JP2007227555A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 76
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 73
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 73
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 31
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims abstract description 14
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 claims abstract description 5
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 claims abstract description 5
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 claims abstract description 5
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 18
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 7
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 5
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 claims description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 15
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 9
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 5
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 5
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 5
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 4
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 2
- 239000002529 flux (metallurgy) Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N Abietic-Saeure Natural products C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 1
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N Rosin Natural products O(C/C=C/c1ccccc1)[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](CO)O1 KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910008433 SnCU Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 229910002056 binary alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004204 candelilla wax Substances 0.000 description 1
- 235000013868 candelilla wax Nutrition 0.000 description 1
- 229940073532 candelilla wax Drugs 0.000 description 1
- 239000004203 carnauba wax Substances 0.000 description 1
- 235000013869 carnauba wax Nutrition 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- IUJAMGNYPWYUPM-UHFFFAOYSA-N hentriacontane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC IUJAMGNYPWYUPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000006082 mold release agent Substances 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004209 oxidized polyethylene wax Substances 0.000 description 1
- 235000013873 oxidized polyethylene wax Nutrition 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 239000012169 petroleum derived wax Substances 0.000 description 1
- 235000019381 petroleum wax Nutrition 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N trans-cinnamyl beta-D-glucopyranoside Natural products OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OCC=CC1=CC=CC=C1 KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Abstract
【課題】半導体パッケージのボール面側に露出したモールド樹脂とアンダーフィル樹脂との接着性を改善して、両者の界面での剥離を防止することができる半導体装置の製造方法を得る。
【解決手段】ワックス又は脂肪酸が含まれたモールド樹脂がボール面側に露出した半導体パッケージのボール面をArプラズマによりスパッタするスパッタ工程と、スパッタ工程の後に、半導体パッケージを配線基板上にフリップチップ接合する工程と、半導体パッケージと配線基板の間にアンダーフィル樹脂を充填する工程とを有する。
【選択図】図1
【解決手段】ワックス又は脂肪酸が含まれたモールド樹脂がボール面側に露出した半導体パッケージのボール面をArプラズマによりスパッタするスパッタ工程と、スパッタ工程の後に、半導体パッケージを配線基板上にフリップチップ接合する工程と、半導体パッケージと配線基板の間にアンダーフィル樹脂を充填する工程とを有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、モールド樹脂がボール面側に露出した半導体パッケージを配線基板にフリップチップ接合し、両者の間にアンダーフィル樹脂を充填する半導体装置の製造方法に関するものである。
半導体パッケージ(CSP: Chip Scale Package)の製造工程において、トランスファーモールド成形が行われる。そして、成形後に成形金型から成形品を取り出すときの離型性を向上させるために、離型剤が含まれたモールド樹脂が用いられている(例えば、特許文献1,2参照)。また、シリコーンオイルなど微量の可撓剤を添加することにより、内部応力を低減し、チップの損傷などを防ぐことがある。(例えば、特許文献4)また、モールド樹脂がボール面側に露出した半導体パッケージが提案されている(例えば、特許文献3参照)。
しかし、モールド樹脂がボール面側に露出した半導体パッケージを配線基板にフリップチップ接合し、両者の間にアンダーフィル樹脂を充填すると、モールド樹脂とアンダーフィル樹脂の界面で剥離が発生するという問題が新たに見出された。これは、離型剤がモールド樹脂の表面に出てきて、アンダーフィル樹脂との接着が悪くなっていることや、低応力剤としてシリコーンオイルを添加した場合に、シリコーンオイルとアンダーフィル樹脂との接着力を確保するのが難しくなる場合があるためと考えられる。なお、アンダーフィルの前にO2プラズマ処理を行っても上記の剥離を防止することはできなかった。
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は、半導体パッケージのボール面側に露出したモールド樹脂とアンダーフィル樹脂との接着性を改善して、両者の界面での剥離を防止することができる半導体装置の製造方法を得るものである。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、ワックス又は脂肪酸、もしくはシリコーンオイルなどの添加物が含まれたモールド樹脂がボール面側に露出した半導体パッケージのボール面をArプラズマによりスパッタするスパッタ工程と、スパッタ工程の後に、半導体パッケージを配線基板上にフリップチップ接合する工程と、半導体パッケージと配線基板の間にアンダーフィル樹脂を充填する工程とを有する。本発明のその他の特徴は以下に明らかにする。
本発明により、半導体パッケージのボール面側に露出したモールド樹脂とアンダーフィル樹脂との接着性を改善して、両者の界面での剥離を防止することができる。
実施の形態1.
以下、本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法について図1のフローチャートを参照しながら説明する。
以下、本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法について図1のフローチャートを参照しながら説明する。
まず、半導体パッケージ1を作成する(ステップS1)。具体的には、図2に示すように、基板2上にエラストマー・シート3を介してチップ4を搭載する。そして、基板2中央の開口を通して、チップ4のセンターパッド5と基板2の電極6とをワイヤ7により接続する。さらに、基板2を金型8に装着して、チップ4、ワイヤ7、エラストマー・シート3をモールド樹脂9で一括封止する。次に、図3に示すように、基板2の下面に半田ボール10を付ける。これにより、モールド樹脂9がボール面側に露出した半導体パッケージ1が作成される。
このようにモールド樹脂9を金型8で成形する場合は、離型剤が含まれたモールド樹脂9を用いる。離型剤としては、例えば、パラフィンワックス、ライスワックス、カルナバワックス、キャンデリラワックスなどの天然ワックス、ポリエチレンワックス、酸化ポリエチレンワックスなどの石油系ワックス、高級脂肪族ケトン、高級脂肪族エステル、高級脂肪酸、高級脂肪族アルコールなどのワックス又は脂肪酸が挙げられる。また、モールド樹脂9には、半導体パッケージ1の反りを低減するために、大量のフィラーが添加されている。すなわち、半導体チップ4の主要な構成となる単結晶シリコン基板など、半導体基板は熱膨張係数が小さい。従って、半導体チップ4全体としての熱膨張係数も3ppm/℃程度と、非常に小さくなる。また、単結晶シリコン基板に限らず、SOI(Silicon On Insulator)基板もやはり、エポキシ系樹脂などと比べると一般的に熱膨張係数が小さい。そこで、モールド樹脂9には、エポキシ系樹脂に対して、熱膨張係数の小さいシリカなどからなるフィラーを大量に添加し、半導体チップ4との熱膨張係数差をなるべく小さくした物が用いられる。本実施の形態においては、エポキシ系樹脂に対して、少なくとも80wt%以上、より好ましくは90wt%程度のシリカを添加した物をモールド樹脂9として用いる。このような場合、シリカなどからなるフィラーは、例えばモールド樹脂9を構成するエポキシ系樹脂と比較して弾性率が高いため、モールド樹脂9内部に封止される半導体チップ4に対して生じる内部応力がかなり高くなる。そこで、モールド樹脂9には、低応力剤として、微量の可撓剤が添加されることがある。可撓剤としては、各種シリコーンオイル、シリコーンゴム、アクリルニトリルブタジエンゴム等が用いられることがある。特に、エポキシ変性シリコーンオイルなど、各種シリコーンオイルが化学的安定性などの面から有効である。しかし、シリコーンオイルが添加されたモールド樹脂9を使用する場合、アンダーフィル樹脂20との接着力の確保が難しくなる。シリコーンオイルは、離型剤に使用されることもあるほど、他の有機物などとの粘着力、接着力を確保するのが難しいという性質がある。少なくとも80wt%以上のシリカフィラーを含有するような、モールド樹脂9において、低応力化を達成し、半導体チップ4のクラックを防止するためには、0.3wt%以上のシリコーンオイルを添加するのが好ましいが、シリコーンオイルの含有量が0.1wt%を超えると、他の有機樹脂との接着力を確保するのが難しくなる。
また、成形直後は、図4に示すように、離型剤11はモールド樹脂9中に分散している。しかし、時間が経過すると、図5に示すように、離型剤11はモールド樹脂9中で集まり始める。そして、最終的には、図6に示すように、金型8との界面付近に離型剤11の層が形成される。この離型剤11の層が、モールド樹脂とアンダーフィル樹脂(後述)との接着性を劣化させる原因となる。
そこで、図7に示すように、半導体パッケージ1のボール面をArプラズマによりスパッタする(ステップS2)。即ち、電場の中でArプラズマを加速して半導体パッケージ1のボール面に当てる。これにより、モールド樹脂9の表面に形成された離型剤11の層をプラズマで物理的に除去することができる。また、モールド樹脂9の表面を粗くしてアンダーフィル樹脂(後述)との接触面積を増やすこともできる。また、シリコーンオイルを含有するモールド樹脂9と、アンダーフィル樹脂20との接着力を確保する上でも、Arプラズマによる表面改質は有効である。樹脂表面を改質し、接着材との接着性を改善する手段としては、Arプラズマや、酸素プラズマクリーニングという手段があった。本実施の形態におけるモールド樹脂9に対しては、酸素プラズマクリーニングでは、接着力の改善の効果が十分に得られず、Arプラズマであると接着力の改善効果が十分に得られるという特徴がある。酸素プラズマクリーニングを例えば配線基板14表面に対して施すと、酸素ラジカルプラズマにより、有機結合が切断され、酸素を含んだ官能基が表面に形成されるため、きわめて接着性に富んだ活性な表面状態が得られる。しかし、モールド樹脂9に含有されるシリコーンオイル、例えば一部エポキシ変性したシリコーンオイルなどは、熱酸化に対する安定性が非常に優れているため、酸素ラジカルプラズマに長時間晒しても、メチル基の切断の進行が遅く、接着性に富む官能基の生成が十分に進まないという問題がある。Arプラズマによる処理においては、Arプラズマ中のArイオンを、大きな電場によって加速することで、ターゲットとなるモールド樹脂9に衝突させる。高いエネルギーを持つArイオンが衝突することによって、シリコーンオイルのメチル基は効果的に切断される。そして、その後のアンダーフィル樹脂注入工程(後述)において、ポリシロキサンの側錯とアンダーフィル樹脂20との間で強固な結合が形成されるため、アンダーフィル樹脂20との接着力の向上が得られる。
ただし、スパッタ工程において、モールド樹脂9の削り量を、モールド樹脂9に含まれるフィラーの直径の平均値以下とするのが好ましい。これにより、モールド樹脂からフィラーが大量に脱落するのを防いで、ボール接続の不良を防ぐことができる
次に、図8に示すように、半導体パッケージ1のボール面にフラックス12を塗布する(ステップS3)。
次に、図9に示すように、ベアチップ13及び配線基板14を作成する(ステップS4)。ベアチップ13には半田ボール15が付けられ、配線基板14には半田ボール16が付けられている。この半田ボール15,16は、それぞれ200μm間隔で複数個並べられている。
次に、図10に示すように、配線基板14をステージ17に載せ、ベアチップ13をツール18により保持して、ツール18及びステージ17を180℃に加熱する。そして、半田ボール15と半田ボール16を接触させ、ステージ17を180℃に保ったまま、ツール18を半田の融点(Sn1%Ag0.5%Cuの場合は210℃)よりも高温である300℃に加熱して、ベアチップ13に超音波振動を印加しながら、ベアチップ13を配線基板14上にフラックスレスでフリップチップ接合する(ステップS5)。ここで、超音波振動の振幅は半田ボール15,16の直径100μmの1/3程度である±35μm程度とし、印加時間は1秒程度とする。その後、ステージ17を180℃に保ったまま、ツール18を200℃まで冷却して、ツール18を上昇させる。
このように超音波振動を印加することで、フラックスレスで半田ボール15,16表面の自然酸化膜を破壊することができ、良好な接合を実現することができる。なお、フラックスを用いると、ベアチップ13と配線基板14の間隔は65μm程度と狭いため、両者の間のフラックスを洗い流すことができず、フラックス残渣が発生する。これに対し、フラックスレスで接合することで、フラックス残渣の発生の心配がない。従って、アンダーフィル樹脂内でフラックスが膨張することによるボイドの発生を防ぐことができる。
次に、図11に示すように、ベアチップ13に対してO2プラズマ処理を行う(ステップS6)。O2プラズマ処理においては、ダイレクトプラズマ方式によって、酸素ラジカルプラズマ中にベアチップ13が接続された配線基板を晒すことによって、前述の通り、配線基板14表面のソルダレジスト膜や、ベアチップ13表面のポリイミドパシベーション膜の有機結合が切断され、酸素を含んだ官能基が表面に形成されるため、きわめて接着性に富んだ活性な表面状態が得られる。特に、ダイレクトプラズマ方式においては、Arイオンを電場中で加速して衝突させる方式に比較して、狭い場所のクリーニングもできるため、ベアチップ13を配線基板14にフリップチップ接合した後のクリーニングも可能である。
ここで、メッキでは2元系しか成膜できないため、ベアチップ13の半田ボール15はSn2.5%Agからなり、配線基板14の半田ボール16はSnCuからなる。そして、フリップチップ接合により両者の半田ボール15,16が接合すると、信頼性の高いSn1%Ag0.5%Cuが形成される。しかし、ベアチップ13のボール面をArプラズマでスパッタすると、ベアチップ13の半田ボール15だけが削れて接合により形成される判断の組成比が変化するため、信頼性が損なわれるという問題がある。また、Arプラズマでスパッタすると、チャージアップにより、ベアチップ13内のゲート絶縁膜へ電荷がトラップされて素子特性が変化してしまうという問題もある。従って、ベアチップ13はArプラズマによりスパッタしない方が良い。
次に、図12に示すように、ベアチップ13と配線基板14の間にアンダーフィル樹脂19を充填する(ステップS7)。このように半導体パッケージ1を搭載する前にベアチップ13についてアンダーフィルを行うことで、後の工程においてベアチップ13と配線基板14の間に半導体パッケージ1のフラックス12が入るのを防ぐことができる。
次に、図13に示すように、半導体パッケージ1を配線基板14上にフリップチップ接合する(ステップS8)。そして、窒素雰囲気中においてリフロー(溶融)を行う(ステップS9)。その後、図14に示すように、洗浄を行ってフラックス12を除去する(ステップS10)。この際、ロジン系フラックスの場合はアルコールなど有機溶媒系の洗浄剤を使用し、水溶性フラックスの場合は純水などを使用するのが好ましい。
次に、図15に示すように、半導体パッケージ1と配線基板14の間にアンダーフィル樹脂20を充填する(ステップS11)。その後、図16に示すように、外部接続用に配線基板14の下面に半田ボール21を付け、リフローを行う(ステップS12)。このリフローによって熱ストレスが発生するが、上記のようにモールド樹脂9とアンダーフィル樹脂20との接着性を改善しているため、両者の界面での剥離を防止することができる。
実施の形態2.
以下、本発明の実施の形態2に係る半導体装置の製造方法について図17のフローチャートを参照しながら説明する。
以下、本発明の実施の形態2に係る半導体装置の製造方法について図17のフローチャートを参照しながら説明する。
まず、実施の形態1と同様にステップS1〜S4を行う。次に、図18に示すように、ベアチップ13のボール面にフラックス22を塗布する(ステップS13)。
次に、図19に示すように、半導体パッケージ1及びベアチップ13を配線基板14上にフラックス12,19を用いてフリップチップ接合する(ステップS14)。そして、半導体パッケージ1及びベアチップ13について同時にリフローを行う(ステップS15)。その後、図20に示すように、洗浄を行ってフラックス12,19を除去する(ステップS16)。
次に、図21に示すように、半導体パッケージ1及びベアチップ13に対してO2プラズマ処理を行う(ステップS17)。そして、図22に示すように、半導体パッケージ1と配線基板14の間にアンダーフィル樹脂20を充填し、ベアチップ13と配線基板14の間にアンダーフィル樹脂19を充填する(ステップS18)。その後、図16に示すように、外部接続用に配線基板14の下面に半田ボール21を付け、リフローを行う(ステップS19)。
本実施の形態により、実施の形態1と同様の効果を奏する。さらに、ベアチップ13をフラックス22を用いて接合することにより、実施の形態1のように超音波振動を印加しながら接合するのに比べて接合時間を短縮することができる。また、半導体パッケージ1及びベアチップ13について同時にリフローを行うことにより、生産性が向上する。
1 半導体パッケージ
8 金型
9 モールド樹脂
10,15,16,21 半田ボール
11 離型剤
12,22 フラックス
13 ベアチップ
14 配線基板
19,20 アンダーフィル樹脂
8 金型
9 モールド樹脂
10,15,16,21 半田ボール
11 離型剤
12,22 フラックス
13 ベアチップ
14 配線基板
19,20 アンダーフィル樹脂
Claims (8)
- シリコーンオイルが含まれたモールド樹脂がボール面側に露出した半導体パッケージの前記ボール面をArプラズマによりスパッタするスパッタ工程と、
前記スパッタ工程の後に、前記前記半導体パッケージを前記配線基板上にフリップチップ接合する工程と、
前記半導体パッケージと前記配線基板の間にアンダーフィル樹脂を充填する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - ワックス又は脂肪酸が含まれたモールド樹脂がボール面側に露出した半導体パッケージの前記ボール面をArプラズマによりスパッタするスパッタ工程と、
前記スパッタ工程の後に、前記前記半導体パッケージを前記配線基板上にフリップチップ接合する工程と、
前記半導体パッケージと前記配線基板の間にアンダーフィル樹脂を充填する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記半導体パッケージとして、前記モールド樹脂が金型で成形されたものを用いることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記スパッタ工程において、前記モールド樹脂の削り量を、前記モールド樹脂に含まれるフィラーの直径の平均値以下とすることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記アンダーフィル樹脂を充填した後に、前記配線基板の下面に半田ボールを付け、リフローを行う工程を更に有することを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- ベアチップを前記配線基板上にフリップチップ接合した後にO2プラズマ処理を行う工程を更に有することを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ベアチップに超音波振動を印加しながら、前記ベアチップを前記配線基板上にフラックスレスでフリップチップ接合することを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体パッケージ及び前記ベアチップを前記配線基板上にフラックスを用いてフリップチップ接合した後に、前記半導体パッケージ及び前記ベアチップについて同時にリフローを行うことを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006045647A JP2007227555A (ja) | 2006-02-22 | 2006-02-22 | 半導体装置の製造方法 |
US11/618,142 US7459342B2 (en) | 2006-02-22 | 2006-12-29 | Manufacturing method of semiconductor device |
US12/268,050 US7838335B2 (en) | 2006-02-22 | 2008-11-10 | Manufacturing method of semiconductor device with a mold resin having a mold release agent |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006045647A JP2007227555A (ja) | 2006-02-22 | 2006-02-22 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007227555A true JP2007227555A (ja) | 2007-09-06 |
Family
ID=38428734
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006045647A Pending JP2007227555A (ja) | 2006-02-22 | 2006-02-22 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7459342B2 (ja) |
JP (1) | JP2007227555A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10037966B2 (en) | 2010-10-21 | 2018-07-31 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and manufacturing method therefor |
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---|---|---|---|---|
JP2007227555A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
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KR102094924B1 (ko) * | 2013-06-27 | 2020-03-30 | 삼성전자주식회사 | 관통전극을 갖는 반도체 패키지 및 그 제조방법 |
US10305529B2 (en) * | 2013-10-10 | 2019-05-28 | Intel Corporation | Using materials to increase structural rigidity, decrease size, improve safety, enhance thermal performance and speed charging in small form factor devices |
CN117148119A (zh) * | 2023-10-31 | 2023-12-01 | 合肥晶合集成电路股份有限公司 | 一种芯片电性失效分析的方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1135800A (ja) | 1997-07-25 | 1999-02-09 | Toshiba Corp | 樹脂組成物およびこれを用いた樹脂封止型半導体装置 |
JP2000281750A (ja) | 1999-03-31 | 2000-10-10 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2001085609A (ja) | 1999-09-17 | 2001-03-30 | Hitachi Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP4370666B2 (ja) | 2000-03-28 | 2009-11-25 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体装置 |
JP2007227555A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
-
2006
- 2006-02-22 JP JP2006045647A patent/JP2007227555A/ja active Pending
- 2006-12-29 US US11/618,142 patent/US7459342B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-11-10 US US12/268,050 patent/US7838335B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10037966B2 (en) | 2010-10-21 | 2018-07-31 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and manufacturing method therefor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7459342B2 (en) | 2008-12-02 |
US7838335B2 (en) | 2010-11-23 |
US20090075425A1 (en) | 2009-03-19 |
US20070196955A1 (en) | 2007-08-23 |
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