JP2007218999A - 表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透過領域と反射領域とを有する画素に対し、反射電極を形成する金属層と、透過電極を形成する透明導電膜とを連続して積層する。レジスト膜を露光現像して、第1のパターンを形成して金属層と透明導電膜とを同時にエッチングする。その後アッシングによりレジスト膜に第2のパターンを形成し、金属層をエッチングする。また、有機樹脂層をコンタクトホールを形成するマスクとして利用する。
【選択図】図1
Description
第1の絶縁膜と第2の絶縁膜の上に透明導電膜と反射膜とを積層しコンタクトホールを介してソース電極と透明導電膜と反射膜とを接続する工程と、レジスト膜の第1のパターンを用いて透明導電膜と反射膜とをエッチングする工程と、レジスト膜の一部を除去し第2のパターンを形成する工程と、第2のパターンを用いて第2の反射膜をエッチングして、透過領域から反射膜を除去する工程とからなることを特徴とする表示装置の製造方法。
第1の絶縁膜と第2の絶縁膜の上に第1の導電膜と第2の導電膜とを積層し第1及び第2のコンタクトホールを介してソース電極と第1の導電膜とを接続する工程と、第1及び第2の導電膜上にレジスト膜を塗布する工程と、レジスト膜を露光現像して第1のパターンを形成する工程と、レジスト膜の第1のパターンを用いて第1の導電膜と第2の導電膜をエッチングする工程と、レジスト膜の一部をアッシングにより除去し第2のパターンを形成する工程と、第2のパターンを用いて第2の導電膜をエッチングする工程により液晶表示装置を製造する。
図2ではゲート信号線21と並列に容量線25が形成されており、反射領域11の端部はゲート信号線21を越えて、容量線25と重なっている。また、反射領域11の端部はゲート信号線21およびドレイン信号線22とそれぞれ平行となっている。
図9−Cに示す工程では、有機樹脂膜44の上から第1の導電膜37と第2の導電膜38とは電気的に接続される。
Claims (3)
- 基板上にマトリクス状に配置された画素を有する表示装置の製造方法であって、
上記画素にソース電極を形成する工程と、
上記ソース電極の上に第1の絶縁膜と第2の絶縁膜とを積層する工程と、
上記第1の絶縁膜と第2の絶縁膜とにコンタクトホールを形成する工程と、
上記第1の絶縁膜と第2の絶縁膜の上に第1の導電膜と第2の導電膜とを積層し上記コンタクトホールを介して上記ソース電極と上記第1の導電膜とを接続する工程と、
レジスト膜の第1のパターンを用いて第1の導電膜と第2の導電膜をエッチングする工程と、
上記レジスト膜の一部を除去し第2のパターンを形成する工程と、
上記第2のパターンを用いて上記第2の導電膜をエッチングする工程とからなることを特徴とする表示装置の製造方法。 - 基板上にマトリクス状に配置された画素を有する表示装置の製造方法であって、
上記画素にソース電極を形成する工程と、
上記ソース電極の上に第1の絶縁膜と第2の絶縁膜とを積層する工程と、
上記第2の絶縁膜にコンタクトホールを形成する工程と、
上記第2の絶縁膜に形成されたコンタクトホールを用いて上記ソース電極上の第1の絶縁膜を除去する工程と、
上記第1の絶縁膜と第2の絶縁膜の上に第1の導電膜と第2の導電膜とを積層し上記コンタクトホールを介して上記ソース電極と上記第1の導電膜とを接続する工程と、
レジスト膜の第1のパターンを用いて第1の導電膜と第2の導電膜をエッチングする工程と、
上記レジスト膜の一部を除去し第2のパターンを形成する工程と、
上記第2のパターンを用いて上記第2の導電膜をエッチングする工程とからなることを特徴とする表示装置の製造方法。 - 基板上にマトリクス状に配置された画素を有する表示装置の製造方法であって、
上記画素にソース電極を形成する工程と、
上記ソース電極の上に第1の絶縁膜を形成する工程と、
上記第1の絶縁膜の上に樹脂からなる第2の絶縁膜を積層する工程と、
上記第2の絶縁膜を露光現像して、第2の絶縁膜に第1のコンタクトホールを有するパターンを形成する工程と、
上記第1のコンタクトホールを有するパターンを用いて上記第2の絶縁膜に第2のコンタクトホールを形成する工程と、
上記第1の絶縁膜と第2の絶縁膜の上に第1の導電膜と第2の導電膜とを積層し上記第1及び第2のコンタクトホールを介して上記ソース電極と上記第1の導電膜とを接続する工程と、
上記第1及び第2の導電膜上にレジスト膜を塗布する工程と、
上記レジスト膜を露光現像して第1のパターンを形成する工程と、
上記レジスト膜の第1のパターンを用いて第1の導電膜と第2の導電膜をエッチングする工程と、
上記レジスト膜の一部をアッシングにより除去し第2のパターンを形成する工程と、
上記第2のパターンを用いて上記第2の導電膜をエッチングする工程とからなることを特徴とする表示装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006036804A JP5011479B2 (ja) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | 表示装置の製造方法 |
CN2007100055894A CN101022092B (zh) | 2006-02-14 | 2007-02-13 | 显示装置的制造方法 |
US11/674,767 US20070188682A1 (en) | 2006-02-14 | 2007-02-14 | Method for manufacturing a display device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006036804A JP5011479B2 (ja) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | 表示装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007218999A true JP2007218999A (ja) | 2007-08-30 |
JP5011479B2 JP5011479B2 (ja) | 2012-08-29 |
Family
ID=38368005
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006036804A Expired - Fee Related JP5011479B2 (ja) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | 表示装置の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070188682A1 (ja) |
JP (1) | JP5011479B2 (ja) |
CN (1) | CN101022092B (ja) |
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2006
- 2006-02-14 JP JP2006036804A patent/JP5011479B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-02-13 CN CN2007100055894A patent/CN101022092B/zh active Active
- 2007-02-14 US US11/674,767 patent/US20070188682A1/en not_active Abandoned
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JP5011479B2 (ja) | 2012-08-29 |
US20070188682A1 (en) | 2007-08-16 |
CN101022092A (zh) | 2007-08-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081219 |
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A711 | Notification of change in applicant |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |