JP2007225528A - 2軸加速度センサ - Google Patents

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Abstract

【課題】 量産性に優れた2軸加速度センサを提供する。
【解決手段】 自発分極方向と平行で、かつお互いが直交する様に設けられた2組の対向電極をもつ圧電素子40を少なくとも1つ以上配置し、その自由端面に錘20を連接する。錘20に作用する慣性力で圧電体素子40を剪断変形させ、2軸方向に加速度を分離して検出する。自発分極方向が板厚方向である板材への2.5次元加工と電極形成だけで加工できるセンサ構造としたため、量産性に優れる。圧電材料として点群4mmまたは6mmに分類される材料を用いることで、加速度検出方向の指向性を高める。
【選択図】 図5

Description

本発明は、加速度により錘へ作用する力を検出し、電気信号として取り出す2軸加速度センサに係わる。
従来より、加速度センサはモバイルPCやゲーム機,自動車に搭載され、落下時のHDD保護や力学量のモニタ,衝突の検出,サスペンション制御のためのセンサとして広く用いられている。
なかでも、圧電体を用いた加速度センサは測定原理が単純で信頼性も高く、自動車エンジンのノッキングセンサなどのヘビーデューティ用途での応用実績もある。これらの加速度センサには各種構造が開示されているが、原理的には加速度の作用により慣性体となる錘に働く力を、可撓部を構成する圧電体、または可撓部に設けられた圧電体に発生する圧電気を検出するものである。
一方、車載機器や携帯機器向け加速度センサ市場での要求は、小型,多軸,高精度,低価格であり、1軸のみセンシングを行なう加速度センサでの対応が難しくなってきている。現行の2軸加速度センサは、既に実用化している1軸加速度センサを直角に配置しユニット化したものがほとんどである。
従来の2軸加速度センサの例を図6に示す。2軸加速度センサ10’は、圧電体41および41’の分極方向が反平行(バイモルフ型)となるように貼り合わせたカンチレバー46の、自由端側に錘20を取り付け、検出可能方向の加速度が作用すると前記のカンチレバー46が撓む構造となっている。
カンチレバー46が中立面を境に、一方の圧電体41には引っ張り応力が、他方の圧電体41’には圧縮応力(あるいはその逆の組み合わせ)が作用するため、電極30と30’に異符号の圧電気が生じて加速度を電気信号として検出できる。
従来例1の2軸加速度センサ10’では、この様な1軸加速度センサを検出方向が直交する様に2組設けてユニット化したものが知られていた(例えば、特許文献1参照。)。
一方、他の従来として一体型の2軸加速度センサ10’を図7を用いて説明する。図7(a)に示した円柱状の圧電体41の側面に複数の電極30を形成し、隣り合う電極間で分極処理を行うことで、あたかも直交する2組のバイモルフ型カンチレバーを一体化したような分極状態を作ることができる。この場合、1つの圧電素子で2軸化に対応することができ、図7(b)のような接続方法により差動増幅でX軸成分とY軸成分の加速度を検出することができる(例えば、特許文献2参照。)。
特開200240042号公報 特開平5−66230号公報
しかし、1軸センサを組合わせた2軸加速度センサでは、それぞれの1軸センサを精度良く直角に設置することが困難な上、部品点数の増大による信頼性低下や、実装面積の増加という課題を有していた。また、2つのセンサを搭載することによる特性のバラツキや、複数の接着工程を含むが故の生産性の低さといった課題も有しており、高精度化、低価格化に対応困難であった。
一体型の場合は、電極形成後に分極処理が必要となり製造工程が複雑となる上、内部歪の残留や分極の経時変化に伴う特性変化で圧電特性の対称性を確保することが難しく、高精度の測定が期待できないという課題を有していた。
さらに、電極が分極方向と垂直に位置するため、33モード(XY平面Z軸[円柱の高さ]方向)の振動と31モード(XY面内[円柱の動径]方向)の振動双方を検出してしまうため、測定しようとする2軸と互いに垂直な方向の振動も検出してしまう。すなわち、正確に2軸(XY軸)成分の加速度のみを検出できないという課題を有していた。
前述の様な2軸加速度センサが抱える課題に対処するために、本発明では以下の課題解決を図った。
本発明の第1の課題は、生産性に優れた単純構造の低コスト2軸加速度センサを提供することである。
本発明の第2の課題は、経時変化の少ない2軸加速度センサを提供することである。
本発明の第3の課題は、直交する2軸(XY)成分の加速度を純粋に検出できる2軸加速度センサを提供することである。即ち、計測する2軸と垂直方向(Z軸方向)の加速度があっても原理的に検出されないセンサ構造を実現することにある。
本発明の第4の課題は、ノイズに強い2軸加速度センサを提供することである。
本発明では前述の第1の課題を解決するために、板厚方向に分極処理された圧電体板を素材として用い、NC加工機ないしダイシングソー等による一般的な2.5次加工工程と、マスク工程のいらない電極形成工程のみで圧電素子を製造できるセンサ構造とした。
次に、第2の課題を解決するために、キュリー温度(Tc)が高い圧電体を用い、さらに分極処理された圧電板を熱エージングして圧電特性の経時変化を抑制した。また、再分極処理不要な検出構造で、かつ、同一部分の圧電体を利用してX軸成分,Y軸成分の圧電気を検出できる構造とした。
したがって、X軸,Y軸の検出特性が揃う他、温度変化や若干の経時変化があった場合でも軸別に特性のバラツキが発生せず、容易に補正して使用することができる。
第4の課題を解決するために、X軸方向,Y軸方向ともに複数個のセンサユニットを直列・並列できる構造とすることで、出力電圧や表面電荷の増大を図れる様にした。また、2個のセンサユニットを接続した場合、各軸方向に直列接続された中間点の電極を接地し、差動増幅可能なセンサ構造することで、コモンモードノイズを除去することが可能となり、更にノイズに強い2軸加速度センサを提供することができる。
また本発明では、圧電体と、圧電体の自発分極方向と平行に、圧電体の側面に対向配置された第1の電極対と、圧電体の自発分極方向と平行かつ第1の電極対と直交する圧電体の対向する側面に対向配置された第2の電極対と、からなる圧電素子と、圧電素子の上面に配置された錘と、圧電素子の下面に配置され前記圧電素子を固定する基板と、を有する加速度センサとした。
本発明では、基板の上面にフィルムを配置する工程と、フィルムを介して、前記基板に複数の溝を形成し、複数の圧電体を形成する工程と、複数の溝の底面及び側面に導電層を形成する工程と、フィルムを除去する工程と、複数の溝が互いに交差する位置に形成された、複数の溝の底面及び側面の導電層を除去し、隣り合うまたは向かい合う複数の溝の側面に形成された導電層を電気的に分断する工程と、複数の溝の底面に形成された導電層を前記溝方向に除去し、隣り合う前記複数の溝の側面に形成された導電層を互いに電気的に分断する工程と、圧電体の上面に錘を設ける工程により加速度センサを製造した。
本発明によれば、量産性に優れた2軸加速度センサを低コストで提供することが可能となる。
ここで、本発明の概要を図5(a)を用いて説明する。なお、以下の説明を簡潔にするため、XYZ直交座標系を図5内の様に定める。圧電体41は分極方向がZ軸に平行な立方体とし、各稜線がXYZ軸の何れかに平行であるものとする。また、圧電体の弾性定数は等方的なものとする。
ZY面に平行な一対の面に第1対の電極31aおよび31b,ZX面に平行な一対の面に第2対の電極32aおよび32bを形成する。ただし、稜線で電極が短絡しない様にクリアランスを確保するものとする。この圧電素子41のZ軸正方向の上面に慣性力を受ける錘20を接着し、底面を基板50に接着すると本発明の2軸加速度センサ14の基本構造が完成する。
本発明の特徴は、錘に働く並進運動の慣性力を剪断応力として検出することである。即ち、錘が受けた慣性力が圧電素子41の上面に伝わり、圧電素子41に作用する応力はZ軸方向の主応力σzと、X軸まわりの剪断応力σyzと、Y軸まわりのσzxとして分解することができる。ただし、角加速度については考慮しないものとする。
ところで、圧電材料として国際記号で4mmの点群に分類される圧電体材料、例えばPZTの圧電定数の独立コンポーネントは表1に示す様にd31(=d32),d33,d15(=d24)の3つである。
Figure 2007225528

式1の行列式のdコンポーネント[C/N]に応力σ[N/m2]を掛けると電束密度D[C/m2]が算出されるが、第1対の電極に現れる電束密度D1=d15×σzx,第2対の電極に現れる電束密度D2=d24×σyzとなり、σzによる圧電気は検出されないことが示される。無論、仮にσx,σy,σxyが作用した場合でも、0コンポーネントとの積になるため、第1対および第2対の電極の電束密度Dに影響を与えない。
つまり、15,24の厚み滑りモードの検出で、分極方向の垂直断面形状が正方形であれば、X軸方向の加速度とY軸方向の加速度の検出感度が等価になることが示される。したがって、図5(a)のような2軸加速度センサ14を構成することで、前述の課題3を解決することができる。
さらに、図5(b)に示す様な円柱形状の圧電体41であっても、電極対が対称的に配置されていれば、同様の原理で加速度センサ15を構成することができる。
なお、同様に国際記号で6mmの点群に分類されるZnS,ZnO,AlN(強誘電体ではない)等の材料も、単結晶材料や配向材料(膜)を用いることで原理的に同様の効果が得られるため、本発明の圧電材料として用いることができる。
以下、本発明について図面を参照しながら詳細に説明する。また、以下の実施例により本発明が限定されるものではない。
圧電材料としては国際記号で4mmの点群に分類される、市販のHIP処理PZT材を用いた。キュリー温度は約300[℃]で、圧電定数d15(=d24)が約800[pC/N],平均粒径約1[μm]で、厚み方向に分極処理された板厚4[mm]×95[mm]角の圧電体板を用いた。
大気中で160[℃]の温度で約12[h]の熱エージングを行い、経時変化の抑制を図った。
慣性力を受ける錘については、自動巻き腕時計の重錘として用いられている比重約18[g/cm3]のタングステン系焼結合金を用いた。もちろん、他のセラミックス材料,金属材料等でも問題はないが、後述する電極対端面との絶縁を考慮する必要がある。
(実施形態1)
図1は本発明の一実施例に係わる2軸加速度センサの製造方法を説明する図である。なお、説明のために自発分極Psの方向(出力電圧の符号が反転するだけなので正負はどちらでも良い)をZ軸とし、紙面手前方向をX軸、紙面内右方向をY軸となる直交座標系を用いる。
圧電体板(図示せず)上面にドライフィルム60を全面被覆後、φ2.0[mm]のエンドミルを装着したNC加工機で、6[mm]ピッチ×深さ3.0[mm]の壁形成溝61を格子状に形成することで、図1(a)に示す形状で圧電体41の上部に圧電体ピラー43が複数形成される。
次に、洗浄・乾燥工程の後、スパッタリング装置により、密着層としてTiを平面部膜厚で0.1[μm]、導電層としてAuを同じく平面部膜厚で0.3[μm]を連続積層する。電極形成された圧電体板を装置から取り出し、ドライフィルム60のリフトオフを行なうと圧電ピラー43のそれぞれに4つの側面電極33と、側面電極33と接続された溝底電極34を形成することができる。
続いて、壁形成溝61の格子点へ前記エンドミルで加工した溝の幅より大きいφ2.5[mm]エンドミルで3.2[mm]切り込み深さの電極分割孔62を形成すると、図1(b)に示す様に圧電ピラー43のエッジが落とされ壁面電極33の分割と溝底電極34の分割を同時に行なうことができる。
続いて、ダイシングソーないしNC加工機により図1(b)内の点線で示した様に溝の底面で素子の分離を行なうと、2組の直交する電極対、電極31aと電極31b,電極32aと電極32bが圧電素子40の側面に露出し、図1(d)の見取り図(上面図は図1(c))に示した様な圧電素子40が容易に製造できる。
最後に、基板50に圧電体素子40の側面電極を持たない端面を高硬度,高Tgのエポキシ系接着剤(図示せず)で接着し硬化させた後、基板50の反対側の自由端面に錘20を同様に接着すると、図2(a)に示す2軸加速度センサ11が完成する。
圧電体ピラー43の自由端側稜線は切削加工によりチッピングしてしまうため、錘20による電極の短絡は通常生じないが、これを確実に防止するため、自由端側稜線の面取り加工を加えたり、フィラー入りの接着剤を用いることも出来る。
密閉可能なリットの中に2軸加速度センサ11を固定・実装し、更にシールドルーム内で低周波アンプを介してオシロスコープにより2軸加速度センサとしての動作を確認した。接続は図2(b)に示す様に第1対の電極端子をX軸出力,第2対の電極端子をY軸出力とし、一定速度のオービタルシェイカーにセンサを固定して加速度の検出を確認した。
(実施形態2)
錘が複数の圧電素子に連接されている2軸加速度センサの実施例を説明する。図3(a)及び図3(b)は、本発明の実施例の2軸加速度センサーの斜視図であり、実施形態1の工程途中の図1(b)において、隣接する縦横各2個の圧電体ピラー43を切り離しすると、図3(a)に示す様な、縦2個×横2個圧電素子からなる圧電体素子ユニット44が得られる。
以降、実施形態1と同様に基板50に圧電素子ユニット44を接着し、続いて錘20を4個の圧電ピラー43の自由端面に連接させると、図3(b)に示す2軸加速度センサ12が完成する。
図3(c)は、圧電素子の配線を示す回路図である。各圧電体素子は溝底電極34を介して隣接する圧電体素子の側面に互いに向かい合うX軸方向に電極31bと電極31c,電極31fと電極31gが、Y軸方向に電極32bと電極32cおよび電極32fと電極32gで直列接続する。外周部に露出しているX軸方向,Y軸方向の電極を夫々の側で電極32aと電極32e、電極31dと電極31g、電極32hと電極32d、電極31aと電極31eを接続する電極ジャンパーする。
電極31aと電極31eの接続点と、電極31dと電極31gの電気的接続点からX軸の出力端子、電極32aと電極32eの接続点と電極32dと電極32hの電気的接続点からY軸の出力端子を形成することで、図3(c)に示す回路が形成される。
実施形態1と同様にオービタルシェイカーによる同条件の評価を行なったところ、本実施形態2での出力信号は、前記実施形態1と比較して2倍以上の電圧出力が得られた。これは、圧電体素子の直並列接続の効果だけでなく、1ユニットあたりの錘20の分担重量が増えたことが感度上昇につながる。
(実施形態3)
次に、圧電体素子40を縦横各2個接続した差動増幅可能な2軸加速度センサの実施例を説明する。実施形態1の工程途中の図1(b)において、壁面電極33分割と溝底電極34切断を目的とした電極分割孔15を形成しない部分を設ける。図4(a)は本発明の実施例の製造工程を示す平面図である。図4(a)に示す様に、電極分割しない部分が中央となる様に圧電素子ユニット44を切り出すと、図4(b)に見取り図を示した圧電素子ユニット44’が作製できる。
図4(c)に加速度センサーの回路図を示す。各圧電素子は、圧電素子の内側で向かい合うX軸方向の電極31b,31c,31f,31gと、Y軸方向の電極の32b,32c,32f,32gが接続された構造となる。これらの電極をGNDにし、電極32aと電極32eの電気的接続点と電極32dと電極32hの電気的接続点から第1の差動増幅器101に入力し、電極31aと電極31eの電気的接続点と電極31dと電極31gの電気的接続点から第2の差動増幅器102に入力し、差動増幅器101からX軸の出力、差動増幅器102からY軸の出力を得る加速度検出が可能な2軸加速度センサーとなる。
実施形態1と同様に基板と錘の接着を行った後、リット内に固定・実装してシールドルーム内で同様の評価を行なった。定量はできなかったが、実施形態2の評価と比較してS/N比の改善が認められた。
なお、各実施形態では圧電体材料として点群4mmのPZTを代表として説明したが、前述の様にdコンポーネントの独立性が等しい6mmの材料を用いても全く同様の効果が得られることは明らかで、このことは原理的に証明されている。
本発明の実施形態1による加速度センサを説明する図である。 本発明の実施形態1による加速度センサを説明する図である。 本発明の実施形態2による加速度センサを説明する図である。 本発明の実施形態3による加速度センサの説明する図である。 本発明の概要を説明する図である。 従来例1を説明する図である。 従来例2を説明する図である。
符号の説明
10、10’、11,12 2軸加速度センサ
20 錘
30、30’、30” 電極
31a、31b、31c、・・、31h 電極
32a、32b、32c、・・、32h 電極
33 壁面電極
34 溝底電極
40 圧電素子
41 圧電体
43 圧電体ピラー
44、44’ 圧電素子ユニット
50 基板
60 ドライフィルム
61 壁形成溝
62 電極分割孔

Claims (7)

  1. 圧電体と、前記圧電体の自発分極方向と平行に、前記圧電体の側面に対向配置された第1の電極対と、前記圧電体の自発分極方向と平行かつ前記第1の電極対と直交する前記圧電体の対向する側面に対向配置された第2の電極対と、からなる圧電素子と、
    前記圧電素子の上面に接続された錘と、
    前記圧電素子の下面に接続され、前記圧電素子を固定する基板と、
    を有する加速度センサ。
  2. 前記基板上に前記圧電素子を複数有し、
    前記錘が前記複数の圧電素子の上面請求項1に記載の加速度センサ。
  3. 前記圧電体が、国際記号で4mmまたは6mmの点群に分類される結晶を主成分とする請求項1または2に記載の加速度センサ。
  4. 前記第1の電極対および前記第2の電極対が、前記複数の圧電体のうち隣り合う圧電体の前記第1の電極対または前記第2の電極対と平行に複数配置され、かつ複数の前記圧電素子が直列に接続されている請求項2または3に記載の加速度センサ。
  5. 前記圧電体が、厚さ方向に分極され、前記厚さ方向に溝を有する基板からなり、
    前記基板の上面に前記圧電体が、前記基板と一体で複数設けられている請求項4に記載の加速度センサ。
  6. 圧電体板の厚み方向の一方の面に格子状の溝を形成し、
    前記溝の側面と底面に導電層を形成し、
    前記溝の交点の導電層を除去し、
    前記溝の底面の前記底面上の前記導電層を切断し、
    前記圧電体の上面に錘を機械的に接続する加速センサの製造方法。
  7. 基板の上面にフィルムを配置する工程と、
    前記フィルムを介して、前記基板に複数の溝を形成し、複数の圧電体を形成する工程と、
    前記複数の溝の底面及び側面に導電層を形成する工程と、
    前記フィルムを除去する工程と、
    前記複数の溝が互いに交差する位置に形成された、前記複数の溝の底面及び側面の前記導電層を除去し、隣り合うまたは向かい合う前記複数の溝の側面に形成された導電層を電気的に分断する工程と、
    前記複数の溝の底面に形成された導電層を前記溝方向に除去し、隣り合う前記複数の溝の側面に形成された前記導電層を互いに電気的に分断する工程と、
    前記圧電体の上面に錘を設ける工程と、
    を有する加速度センサの製造方法。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009145440A (ja) * 2007-12-12 2009-07-02 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 波長変換素子
JP2011004598A (ja) * 2010-09-03 2011-01-06 Seiko Epson Corp 圧電型発電機および圧電型発電機を用いた電子機器
JPWO2011001515A1 (ja) * 2009-06-30 2012-12-10 富士通株式会社 加速度センサ、振動発電デバイス及び加速度センサの製造方法
CN109900927A (zh) * 2019-04-01 2019-06-18 中电科技集团重庆声光电有限公司 一种压电加速度传感器及其制备方法
JP2020205371A (ja) * 2019-06-18 2020-12-24 Tdk株式会社 圧電素子
CN114043957A (zh) * 2021-11-29 2022-02-15 西安交通大学 基于pzt薄膜的传感装置、制备方法和汽车安全气囊系统
CN114441802A (zh) * 2020-11-02 2022-05-06 基斯特勒控股公司 加速度传感器
CN117825747A (zh) * 2024-03-04 2024-04-05 山东利恩斯智能科技有限公司 一种中心质量块加速度传感器及其工作方法

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55100129A (en) * 1979-01-26 1980-07-30 Osaka Gas Co Ltd Manufacture of multi-layered hose
JPH04207698A (ja) * 1990-11-30 1992-07-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 複合圧電体の製造方法
JPH05149969A (ja) * 1991-11-28 1993-06-15 Tokin Corp 2軸加速度センサ
JPH0658953A (ja) * 1992-08-12 1994-03-04 Murata Mfg Co Ltd 加速度センサ
JPH0815004A (ja) * 1994-06-27 1996-01-19 Fujikura Ltd 剪断型圧電型振動センサおよびその製法
JPH10244677A (ja) * 1997-03-05 1998-09-14 Tec Corp インクジェットプリンタヘッドの製造方法
JP2001194155A (ja) * 2000-01-13 2001-07-19 Yoshiro Tomikawa 運動センサ
JP2001237670A (ja) * 2000-02-25 2001-08-31 Kinseki Ltd 圧電振動子
JP2002162408A (ja) * 2000-11-24 2002-06-07 Fujitsu Ltd 加速度センサ
JP2003282988A (ja) * 2001-09-12 2003-10-03 Ngk Insulators Ltd マトリクス型圧電/電歪デバイス及び製造方法
WO2004051285A1 (fr) * 2002-11-29 2004-06-17 Igor Borisovich Kobyakov Vibro-accelerometre piezo-electrique a trois composants a un element de detection

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55100129A (en) * 1979-01-26 1980-07-30 Osaka Gas Co Ltd Manufacture of multi-layered hose
JPH04207698A (ja) * 1990-11-30 1992-07-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 複合圧電体の製造方法
JPH05149969A (ja) * 1991-11-28 1993-06-15 Tokin Corp 2軸加速度センサ
JPH0658953A (ja) * 1992-08-12 1994-03-04 Murata Mfg Co Ltd 加速度センサ
JPH0815004A (ja) * 1994-06-27 1996-01-19 Fujikura Ltd 剪断型圧電型振動センサおよびその製法
JPH10244677A (ja) * 1997-03-05 1998-09-14 Tec Corp インクジェットプリンタヘッドの製造方法
JP2001194155A (ja) * 2000-01-13 2001-07-19 Yoshiro Tomikawa 運動センサ
JP2001237670A (ja) * 2000-02-25 2001-08-31 Kinseki Ltd 圧電振動子
JP2002162408A (ja) * 2000-11-24 2002-06-07 Fujitsu Ltd 加速度センサ
JP2003282988A (ja) * 2001-09-12 2003-10-03 Ngk Insulators Ltd マトリクス型圧電/電歪デバイス及び製造方法
WO2004051285A1 (fr) * 2002-11-29 2004-06-17 Igor Borisovich Kobyakov Vibro-accelerometre piezo-electrique a trois composants a un element de detection
JP2006508360A (ja) * 2002-11-29 2006-03-09 イゴール ボリソヴィッチ コブヤコフ センサを有する3成分圧電振動加速度計

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009145440A (ja) * 2007-12-12 2009-07-02 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 波長変換素子
US8472106B2 (en) 2007-12-12 2013-06-25 National Institute For Materials Science Wavelength conversion element
JPWO2011001515A1 (ja) * 2009-06-30 2012-12-10 富士通株式会社 加速度センサ、振動発電デバイス及び加速度センサの製造方法
JP2011004598A (ja) * 2010-09-03 2011-01-06 Seiko Epson Corp 圧電型発電機および圧電型発電機を用いた電子機器
CN109900927A (zh) * 2019-04-01 2019-06-18 中电科技集团重庆声光电有限公司 一种压电加速度传感器及其制备方法
JP2020205371A (ja) * 2019-06-18 2020-12-24 Tdk株式会社 圧電素子
JP7434732B2 (ja) 2019-06-18 2024-02-21 Tdk株式会社 圧電素子
CN114441802A (zh) * 2020-11-02 2022-05-06 基斯特勒控股公司 加速度传感器
CN114043957A (zh) * 2021-11-29 2022-02-15 西安交通大学 基于pzt薄膜的传感装置、制备方法和汽车安全气囊系统
CN117825747A (zh) * 2024-03-04 2024-04-05 山东利恩斯智能科技有限公司 一种中心质量块加速度传感器及其工作方法
CN117825747B (zh) * 2024-03-04 2024-06-07 山东利恩斯智能科技有限公司 一种中心质量块加速度传感器及其工作方法

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