JP2007212948A - 反射防止膜形成方法及び、反射防止膜付き基板 - Google Patents
反射防止膜形成方法及び、反射防止膜付き基板 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 本発明に関わる反射防止膜形成方法は、基板に金属フッ化物を蒸着することで反射防止膜を形成する方法において、前記基板の表面を蒸着する基板温度が、前記基板の裏面を蒸着する基板温度より25〜60℃低いものである。また、反射防止膜付き基板は、基板に形成された赤外反射防止膜において、基板を加熱して蒸着した表面反射防止膜と、表面を蒸着した温度よりも25〜60℃低い温度で蒸着した裏面反射防止膜と、を備えるものである。
【選択図】 図1
Description
膜を蒸着する際、基材温度を100℃以上180℃以下とする光学薄膜の製造方法が開示されている。
本発明にかかる製造方法の実施の形態を図1に基づいて説明する。図1に示す真空蒸着装置の真空チャンバー1の下部には、蒸着材料5を入れる蒸着源4が備えられている。また、真空チャンバー1の上部には、基板2を保持する基板ホルダー3と、基板2を加熱する基板加熱用ヒータ6が備えられている。
この基板の第一面に屈折率の異なる材料の膜をYF3膜の下、もしくは上に反射率を制御する目的で1層、必要により2層以上蒸着することがある。この場合、多層膜の蒸着材料としては高屈折率材料のGe、中屈折率材料のZnS、ZnSe、低屈折率材料のY2O3、CeF3、Ce2O3などの中から適宜選択する。
Claims (6)
- 基板に金属フッ化物を蒸着することで反射防止膜を形成する方法において、前記基板の表面を蒸着する基板温度が、前記基板の裏面を蒸着する基板温度より25〜60℃低い反射防止膜形成方法。
- 前記表面を蒸着する温度が90〜125℃である請求項1に記載の反射防止膜形成方法。
- 前記金属フッ化物がYF3または、CeF3である請求項1または請求項2に記載の反射防止膜形成方法。
- 前記基板がGeもしくはSiである請求項1から請求項3のいずれかに記載の反射防止膜形成方法。
- 前記基板には、前記金属フッ化物を含め複数の薄膜が積層されている請求項1から請求項4のいずれかに記載の反射防止膜形成方法。
- 基板に形成された赤外反射防止膜において、
基板を加熱して蒸着した表面反射防止膜と、
表面を蒸着した温度よりも25〜60℃低い温度で蒸着した裏面反射防止膜と、を備える反射防止膜付き基板。
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