JP2007232530A - X線検査装置およびx線検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線検査装置に、真空容器5に収められたリング状の電子エミッタ6およびリング状のX線ターゲット7を備える。リング状のX線ターゲット7から放出されたX線は、すべて所定のX線照射領域11に向かう。このX線は、被検体に照射され、被検体から放たれる散乱または蛍光X線12は、反射X線コリメータ2を通って、X線二次検出器3によって検出される。リング状のX線ターゲット7から放出されるX線9は、すべて所定のX線照射領域11に向かうため、X線ターゲット7の熱衝撃を大きくすることなく、X線強度を増加させ、検査精度を高めることができる。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明に係る実施形態1のX線検査装置であって、(a)は一部断面斜視図、(b)は縦断面図である。
図2は、本発明に係る実施形態2のX線検査装置であって、(a)は一部断面斜視図、(b)は縦断面図である。
図3は、本発明に係る実施形態3のX線検査装置であって、(a)は一部断面斜視図、(b)は縦断面図である。
図4は、本発明に係る実施形態4のX線検査装置であって、(a)は一部断面斜視図、(b)は縦断面図である。
図6は、本発明に係る実施形態5のX線検査装置の断面図である。
Claims (11)
- 真空容器と、
前記真空容器に収められた、電子を放出する電子エミッタと、
前記電子エミッタから放出されて所定の電圧で加速された電子が所定の電子衝突領域に衝突すると所定のX線照射領域に向かうX線を放出する、前記真空容器に収められたX線ターゲットと、
前記X線ターゲットから放出されたX線が前記X線照射領域に配置された被検体に照射されたときに前記被検体から放たれるX線が通過する反射X線コリメータと、
前記反射X線コリメータを通過したX線を検出するX線二次検出器と、
を有することを特徴とするX線検査装置。 - 前記電子エミッタおよび前記X線ターゲットはそれぞれリング状に形成されていることを特徴とする請求項1記載のX線検査装置。
- 前記電子エミッタと前記X線ターゲットの対を複数有することを特徴とする請求項1または請求項2記載のX線検査装置。
- 前記反射X線コリメータは、板にピンホールを設けたものであることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項記載のX線検査装置。
- 前記反射X線コリメータを移動させるコリメータ駆動手段を有することを特徴とする請求項4記載のX線検査装置。
- 前記ピンホールは、前記板の板厚方向を軸として前記X線二次検出器およびその反対方向に向かって広がった2つの円錐形が結合した形状であることを特徴とする請求項4または請求項5記載のX線検査装置。
- 前記電子エミッタと前記X線ターゲットに前記所定の電圧を印加する電源を有することを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項記載のX線検査装置。
- 電子を電子エミッタから放出する電子放出工程と、
前記電子放出工程で放出された電子を所定の電圧で加速する電子加速工程と、
前記電子加速工程で加速された電子を、X線ターゲットに衝突させ、所定のX線照射領域に向かうX線を放出させるX線放出工程と、
前記X線放出工程で放出されたX線を前記X線照射領域に配置された被検体に照射する照射工程と、
前記被検体から放たれるX線を反射X線コリメータによって所定の方向にコリメートするコリメート工程と、
前記コリメート工程で前記所定の方向にコリメートされたX線を検出するX線二次検出工程と、
を有することを特徴とするX線検査方法。 - 前記電子放出工程は、前記電子エミッタの全体から同時に電子を放出するものであることを特徴とする請求項8記載のX線検査方法。
- 前記電子放出工程は、複数の電子エミッタから、順次パルス状に電子を放出するものであることを特徴とする請求項8記載のX線検査方法。
- 前記反射X線コリメータを移動させる工程をさらに有することを特徴とする請求項8ないし請求項10のいずれか1項記載のX線検査方法。
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