JP2007216428A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

【課題】オーバフィルド光学系を用いた露光装置において、複数の走査光量に対応して、走査面上の光量分布を一定に保つ。
【解決手段】感光体に照射される光ビームの光量を複数段階の中から選択し設定する。この設定された光量に基づいて、複数の補正電流プロファイルのうちの１つを選択し、当該選択した補正電流プロファイルに基づいた補正を行った電流を光源に供給する。感光体上に照射される前記光ビームの光量は補正電流によって補正されることによって、感光体上の光ビームの光量は走査方向に渡って略一定となる。
【選択図】図６

Description

本発明は、露光装置に係わり、より詳しくは、光源から発光した光ビームを偏向して感光体を主走査することによって感光体を露光する露光装置に関する。

従来より、露光装置は、複写機、ファクシミリ装置、レーザプリンタ等に用いられている。このような露光装置では、画像情報に対応したレーザービームをポリゴンミラーなどの光偏向手段によりドラム状の感光体上を主走査すると共に感光体を副走査方向に回転させることにより副走査を行う。これにより、感光体上に画像情報に対応した静電潜像が形成される。

昨今、これらの装置のプリントスピードが高まっていることから、アンダーフィルド光学系でのポリゴンミラー回転数は限界になりつつある。そこで、オーバフィルド光学系が使われてきている。オーバフィルド光学系では、ポリゴンミラーに入射するレーザ−ビームの走査方向の径よりポリゴンミラーの各反射面の走査方向の長さを短くして、レーザービームをポリゴンミラーの複数の反射面に同時に入射する。アンダーフィルド光学系と比較すると、オーバフィルド光学系では、感光体の所定の大きさのスポット光を生じさせるのに必要な反射面の走査方向の長さを大幅に小さくすることが出来る。また、同じ直径のポリゴンミラーにアンダーフィルド光学系より多くの反射面を備えることが可能となる。よって、ポリゴンミラーをアンダーフィルド光学系より比較的低速で回転させると共に消費電力の少ないポリゴンミラー駆動装置が使えるなどの利点がある。

しかし、オーバフィルド光学系では、ポリゴンミラーの各反射面は、前述したように、入射したレーザービームの光束の一部を反射することから、ポリゴンミラーの反射面に入射される光量はポリゴンミラーの角度により異なる。図１０はこの状態を表した図であり、感光体上に入射される光量の分布は、感光体中央部が一番高く、端部に行くに連れて徐々に減少する。この光量分布の違いは、画質に悪影響を与える程のものである。

この問題を解決するため、特許文献１では、一走査面上のポイント毎の光量変動分を予め測定して記憶し、この記憶値に基づいてレーザビームの光量を補正することで一走査面上の光量が略一定になるような制御を行っている。

特開平０９−１９７３１６号公報

しかし、メディアの充実化や開発リソースの効率化、製品開発のスピードアップを図るため、ひとつの露光装置を様々な装置、たとえばレーザプリンタやＭＦＰなどに適用することを求められつつある。したがってこれに対応するためにも個々の露光装置は様々な仕様に対応する必要が生じてきている。

特に、この種の露光装置で様々な仕様に対応する場合には、ポリゴンミラーの回転数とレーザ光量の対応が課題となる。ポリゴンミラーの回転は、たとえば水平同期信号検知手段の検出周期を基にして回転数を検出して回転を制御するような装置であれば、コストもかからず容易に回転数を変えることができる。

レーザ光量に関しても、これまでのアンダーフィルドスキャナの場合は、ＡＰＣ（Automatic power control）の目標光量を変更することで容易に光量変更が可能であった。

しかし、オーバフィルド光学系では、一走査中に光量補正を行う必要があり、特許文献１のように、これまでは複数の光量には対応していなかった。

本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、オーバフィルド光学系において、複数の走査光量に対応することができる露光装置を提供することを目的とする。

本発明の他の目的は、複数の走査光量に対応した一走査方向に略一定な光量分布になる光量補正を行うことができる露光装置を提供することにある。

本発明のさらに他の目的は、目標とされる走査光量に対応して、光量補正の精度を上げることができる露光装置を提供することにある。

本発明のさらに他の目的は、目標とされる走査光量が多くなる場合にも容易に対応することができる露光装置を提供することにある。

本発明は、供給された電流量に応じた光量の光ビームを発光する光源と、複数の反射面を有する回転多面鏡であって、前記光源から出射されかつ前記反射面で反射された光ビームが感光体上を走査するように回転される回転多面鏡と、前記回転多面鏡の１つの反射面の走査方向の幅より広い範囲にわたって前記回転多面鏡に光ビームが照射されるように前記光源から出射された光ビームを拡大するビーム拡大手段と、前記感光体上に照射される前記光ビームの光量が走査方向に渡って各々略一定となる複数の補正電流プロファイルを記憶する補正電流プロファイル記憶手段と、前記感光体上に照射される前記光ビームの光量を複数段階の中から選択して設定する設定手段と、前記設定手段により設定された光量に基づいて、前記補正電流プロファイル記憶手段に記憶された複数の補正電流プロファイルのうちの１つを選択し、当該選択した補正電流プロファイルに基づいた補正を行った電流を前記光源に供給する電流供給手段とを備えたことを特徴とする。

本発明によれば、複数の感光体照射光量に対応して走査方向の光量分布を一定にすることが可能となる。

また、複数の感光体照射光量、および複数の走査速度に対応して一走査方向に略一定な光量分布を持つ光量補正が可能となる。

さらに、感光体上の設定光量に応じて精度良く複数の感光体照射光量、および複数の走査速度に対応して一走査方向に略一定な光量分布を持つ光量補正が可能となる。

さらに、不帰発性メモリ内のデータ数を必要な光量設定数以下にでき、容量の小さなメモリを使用できる。

（実施例１）
図１は、本発明に係わる露光装置を説明した図である。

図１において、１はレーザ光源、２はコリメータレンズ、３は絞り、４は主走査エクスパンダ−レンズ、５はシリンドリカルレンズ、７は折り返しミラーである。８はポリゴンミラー、９はｆθレンズ、１０は主に副走査方向にパワーを有するアナモフィック非球面レンズである。

レーザ光源１から放射されたレーザ光は、コリメータレンズ２によって近平行光にされ、絞り３によって光束を規制され、主走査エクスパンダーレンズ４によって主走査方向について光束が発散光となる。さらに、レーザ光は、シリンドリカルレンズ５により副走査方向についてのみ集光し、折り返しミラー７で反射及び折り返されｆθレンズ９を通過してポリゴンミラー８の反射面近傍に線上に集光される。ポリゴンミラー８は一定速度で回転しレーザ光を偏向する。

さらに、偏向されたレーザ光はｆθ特性をもったｆθレンズ９に再び入射し、光束を主走査方向について集光させる。ｆθレンズ９を出射した光束は副走査方向にパワーを持ったアナモフィック非球面レンズ１０により副走査方向に集光され反射ミラー１１を経由して図示しない感光体ドラム上にスポットを形成する。１２は主走査方向端に設けられた反射ミラーである。１３は画像の書き出しタイミングを決定するために設けられている水平同期検出素子（BDセンサ）であって、反射ミラー１２を介して得られたレーザ光源１からのレーザ光を受光し、水平同期タイミングに応答する信号を出力する。

図２は露光装置の制御ブロックを表した図である。

半導体レーザ１は、半導体レーザダイオード（LD）１１と、その近傍に配置されたフォトダイオード（ＰＤ）２２とを有する。ＰＤ２２は、ＬＤ２１より発光したレーザービームを受光し、受光したレーザービームの光量に対応した電流を出力する。LD２１のアノードは電源に、カソードはレーザ制御手段であるレーザドライバIC２７のLDO端子に接続されている。PD２２のカソードは電源に、アノードはレーザドライバIC２７のPD端子に接続されている。抵抗R1は電源とレーザドライバIC２７のRO端子間に設けられている。抵抗R３はGNDとレーザドライバIC２７のRM端子間に設けられている。コンデンサC1はGNDとレーザドライバIC２７のVCH端子間に設けられている。抵抗R２はGNDとレーザドライバIC２７のRS端子間に設けられている。

露光装置制御部２８は、ＡＰＣやレーザスイッチングの制御を実行する。この露光装置制御部２８は、制御を実行するＣＰＵと、このＣＰＵの制御手順（図７，図１３に示す制御手順を含む）およびＣＰＵの作業領域を含むメモリ装置とを有する。

露光装置制御部２８は、レーザドライバIC２７に対して制御信号やビデオ信号を送信する。光量補正部２９の出力は、定電流変換回路３０に入力され、ここで定電流化された後にレーザドライバＩＣ２７のＲＳ端子に、図示しない感光体ドラム上での一走査上の光量が略一定になるよう電流供給を行う。

次に、露光装置制御部２８の一走査での動作について図３を参照して説明する。
期間（１）では、露光装置制御部２８がレーザドライバIC２７に対しＡＰＣの指示を行っており、レーザドライバIC２７はAPC発光を行う。LD21を発光することで、その発光量に応じてPD２２に電流が流れるが、この電流はRM端子からR3に流れる。APC発光では、RM端子の電圧が所望の値になるようにLD２１の電流が調整される。この調整後のLD２１の電流を電流-電圧変換してVCH端子に出力する。APC発光中にBDセンサからの出力（Low）が得られたら、すぐ（または所定時間後）にAPC発光を終了し、マスク状態に遷移する。

期間（２）では、露光装置制御部２８がレーザドライバIC２７に対しマスク制御の指示を出す。これによりLD２１の発光は行われず、VCH端子の電圧に基づいて決まる定電流をR1およびR2に供給する。この電流を流す目的は、LD２１の立ち上がりを早くするためである。期間（２）の時間は、BDセンサ信号が入力されてから、画像を書き出すまでの時間で決まっており、紙サイズなどや縁有り/縁無しなどに応じて可変な値となっている。

期間（３）では、露光装置制御部２８がレーザドライバIC２７に対しビデオ入力を指示する。これにより、画像データ（ビデオ信号）に基づいたレーザ発光が行われる。ビデオ入力がTrueのときにはLD21に電流が流れ、FalseのときにはR1に電流を流すようなスイッチングが行われる。

期間（４）では、再びマスク状態となる。このタイミングについても、先の期間（２）と同様に紙サイズなどや縁有り/縁無しなどに応じて可変な値となっている。

以上が繰り返されることで、一走査毎にAPCとBD検出が行われ、感光体ドラム上への静電潜像形成が行われる。

次に、光量補正について述べる。
図５は、光量補正部２９のブロック構成を示した図である。

光量補正部２９は、ロジック部５１、内部に不揮発性メモリと各種設定レジスタを備えた内部メモリ５２、D/Aコンバータ（変換部）５３を備えている。ロジック部５１は、露光装置制御部２８からのトリガ（TR）信号、動作クロック（SCLK）信号、データアウト（DO）信号、データ通信クロック（SCK）信号、セレクト（CS）信号を入力する。また、ロジック部５１からは、露光装置制御部２８にデータイン（DI）信号を出力している。また、ロジック部５１は、内部メモリ５２の読み書き、D/A変換部５３への動作指示も行っている。

内部メモリ５２中の不揮発性メモリには、補正データがデジタル値で記憶されている。この補正データは、アドレスマッピングされており、ロジック部５１からのクロックにより順次D/A変換部５３にデータ送信される。D/A変換部５３から、この補正データに対応したデジタル値をアナログ変換した補正電圧が定電流回路３０に入力され、補正電圧に対応した値に定電流化されてRS端子に供給される。

図４は、RS端子に供給した電流量とLD21の補正光量との関係を示した一例を示す図であり、横軸をRS供給電流、縦軸を補正光量分としている。ＲＳ端子に供給する電流量に対し、補正されるレーザ発光量は比例関係にある。

図７は、露光装置制御部２８が行う制御のフローチャートである。

露光装置制御部２８は、ステップS601でプリント要求がなされると、次のステップS602にてこのプリントを行うときの光量設定を判定する。たとえば、プリントスピードや光量自体の指定により判定することができる。本実施の形態では、光量設定１、光量設定２の２タイプの光量を設定可能としている。この場合の光量補正部２９の不揮発性メモリデータを示した図が図８である。光量設定１の場合のデータはアドレス0000ｈ〜001Fhに割り当てられ、光量設定２の場合のデータはアドレス0020ｈ〜005Ehに割り当てられている。

ステップS602において光量設定１が選択された場合には、ステップS603で光量補正部２９に対し光量補正開始アドレスを“00H”として書き込み、さらにステップS604で補正データ数を”３２“として書き込む。次のステップS605でこの補正データをD/A変換部に順次転送するクロックを２００ｋＨｚに指定する。

本実施例の場合、200KHzでデータ数３２であるから、1/200k*32＝160μsecの間、光量補正が行われる。このクロック周波数と補正データ数は、光量補正の分解能やポリゴンミラーの回転速度に応じて通常最適化されている。

ステップS602で光量設定２が選択された場合には、ステップS606で光量補正部２９に対し光量補正開始アドレスを“0020H”として書き込み、さらにステップS607で補正データ数を”６３“として書き込む。次のステップS608でこの補正データをD/A変換部に順次転送するクロックを２００ｋＨｚに指定する。

ステップS605、S608が終了したら、次のステップS609では、スキャナレディーまで待機する。スキャナレディーとは、ポリゴンミラーの回転数がプリント可能な回転数に到達し、さらに回転が安定した状態を示している。例えば、ポリゴンミラーの回転制御装置からの回転が安定したことを示す信号によって、スキャナレディーになったことを判断すると、ステップS610で光量補正開始を光量補正部２９に指示する。これを受けた光量補正部２９は、ＢＤセンサからの信号に基づいて、一走査毎に同期をとり光量補正を行う。次にプリント終了か否かをステップS611で判定し、プリント終了を判断したらステップS612で光量補正停止指示を光量補正部に送り、本制御を終了する。

この状況を示した図が図６である。

光量設定１の場合には、主走査方向の光量補正の分解能を３２分割にして、目標光量が１．２になるように補正されている。光量設定２の場合には、主走査方向の光量補正の分解能を６３分割にして、目標光量が１．０になるように補正されている。これらの分解能は光量により予め決まっており、補正データは、予め個々の露光装置において測定した値が格納されている。

なお、本実施例では光量設定値を２通りとしたが、より多くの設定値に対応することも可能である。

以上のように、複数の光量に対応した補正データを有することで、目標光量を切り換える場合にも参照補正データを選択することにより、感光体面上の光量を一走査方向に略均一に保つことができる。

（実施例２）
先述の実施例では、メモリに格納されたデータをそのままデジタルアナログ変換していたため、データに対しては常に同じ分解能での電圧出力となっていた。

本実施例では、この分解能と補正データの関係を最適化して出力を行うものである。
以下、図を用いて説明する。

図９は、感光体上の目標光量を２５０μＷとしたときに、データ数４０にて補正を行う場合のデータの一例を示したものである。各補正電圧（単位ｍＶ）目標に対し、出力基準電圧Ｖｒｅｆを７５ｍＶ、および１０ｍＶとした場合について計算した表である。出力基準電圧Ｖｒｅｆは、図１１に示すように、例えば４ビットデータにより指定可能となっており、0000B〜1111Bまで、5mV単位での設定ができる。最も出力電圧を高く、つまり補正量を最も多くとるようにした場合には、７５ｍＶとなり、補正データが１増える毎に出力が７５ｍＶ増加する。なお、補正データ長を６ビットとした場合には、各Ｖｒｅｆ設定時の最大出力電圧は図１１に示す通りになる。

図１２は、補正電圧目標とＶｒｅｆを７５ｍＶに設定したときの出力電圧（ｍＶ）、１０ｍＶに設定したときの出力電圧（ｍＶ）をそれぞれ示した表である。Ｖｒｅｆが７５ｍＶに設定された場合には、補正データに対する分解能が粗くなるため、目標からはかけ離れた曲線になっている。一方、Ｖｒｅｆを１０ｍＶに設定した場合には、ほぼ目標の出力に近づいた曲線になっている。つまり、Ｖｒｅｆ設定を可能な限り小さくして補正データを決定した方が細かい光量補正ができ、より理想の補正データ曲線を描くことができる。

本実施例における露光装置制御部２８が行う制御については、図１３にフローチャートとして示した。先述の実施例との違いは、ステップＳ706、ステップＳ710のみであり、その他の制御については同じため、再度の説明は省略する。

ステップＳ706では、光量設定はモード１が選択されている。図１４にアドレス、メモリデータ、目標光量の関係を示している。光量設定１では目標光量を２５０μＷとしており、Ｖｒｅｆ電圧は１０ｍＶに対応してメモリデータが格納されているため、露光装置制御部２８は、光量補正部２９に対してＶｒｅｆ電圧を１０ｍＶにすべく、Ｖｒｅｆ設定レジスタに“００１０Ｂ”を書き込む。

一方、ステップＳ710では、光量設定はモード２が選択されている。光量設定２では目標光量を１７０μＷとしており、Ｖｒｅｆ電圧は２０ｍＶに対応してメモリデータが格納されているため、露光制御部は、光量補正部に対してＶｒｅｆ設定レジスタに“０１００Ｂ”を書き込む。

なお、各光量設定に対応したＶｒｅｆ電圧は、露光装置制御部２８が予め記憶しておき光量補正部２９のメモリデータはそのＶｒｅｆ値に対応したデータとしておいても良い。あるいは、光量補正部２９のメモリの一部に各光量設定に対応したＶｒｅｆ値を記憶させておき、光量変更の都度露光装置制御部がこれを読み出し、Ｖｒｅｆ設定として光量補正部に指示しても良い。

以上のような制御を行うことで、補正量に応じてＤ/Ａ変換時の分解能を変化させることができ、一走査方向での光量補正を滑らかにすることができる。

（実施例３）
先述の実施例では、光量設定の数だけメモリ内にデータを格納し、読み出すデータアドレスとデータ数を指定することで補正光量を変更し、感光体上に照射される光量を変更していた。したがって、光量設定の段階が増えるとその分メモリデータ数が増え、容量の大きなメモリが必要となり、コスト的に不利な状況になってしまう。

本実施例では、メモリ内のデータを１通りにしつつも複数の光量に対応することを可能にする制御方法について述べる。

図１５は、本実施例の露光装置のブロック構成を示した図である。

先述の実施例で説明した図との違いは、レーザドライバＩＣ27に対して光量設定用の入力手段Pref端子を設けている点であって、他の構成は同様である。露光装置制御部28からは光量設定値に対応したパルス幅変調（ＰＷＭ）パルスが出力され、抵抗R4とコンデンサC2で平滑された電圧がこの入力端子Prefに供給される。この入力端子Prefに供給された電圧を基準としてレーザドライバＩＣ２７はＡＰＣ制御を行う。つまり、この入力端子Prefに供給される電圧に基づいてＬＤ２１の発光光量が決定される。PWMパルスのDutyとAPC時のレーザ光量とは比例関係にある。

この場合の光量設定について、以下に説明する。

たとえば、感光体上の目標光量を１５０μＷ，２５０μＷ、３００μＷ、の３通りに設定する必要があるとする。

このとき、光量補正部２９のメモリ内には、感光体上の目標光量を２５０ｕＷとして光量補正するときを基準とした光量補正データが図１６に示す２０個のデータとして格納されている。

目標光量２５０μＷ時のＰＷＭ Ｄｕｔｙを50％とすると、目標光量１５０μＷ時にはＰＷＭ Ｄｕｔｙを30％、目標光量３００μＷ時にはＰＷＭ Ｄｕｔｙを60％にする。目標光量の変化割合に応じて、ＰＷＭ Ｄｕｔｙも変化させることによって、ＡＰＣ光量を変化させることができる。

これに伴い、それぞれの目標光量時の補正前光量もＰＷＭ Ｄｕｔｙの変化割合に応じて変化する。各目標光量に対する補正前光量を図１６〜図１８に示した。

次に補正時のＶｒｅｆ電圧値の指定について述べる。補正前光量が変化したため、Ｖｒｅｆ電圧を固定のままで補正を行うと、使用するメモリデータは同じであるため、補正量が同じとなり、結果的にドラム面光量が均一にならない。そこで、Ｖｒｅｆ電圧設定についても、基準となる目標光量２５０μＷ時に対する変化割合に応じて設定する。具体的には、目標光量２５０μＷ時のＶｒｅｆ電圧が１０ｍＶであったとすると、目標光量１５０μＷ時には６ｍＶ、目標光量３００μＷ時には１２ｍＶにする。

補正電圧はＶｒｅｆとデータを乗じた値であるから、各目標光量に対しての補正電圧が決まる。一方この補正電圧を補正電流換算し、補正電流を光量に換算するときには、目標光量に依存せずに一定割合で換算される。こうして求まった補正光量を使用して、補正前光量から補正光量分を差し引くと、各目標光量において一様なドラム面光量を得ることが出来る。

これらを数式として表すと、以下のように表すことができる。
ＰＡ＝ＡＰＣref−Pth
（ＰＡ ：基準目標光量
ＡＰＣref ：基準時の補正前の感光体上のレーザ光量
Ｐｔｈ ：基準時のレーザ光量補正分）
目標光量を1.2倍にしたいときには、
1.2×ＰＡ＝1.2×（ＡＰＣref−Pth）＝1.2×ＡＰＣref−1.2×Pth
つまり、ＡＰＣ光量を1.2倍、レーザ光量補正分を1.2倍にすれば良いことが明らかになる。

次に、光量補正部２８内のＤ/Ａコンバータ５３へデータを転送するクロックについて述べる。通常、感光体上の目標光量を変えるのは、画像形成装置のプリントスピードを変える事によりポリゴンミラーの回転速度を変える必要が生じた結果、単位画素当たりのレーザ照射時間が変わるために必要になる。そのため、これに対応するためには、データ数をこれに合わせたデータ長にするか、メモリデータをＤ／Ａコンバータに送るためのクロックをこれに合わせて変更する必要がある。

これについても数式として表すと、以下のように表すことができる。
ＨＣＬＫ＝（基準時クロック）×（変更後ポリゴン回転数）÷（基準時のポリゴン回転数）

たとえば、基準光量時のポリゴンミラーの回転数が２５０００ｒｐｍ、Ｄ／Ａコンバータの転送クロックが５００ｋＨｚだったと想定し、変更後のポリゴン回転数が２００００ｒｐｍだったとすると、変更後の転送クロックは、４００ｋＨｚとなる。
（５００ｋＨｚ×２００００ｒｐｍ÷２５０００ｒｐｍ＝４００ｋＨｚ）

このように、メモリデータを１種類のデータ＆データ長にしても、次のような形態で一走査面の光量分布を略一定にすることが可能である。即ち、ＡＰＣ光量とＶｒｅｆ電圧を目標光量に対する割合で変化させて補正を行い、かつメモリデータを決定しているポリゴン回転数時からの変化割合と同じ比率でＤ／Ａコンバータへのデータ転送クロックを変更する形態でも可能である。

なお、上述の説明では１種類のメモリデータとしたが、ポリゴン回転数が大きく変化するときには、補正精度を上げるため、別のメモリデータを記憶させ使用してもメモリデータ量を必要な光量設定数におけるそれ以下にできることは明らかである。

本発明に係わる露光装置の構成を示す図である。 本発明に係わる露光装置のブロック構成を示す図である。 本発明に係わる実施例１を説明するタイミングチャートを示す図である。 本発明に係わる露光装置の光量補正を説明する図である。 本発明に係わる露光装置の制御ブロックを説明する図である。 本発明に係わる実施例１の露光装置の光量補正を説明する図である。 本発明に係わる実施例１を説明するフローチャートである。 本発明に係わる実施例１の露光装置の光量補正を説明する図である。 本発明に係わる実施例２の露光装置の光量補正を説明する図である。 オーバフィルド光学系の光量分布を説明する図である。 本発明に係わる実施例２のＶｒｅｆ電圧設定を説明する図である。 本発明に係わる実施例２の露光装置の光量補正を説明する図である。 発明に係わる実施例２を説明するフローチャートである。 本発明に係わる実施例２の露光装置の光量補正データを説明する図である。 本発明に係わる実施例３の露光装置のブロックを説明する図である。 本発明に係わる実施例３の露光装置の光量補正の一例を説明する図である。 本発明に係わる実施例３の露光装置の光量補正の他の一例を説明する図である。 本発明に係わる実施例３の露光装置の光量補正のさらに他の一例を説明する図である。

符号の説明

１ 半導体レーザ
２１ 半導体レーザダイオード
２２ フォトダイオード
２７ レーザドライバIC
２８ 露光装置制御部
２９ 光量補正部
３０ 定電流変換回路

Claims (5)

1. 供給された電流量に応じた光量の光ビームを発光する光源と、
   複数の反射面を有する回転多面鏡であって、前記光源から出射されかつ前記反射面で反射された光ビームが感光体上を走査するように回転される回転多面鏡と、
   前記回転多面鏡の１つの反射面の走査方向の幅より広い範囲にわたって前記回転多面鏡に光ビームが照射されるように前記光源から出射された光ビームを拡大するビーム拡大手段と、
   前記感光体上に照射される前記光ビームの光量が走査方向に渡って各々略一定となる複数の補正電流プロファイルを記憶する補正電流プロファイル記憶手段と、
   前記感光体上に照射される前記光ビームの光量を複数段階の中から選択して設定する設定手段と、
   前記設定手段により設定された光量に基づいて、前記補正電流プロファイル記憶手段に記憶された複数の補正電流プロファイルのうちの１つを選択し、当該選択した補正電流プロファイルに基づいた補正を行った電流を前記光源に供給する電流供給手段とを備えたことを特徴とする露光装置。
2. 請求項１において、
   前記補正電流プロファイル記憶手段は不揮発性メモリであり、
   前記電流供給手段は、Ｄ／Ａコンバータと、
   前記不揮発性メモリ内のデータを入力されたクロックに応じて読み出し、前記Ｄ/Ａコンバータに転送するデータ供給手段と、
   前記不揮発性メモリ内のデータの転送開始アドレスと転送データ数と転送クロックを指定するデータ数指定手段と、
   前記Ｄ／Ａコンバータの出力電圧を入力され、定電流に変換するとともに、前記光源に対して電流供給を行う定電流回路部と、を備え、
   前記電流供給手段は、前記設定手段により設定された光量に基づいて、前記不揮発性メモリ内のデータの転送開始アドレスと転送データ数と転送クロックとを決定することを特徴とする露光装置。
3. 請求項２において、
   前記Ｄ/Ａコンバータは、入力されるデータに対する変換単位を設定可能であり、
   前記電流供給手段は、前記目標光量に基づいて前記Ｄ/Ａコンバータの変換単位を設定することを特徴とする露光装置。
4. 請求項３において、
   前記電流供給手段は、ＡＰＣ時の目標光量に対応して、前記光源に供給する電流を変更することを特徴とする露光装置。
5. 請求項４において、
   前記電流供給手段は、
   前記光源の第一のＡＰＣ光量と、前記不帰発性メモリ内に前記第一のＡＰＣ光量を基準としたデータと、前記第一のＡＰＣ光量を基準としたときの前記Ｄ/Ａコンバータの第一変換単位と、前記第一のＡＰＣ光量時の前記Ｄ/Ａコンバータへのメモリデータ転送クロックと、前記第一のＡＰＣ光量時の前記回転多面鏡の第一回転数とを記憶する手段と、
   前記光源のＡＰＣ時の目標光量を変更する手段と、を備え、
   前記設定手段の設定光量に基づいて、
   前記ＡＰＣ時の目標光量を変更し、
   かつ前記ＡＰＣ時の目標光量変更後のＡＰＣ光量と前記第一のＡＰＣ光量との変化割合と同じ割合を前記Ｄ/Ａコンバータの第一変換単位に乗じて前記Ｄ/Ａコンバータの変換単位を設定し、
   かつ前記ＡＰＣ時の目標光量変更後の前記回転多面鏡の回転数と前記第一のＡＰＣ光量時の前記回転多面鏡の第一回転数との変化割合と同じ割合を前記Ｄ/Ａコンバータへのメモリデータ転送クロックに乗じて前記Ｄ/Ａコンバータへのメモリデータ転送クロックを設定する
   ことを特徴とする露光装置。
   

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