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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8850980B2 (en) 2006-04-03 2014-10-07 Canon Nanotechnologies, Inc. Tessellated patterns in imprint lithography

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007117524A2 (en) * 2006-04-03 2007-10-18 Molecular Imprints, Inc. Method of concurrently patterning a substrate having a plurality of fields and alignment marks
JP5002207B2 (ja) * 2006-07-26 2012-08-15 キヤノン株式会社 パターンを有する構造体の製造方法
JP4922774B2 (ja) * 2007-01-26 2012-04-25 株式会社東芝 パターン形成方法及びパターン形成用モールド
JP5004225B2 (ja) * 2007-09-19 2012-08-22 独立行政法人産業技術総合研究所 インプリントリソグラフィ用モールド製作方法
JP2009143089A (ja) * 2007-12-13 2009-07-02 Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd 微細構造転写用モールド及びその製造方法
JP4942638B2 (ja) * 2007-12-27 2012-05-30 株式会社エス・ケー・ジー 導光板の製造方法
KR100941302B1 (ko) 2008-01-14 2010-02-11 고려대학교 산학협력단 광결정 광학 소자의 제조 방법
JP2009182075A (ja) * 2008-01-30 2009-08-13 Canon Inc インプリントによる構造体の製造方法
MX340857B (es) * 2008-12-05 2016-07-28 Liquidia Tech Inc Metodo para producir materiales modelados.
JP5404140B2 (ja) 2009-04-01 2014-01-29 株式会社東芝 テンプレート及び半導体装置の製造方法
JP5175812B2 (ja) * 2009-08-04 2013-04-03 株式会社Ｂｍｇ ナノ金型、金型の製造方法および磁気記録媒体の製造方法
JP4823346B2 (ja) 2009-09-24 2011-11-24 株式会社東芝 テンプレートおよびパターン形成方法
JP5693925B2 (ja) * 2010-02-04 2015-04-01 丸善石油化学株式会社 樹脂型、成形体、及び成形体の製造方法
JP5703600B2 (ja) * 2010-06-21 2015-04-22 大日本印刷株式会社 インプリント用モールド、アライメント方法、インプリント方法、およびインプリント装置
JP5634781B2 (ja) * 2010-07-23 2014-12-03 株式会社フジクラ インプリントモールドの製造方法
JP2012048030A (ja) * 2010-08-27 2012-03-08 Kanagawa Acad Of Sci & Technol 基板の製造方法
WO2012082391A1 (en) * 2010-12-14 2012-06-21 3M Innovative Properties Company Images and method of making the same
JP5716384B2 (ja) * 2010-12-21 2015-05-13 大日本印刷株式会社 ナノインプリントリソグラフィ用モールド、およびその製造方法
FR2974194B1 (fr) * 2011-04-12 2013-11-15 Commissariat Energie Atomique Procede de lithographie
KR101470959B1 (ko) * 2011-06-03 2014-12-10 파나소닉 주식회사 미세구조체의 제조방법 및 미세구조 금형
JP5284423B2 (ja) * 2011-06-29 2013-09-11 株式会社東芝 テンプレートおよびパターン形成方法
KR101775163B1 (ko) * 2011-07-28 2017-09-05 엘지이노텍 주식회사 나노 임프린트용 몰드 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 나노 임프린트용 몰드
JP5899931B2 (ja) * 2012-01-06 2016-04-06 大日本印刷株式会社 ナノインプリント用テンプレート及びその製造方法
JP5314775B2 (ja) * 2012-02-28 2013-10-16 株式会社エス・ケー・ジー 導光板
JP5314776B2 (ja) * 2012-02-28 2013-10-16 株式会社エス・ケー・ジー 発光式看板
TW201433436A (zh) * 2012-12-28 2014-09-01 Mitsubishi Rayon Co 光學物品、用於製造光學物品的模具及模具的製造方法
JP6333039B2 (ja) 2013-05-16 2018-05-30 キヤノン株式会社 インプリント装置、デバイス製造方法およびインプリント方法
JP6120678B2 (ja) * 2013-05-27 2017-04-26 キヤノン株式会社 インプリント方法、インプリント装置及びデバイス製造方法
JP6315904B2 (ja) 2013-06-28 2018-04-25 キヤノン株式会社 インプリント方法、インプリント装置及びデバイスの製造方法
JP6333035B2 (ja) * 2014-04-15 2018-05-30 キヤノン株式会社 モールド、インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
JP6446943B2 (ja) * 2014-09-24 2019-01-09 大日本印刷株式会社 インプリント用テンプレート及びインプリント方法
JP6583713B2 (ja) * 2015-04-16 2019-10-02 大日本印刷株式会社 インプリント用マスターモールド及びその製造方法、インプリント用フィルムモールド及びその製造方法、並びにワイヤーグリッド偏光子の製造方法
JP6197900B2 (ja) * 2016-03-03 2017-09-20 大日本印刷株式会社 インプリント用モールド、アライメント方法、インプリント方法、およびインプリント装置
JP6098855B1 (ja) * 2016-08-05 2017-03-22 株式会社プロセス・ラボ・ミクロン 凸状金型の製造方法
JP2018022850A (ja) * 2016-08-05 2018-02-08 大日本印刷株式会社 インプリント用モールド、及び、該モールドを用いたパターン形成方法
US11717991B2 (en) * 2018-03-20 2023-08-08 Sharklet Technologies, Inc. Molds for manufacturing textured articles, methods of manufacturing thereof and articles manufactured therefrom
WO2020080372A1 (ja) * 2018-10-16 2020-04-23 Ｓｃｉｖａｘ株式会社 微細パターン成形方法、インプリント用モールド製造方法およびインプリント用モールド並びに光学デバイス
KR102203927B1 (ko) * 2019-08-06 2021-01-18 주식회사 세코닉스 소프트 몰드의 제조방법

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004523906A (ja) * 2000-10-12 2004-08-05 ボード・オブ・リージエンツ，ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム 室温かつ低圧マイクロおよびナノ転写リソグラフィのためのテンプレート
JP2003086537A (ja) * 2001-09-13 2003-03-20 Tdk Corp 構造体を用いた薄膜パターン製造方法および構造体
MY144124A (en) * 2002-07-11 2011-08-15 Molecular Imprints Inc Step and repeat imprint lithography systems
US7256435B1 (en) * 2003-06-02 2007-08-14 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Multilevel imprint lithography
JP4058425B2 (ja) * 2004-06-10 2008-03-12 Ｔｄｋ株式会社 スタンパー、インプリント方法および情報記録媒体製造方法
JP4937500B2 (ja) * 2004-06-15 2012-05-23 大日本印刷株式会社 インプリント方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8850980B2 (en) 2006-04-03 2014-10-07 Canon Nanotechnologies, Inc. Tessellated patterns in imprint lithography

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