JP2007243189A - 発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の窒化物半導体発光素子は、第1導電型の下側窒化物半導体層4と、前記第1導電型の下側窒化物半導体層4上に電流拡散層5と、前記電流拡散層5上に第1導電型の上側窒化物半導体層6と、前記第1導電型の上側窒化物半導体層6上に活性層7と、前記活性層7上に第2導電型の窒化物半導体層8と、が含まれる。
【選択図】図1
Description
Claims (20)
- 第1導電型の下側半導体層と、
前記第1導電型の下側半導体層上に電流拡散層と、
前記電流拡散層上に第1導電型の上側半導体層と、
前記第1導電型の上側半導体層上に活性層と、
前記活性層上に第2導電型の半導体層と、
が含まれる発光素子。 - 前記電流拡散層は、ITO、Co、W及びFeのうち、少なくとも何れか1つが含まれたことを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記第1導電型の下側半導体層、前記電流拡散層、前記第1導電型の上側半導体層のうち、いずれか1つの層上に第1電極と、
前記第2導電型の半導体層上に第2電極と、
が含まれたことを特徴とする請求項1に記載の発光素子。 - 前記電流拡散層は、凹凸(unevenness)タイプで形成されたことを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記凹凸(unevenness)タイプは、長方形、半円形、台形、凹状、凸状のうち、何れか1つの形状に形成されることを特徴とする請求項4に記載の発光素子。
- 前記第1導電型の上側半導体層には、インジウム及びスズが不純物として含有されたことを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記第1導電型の上側半導体層は、前記第1導電型の下側半導体層とキャリア濃度が異なることを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記第1導電型の上側半導体層は、位置によって不純物ドーピング濃度が異なることを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記第1導電型の上側半導体層は、不純物ドーピング濃度が次第に変化することを特徴とする請求項8に記載の発光素子。
- 前記第1導電型の下側半導体層の下には、基板が形成され、前記基板と第1導電型の下側半導体層との間には、バッファ層及びアンドープ窒化物層のうち、少なくとも何れか1つが形成されたことを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 基板と、
前記基板上に第1導電型の下側半導体層と、
前記第1導電型の下側半導体層上に電流拡散層と、
前記電流拡散層上に第1導電型の上側半導体層と、
前記第1導電型の上側半導体層上に活性層と、
前記活性層上に第2導電型の半導体層と、が含まれる発光素子。 - 前記第1導電型の下側半導体層、前記電流拡散層、前記第1導電型の上側半導体層のうち、何れか1つの層上に第1電極が形成されたことを特徴とする請求項11に記載の発光素子。
- 前記第2導電型の半導体層上に第2電極が形成されたことを特徴とする請求項11に記載の発光素子。
- 前記電流拡散層は、ITO、Co、W及びFeのうち、少なくとも何れか1つが含まれることを特徴とする請求項11に記載の発光素子。
- 前記電流拡散層は、凹凸タイプで形成されたことを特徴とする請求項11に記載の発光素子。
- 前記基板と第1導電型の下側半導体層との間には、バッファ層及びアンドープ窒化物層が形成されたことを特徴とする請求項11に記載の発光素子。
- 基板上に第1導電型の下側半導体層を形成するステップと、
前記第1導電型の下側半導体層上に電流拡散層を形成するステップと、
前記電流拡散層上に第1導電型の上側半導体層を形成するステップと、
前記第1導電型の上側半導体層上に活性層を形成するステップと、
前記活性層上に第2導電型の半導体層を形成するステップと、が含まれる発光素子の製造方法。 - 前記電流拡散層は、上側面の一部を化学的に除去して、上側面を凹凸タイプで形成することを特徴とする請求項17に記載の発光素子の製造方法。
- 前記第1導電型の下側半導体層、前記電流拡散層、前記第1導電型の上側半導体層のうち、何れか1つの層上に第1電極を形成するステップと、
前記第2導電型の半導体層上に第2電極を形成するステップと、が含まれたことを特徴とする請求項17に記載の発光素子の製造方法。 - 前記電流拡散層は、有機金属化学蒸着(MOCVD)法、MBE法、スパッタ法及び電子ビーム法のうち、何れか1つを利用して、ITO、Co、W、Feのうち、少なくとも何れか1つが含まれた層であって、約1〜100000Åの厚さに約1000℃以上の高温で成長されることを特徴とする請求項17に記載の発光素子の製造方法。
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