KR20080110347A - 전기 영동 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 전기 영동 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치는, 제1 절연 기판, 상기 제1 절연 기판 위에 형성되어 있으며 게이트 전극을 가지는 게이트선, 상기 게이트선 위에 형성되어 있는 게이트 절연막, 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 반도체, 상기 반도체 위에 형성되고, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 데이터선, 상기 데이터선 위에 형성되어 있으며 상기 드레인 전극을 노출하는 제1 접촉 구멍을 가지는 보호막, 상기 보호막 위에 형성되어 있는 유지 전극, 상기 유지 전극 위에 형성되어 있으며 상기 제1 접촉 구멍을 노출하는 제2 접촉 구멍을 가지는 색필터 및, 상기 색필터 위에 형성되어 있으며, 상기 박막 트랜지스터의 출력 전극에 연결되어 있으며 투명한 화소 전극을 포함하는 박막 트랜지스터 표시판 상기 박막 트랜지스터 표시판과 마주하는 제 2 절연 기판, 및 상기 제 2 절연 기판 위에 형성되어 있는 공통 전극을 포함하는 공통 전극 표시판 그리고 상기 화소 전극과 상기 공통 전극 사이에 존재하는 전기 영동 부재를 포함한다.
전기 영동 표시 장치, 색필터, 유지 전극

Description

전기 영동 표시 장치 및 그 제조 방법{ELECTROPHORETIC DISPLAY AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF}
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 배치도이고,
도 2는 도 1의 II-II'선을 따라 자른 단면도이고,
도 3은 도 1의 III-III'선을 따라 자른 단면도이고,
도 4 내지 도19는 본 발명의 실시예에 따라 전기 영동 표시 장치를 제조하는 중간 단계에서의 전기 영동 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 단면도이고,
도 20은 본 발명의 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치를 사용할 때 시선 방향에 대한 표시판의 배치 상태를 보여주는 단면도이고,
도 21은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 배치도이고,
도 22는 도 21의 XXII-XXII'선을 따라 자른 단면도이고,
도 23은 도 21의 XXIII-XXIII'선을 따라 자른 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100: 박막트랜지스터 표시판 110: 제1 절연 기판
121: 게이트선 124: 게이트 전극
129: 게이트선의 끝부분 131: 유지 전극
140: 게이트 절연막 151: 선형 반도체층
161, 163, 165: 저항성 접촉 부재 171: 데이터선
173: 소스 전극 175: 드레인 전극
179: 데이터선의 끝부분 180: 보호막
181, 182, 185: 접촉구멍 191: 화소 전극
200: 공통 전극 표시판 210: 절연 기판
230: 색필터 270: 공통 전극
300: 전기 영동 필름 330: 전기 영동 부재
323, 326: 전기 영동 입자 327: 분산매
329: 캡슐
본 발명은 전기 영동 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근 기존의 브라운관을 대체하여 액정 표시 장치, 유기 전계 발광 장치(OLED) 및 전기 영동 표시 장치(electrophoretic display) 등의 평판(flat panel)형 표시 장치가 많이 사용되고 있다.
이 중 전기 영동 표시 장치는 휴대가 간편한 전자 페이퍼(paper like display)를 구현하는 한 가지 방식으로서, 전극이 형성되어 있는 두 장의 기판과 이들 두 장의 기판 사이에 존재하며 양(+) 또는 음(-)의 전하를 띄고, 색을 갖는 전기 영동 입자를 포함한다. 이러한전기 영동 표시 장치는 두 전극에 인가되는 전 압에 따라 전기 영동 입자가 회전하거나 극성이 다른 전극 가까이로 이동하는 방식으로 원하는 색상을 표현한다.
현재 알려진 전기 영동 표시 장치의 컬러 구현 방법에는 두 가지가 있는데, 그 중 한 방법은 색필터를 이용하는 것이고, 다른 방법은 마이크로 캡슐 내부에 색을 띠는 입자를 넣는 것이다.
색필터를 이용하는 방법은 색필터를 포함하는 전기 영동 표시판과 박막 트랜지스터 표시판을 조립하는 공정에서 정렬(alignment)이 어려우며, 색필터의 픽셀 크기를 박막 트랜지스터 표시판과 같게 제작해야 하는 문제가 있다. 또한, 이러한 방식의 구조를 형성하였을 때에는 구동시 픽셀 사이에 전극이 없는 부분에서 전기 영동 부재가 제대로 동작하지 않아 화면이 뿌옇게 보이는 문제가 있다.
그리고, 색을 띠는 입자를 마이크로 캡슐 내부에 넣는 방법은 색을 띠는 입자를 각각의 픽셀에 배치하는 것과 검은색(black)을 구현하는 데 어려움이 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이러한 문제점을 해결하여 휘도가 높고 선명한 컬러 색상 표현이 가능한 전기 영동 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치는 제1 절연 기판, 상기 제1 절연 기판 위에 형성되어 있으며 게이트 전극을 가지는 게이트선, 상기 게이트선 위에 형성되어 있는 게이트 절연막, 상기 게이트 절 연막 위에 형성되어 있는 반도체, 상기 반도체 위에 형성되고, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 데이터선, 상기 데이터선 위에 형성되어 있으며 상기 드레인 전극을 노출하는 제1 접촉 구멍을 가지는 보호막, 상기 보호막 위에 형성되어 있는 유지 전극, 상기 유지 전극 위에 형성되어 있으며 상기 제1 접촉 구멍을 노출하는 제2 접촉 구멍을 가지는 색필터 및, 상기 색필터 위에 형성되어 있으며, 상기 박막 트랜지스터의 출력 전극에 연결되어 있으며 투명한 화소 전극을 포함하는 박막 트랜지스터 표시판 상기 박막 트랜지스터 표시판과 마주하는 제 2 절연 기판, 및 상기 제 2 절연 기판 위에 형성되어 있는 공통 전극을 포함하는 공통 전극 표시판 그리고 상기 화소 전극과 상기 공통 전극 사이에 존재하는 전기 영동 부재를 포함한다.
여기서, 상기 박막 트랜지스터를 통해서 이미지가 디스플레이 되도록 상기 박막 트랜지스터를 보는 사람에 가까운 쪽으로 위치시킬 수 있다.
또한, 상기 박막 트랜지스터 쪽으로 외부광이 입사되면 캡슐 내부의 입자의 움직임에 따라 표현된 이미지가 상기 박막 트랜지스터를 통해서 디스플레이 될 수 있다.
또한, 상기 유지 전극은 투명한 도전막으로 이루어질 수 있다.
그리고, 상기 유지 전극은 상기 화소 전극 면적의 30%에서 90%와 중첩하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 유지 전극의 두께는 50~3000 옹스트롬인 것이 바람직하다.
또한, 상기 게이트선과 상기 데이터선은 불투명한 금속으로 이루어진 적어도 하나 이상의 박막을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 불투명한 금속은 크롬인 것이 바람직하다.
또한, 상기 공통전극은 불투명한 금속으로 이루어질 수 있다.
여기서, 상기 불투명한 금속은 크롬인 것이 바람직하다.
또한, 상기 반도체는 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 아래를 비롯하여 그 주위에 섬형으로 형성되어 있고, 상기 소스 전극 및 드레인 전극과 상기 반도체 사이에 끼여 있는 저항성 접촉 부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 보호막과 상기 게이트 절연막은 상기 게이트선의 끝부분을 노출하는 제3 접촉구를 가지고, 상기 보호막은 상기 데이트선을 노출하는 제4 접촉구를 가지며, 상기 보호막 위에 형성되어 있으며 상기 제3 접촉구를 통하여 상기 게이트선의 끝부분과 접촉하는 제1 접촉 보조 부재 및 상기 보호막 위에 형성되어 있으며 상기 제4 접촉구를 통하여 상기 데이터선의 끝부분과 접촉하는 제2 접촉 보조 부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 제조방법은 제 1 절연 기판 위에 게이트선, 반도체, 데이터선을 형성하는 단계, 상기 데이터선을 덮는 보호막과 그 위의 유지 전극을 형성하는 단계, 상기 보호막 및 상기 유지 전극 위에 색필터를 형성하는 단계, 그리고 상기 색필터 위에 화소 전극을 형성하여 박막 트랜지스터 표시 기판을 형성하는단계 제 2 절연 기판 위에 공통 전극을 형성하여 공통전극 표시판을 형성하는 단계 상기 박막 트랜지스터 표시판과 마주하도록 제 2 절연 기판을 위치시키고, 상기 화소 전극와 상기 공통 전극 사이에 전기영동 부재 를 형성하는 단계를 포함한다.
여기서, 상기 박막 트랜지스터 쪽으로 외부광이 입사되면 캡슐 내부의 입자의 움직임에 따라 표현된 이미지가 상기 박막 트랜지스터를 통해서 디스플레이 되도록 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 데이터선을 덮는 보호막과 그 위의 유지 전극을 형성하는 단계는 상기 데이터선 위에 보호막과 투명한 도전막을 연속으로 증착하는 단계, 상기 투명한 도전막 위에 하프톤 마스크를 이용한 사진 공정으로 제1 부분과 상기 제1 부분보다 두께가 두꺼운 제2 부분을 가지는 제1 감광막 패턴을 형성하는 단계, 상기 제1 감광막 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 투명한 도전막과 보호막을 식각하는 단계, 상기 제1 감광막 패턴을 애싱하여 상기 제1 부분을 제거함으로써 제2 감광막 패턴을 형성하는 단계, 그리고 상기 제2 감광막 패턴을 마스크로 하여 상기 투명한 도전막을 식각함으로써 유지 전극을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제1 감광막 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 투명한 도전막과 보호막을 식각하는 단계에서 상기 게이트선의 끝부분, 상기 데이터선의 끝부분 및 상기 드레인 전극을 각각 노출하는 접촉 구멍을 형성하며, 상기 화소 전극을 형성하는 단계에서 상기 게이트선의 끝부분과 접촉하는 제1 접촉 보조 부재와 상기 데이터선의 끝부분과 접촉하는 제2 접촉 보조 부재를 형성할 수 있다.
여기서, 상기 제 1 절연 기판 위에 게이트선, 반도체 및 데이터선을 형성하는 단계는 상기 제 1 절연 기판 위에 게이트선을 형성하는 단계, 상기 게이트선 위에 게이트 절연막, 비정질 규소층, 도핑된 비정질 규소층을 차례로 적층하는 단계, 상기 도핑된 비정질 규소층과 상기 비정질 규소층을 사진 식각하여 저항성 접촉 부재의 예비 패턴과 반도체를 형성하는 단계, 상기 저항성 접촉 부재의 예비 패턴 위에 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 데이터선 형성하는 단계, 그리고 상기 저항성 접촉 부재의 예비 패턴의 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 사이 부분을 식각하여 제거하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 상기 절연 기판 위에 게이트선, 반도체 및 데이터선을 형성하는 단계는 상기 절연 기판 위에 게이트선을 형성하는 단계, 상기 게이트선 위에 게이트 절연막, 비정질 규소층, 도핑된 비정질 규소층 및 데이터 금속층을 차례로 적층하는 단계, 상기 데이터 금속층 위에 제3 부분과 상기 제3 부분보다 두께가 두꺼운 제4 부분을 가지는 제3 감광막 패턴을 형성하는 단계, 상기 제3 감광막 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 데이터 금속층, 도핑된 비정질 규소층 및 비정질 규소층을 식각하여 상기 소스 전극과 드레인 전극의 예비 패턴, 저항성 접촉 부재의 예비 패턴 및 반도체를 형성하는 단계, 상기 제3 감광막 패턴을 애싱하여 상기 제3 부분을 제거함으로써 제4 감광막 패턴을 형성하는 단계, 그리고
상기 제4 감광막패턴을 마스크로 하여 상기 데이터선과 드레인 전극의 예비 패턴 및 저항성 접촉 부재의 예비 패턴을 식각하여 상기 소스전극과 드레인 전극 및 저항성 접촉 부재를 완성하는 단계를 포함할 수 있다.
이하에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상 세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치 및 그 제조 방법에 대하여 설명한다.
<실시예 1>
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 배치도이고, 도 2는 도 1의 II-II'선을 따라 자른 단면도이고, 도 3은 도 1의 III-III'선을 따라 자른 단면도이다.
본 발명의 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치는 공통 전극 표시판(200), 이와 마주하는 박막 트랜지스터 표시판(100) 및 이들 두 표시판(100, 200) 사이에 끼워져 있는 전기 영동 필름(300)을 포함한다(도 2 참조). 전기 영동 표시 장치를 사용할 때는 도 20에 나타낸 바와 같이, 보는 사람에 가까운 쪽에 박막 트랜지스터 표시판(100)이 위치하고, 보는 사람으로부터 먼 쪽에 공통 전극 표시판(200)이 위 치하도록 하여 박막 트랜지스터 표시판을 통해서 이미지를 디스플레이하는 전기 영동 표시 장치를 구성한다.
먼저, 도 1 내지 도 3을 참조하여 박막 트랜지스터 표시판(100)에 대해 설명한다.
절연 기판(110) 위에 게이트선(121)이 형성되어 있다. 게이트선(121)은 게이트 신호를 전달하며 주로 가로 방향으로 뻗어 있다. 각 게이트선(121)은 아래로 돌출한 복수의 게이트 전극(gate electrode)(124)과 다른 층 또는 외부 구동 회로와의 접속을 위하여 면적이 넓은 끝 부분(129)을 포함한다.
게이트선(121)은 크롬(Cr) 등의 불투명하고 광흡수 특성이 좋은 금속으로 만들어질 수 있다. 또한 게이트선(121)은 물리적 성질이 다른 두 개의 도전막(도시하지 않음)을 포함하는 이중막 구조를 가질 수도 있다. 이 중 한 도전막은 신호 지연이나 전압 강하를 줄일 수 있도록 낮은 비저항(resistivity)의 금속, 예를 들면 알루미늄 계열 금속, 은 계열 금속, 구리 계열 금속 등으로 만들어진다. 이와는 달리, 다른 도전막은 다른 물질, 특히 ITO(indium tin oxide) 및 IZO(indium zinc oxide)와의 물리적, 화학적, 전기적 접촉 특성이 우수하며 불투명하고 광흡수 특성이 좋은 크롬 등으로 만들어진다.
본 발명의 실시예에서는 게이트선(121)을 불투명하며 광을 잘 흡수하여 광을 잘 반사하지 않는 크롬으로 형성하여, 별도의 차광막이 없어도 게이트선(121)이 차광막 역할을 대신하도록 한다. 또한 게이트선(121)을 다중막으로 형성할 경우 최하부층은 불투명하며 광을 잘 흡수하는 크롬과 같은 금속으로 형성하는 것이 바람 직하다. 그러나 게이트선(121)은 이외에도 여러 가지 다양한 금속과 도전체로 만들어질 수 있다.
게이트선(121)의 측면은 기판(110) 면에 대하여 경사져 있으며, 그 경사각은 약 30° 내지 약 80°인 것이 바람직하다.
게이트선(121) 위에는 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx) 따위로 만들어진 게이트 절연막(gate insulating layer)(140)이 형성되어 있다.
게이트 절연막(140) 위에는 복수의 선형 반도체(151, 154)가 형성되어 있는데, 선형 반도체(151)는 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이를 비롯하여 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)으로 가리지 않고 노출된 부분을 가지고 있다. 선형 반도체(151)는 주로 세로 방향으로 뻗어 있으며, 게이트 전극(124)을 향하여 뻗어 나온 복수의 돌출부(projection)(154)를 포함한다.
돌출부(154)를 포함하는 선형 반도체(151) 위에는 선형 저항성 접촉 부재(161, 165)가 형성되어 있는데, 저항성 접촉 부재(161, 165)는 선형 반도체(151)와 데이터선(171), 소스 전극(173) 및 드레인 전극(175) 사이에만 존재하며 이들 사이의 접촉 저항을 낮추어 준다.
저항성 접촉 부재(ohmic contact)(161, 165)는 인 따위의 n형 또는 붕소(B) 따위의 p형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 비정질 규소 및 다결정 규소 따위의 물질로 만들어지거나 실리사이드(silicide)로 만들어질 수 있다. 선형 저항성 접촉 부재(165)는 복수의 돌출부(163)를 가지고 있으며, 이 돌출부(163)와 선형 저항성 접촉 부재(165)는 쌍을 이루어 반도체(154) 위에 배치되어 있다.
저항성 접촉 부재(161, 165) 및 반도체(151)의 측면 역시 기판(110) 면에 대하여 경사져 있으며, 경사각은 30° 내지 80° 정도인 것이 바람직하다.
저항성 접촉 부재(161, 165) 및 게이트 절연막(140) 위에는 데이터선(171)이 형성되어 있는데, 데이터선(171)은 데이터 신호를 전달하며 주로 세로 방향으로 뻗어 게이트선(121)과 교차한다. 각 데이터선(171)은 게이트 전극(124)을 향하여 뻗은 복수의 소스 전극(source electrode)(173), 드레인 전극(drain electrode)(175) 및 다른 층 또는 외부 구동 회로와의 접속을 위하여 면적이 넓은 끝 부분(179)을 포함한다.
드레인 전극(175)은 소스 전극(source electrode)(173)과 분리되어 있고 게이트 전극(124)을 중심으로 소스 전극(173)과 마주 보고 있다.
각 드레인 전극(175)은 면적이 넓은 한 쪽 끝 부분과 막대형인 다른 쪽 끝 부분을 가지고 있으며, 막대형 끝 부분은 구부러진 소스 전극(173)으로 일부 둘러싸여 있다.
소스 전극(173) 및 드레인 전극(175) 등을 포함하는 데이터선(171) 은 크롬(Cr) 등의 불투명하고 광흡수 특성이 좋은 금속으로 만들어질 수 있고, 불투명하고 광흡수 특성이 좋은 도전막과 저저항 물질 도전막으로이루어진 다층막 구조를 가질 수 있다. 다층막 구조의 예로는 크롬 또는 그 합금으로 이루어진 하부막과 알루미늄 또는 그 합금으로 이루어진 상부막의 이중막, 크롬 또는 그 합금으로 이루어진 하부막과 알루미늄 또는 그 합금으로 이루어진 중간막과크롬 또는 그 합금으로 이루어진 상부막의 삼중막을 들 수 있다.
본 발명의 실시예에서는 데이터선(171)을 불투명하며 광을 잘 흡수하여 광을 잘 반사하지 않는 크롬으로 형성하여, 별도의 차광막이 없어도 데이터선(171)이 차광막 역할을 대신하도록 한다. 또한 데이터선(171)을 다중막으로 형성할 경우 최하부층은 불투명하며 광을 잘 흡수하는 크롬과 같은 금속으로 형성하는 것이 바람직하다. 그러나 데이터선(171)은 이외에도 여러 가지 다양한 금속과 도전체로 만들어질 수 있다.
소스 전극(173), 드레인 전극(175) 및 데이터선(171) 의 측면도 또한 기판(110) 면에 대하여 30° 내지 80° 정도의 경사각으로 기울어져 있는 것이 바람직하다.
소스 전극(173), 드레인 전극(175) 및 데이터선(171) 및 노출된 반도체(151) 위에는 보호막(180)이 형성되어 있다. 보호막(180)은 질화규소(SiNx)와 산화규소(SiOx) 따위의 무기 절연물로 형성할 수 있다.
보호막(180)에는 데이터선(171)의 끝 부분(179)과 드레인 전극(175)을 각각 드러내는 복수의 접촉 구멍(contact hole)(182, 185)이 형성되어 있고, 보호막(180)과 게이트 절연막(140)에는 게이트선(121)의 끝 부분(129)을 드러내는 복수의 접촉 구멍(181)이 형성되어 있다.
보호막(180) 위에는 데이터선(171)을 수직한 방향으로 가로지르며 게이트선(121)과 평행하게 유지 전극(131)이 형성되어 있다. 본 발명의 실시예에 따른 유지 전극(131)은 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide) 등의 투명 도전 물질로 형성되어 있어서 빛이 투과할 수 있다. 이에 따라 개구율을 저하시키 는 요소에서 유지 전극(131)이 제외되어 전기 영동 표시 장치의 개구율을 높일 수 있는 장점이 있다. 또한 유지 전극(131)을 충분히 넓게 형성하여 충분한 유지 용량을 형성할 수 있다. 유지 전극(131)의 두께는 50~3000 옹스트롬의 범위로 형성할 수 있고, 50~1300 옹스트롬의 범위가 바람직하며, 400~500 옹스트롬의 범위로 형성하는 것이 가장 바람직하다.
유지 전극(131)은 게이트선(121)을 가로질러 데이터선(171)과 나란하게 형성될 수도 있다. 또 유지 전극은(131)은 게이트선(121)과 데이터선(171)이 교차하는 표시 영역의 전면에 일체로 형성될 수도 있다. 이 때, 유지 전극(131)은 접촉 구멍(185) 주변을 노출하는 개구부를 가진다.
보호막(180) 및 유지 전극(131)의 위에는 적, 녹, 청의 색필터(230)가 형성되어 있다. 이와 같이 색필터(230)가 공통 전극 표시판(200)이 아닌 박막 트랜지스터 표시판(100)에 COA(color filter on array) 구조로 형성되어 있으므로, 본 발명에 따른 전기 영동 표시 장치에서는 박막 트랜지스터 표시판(100)과 공통 전극 표시판(200)을 어셈블리할 때, 색필터(230)와 화소 전극(191)을 정렬하기 위한 노력이 요구되지않는다. 색필터(230)는 보호막(180)의 접촉 구멍(185)를 노출하는 접촉 구멍(235)을 가진다.
색필터(230) 위에는 ITO 또는 IZO 따위의 투명 도전 물질로 이루어진 화소 전극(191)이 형성되어 있다. 화소 전극(191)은 색필터(230)의 접촉 구멍(235)과 보호막(180)의 접촉 구멍(185)를 통하여 드레인 전극(175)과 연결되어 있다. 유지 전극(131)이 투명한 물질로 형성되어 있으므로 화소 전극(191) 면적의 대부분이 유 지 전극(131)과 중첩하여 유지 용량을 형성하는데 기여하도록 할 수 있다. 화소 전극(191) 면적의 30%에서 90%가 유지 전극(131)과 중첩하도록 할 수 있다.
보호막(180)의 위에는 접촉 구멍(181, 182)을 통하여 게이트선의 끝부분(129)과 데이터선의 끝부분(179)과 각각 연결되어 있는 접촉 보조 부재(81, 82)가 형성되어 있다.
화소 전극(191)은 공통 전극 표시판(200)의 전기 영동 부재(330)와 제2 접착 부재(312)에 의하여 합착되어 있다.
다음, 도 2 및 도 20을 참조하여 공통 전극 표시판(200)에 대하여 설명한다.
공통 전극 표시판(200)은 유리 또는 플라스틱 따위로 이루어진 절연 기판(210)과 그 위에 금속 등의 도전 물질로 형성되어 있는 공통 전극(270)을 포함한다. 공통 전극(270)은 불투명하고 광의 흡수성이 좋은 크롬 등의 금속으로 형성할 수 있다.
공통 전극(270) 위에는 전기 영동 부재(330)를 부착하기 위한 접착 부재(311)가 형성되어 있는데, 접착 부재(311)는 액체상 또는 필름 형상일 수 있다.
접착 부재(311) 위에는 전기 영동 부재(330)가 조밀하게 배열되어 있다. 전기 영동 부재(330)는 단일층 또는 여러 개의 층으로 배열될 수 있으나, 단일층으로 배열되는 것이 바람직하다.
전기 영동 부재(330)는 음(-)의 전하와 양(+)의 전하를 띠는 전기 영동 입자(323, 326)와 전기 영동 입자(323, 326)가 분산되어 있는 분산매(328) 및 이들(323, 326, 328)을 가두고 있는 캡슐(capsule)(320)을 포함한다. 여기서, 음(-) 의 전하를 띄는 전기 영동 입자(323)는 검은색(black)을 띠며, 양(+)의 전하를 띄는 전기 영동 입자(326)는 백색(white)을 띠고 있다.
전기 영동 부재(330) 위에는 전기 영동 부재(330)를 부착하고, 전기 영동 부재(330)를 포함한 공통 전극 표시판(200)과 박막 트랜지스터 표시판(100)을 합착하기 위한 접착 부재(312)가 형성되어 있다. 접착 부재(312)는 액체상 또는 필름 형상일 수 있다.
전기 영동 부재(330)를 포함한 공통 전극 표시판(200)은 제2 접착 부재(312)에 의하여 박막 트랜지스터 표시판(100)에 합착되어 있다.
이하에서는, 본 발명의 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치를 제조하는 방법에 대하여 도 1 내지 도 19를 참조하여 상세히 설명한다.
도 4 내지 도19는 본 발명의 실시예에 따라 전기 영동 표시 장치를 제조하는 중간 단계에서의 전기 영동 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 단면도이다.
먼저, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 유리 또는 플라스틱 따위로 이루어진 절연 기판(110) 위에 스퍼터링(sputtering) 등의 방법으로 크롬 등으로 이루어진 도전막을 단일층 또는 복수층으로 증착하고, 사진 식각하여 복수의 게이트 전극(124) 및 외부 회로와 연결하기 위한 게이트선의 끝부분(129)을 포함하는 복수의 게이트선(121)을 형성한다.
이어서, 게이트선(121)을 덮도록 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx)를 화학 기상 증착(plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD) 등의 방법으로 증착하여 게이트 절연막(140)을 형성한다.
다음, 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이, 불순물이 도핑되지 않은 진성 비정질 규소(a-Si)층 및 불순물이 도핑된 비정질 규소(n+ a-Si)층을 화학 기상 증착(plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD) 방법으로 형성하고, 불순물이 도핑된 비정질 규소층 위에 크롬 등으로 이루어진 도전막을 단일층 또는 복수층으로 증착하여 데이터 금속층을 형성한다.
다음, 하프톤(half-tone) 마스크를 사용하는 사진 식각 방법을 사용하여 진성 비정질 규소(a-Si)층, 불순물이 도핑된 비정질 규소(n+ a-Si)층 및 데이터 금속층을 패터닝하여 선형 반도체(151, 154), 저항성 접촉 부재(161, 163, 165) 및 데이터선(171, 173, 175)을 형성한다. 하프톤 마스크는 빛을 투과시키는 영역(투과 영역) 및 빛을 차단하는 영역(차광 영역)과 함께 빛을 반쯤만 투과시키는 영역(반투과 영역)을 가지는 광 마스크이다. 반투과 영역에는 슬릿(slit) 패턴, 격자 패턴(lattice pattern) 또는 투과율이 중간이거나 두께가 중간인 박막이 구비된다. 슬릿 패턴을 사용할 때에는, 슬릿의 폭이나 슬릿 사이의 간격이 사진 공정에 사용하는 노광기의 분해능(resolution)이 보다 작은 것이 바람직하다.
이를 좀 더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 데이터 금속층 위에 감광막을 도포한 후, 하프톤 마스크를 사용하여 노광을 진행하고, 현상한다.
이와 같이 하면, 데이터선(171)과 드레인 전극(175) 및 소스 전극(173) 위에서는 두껍고, 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이의 채널이 형성될 부분의 위 에서는 얇으며, 나머지 부분에서는 감광막이 모두 제거되어 데이터 금속층이 노출되는 1차 감광막 패턴이 형성된다.
이러한 1차 감광막 패턴을 마스크로 하여 노출되어 있는 데이터 금속층, 불순물이 도핑된 비정질 규소(n+ a-Si)층 및 진성 비정질 규소(a-Si)층을 식각하여 제거함으로써 데이터선(171)과 드레인 전극(175)의 예비 패턴, 저항성 접촉 부재(161, 163, 165)의 예비 패턴 및 선형 반도체(151)를 형성한다.
이어서, 얇은 부분이 제거될 때까지 1차 감광막 패턴을 애싱(ashing)하여 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이의 데이터 금속층을 노출하는 2차 감광막 패턴을 형성한다.
다음, 2차 감광막 패턴을 마스크로 하여 노출되어 있는 데이터 금속층과 그 아래의 불순물이 도핑된 비정질 규소(n+ a-Si)층을 식각하여 데이터선(171), 소스 전극(173), 드레인 전극(175) 및 그 아래의 저항성 접촉 부재(161, 163, 165)를 형성한다.
그 다음, 도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 게이트 절연막(140), 데이터선(171, 173, 175) 및 노출된 반도체(151) 위에 보호막(180)과 투명한 도전막(130)을 연속으로 증착한다. 이때, 보호막(180)은 질화 규소(SiNx)나 산화 규소(SiO2) 따위를 단일층 또는 복수층으로 형성할수 있고, 투명한 도전막(130)은 ITO나 IZO 등의 도전성 산화물로 형성할 수 있다.
이어서, 도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이, 투명한 도전막(130) 위에 감광막을 도포하고 하프톤 마스크(도시하지 않음)를 이용한 사진 공정을 통하여 위치에 따라 두께가 다른 제1 감광막 패턴(501)을 형성한다. 제1 감광막 패턴(501)은 접촉 구멍(181, 182, 185)이 형성될 부분(C)에서는 두께가 0으로 투명한 도전막(130)을 노출하고 있고, 유지 전극(131)이 형성될 부분(A)에서는 두께가 두껍고, 나머지 부분(B)에서는 A 부분보다 두께가 얇게 형성된다.
다음, 도 12 및 도 13에 도시한 바와 같이, 제1 감광막 패턴(501)을 식각 마스크로 하여 노출되어 있는 투명한 도전막(130)과 보호막(180)을 식각하여 접촉 구멍(181, 182, 185)을 형성한다. 이 때, 제1 감광막 패턴(501)의 두께도 감소할 수 있다.
다음, 도 14 및 도 15에 도시한 바와 같이, B 부분의 얇은 감광막 부분이 모두 제거될 때까지 제1 감광막 패턴(501)을 애싱(ashing)하여 제2 감광막 패턴(502)을 형성한다.
이어서, 도 16 및 도 17에 도시한 바와 같이, 제2 감광막 패턴(502)를 식각 마스크로 하여 노출되어 있는 투명한 도전막(130)을 식각하여 유지 전극(131)을 형성하고, 제2 감광막 패턴(502)을 제거한다.
이상과 같이, 하나의 하프톤 마스크를 사용하는 사진 식각 공정을 통하여 접촉 구멍(181, 182, 185)을 가지는 보호막(180)과 유지 전극(131)을 함께 형성함으로써 제조 공정을 간소화할 수 있다.
다음으로, 도 18 및 도 19에 도시한 바와 같이, 안료를 포함하는 감광성 유기 물질을 도포, 노광, 현상하는 과정을 반복하여 적색, 녹색 및 청색 색필터(R, G, B)(230)를 형성한다. 이 때, 색필터(230)는 게이트선의 끝부분(129)과 데이터 선의 끝부분(179)이 위치하는 표시 영역 둘레의 주변 영역에는 존재하지 않도록 하며, 접촉 구멍(185)을 노출하는 접촉 구멍(235)을 가지도록 형성한다. 적색, 녹색, 청색 색필터(230)를 형성하는 순서는 달라져도 무방하다.
이어서, 색필터(230) 위에 ITO 또는 IZO 따위의 투명 전극층을 스퍼터링 등의 방법으로 적층하고 사진 식각하여 복수의 화소 전극(191) 및 접촉 보조 부재(81, 82)를 형성한다. 화소 전극(191)은 접촉 구멍(235, 185)을 통하여 드레인 전극(175)과 연결되고, 접촉 보조 부재(81, 82)는 각각 게이트선의 끝부분(129)과 데이터선의 끝부분(179)에 연결된다.
공통 전극 표시판(200)은 유리 또는 플라스틱 따위로 이루어진 절연 기판(210) 위에 크롬 등의 불투명한 도전 물질을 증착하여 공통 전극(270)을 형성하는 것으로 제조될 수 있다.
이후, 도 20에 도시된 바와 같이 공통 전극(270) 위에 전기 영동 부재(330)를 부착하기 위한 제1 접착 부재(311)를 형성하는데, 제1 접착 부재(311)는 액체상 또는 필름 형상일 수 있다.
다음, 노즐(nozzle) 등을 이용하여 전기 영동 부재(330)를 제1 접착 부재(311) 위에 점점이 도포하여 조밀하게 배열한다.
다음, 전기 영동 부재(330) 위에 제2 접착 부재(312)를 형성한다. 제2 접착 부재(312)는 액체상 또는 필름 형상일 수 있다.
이후, 필요에 따라 제2 접착 부재(312) 위에 탈착 가능한 보호 시트(도시하지 않음)를 부착할 수도 있다. 보호 시트는 전기 영동 표시 장치를 제작하는 공정 이 연속적이지 않을 경우, 전기 영동 부재(330)를 보호하는 역할을 할 수 있다.
다음, 박막 트랜지스터 표시판(100)의 화소 전극(191)을 제2 접착 부재(312)에 부착함으로써 박막 트랜지스터 표시판(100)을 전기 영동 부재(330) 위에 합착한다. 만약, 제2 접착 부재(312) 위에 탈착 가능한 보호 시트를 형성하였다면, 이 보호 시트를 제거한 후에 합착한다.
이때, 박막 트랜지스터 표시판(100)을 전기 영동 부재(330) 위에 합착하는 공정을 진공 분위기에서 열과 압력을 가하면서 진행하면, 합착한 부분에 기포가 형성되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 전기 영동 부재(330)는 합착 공정시 가해지는 압력에 의해 사방으로 고르게 퍼져 균일한 분포와 두께를 갖는 전기 영동 필름(300)이 된다.
이러한 전기 영동 표시 장치에 대한 모듈 작업을 진행할 때에는, 도 20에 나타낸 바와 같이, 박막 트랜지스터 표시판(100)을 통하여 화상이 표시되도록 표시판(100, 200)을 배치한다. 즉, 보는 사람의 시선 방향 쪽에 박막 트랜지스터 표시판(100)을 배치하여 화면으로 사용되도록 한다.
<실시예 2>
도 21은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치의 배치도이고, 도 22는 도 21의 XXII-XXII'선을 따라 자른 단면도이고, 도 23은 도 21의 XXIII-XXIII'선을 따라 자른 단면도이다.
도 21 내지 도 23의 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치는 반도체(154)가 섬 형으로 형성되어 있고, 저항성 접촉 부재(163, 165)가 반도체(154)와 소스 전극(173) 및 드레인 전극(175) 사이에만 섬형으로 존재한다는 점이 도 1 내지 도 3의 실시예와 다른 특징이다.
이러한 차이는 반도체(154) 및 저항성 접촉 부재(163, 165)를 사진 식각 공정을 통하여 패터닝하고, 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)을 별도의 사진 식각 공정을 통하여 형성하기 때문에 발생한 것이다. 여기서, 반도체(154)는 데이터선(171)을 따라 선형으로 형성할 수도 있으나, 반도체(154)와 데이터선(171)이 별도의 사진 식각 공정을 통하여 형성되므로 이들의 평면적 모양은 서로 일치하지 않는다.
좀 더 구체적으로 도 21 내지 도 23의 실시예에 따른 전기 영동 표시 장치용 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법을 설명한다.
먼저, 절연 기판(110) 위에 크롬 등의 도전막을 증착하고 사진 식각하여 게이트 전극(124) 및 외부 회로와 연결하기 위한 게이트선의 끝부분(129)을 포함하는 복수의 게이트선(121)을 형성한다.
다음, 게이트선(121) 위에 게이트 절연막(140), 진성 비정질 규소(a-Si)층(도시하지 않음) 및 불순물이 도핑된 비정질 규소(n+ a-Si)층(도시하지 않음)을 차례로 적층하고, 진성 비정질 규소(a-Si)층 및 불순물이 도핑된 비정질 규소(n+ a-Si)층을 사진 식각하여 섬형 반도체(154)와 예비 저항성 접촉 부재(도시하지 않음)를 형성한다.
다음, 예비 저항성 접촉 부재 위에 크롬 등의 도전막을 증착하고 사진 식각 하여 데이터선(171), 소스 전극(173) 및 소스 전극(173)과 마주하는 드레인 전극(175)을 형성한다.
이어서, 소스 전극(173)과 드레인 전극(175)을 마스크로 하여 예비 저항성 접촉 부재의 노출되어 있는 부분을 제거함으로써 저항성 접촉 부재(163, 165)를 완성한다.
이후의 제조 공정은 도 8 내지 도 19와 이에 대한 설명을 통하여 기술된 내용과 동일하다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의하면, 게이트선과 데이터선을 광흡수성이 좋은 물질로 형성하여 차광막을 대체하도록 하고, 유지 전극을 투명한 도전막으로 형성하여 개구율을 높이며, 박막 트랜지스터 어레이 위에 색필터를 형성하여 공통 전극 표시판과 박막 트랜지스터 표시판을 부착할 때 정렬의 어려움을 덜 수 있다. 이를 통하여 휘도가 높고 선명한 컬러 색상 표현이 가능하여 표시 성능이 우수한 전기 영동 표시 장치를 제공할 수 있다.
또한, 게이트선과 데이터선이 차광막을 대체하므로 별도의 차광막 형성 공정이 요구되지 않으며, 색필터 형성시 블랙 매트릭스(black matrix: BM)의 역할을 할 수 있다.
또한, 유지 전극과 보호막을 하나의 마스크를 사용하여 패터닝하므로 제조 공정을 간소화할 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발 명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

Claims (18)

  1. 제1 절연 기판,
    상기 제1 절연 기판 위에 형성되어 있으며 게이트 전극을 가지는 게이트선,
    상기 게이트선 위에 형성되어 있는 게이트 절연막,
    상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 반도체,
    상기 반도체 위에 형성되고, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 데이터선,
    상기 데이터선 위에 형성되어 있으며 상기 드레인 전극을 노출하는 제1 접촉 구멍을 가지는 보호막,
    상기 보호막 위에 형성되어 있는 유지 전극,
    상기 유지 전극 위에 형성되어 있으며 상기 제1 접촉 구멍을 노출하는 제2 접촉 구멍을 가지는 색필터 및,
    상기 색필터 위에 형성되어 있으며, 상기 박막 트랜지스터의 출력 전극에 연결되어 있으며 투명한 화소 전극을 포함하는 박막 트랜지스터 표시판
    상기 박막 트랜지스터 표시판과 마주하는 제 2 절연 기판, 및
    상기 제 2 절연 기판 위에 형성되어 있는 공통 전극을 포함하는 공통 전극 표시판
    그리고 상기 화소 전극과 상기 공통 전극 사이에 존재하는 전기 영동 부재
    를 포함하는 전기 영동 표시 장치.
  2. 제 1항에서,
    상기 박막 트랜지스터를 통해서 이미지가 디스플레이되도록 상기 박막 트랜지스터를 보는 사람에 가까운 쪽으로 위치시키는 것을 특징으로 하는 전기 영동 표시 장치.
  3. 제 2항에서,
    상기 박막 트랜지스터 쪽으로 외부광이 입사되면 캡슐 내부의 입자의 움직임에 따라 표현된 이미지가 상기 박막 트랜지스터를 통해서 디스플레이되는 것을 특징으로 하는 전기 영동 표시 장치.
  4. 제1항에서,
    상기 유지 전극은 투명한 도전막으로 이루어진 전기 영동 표시 장치.
  5. 제4항에서,
    상기 유지 전극은 상기 화소 전극 면적의 30%에서 90%와 중첩하는 전기 영동 표시 장치.
  6. 제5항에서,
    상기 유지 전극의 두께는 50~3000 옹스트롬인 전기 영동 표시 장치.
  7. 제1항에서,
    상기 게이트선과 상기 데이터선은 불투명한 금속으로 이루어진 적어도 하나 이상의 박막을 포함하는 전기 영동 표시 장치.
  8. 제5항에서,
    상기 불투명한 금속은 크롬인 것을 특징으로 하는 전기 영동 표시 장치.
  9. 제1항에서,
    상기 공통전극은 불투명한 금속으로 이루어진 것을 특징으로 하는 전기 영동 표시 장치.
  10. 제9항에서,
    상기 불투명한 금속은 크롬인 것을 특징으로 하는 전기 영동 표시 장치.
  11. 제1항에서,
    상기 반도체는 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 아래를 비롯하여 그 주위에 섬형으로 형성되어 있고,
    상기 소스 전극 및 드레인 전극과 상기 반도체 사이에 끼여 있는 저항성 접촉 부재를 더 포함하는 전기 영동 표시 장치.
  12. 제1항에서,
    상기 보호막과 상기 게이트 절연막은 상기 게이트선의 끝부분을 노출하는 제3 접촉구를 가지고, 상기 보호막은 상기 데이트선을 노출하는 제4 접촉구를 가지며,
    상기 보호막 위에 형성되어 있으며 상기 제3 접촉구를 통하여 상기 게이트선의 끝부분과 접촉하는 제1 접촉 보조 부재 및
    상기 보호막 위에 형성되어 있으며 상기 제4 접촉구를 통하여 상기 데이터선의 끝부분과 접촉하는 제2 접촉 보조 부재를 더 포함하는 전기 영동 표시 장치.
  13. 제 1 절연 기판 위에 게이트선, 반도체, 데이터선을 형성하는 단계,
    상기 데이터선을 덮는 보호막과 그 위의 유지 전극을 형성하는 단계,
    상기 보호막 및 상기 유지 전극 위에 색필터를 형성하는 단계, 그리고
    상기 색필터 위에 화소 전극을 형성하여 박막 트랜지스터 표시 기판을 형성하는 단계
    제 2 절연 기판 위에 공통 전극을 형성하여 공통전극 표시판을 형성하는 단계
    상기 박막 트랜지스터 표시판과 마주하도록 제 2 절연 기판을 위치시키고, 상기 화소 전극와 상기 공통 전극 사이에 전기영동 부재를 형성하는 단계
    를 포함하는 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  14. 제 13항에서,
    상기 박막 트랜지스터 쪽으로 외부광이 입사되면 캡슐 내부의 입자의 움직임에 따라 표현된 이미지가 상기 박막 트랜지스터를 통해서 디스플레이 되도록 형성하는 단계를 더 포함하는 전기 영동 표시 장치의 제조방법.
  15. 제13항에서,
    상기 데이터선을 덮는 보호막과 그 위의 유지 전극을 형성하는 단계는
    상기 데이터선 위에 보호막과 투명한 도전막을 연속으로 증착하는 단계,
    상기 투명한 도전막 위에 하프톤 마스크를 이용한 사진 공정으로 제1 부분과 상기 제1 부분보다 두께가 두꺼운 제2 부분을 가지는 제1 감광막 패턴을 형성하는 단계,
    상기 제1 감광막 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 투명한 도전막과 보호막을 식각하는 단계,
    상기 제1 감광막 패턴을 애싱하여 상기 제1 부분을 제거함으로써 제2 감광막 패턴을 형성하는 단계, 그리고
    상기 제2 감광막 패턴을 마스크로 하여 상기 투명한 도전막을 식각함으로써 유지 전극을 형성하는 단계
    를 포함하는 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  16. 제13항에서,
    상기 제1 감광막 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 투명한 도전막과 보호막을 식각하는 단계에서 상기 게이트선의 끝부분, 상기 데이터선의 끝부분 및 상기 드레인 전극을 각각 노출하는 접촉 구멍을 형성하며,
    상기 화소 전극을 형성하는 단계에서 상기 게이트선의 끝부분과 접촉하는 제 1 접촉 보조 부재와 상기 데이터선의 끝부분과 접촉하는 제2 접촉 보조 부재를 형성하는 전기 영동 표시 장치의 제조 방법.
  17. 제 13항에서,
    상기 제 1 절연 기판 위에 게이트선, 반도체 및 데이터선을 형성하는 단계는
    상기 제 1 절연 기판 위에 게이트선을 형성하는 단계,
    상기 게이트선 위에 게이트 절연막, 비정질 규소층, 도핑된 비정질 규소층을 차례로 적층하는 단계,
    상기 도핑된 비정질 규소층과 상기 비정질 규소층을 사진 식각하여 저항성 접촉 부재의 예비 패턴과 반도체를 형성하는 단계,
    상기 저항성 접촉 부재의 예비 패턴 위에 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 데이터선 형성하는 단계, 그리고
    상기 저항성 접촉 부재의 예비 패턴의 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 사이 부분을 식각하여 제거하는 단계
    를 포함하는 전기 영동 표시 장치의 제조방법.
  18. 제 13 항에서,
    상기 절연 기판 위에 게이트선, 반도체 및 데이터선을 형성하는 단계는
    상기 절연 기판 위에 게이트선을 형성하는 단계,
    상기 게이트선 위에 게이트 절연막, 비정질 규소층, 도핑된 비정질 규소층 및 데이터 금속층을 차례로 적층하는 단계,
    상기 데이터 금속층 위에 제3 부분과 상기 제3 부분보다 두께가 두꺼운 제4 부분을 가지는 제3 감광막 패턴을 형성하는 단계,
    상기 제3 감광막 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 데이터 금속층, 도핑된 비정질 규소층 및 비정질 규소층을 식각하여 상기 소스 전극과 드레인 전극의 예비 패턴, 저항성 접촉 부재의 예비 패턴 및 반도체를 형성하는 단계,
    상기 제3 감광막 패턴을 애싱하여 상기 제3 부분을 제거함으로써 제4 감광막 패턴을 형성하는 단계, 그리고
    상기 제4 감광막 패턴을 마스크로 하여 상기 데이터선과 드레인 전극의 예비 패턴 및 저항성 접촉 부재의 예비 패턴을 식각하여 상기 소스 전극과 드레인 전극 및 저항성 접촉 부재를 완성하는 단계
    를 포함하는 전기 영동 표시 장치의 제조방법.
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