結する接続部品とを有する。
また、この構造部材の上面を覆いこれをその許容温度以下に保持する断熱部材を有するので、上面が高温(例えば約750℃前後)に曝されても、構造部材をその許容温度以下に保持して、その酸化(焼損)を防止できる。
ヒータ5は、例えば電気ヒータ、加熱ランプ等であり、基板1の上方に位置し、基板1の上面を輻射熱で加熱する。このヒータ5は、例えば基板1の急速加熱のため、ヒータ側温度が高温(例えば約750℃前後)となっている。
遮熱板10は、支持・移動機構8により、水平方向へ移動可能に支持されており、基板1とヒータ5との間を遮蔽する遮蔽位置(図でC方向)とその間から外れた開放位置(図でO方向)との間を水平移動可能に構成されている。
この構成により、遮熱板10は、基板1の熱処理が終了した際に、開放位置から遮蔽位置に高速で移動し、基板とヒータとの間を遮蔽して基板1の温度を速やかに降下させることができる。
またこの遮蔽位置において、基板側は中温(例えば約400℃前後)であり、遮熱板10の両面間の温度差は約350℃以上に達する。
この図において、本発明の遮熱板10は、遮蔽位置における温度差でほとんど変形しない低熱膨張材で構成された構造部材12と、構造部材12の上面を覆いこれをその許容温度以下に保持する断熱部材14とからなる。
構造部材12は、複合炭素材料(カーボンコンポジット材)、例えば高温耐酸化コーティングを有するC/Cコンポジット材であるのがよい。
カーボンコンポジット材は、炭素繊維と炭素マトリックスの複合材であり、その熱膨張率は、炭素に近く約3〜4×10−6/℃(800Kにおいて)であり、アルミニウムや鉄の1/4〜1/5以下である。
従って、遮熱板10の両面(上下面)間で大きな温度差(例えば約350℃以上)が生じる場合でも、熱変形を小さく抑えることができる。
図3及び図4に示すように、この例において、構造部材12は、遮熱板に必要な曲げ剛性を有する複数(この例で4本)の水平に延びる梁部材12aと、遮熱板の下面を構成する底板12bと、梁部材12aと底板12bを連結する接続部品12cとを有する。
なお本発明はこの構成に限定されず、梁部材12aを平板以外の形材、例えば、I形、H形、L型等にしてもよい。また、梁部材12aを対燃焼性と耐熱性を有する限りでカーボンコンポジット材以外の石英、SiC材などにしてもよい。
また、梁部材12aをO側で一端支持せず、その他の支持形態(例えば、両幅端の支持)の場合には、その支持形態に適した曲げ剛性を有するように構成する。
接続部品12cは、この例ではカーボンコンポジット材からなるL形部材であり、梁部材12aの側面と底板12bの上面に密着するように位置する。
この連結部材13は、下面が曝される温度(約400℃前後)に耐えるように、インコロイ等の耐熱金属製、或いはカーボン材であるのがよい。
なお本発明はこの構成に限定されず、H形、L型の梁部材12aの下面に底板12bを連結部材13で取り付け、接続部品12cを省略してもよい。また、全体を1枚の底板12bで構成し、その上に梁部材12aを取り付けてもよい。
袋状の外側断熱材14aは、例えば750℃以上の耐熱性を有するシリカ繊維、シリカ・アルミナ繊維、等からなる耐熱性織布、例えばシリカクロスである。
繊維状の内側断熱材14bは、例えば750℃以上の耐熱性を有するシリカ繊維、シリカ・アルミナ繊維、等、例えばシリカウールである。
内側断熱材14bは、図に示すように、梁部材12aを覆うように囲み、これを袋状の外側断熱材14aで覆うように囲むのがよい。なお必要に応じて、外側断熱材14a(シリカクロス)をシリカ繊維、シリカ・アルミナ繊維からなる糸で縫い合わせ、内側断熱材14bが外部に出ないようにするのがよい。
また、梁部材12aの間に位置する底板12bの上面は、予め外側断熱材14aと内側断熱材14bで座布団状に形成したものを隙間なく位置決めするのがよい。
また、この構造部材12の上面を覆いこれをその許容温度以下に保持する断熱部材14を有するので、上面が高温(例えば約750℃)に曝されても、構造部材をその許容温度以下(例えば450〜500℃)に保持して、その酸化(焼損)を防止できる。
4 基板支持部材、5 ヒータ、6 鏡面板、
7 基板出入ドア、8 支持・移動機構、
10 遮熱板、12 構造部材、12a 梁部材、
12b 底板、12c 接続部品、
13 連結部材(ボルト・ナット)、
14 断熱部材、14a 外側断熱材、
14b 内側断熱材
Claims (4)
- 水平に支持された平板状の基板と、該基板の上方に位置し基板上面を輻射熱で加熱するヒータと、基板とヒータとの間を遮蔽する遮蔽位置とその間から外れた開放位置との間を水平移動可能な遮熱板とを有する基板アニール装置用の遮熱板であって、
前記遮熱板は、遮蔽位置における温度差でほとんど変形しない低熱膨張材で構成された構造部材と、該構造部材の上面を覆いこれをその許容温度以下に保持する断熱部材とからなる、ことを特徴とする基板アニール装置用の遮熱板。 - 前記構造部材は、複合炭素材料(カーボンコンポジット材)からなる、ことを特徴とする請求項1に記載の基板アニール装置用の遮熱板。
- 前記構造部材は、遮熱板に必要な曲げ剛性を有する複数の水平に延びる梁部材と、
遮熱板の下面を構成する底板と、
梁部材と底板を連結する接続部品とを有する、ことを特徴とする請求項1に記載の基板アニール装置用の遮熱板。 - 前記断熱部材は、耐熱性織布からなる袋状の外側断熱材と、該外側断熱材の内側に封入された繊維状の内側断熱材とからなる、ことを特徴とする請求項1に記載の基板アニール装置用の遮熱板。
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