JP2003029300A - 半透過液晶表示装置用アレー基板 - Google Patents
半透過液晶表示装置用アレー基板Info
- Publication number
- JP2003029300A JP2003029300A JP2002191511A JP2002191511A JP2003029300A JP 2003029300 A JP2003029300 A JP 2003029300A JP 2002191511 A JP2002191511 A JP 2002191511A JP 2002191511 A JP2002191511 A JP 2002191511A JP 2003029300 A JP2003029300 A JP 2003029300A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- crystal display
- display device
- array substrate
- semi
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133553—Reflecting elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136227—Through-hole connection of the pixel electrode to the active element through an insulation layer
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2203/00—Function characteristic
- G02F2203/09—Function characteristic transflective
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
Abstract
る半透過液晶表示装置を提供する。 【解決手段】 本発明は必要によって反射モードと透過
モードで用いることができる半透過液晶表示装置に関す
る。半透過液晶表示装置で反射モードと透過モードの輝
度を同一にするためにアレー基板上に透過ホール及び傾
斜段差部を有する保護層を形成するが、この傾斜段差部
から光漏れが発生しうる。本発明では傾斜段差部を反射
電極で覆って光が漏れることを防止しながら、傾斜段差
部が基板となす角を調整して反射された光が視野に入る
ことを防止することによって、コントラストの低下を防
ぐことができる。
Description
り、さらに詳細には反射モードと透過モードを選択的に
用いることができる半透過液晶表示装置用アレー基板に
関する。
が各々形成されている2つの基板を2つの電極が形成さ
れている面が向かい合うように配置して2つの基板間に
液晶物質を注入し、2つの電極に電圧を印加して生成す
る電界によって液晶分子を動かして、これに光の透過率
を制御して画像を表現する装置である。
よって透過型と反射型に分けることができる。
に付着された背面光源であるバックライトから出る人為
的な光を液晶に入射させて、液晶の配列によって光の量
を調節して色を表示する形態である。反射型液晶表示装
置は、外部の自然光や人造光を反射させることによって
液晶の配列によって光の透過率を調節する形態である。
を用いるので暗い外部環境でも明るい画像を表示できる
が電力消費が大きい短所がある。反面、反射型液晶表示
装置は光の大部分を外部の自然光や人造光源に依存する
構造をしているので透過型液晶表示装置に比べて電力消
費が少ないが、暗い場所では用いることができない短所
がある。
よって適切に選択して用いることができる装置として反
射及び透過兼用液晶表示装置が提案された。
表示装置に対して説明する。図1は一般的な半透過液晶
表示装置の断面図である。図1に示したように、スイッ
チング素子である薄膜トランジスタ(図示せず)を含む
下部基板10上に画素電極20が形成されている。画素
電極20は透過電極21と反射電極22の2つの部分で
構成するが、反射電極22は内部にホールを有し、反射
電極22のホールには透過電極21が形成されている。
透過電極21はインジウム−スズ−オキサイド(以下I
TOと称する)やインジウム−酸化亜鉛(以下IZOと
称する)のように光の透過率が比較的優れた透明導電物
質でなされ、反射電極22はアルミニウム(Al)のよ
うに抵抗が小さくて反射率が大きな物質で構成する。
間隔を有して上部基板30が配置されており、上部基板
30内側面には画素電極20と対応する位置にカラーフ
ィルタ40が形成されている。カラーフィルタ40上部
には透明導電物質でなされた共通電極50が形成されて
いる。
配向された液晶層60が挿入されている。
及び第2位相差板71、72が各々配置されているの
で、第1及び第2位相差板71、72は光の偏光状態を
変える機能を有する。ここで、第1及び第2位相差板7
1、72はλ/4(λ=550nm)に該当する位相差
を有することを利用して、入射された線偏光を円偏光
に、円偏光を線偏光に変える。
方には下部偏光板81と上部偏光板82が各々配置され
ているので、上部偏光板82の光透過軸は下部偏光板8
1の光透過軸に対して90度の角を有する。
ち、下部偏光板81の下にはバックライト90が配置さ
れていて透過モードの光源で利用される。
電圧を印加しない場合白色光が出力されるノーマリー・
ホワイト・モードであるが、反射モードを基準で設計さ
れるために、電圧を印加していないとき透過モードの透
過率は反射モード透過率の50%程度になり灰色光が出
力される。
めに反射領域と透過領域における液晶層の厚さを異なる
ようにした半透過液晶表示装置が提案された。
断面図であって、半透過液晶表示装置は透過部Aと反射
部Bに分けられる。
有機絶縁膜でなされた第1保護層120が形成されてお
り、第1保護層120は透過部Aに該当する部分に第1
透過ホール122が形成されている。第1保護層120
上部には透明導電物質でなされた透過電極130が形成
されていて、透過電極130上部には第2保護層140
が形成されている。一方、下部基板110上部には図示
しなかったが薄膜トランジスタがさらに形成されてお
り、薄膜トランジスタは電気的に透過電極130と反射
電極にすべて連結されている。
150が形成されているので、反射電極150は第1透
過ホール122上部に透過電極130をあらわすための
第2透過ホール152を有する。
されて上部基板160が配置されていて、上部基板16
0下部にはカラーフィルタ161と共通電極162が順
に形成されている。
には位相差板171、172が各々配置されており、位
相差板171、172外側の方には偏光板181、18
2が各々配置されていて、下部偏光板181の下の方に
はバックライト190を配置する。
には液晶層200が注入される。このとき、液晶層20
0は基板に対して水平に配列して、陽の誘電率異方性を
有することを利用して電界が形成されたとき電界の方向
と平行に配列する。
は、液晶層200の屈折率異方性の値と厚さによって変
わる。したがって、第1透過ホール122は透過部Aの
液晶層200厚さを反射部Bの液晶層200厚さより厚
くして透過モードと反射モードの輝度を均一にするため
のものであって、透過部Aの液晶層200厚さが反射部
Bの液晶層200厚さの2倍にすることが望ましい。
晶表示装置では透過部に該当する領域の有機絶縁膜にホ
ールを形成して、透過部の液晶層の厚さが反射部液晶層
の厚さの2倍にすることによって反射モードと透過モー
ドの透過率を均一にすることができる。
る前と印加後に対する反射モードの偏光状態を図3及び
図4に各々示した。
をy軸に設定して、光が進める方向をz軸に設定する
と、x軸は光の進行方向によって180度変換される。
置の下部から見た時上部偏光板の光透過軸はx軸に対し
て135度、下部偏光板の光透過軸はx軸に対して45
度をなすことに定める。したがって、液晶表示装置の上
部から見た時、上部偏光板の光透過軸はx軸となす角が
45度になる。
るものを利用するが、上部位相差板はx軸上に光軸を持
っていて45度に入射された光は左円偏光されて、左円
偏光されて入射された光は135度に線偏光され、13
5度で入射された光は右円偏光されて、右円偏光されて
入射された光は45度に線偏光されるように左折するこ
とを利用する。反面、下部位相差板はy軸上に光軸を持
っていて45度に入射された光が右円偏光される右折す
ることを利用する。このとき反射部の液晶層はλ/4の
位相差値を有し、偏光された光が右折されるようにす
る。
印加していないとき、上部偏光板を通過した光は45度
に線偏光されて、上部位相差板を通過しながら左円偏光
される。続いて、液晶層を通過しながら左円偏光から4
5度線偏光に変わって、この線偏光は反射電極から反射
されて進行方向が変わるので135度の偏光方向を有す
る。次に、液晶層を通過しながら135度の線偏光は左
円偏光に変わって、左円偏光は上部位相差板を通過しな
がら再び135度に線偏光される。135度に線偏光さ
れた光は上部偏光軸の光透過軸方向と一致するので、上
部偏光板に到達した光がすべて透過されてホワイトが表
示される。
電圧が印加された場合、上部偏光板を通過した光は45
度に線偏光されて、上部位相差板を通過しながら左円偏
光される。続いて、左円偏光された光は液晶層を通過す
るが、液晶分子が印加された電圧によって基板に対して
垂直で配列されて位相差を有しないので、そのまま透過
して左円偏光状態を維持する。次に、反射電極に反射さ
れて左円偏光された光は右円偏光されて、右円偏光され
た光は再び液晶層をそのまま透過した後、位相差板を通
過しながら45度に線偏光される。45度に線偏光され
た光は上部偏光板の光透過軸と直角になるので、透過で
きなくブラック状態になる。
装置で電圧が印加される前と後に対する透過モードの偏
光状態を図示した。
とき、バックライトから照射されて下部偏光板を通過し
た光は45度に線偏光されて、下部位相差板を通過しな
がら右円偏光される。続いて、透過電極を通過するのに
透過電極は光の偏光状態に影響を及ぼさないので右円偏
光状態をそのまま維持する。次に、右円偏光された光は
液晶層を通過するが、透過部の液晶層は反射部の液晶層
の厚さより2倍厚くしてλ/2の位相差を有するように
する。したがって、右円偏光された光は左円偏光に変換
される。次に、左円偏光された光は上部の位相差板を通
過しながら135度に線偏光されるので、上部偏光板の
光透過軸方向と一致して光がすべて透過される。
示したように、バックライトから照射されて下部偏光板
を通過した光は45度に線偏光されて、下部位相差板を
通過しながら右円偏光される。続いて、位相変化なしに
透過電極を通過して液晶層を通過するが、液晶層が基板
に対して垂直で配列されて位相差を有しないので右円偏
光された状態を維持する。次に、上部の位相差板を通過
しながら右円偏光された光は45度に線偏光されるが、
これは上部偏光板の光透過軸方向すなわち、135度方
向と直角になるので上部偏光板を透過する光がなくな
る。
さを異なるようにして2つのモードの輝度を均一にする
のみならず、ブラック状態を理想的に暗くさせることが
できるのでコントラストを高めることができる。それゆ
え、半透過液晶表示装置の画質を向上させることができ
る。
の厚さによって変わることができるが、図2と同一に反
射部と透過部の液晶層の厚さを異なるようにするために
透過ホールを形成したとき、反射部と透過部の境界領域
すなわち、傾斜した段差部では液晶層の厚さが持続的に
変化される。したがって、電圧が印加されないとき、こ
の部分で液晶の位相差が変わり光が漏れる問題が発生す
る。
電界の歪曲が発生するので、液晶分子が基板に対して完
全に立たなくて位相遅延があらわれて、光が漏れる。
と透過部の境界領域を反射電極で覆われるようにするこ
とが良い。これと類似な構造が特開2000−2756
60号(以下引用文献という)に提示された。
ある。図7に示したように、引用文献での半透過型液晶
表示装置では透過電極13上部に傾斜段差部17を有す
る層間絶縁膜3が形成されていて、その上に反射電極4
または5は開口部を有する反射電極4または5が形成さ
れている。傾斜段差部17は反射部と透過部の境界領域
になり、反射電極4または5の開口部端部分を傾斜段差
部17上に配置する。したがって、反射電極4または5
が傾斜段差部17の一部を覆っている。
5間には、前記反射電極の反射率を改善するために、感
光性樹脂を塗布して表面を凹凸状で形成した凹凸部18
が構成される。
に反射部と透過部の有効面積を一定にすることを目的に
する。ここで、傾斜段差部17は反射部や透過部の役割
をする所でないので、反射電極4または5の開口部端部
分を傾斜段差部17上に配置すると、若干の誤差が発生
しても透過部と反射部の有効面積には無関係である。
から光漏れが発生する。このような光漏れを防止してコ
ントラストを向上させるために引用文献の反射電極4ま
たは5が傾斜段差部17を完全に覆うようにする場合に
は、反射電極4または5と透過電極13が接触され、反
射電極4または5と透過電極13間に電解腐蝕が発生す
る。したがって、透過電極13と反射電極4または5は
接触してはならないので、反射電極4または5が傾斜段
差部17を一部のみ覆うようにしなければならない。
の問題を解決するために案出されたものであり、本発明
の目的は光漏れを防止して、コントラストを向上させる
ことができる半透過液晶表示装置を提供することにあ
る。
ための本発明による半透過液晶表示装置用アレー基板
は、基板と;前記基板上に形成されている薄膜トランジ
スタと;前記薄膜トランジスタを覆っており、第1透過
ホールと前記第1透過ホールを囲んでいる傾斜段差部を
有する第1保護層と;前記第1保護層上に形成されてい
て前記薄膜トランジスタと連結されている透明電極と;
前記透明電極上に形成されて前記傾斜段差部を完全に覆
い、前記第1透過ホールに対応する第2透過ホールを有
する反射電極を含む。本発明による他の半透過液晶表示
装置用アレー基板は、基板と;前記基板上に形成されて
いる薄膜トランジスタと;前記薄膜トランジスタを覆っ
て第1透過ホールと前記第1透過ホールを囲んでいる傾
斜段差部を有する第1保護層と;前記第1保護層上部に
形成されて前記傾斜段差部を完全に覆って前記第1透過
ホールに対応する第2透過ホールを有する反射板と;そ
して前記反射板上に形成されて前記薄膜トランジスタと
連結されている透明電極とを含む。
て、前記傾斜段差部に対応する反射板から反射された光
が視野角外に反射されるようにする傾斜角を有すること
が望ましい。このとき、傾斜角は約20度ないし110
度、特に42度ないし70度であるものが良い。
(BCB)とアクリル系列の感光性樹脂の内のいずれか
1つで構成することができる。
2保護層をさらに含むこともできるので、前記第2保護
層は透明でシリコン窒化膜で構成することができる。
れていてもよい。
スタに電気的で連結されているゲート配線とデータ配線
をさらに含む場合もある。
モードの輝度を同一にするために傾斜段差部を有する保
護層を形成するが、反射電極が傾斜段差部を覆い、傾斜
段差部と基板がなす角度を20度以上にすることによっ
て光漏れを防止できる。したがって、半透過液晶表示装
置のコントラストを向上させることができる。
発明の実施例による半透過液晶表示装置用アレー基板に
対して詳細に説明する。
装置用アレー基板は、反射部と透過部の境界領域、すな
わち傾斜段差部が反射電極で覆われるようにしながら、
傾斜段差部の傾斜角を一定値以上で形成する。
晶表示装置用アレー基板の平面図であって、図9は図8
でVII−VII線を沿って切った断面図である。
10上にゲート電極221が形成されており、ゲート電
極221は横方向に延びているゲート配線222と連結
されている。基板210はガラスのような絶縁物質でな
され、ゲート電極221とゲート配線222は金属のよ
うな導電物質で構成する。続いて、ゲート絶縁膜230
がゲート電極221とゲート配線222を覆っている。
ゲート絶縁膜230はシリコン窒化膜(SiNX)やシ
リコン酸化膜(SiO2)で構成することができる。次
に、ゲート絶縁膜230上に非晶質シリコンでなされた
アクティブ層240が形成されている。その上にソース
電極251とドレーン電極252が形成されており、ソ
ース電極251は縦方向に延びていてゲート配線222
と一緒に画素領域Pを定義するデータ配線253に連結
されている。図示しなかったが、ソース及びドレーン電
極251、252とアクティブ層240間にはオーミッ
クコンタクト層を配置する。オーミックコンタクト層は
アクティブ層240とソース及びドレーン電極251、
252間の接触抵抗を低める。
260がソース及びドレーン電極251、252を覆っ
ており、第1保護層260はドレーン電極252をあら
わす第1コンタクトホール261及び透過部に該当する
部分に第1透過ホール262を有する。第1透過ホール
262は透過部の液晶層の厚さを反射部の液晶層の厚さ
より厚くして透過モードと反射モードの輝度を均一にす
るためのものであって、透過部の液晶層の厚さが反射部
の液晶層の厚さの2倍にすることが望ましい。このよう
な第1保護層260としてはベンゾシクロブテン(BC
B)やアクリル系列の感光性樹脂を利用して形成するこ
とができる。
電物質でなされた透過電極270が形成されているが、
透過電極270は第1コンタクトホール261を通して
ドレーン電極252と接触する。次に、透過電極270
上部にシリコン窒化膜のような物質でなされた第2保護
層280が形成されていて、第2保護層280は第1コ
ンタクトホール261上部の透過電極270をあらわす
第2コンタクトホール281を有する。第2保護層28
0上部には反射電極290が形成されている。反射電極
290は第2コンタクトホール281を通して透過電極
270と連結されており、第1透過ホール262上に形
成された透過電極270をあらわす第2透過ホール29
1を有する。このとき、反射電極290は反射部と透過
部間の境界領域部分すなわち、傾斜段差部を完全に覆っ
ている。ここでは反射電極290が透過電極270上部
に形成されているが、反射電極290が透過電極270
と接触されない状態で透過電極270下部に形成されて
いる場合もある。
射電極290と透過電極270の直接接触を防ぐための
ものであって、本発明では反射電極290を乾式エッチ
ングや湿式エッチングで形成しても、電解腐蝕が発生し
ない。
あるが、このときには反射電極290を乾式エッチング
で形成することによって電解腐蝕がおきることを防止で
きる。
の境界領域で光が漏れることを防止するために、反射電
極は傾斜段差部を覆うように形成するが、傾斜段差部は
基板に対して一定値以上の角を有していなければならな
い。
である傾斜段差部の傾斜角度を求めるための図面であ
る。
x軸と称し、これに垂直である軸をy軸と称す。そうす
ると、傾斜段差部はx軸とθの角を有するが、このよう
な傾斜段差部に平行な軸をx'軸と称し、x'軸に垂直な
軸はy'軸と称す。このとき、x軸とx'軸が交差して分
けられる領域中、y軸とy'軸を含む領域に液晶層を配
置する。
ら半透過液晶表示装置の上部基板を通過した後、液晶層
で屈折して傾斜段差部に入射する。傾斜段差部に入射す
る光がy軸に対してαの角を有すれば、入射された光が
y'軸とx軸間領域に反射されて視野に入ることはない
ので、この部分で光が漏れることを防止できる。このと
き、反射される光はy軸に対して2θ−αの角を有し、
この角度はαより大きくなければならないのでθ>αに
なる。
準にしたとき、外部から入射する光は0度から最大90
度の入射角範囲を有するが、0度に近い光はそのまま入
ってから出るので傾斜段差部に対して大きな意味を有し
ないので、外部から入射する光の入射角度は20度ない
し90度の範囲内で考慮する。
屈折率n2を1.5とすれば、入射光の入射角θ1に対
する透過光の透過角θ2はスネルの法則(n1・sin
(θ 1)=n2・sin(θ2))によって決定され
る。
し90度の時、透過光の透過角は13度ないし42度に
なるので、αは13度ないし42度の範囲を有する。
12.1インチのパネルを約30cm程度離れて見る
時、コントラストの低下なしに全体画面を見ることがで
きる最大角度は約30度である。スネルの法則を利用し
て入射角が30度である時αを求めると、αは約20度
になる。そして、工程上形成可能な傾斜角度は110度
になるので、傾斜段差部の傾斜角度は20度ないし11
0度の範囲で形成することができる。
度であるので、傾斜段差部の傾斜角度を42度より大き
くすると周辺から入射するすべての光に対して視野角内
から外れるようにすることができる。したがって、傾斜
段差部の傾斜角度は望ましくは42度ないし70度の範
囲で形成することが良い。
保護層(図9の260)の工程条件を調節することによ
って可能である。
エッチング工程条件を調節することによって傾斜角度を
調節することができる。一般的にBCBを乾式エッチン
グするガスはSF6やO2等で組成されるが、O2の組
成比が大きければBCBの傾斜度は緩慢になって、O2
の組成比が小さければBCBの傾斜度は大きくなる。こ
れは、BCBを乾式エッチングする時、BCB上部に配
置する感光膜(PR)がO2の組成が大きいほど速く消
耗するためである。また、エッチングガスの全体圧力が
低ければBCBの傾斜度は緩慢になって、圧力が高けれ
ば傾斜度は大きくなる。
ような感光性樹脂を用いる場合には感光性樹脂の物性を
調節したり、境界領域の露光量を調節して傾斜角度を調
節することができる。傾斜段差部の傾斜を急にしようと
するなら、エッチング部分と非エッチング部分を露光す
る光量の差が大きくなるように境界領域で光量を急激に
変えて、傾斜を緩慢にしようとするなら2つの部分の光
量差が小さい光量が少しずつ変わるようにすればよい。
一定値以上で形成して傾斜段差部から光漏れの発生を防
止することによって、液晶表示装置のコントラストを向
上させることができる。
段差を構成することができ、他の例として前述した、前
記反射電極と透過電極の構成を変えて本発明の第2実施
例による半透過液晶表示装置用アレー基板を製作するこ
とができる。
射板を透過電極の下部に電気的にフローティングした構
造で、工程を単純化できることを特徴とする。
過液晶表示装置用アレー基板の断面図を図11に示し
た。
1が形成されていて、ゲート絶縁膜330がゲート電極
321を覆っている。ゲート絶縁膜330上にはアクテ
ィブ層340が形成されており、その上にソース及びド
レーン電極351、352が形成されている。図示しな
かったが、ソース及びドレーン電極351、352とア
クティブ層340の間にはオーミックコンタクト層が形
成されている。ゲート電極321とソース及びドレーン
電極351、352は薄膜トランジスタTをなして、ア
クティブ層340は薄膜トランジスタTのチャネルにな
る。
ーン電極351、352を覆っており、第1保護層36
0はゲート絶縁膜330と一緒に基板310の一部をあ
らわす第1透過ホール362及び第1透過ホール362
を囲む傾斜段差部363を有する。第1保護層360は
BCBや感光性アクリル樹脂で構成することができる。
ここで、傾斜段差部363は基板310に対して約20
度以上の角を有することが良いが、望ましくは42度な
いし70度間の角を有することが良い。
に形成されている。反射板370はドレーン電極352
上部に開口部371を有し、第1透過ホール362に対
応する第2透過ホール372を有する。反射板370は
アルミニウム(Al)の光をよく反射する金属物質で構
成することが良い。ここで、反射板370は傾斜段差部
363を完全に覆う。
に形成されて反射板370を覆っている。第2保護層3
80は第1保護層360と一緒にドレーン電極352を
あらわすコンタクトホール381を有し、シリコン窒化
膜のような物質で構成することができる。コンタクトホ
ール381は反射板370の開口部371を貫通する。
一方、第1及び第2透過ホール362、372上部の第
2保護層380は除去される場合もある。
0上に形成されていて、透明電極390はコンタクトホ
ール361を通してドレーン電極352に連結されてい
る。透明電極390はインジウム−スズ−オキサイド
(ITO)のような透明導電物質で構成する。
示装置の上部基板に形成される共通電極と同一物質でな
された透明電極390が下部基板の一番上に形成される
ために、残像が除去される。
半透過液晶表示装置用アレー基板の断面図である。本発
明の第3実施例は透過ホール部分を除いて先立った第2
実施例と同一構造を有し、これに対する平面図は図8と
類似な形態を有する。
過ホール362が第1保護層360のみならずゲート絶
縁膜330にまで延びて、下部の基板310をあらわす
ように形成されているが、第3実施例では第1透過ホー
ル362が第1保護層360にのみ形成されている。一
方、第1透過ホール363の周りには傾斜段差部363
が形成されており、第1保護層360上部の反射板37
0は傾斜段差部363を完全に覆っている。このとき、
傾斜段差部363は基板310に対して20ないし11
0度、望ましくは42ないし70度の角を有することが
良い。
の技術思想の範囲内において多様な変化と変形が可能で
ある。
反射部と透過部の境界部分である傾斜段差部を反射電極
で覆い、傾斜段差部から反射された光が視野に入ること
を防止するために傾斜段差部の角度を20度以上に形成
することによって、傾斜段差部から光が漏れることを防
ぐことができる。したがって、コントラストを向上させ
ることができる。また、本発明では反射電極が十分に傾
斜段差部を覆っても透過電極と反射電極間に絶縁膜を配
置するか、絶縁膜を省略する場合には反射電極を乾式エ
ッチングで形成することによって、電解腐蝕を防止でき
る。
図。
する前と後に対して反射モードでの偏光状態を示した図
面。
する前と後に対して反射モードでの偏光状態を示した図
面。
する前と後に対して透過モードでの偏光状態を示した図
面。
する前と後に対して透過モードでの偏光状態を示した図
面。
断面図。
置用アレー基板の平面図。
図。
めの図面。
装置用アレー基板の断面図。
装置用アレー基板の断面図。
Claims (19)
- 【請求項1】 基板と;前記基板上に形成されている薄
膜トランジスタと;前記薄膜トランジスタを覆って、第
1透過ホールと前記第1透過ホールを囲んでいる傾斜段
差部を有する第1保護層と;前記第1保護層上に形成さ
れていて前記薄膜トランジスタと連結されている透明電
極と;前記透明電極上に形成されて前記傾斜段差部を完
全に覆い、前記第1透過ホールに対応する第2透過ホー
ルを有する反射電極とを含むことを特徴とする半透過液
晶表示装置用アレー基板。 - 【請求項2】 前記傾斜段差部は、前記基板に対して、
前記傾斜段差部に対応する反射板から反射された光が視
野角外に反射されるようにする傾斜角を有することを特
徴とする請求項1に記載の半透過液晶表示装置用アレー
基板。 - 【請求項3】 前記傾斜角は、約20度ないし110度
であることを特徴とする請求項2に記載の半透過液晶表
示装置用アレー基板。 - 【請求項4】 前記傾斜角は、42度ないし70度であ
ることを特徴とする請求項3に記載の半透過液晶表示装
置用アレー基板。 - 【請求項5】 前記第1保護層は、ベンゾシクロブテン
(BCB)とアクリル系列の感光性樹脂中いずれか1つ
で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の半
透過液晶表示装置用アレー基板。 - 【請求項6】 前記透明電極と前記反射板間に第2保護
層をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の半透
過液晶表示装置用アレー基板。 - 【請求項7】 前記第2保護層は、透明であることを特
徴とする請求項6に記載の半透過液晶表示装置用アレー
基板。 - 【請求項8】 前記第2保護層は、シリコン窒化膜で構
成されていることを特徴とする請求項6に記載の半透過
液晶表示装置用アレー基板。 - 【請求項9】 前記反射板は、前記透明電極に連結され
ていることを特徴とする請求項1に記載の半透過液晶表
示装置用アレー基板。 - 【請求項10】 交差して前記薄膜トランジスタに電気
的で連結されているゲート配線とデータ配線をさらに含
むことを特徴とする請求項1に記載の半透過液晶表示装
置用アレー基板。 - 【請求項11】 基板と;前記基板上に形成されている
薄膜トランジスタと;前記薄膜トランジスタを覆って第
1透過ホールと前記第1透過ホールを囲んでいる傾斜段
差部を有する第1保護層と;前記第1保護層上部に形成
されて前記傾斜段差部を完全に覆って前記第1透過ホー
ルに対応する第2透過ホールを有する反射板と;前記反
射板上に形成されて前記薄膜トランジスタと連結されて
いる透明電極とを含むことを特徴とする半透過液晶表示
装置用アレー基板。 - 【請求項12】 前記傾斜段差部は、前記基板に対し
て、前記傾斜段差部に対応する反射板から反射された光
が視野角外に反射されるようにする傾斜角を有すること
を特徴とする請求項11に記載の半透過液晶表示装置用
アレー基板。 - 【請求項13】 前記傾斜角は、約20度ないし110
度であることを特徴とする請求項12に記載の半透過液
晶表示装置用アレー基板。 - 【請求項14】 前記傾斜角は、約42度ないし70度
であることを特徴とする請求項13に記載の半透過液晶
表示装置用アレー基板。 - 【請求項15】 前記第1保護層は、ベンゾシクロブテ
ン(BCB)とアクリル系列の感光性樹脂中いずれか1
つで構成されていることを特徴とする請求項11に記載
の半透過液晶表示装置用アレー基板。 - 【請求項16】 前記透明電極と反射板間に第2保護層
をさらに含むことを特徴とする請求項11に記載の半透
過液晶表示装置用アレー基板。 - 【請求項17】 前記第2保護層は、シリコン窒化膜で
構成されていることを特徴とする請求項16に記載の半
透過液晶表示装置用アレー基板。 - 【請求項18】 交差して前記薄膜トランジスタに電気
的で連結されているゲート配線とデータ配線をさらに含
むことを特徴とする請求項16に記載の半透過液晶表示
装置用アレー基板。 - 【請求項19】 前記基板と第1保護層間にゲート絶縁
膜をさらに含むことを特徴とする請求項11に記載の半
透過液晶表示装置用アレー基板。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020010039638A KR100824015B1 (ko) | 2001-02-19 | 2001-07-04 | 반투과 액정 표시 장치 |
KR2001-39638 | 2001-07-04 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003029300A true JP2003029300A (ja) | 2003-01-29 |
JP3899292B2 JP3899292B2 (ja) | 2007-03-28 |
Family
ID=19711719
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002191511A Expired - Fee Related JP3899292B2 (ja) | 2001-07-04 | 2002-06-28 | 半透過液晶表示装置用アレー基板 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6734935B2 (ja) |
JP (1) | JP3899292B2 (ja) |
CN (1) | CN1266533C (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005070736A (ja) * | 2003-02-28 | 2005-03-17 | Lg Phillips Lcd Co Ltd | Cot構造の半透過型の液晶表示装置 |
JP2005300788A (ja) * | 2004-04-09 | 2005-10-27 | Sony Corp | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JP2007218999A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Hitachi Displays Ltd | 表示装置の製造方法 |
Families Citing this family (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3941481B2 (ja) * | 2000-12-22 | 2007-07-04 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶表示装置および電子機器 |
JP4068951B2 (ja) * | 2002-01-29 | 2008-03-26 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶表示装置 |
JP3951844B2 (ja) * | 2002-07-23 | 2007-08-01 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶表示装置および電子機器 |
JP4035094B2 (ja) * | 2002-07-31 | 2008-01-16 | エルジー.フィリップス エルシーデー カンパニー,リミテッド | 反射透過型液晶表示装置及びその製造方法 |
KR100698043B1 (ko) * | 2002-08-07 | 2007-03-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시 장치의 형성 방법 |
JP2004085720A (ja) * | 2002-08-23 | 2004-03-18 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板、反射透過型液晶表示パネル、および反射透過型液晶表示装置 |
TWI294981B (ja) * | 2002-09-12 | 2008-03-21 | Au Optronics Corp | |
KR100931681B1 (ko) * | 2003-04-08 | 2009-12-14 | 삼성전자주식회사 | 어레이 기판 및 이를 갖는 액정표시장치 |
TW200515060A (en) * | 2003-10-31 | 2005-05-01 | Display Optronics Corp M | High-brightness flat display |
KR100575901B1 (ko) * | 2003-11-06 | 2006-05-03 | 재단법인서울대학교산학협력재단 | 고종횡비 3차원 마이크로 부품의 대량 생산 방법 |
CN100376932C (zh) * | 2003-12-12 | 2008-03-26 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 液晶显示装置 |
KR100617037B1 (ko) * | 2003-12-29 | 2006-08-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 반사투과형 액정표시장치 및 이의 제조방법 |
KR101010397B1 (ko) * | 2003-12-30 | 2011-01-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | 양면 액정표시장치 및 그 제조방법 |
KR100617290B1 (ko) * | 2003-12-30 | 2006-08-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 반사투과형 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 |
TWI308247B (en) * | 2004-03-24 | 2009-04-01 | Toppoly Optoelectronics Corp | Transflective liquid crystal display and method of fabricating the same |
KR101057779B1 (ko) * | 2004-06-05 | 2011-08-19 | 엘지디스플레이 주식회사 | 반투과형 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
KR101076426B1 (ko) * | 2004-06-05 | 2011-10-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 반투과형 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
KR101039024B1 (ko) | 2004-06-14 | 2011-06-03 | 삼성전자주식회사 | 유기 반도체를 이용한 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조방법 |
KR101087398B1 (ko) * | 2004-06-30 | 2011-11-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치의 패드 구조 및 그 제조방법 |
KR101146521B1 (ko) * | 2004-07-19 | 2012-05-25 | 삼성전자주식회사 | 위상지연소자와, 이의 제조방법과, 이를 갖는 기판 및이의 제조방법과, 이를 이용한 광 공급 방법 및액정표시장치 |
JP2006030889A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 液晶表示装置 |
JP2006086176A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Hitachi Kyowa Engineering Co Ltd | Led用サブマウント及びその製造方法 |
KR101147261B1 (ko) * | 2004-12-04 | 2012-05-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | 반투과형 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
KR101139522B1 (ko) | 2004-12-04 | 2012-05-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | 반투과형 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
TWI386744B (zh) | 2004-12-14 | 2013-02-21 | Samsung Display Co Ltd | 薄膜電晶體面板以及使用該薄膜電晶體面板之液晶顯示器 |
JP2006330130A (ja) * | 2005-05-24 | 2006-12-07 | Mitsubishi Electric Corp | 液晶表示装置およびその製造方法 |
EP1737268B1 (en) * | 2005-06-23 | 2012-02-08 | AKG Acoustics GmbH | Sound field microphone |
KR101287702B1 (ko) * | 2005-06-30 | 2013-07-24 | 엘지디스플레이 주식회사 | 반사투과형 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 |
EP2041642A2 (en) * | 2006-06-28 | 2009-04-01 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method and apparatus for object learning and recognition based on optical parameters |
TWI352860B (en) * | 2007-04-02 | 2011-11-21 | Wintek Corp | Optical filter |
KR101398330B1 (ko) * | 2007-08-31 | 2014-05-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | 반투과형 액정 표시장치 및 그 제조 방법 |
CN102566133B (zh) * | 2010-12-17 | 2014-11-12 | 上海天马微电子有限公司 | 半透半反式液晶显示器 |
CN208705629U (zh) * | 2018-10-08 | 2019-04-05 | 惠科股份有限公司 | 显示器及其显示面板、阵列基板 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6195140B1 (en) * | 1997-07-28 | 2001-02-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display in which at least one pixel includes both a transmissive region and a reflective region |
US6909481B2 (en) * | 2000-11-07 | 2005-06-21 | Seiko Epson Corporation | Liquid crystal display and electronic appliance |
KR100654159B1 (ko) * | 2000-02-10 | 2006-12-05 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 반사형 액정 표시장치 및 그 제조방법 |
JP2001337320A (ja) * | 2000-05-24 | 2001-12-07 | Toshiba Corp | 半透過型の液晶表示素子 |
KR100408346B1 (ko) * | 2001-07-18 | 2003-12-06 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 반사투과형 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 |
KR100820647B1 (ko) * | 2001-10-29 | 2008-04-08 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 반투과 액정 표시 장치용 어레이기판 및 이의 제조방법 |
-
2002
- 2002-06-20 US US10/175,426 patent/US6734935B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-06-28 JP JP2002191511A patent/JP3899292B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-06-28 CN CNB021405352A patent/CN1266533C/zh not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-04-02 US US10/815,712 patent/US6885420B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005070736A (ja) * | 2003-02-28 | 2005-03-17 | Lg Phillips Lcd Co Ltd | Cot構造の半透過型の液晶表示装置 |
US7495728B2 (en) | 2003-02-28 | 2009-02-24 | Lg Display Co., Ltd. | Transflective liquid crystal display device having color filter-on-thin film transistor (COT) structure and method of fabricating the same |
JP2005300788A (ja) * | 2004-04-09 | 2005-10-27 | Sony Corp | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JP4605438B2 (ja) * | 2004-04-09 | 2011-01-05 | ソニー株式会社 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JP2007218999A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Hitachi Displays Ltd | 表示装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6885420B2 (en) | 2005-04-26 |
CN1266533C (zh) | 2006-07-26 |
US6734935B2 (en) | 2004-05-11 |
US20030007114A1 (en) | 2003-01-09 |
JP3899292B2 (ja) | 2007-03-28 |
CN1395140A (zh) | 2003-02-05 |
US20050001960A1 (en) | 2005-01-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3899292B2 (ja) | 半透過液晶表示装置用アレー基板 | |
JP3815784B2 (ja) | 半透過液晶表示装置及びその製造方法 | |
US7151581B2 (en) | Liquid crystal display with light transmission regions and light reflection regions | |
US6380995B1 (en) | Transflective liquid crystal display device with asymmetry reflective electrode having a transparent portion facing a main viewing angle | |
KR100627649B1 (ko) | 반투과 액정 표시 장치 및 그의 제조 방법 | |
US6621543B2 (en) | Transflective liquid crystal display device | |
KR101293564B1 (ko) | 액정표시장치 | |
KR100439354B1 (ko) | 반사투과형 액정표시장치 | |
KR100283275B1 (ko) | 액정 디스플레이 장치 | |
KR20050060847A (ko) | 액정 표시 장치와, 이의 광학 필름 어셈블리 | |
KR100824015B1 (ko) | 반투과 액정 표시 장치 | |
KR100813472B1 (ko) | 반사-투과형 액정 표시 장치 | |
KR100730396B1 (ko) | 반투과형 액정표시장치 및 이의 제조방법 | |
JP2006285279A (ja) | 液晶表示装置及び電子機器 | |
KR20060032423A (ko) | 칼라필터기판의 제조방법 및 이를 구비한 액정표시장치 | |
TW482917B (en) | Liquid crystal display device | |
KR20030058228A (ko) | 반투과 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
KR20040071522A (ko) | 반사-투과형 액정 표시 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040603 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060612 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060718 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061010 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061128 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061225 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3899292 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100105 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100105 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110105 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120105 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130105 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130105 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |