JP2007212015A - クリーンルーム構造 - Google Patents

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Abstract

【課題】避難経路の短縮及び二方向避難経路の確保を可能にするとともに、室内気流分布の乱れ又は攪乱気流をクリーンルーム内空間に発生させずにメンテナンス等のための開口をクリーンルームに形成する。
【解決手段】作業員等の歩行領域(5)をクリーンルームの床(2)の下側に設け、床を通過した空気流を歩行領域に流下させる。クリーンルーム内空間(1)と歩行領域との間で作業員等が上下移動するための階段(30)又は昇降手段を設け、通気性を有する区画手段(35,36,37)によって階段又は昇降手段を歩行領域から区画する。階段又は昇降手段の開口(33)を介して歩行領域に流出する空気流が床の通風抵抗に相応する空気抵抗を受けるように、区画手段の通気性を設定する。
【選択図】図5

Description

本発明は、クリーンルーム構造に関するものであり、より詳細には、一方向流式の空調システムを備えるとともに、物流経路に沿って製造装置及び搬送装置をクリーンルームの床に配列した大規模クリーンルームの構造に関するものである。
半導体、液晶、ダイオード等の電子デバイスを製造するクリーンルームでは、一方向流式、非一方向流式、或いは、両方式を併用した併用式の空調システムが一般に採用される。一方向流式の空調システムは、天井面から下方に清浄空気流を吹出し、室内領域を流下する気流を床面の吸込口から吸込む方式の空調システムとして知られている。この方式の空調システムでは、塵埃等を含む室内空気は、清浄空気によって希釈されるとともに、床面吸込口から空気循環系に送出され、HEPA(High Efficiency Particulate Air)フィルター等の高性能フィルターによって浄化された後に室内に再循環する。このような一方向流式空調システムによれば、高い空気清浄度を室内に維持することができるので、この方式の空調システムは、クラス100程度の高清浄度、或いは、更に高い清浄度(クラス1、10等)が要求されるクリーンルームにおいて一般に採用される。
近年、電子デバイスの量産化や、液晶の大型化等に伴って、大規模な半導体工場や、大規模なFPD(フラットパネルディスプレイ)生産工場が建設されている。一般に、この種の工場は、高い空気清浄度を有する大規模クリーンルームを有し、クリーンルームは、天井面から下方に清浄空気流を吹出す一方向流式空調システムを備える。
図13は、FPD生産工場を構成する大規模クリーンルームを例示する概略平面図である。
図13に示す如く、製造装置101及び搬送装置102を備えた製造ラインがクリーンルーム100内に設置される。各製造工程を実行する多数の製造装置101がクリーンルーム100内の適所に配置され、各製造装置101を通過した材料又は中間製品は、物流システムを構成する搬送装置102によって次工程の製造装置101に搬送され又は受渡される。材料又は中間製品の物流経路が、図13に破線の矢印で示されている。
FPDの大型化等に伴って、製造ラインを移送される材料又は中間製品が近年殊に大型化する傾向があり、床に固定された比較的大型の製造装置101及び搬送装置102がクリーンルーム100内に設置される事例が増加している。このようなクリーンルームでは、連続する製造ラインの全長は、例えば、数百メートルに達する。
この種のクリーンルームでは、クリーンルームの中央部(例えば、図13に示す位置”α”)から階段室103等の避難通路までの歩行距離は、かなり増大し、2方向避難の経路を適切に確保することも困難である。これは、建築基準法等の法規制の観点のみならず、災害時又は火災時等に作業者等の安全を早期に確保し、或いは、二次災害等を防止するといった現実的観点からも望ましくない。
また、定期点検、装置交換又は装置改修等のメンテナンス時には、各装置への作業員、管理者、研究者、工事関係者等(以下、「作業員等」という。)のアクセス、或いは、資材又は機器類の搬入・搬出等の必要が生じるが、このような大規模クリーンルームでは、階段室103や、エレベータ等の昇降設備104と各製造装置等との間の経路又は動線が長いことから、作業効率が悪く、これは、施設の良好な操業性又は生産性を維持する上で望ましくない。
半導体等の製造施設を構成するクリーンルームに関し、クリーンルームの床下にメンテナンス用の床を更に備えた2層構造のクリーンルームが知られている(特開平2−243882号公報)。この構造のクリーンルームでは、清浄空気流の床面吸込口を形成するグレーチング床の下側に第2のグレーチング床が配設される。第2グレーチング床によって形成された床下空間は、主に作業用歩行通路として使用される。このような構成のクリーンルームによれば、床下空間の作業者等の歩行動線は、製造ラインによって妨げられず、従って、比較的少人数の作業者によって効率的に各製造装置等のメンテナンスを行うことができるかもしれない。
特開平2−243882号公報
しかしながら、特許文献1のクリーンルーム構造では、床下空間と、避難階段等の避難通路とが関連付けられておらず、このクリーンルーム構造における床下空間は、非常時の避難経路を構成するものではない。
また、特許文献1に記載されたクリーンルーム構造では、床下空間の作業者がクリーンルーム内の製造装置にアクセスする際にラダー等の昇降手段を用いてクリーンルーム内に出入りする必要があり、このため、上下移動用の開口をクリーンルームの床に形成しなければならない。このような開口の空気抵抗は、クリーンルームの床を構成するグレーチングの通風抵抗に比べて遥かに小さく、このため、室内領域を流下する一方向空気流は、開口に集中し又は開口に向かって偏向し、この結果、室内の気流分布が乱れ、或いは、斜流又は乱流等の攪乱気流がクリーンルーム内に発生する。この種の攪乱気流や、気流分布の乱れは、クリーンルーム内空間の清浄度を維持する上で望ましくない影響を与えるので、このような現象を回避すべき対策が望まれる。
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、避難経路の短縮や、二方向避難経路の確保が困難な大規模クリーンルームにおいて、避難経路の短縮及び二方向避難経路の確保を可能にするクリーンルーム構造を提供することにある。
本発明は又、このような大規模クリーンルームにおいて、定期点検、装置交換又は装置改修等のメンテナンス時に各装置への作業員等のアクセスを容易にするとともに、資材又は機器類の搬入・搬出を容易にするクリーンルーム構造を提供することを目的とする。
本発明は更に、室内気流分布の乱れや、斜流又は乱流等の攪乱気流をクリーンルーム内空間に発生させることなく、クリーンルーム内空間に面する出入用開口の形成を可能にするクリーンルーム構造を提供することを目的とする。
本発明は、上記目的を達成すべく、天井面から下方に清浄空気流を吹出し、室内領域を流下する気流を床面の吸込口から吸込む方式の空調システムを備え、製造装置及び搬送装置を物流経路に沿ってクリーンルームの床に配列したクリーンルーム構造において、
前記吸込口を備えた下階空間を前記クリーンルームの下側に形成し、前記クリーンルームの床を通過した気流が前記下階空間に流下するように構成し、
作業員等の歩行通路を前記下階空間に配設し、前記クリーンルーム内の空間と前記歩行通路との間で作業員等が上下移動するための階段又は昇降手段を前記クリーンルームと前記歩行通路との間に設け、
前記歩行通路及び前記階段又は昇降手段を前記下階空間から区画するとともに、該区画を少なくとも部分的に通気性区画手段によって形成し、
前記階段又は昇降手段の開口を介して前記クリーンルーム内空間から前記歩行通路に流入する空気流が前記通気性区画手段を介して前記下階空間に流出するようにしたことを特徴とするクリーンルーム構造を提供する。
本発明は又、天井面から下方に清浄空気流を吹出し、室内領域を流下する気流を床面の吸込口から吸込む方式の空調システムを備え、製造装置及び搬送装置を物流経路に沿ってクリーンルームの床に配列したクリーンルーム構造において、
作業員等の歩行領域として使用され且つ前記吸込口を備えた下階空間を前記クリーンルームの下側に形成し、前記クリーンルームの床を通過した気流が前記下階空間に流下するように構成し、
前記クリーンルーム内の空間と前記歩行領域との間で作業員等が上下移動するための階段又は昇降手段を前記下階空間に設け、
前記階段又は昇降手段を前記下階空間から区画するとともに、該区画を少なくとも部分的に通気性区画手段によって形成し、
前記階段又は昇降手段の開口を介して前記クリーンルーム内空間から該階段又は昇降手段の区画内領域に流入する空気流が前記通気性区画手段を介して前記下階空間に流出するようにしたことを特徴とするクリーンルーム構造を提供する。
本発明の上記構成によれば、作業員等は、上記階段又は昇降手段によってクリーンルームと歩行通路又は歩行領域との間を上下移動することができる。歩行通路又は歩行領域は、クリーンルームの床の下側に配置されるので、歩行通路又は歩行領域の経路は、物流経路によって遮られない。従って、このようなクリーンルーム構造によれば、製造ラインを迂回することなく、避難に適した歩行経路を設定することができる。また、このような構成によれば、作業員等は、メンテナンス時に、上記歩行通路又は歩行領域を通って各装置にアクセスし、或いは、上記歩行通路又は歩行領域によって資材又は機器類の搬入・搬出を行うことができる。
更に、本発明の上記構成によれば、クリーンルーム内の領域を流下する一方向空気流は、クリーンルームの床を通過して下階空間に流下するとともに、区画内領域を介して下階空間に流出する。区画内領域を介して下階空間に流出する空気流には、通気性区画手段の空気抵抗が作用する。この空気流の流量は、通気性区画手段によって規制することができる。従って、室内領域を流下する一方向空気流が階段又は昇降手段の開口の開口に集中し又はこの開口に向かって偏向しないように、通気性区画手段の通気性を設定し、これにより、クリーンルーム内空間の気流分布が乱れ、或いは、斜流又は乱流等の攪乱気流がクリーンルーム内空間に発生するのを防止することができる。
本発明の上記構成によれば、避難経路の短縮や、二方向避難経路の確保が困難な大規模クリーンルームにおいて、避難経路を短縮するとともに、二方向避難経路を確保することができる。
また、本発明の上記構成によれば、定期点検、装置交換又は装置改修等のメンテナンスに関し、各装置への作業員等のアクセスを容易にするとともに、資材又は機器類の搬入・搬出を容易にするクリーンルーム構造を提供することができる。
更に、本発明の上記構成によれば、室内気流分布の乱れや、斜流又は乱流等の攪乱気流をクリーンルーム内空間に発生させることなく、クリーンルーム内空間に面する出入用開口を形成することができる。
本発明の好適な実施形態において、上記歩行通路又は歩行領域は、非常用避難階段等の非常用避難通路に通じ、歩行通路又は歩行領域と非常用避難通路との間には、気密扉、エアロック室等の気密手段が配設される。
本発明の好適な実施形態によれば、クリーンルームの床の通風抵抗に相応する空気抵抗が、区画内領域から歩行通路又は歩行領域に流通する空気流に作用するように、上記通気性区画手段の通気性が適切に設定される。好ましくは、通気性区画手段の通気性は、通気性区画手段を構成する通気性部分又は部材の開口面積、開口率又は通気抵抗の設定又は調節によって設定される。通気性区画手段は、通気量を制限可能な素材又は構造を備えた通気性区画材料を有する区画と、空気抵抗を通気に積極的に与えて通気量を制限するように構成された機械的な通気手段を有する区画との双方を含む概念である。通気性区画材料として、適切な通風抵抗を有するグレーチング、或いは、多数の小寸法孔又は小径孔を有する有孔パネル又は有孔板を好適に使用し得る。グレーチング、有孔パネル又は有孔板は、歩行通路、階段又は昇降手段を囲む床、壁体又は天井を形成する一方、通風抵抗、開孔寸法又は開口率等の適切な設定に従って、区画内領域から下階空間に流出する空気流に対して、クリーンルームの床の通風抵抗に相応する空気抵抗を付与する。変形例として、区画を気密壁によって全体的に形成し、空気抵抗を有する開口部、或いは、重力式ダンパ等を備えた開口部などの機械的通気手段を気密壁に局所的に形成しても良い。このような機械的通気手段として、開口面積を可変制御する開口制御手段(例えば、可動ボリュームダンパ)を使用しても良い。この場合、通気性区画手段を通過する空気量を検出する手段(例えば、風量センサ)、或いは、区画内領域の圧力と区画外領域の圧力との差圧を検出する手段(例えば、差圧センサ)が区画の適所に配設される。開口制御手段は、空気量検出手段又は差圧検出手段の検出結果に基づいて通気性区画手段の開口面積を制御する。
本発明の或る実施形態において、上記歩行通路は、物流経路を横断し又は物流経路の主方向と交差する方向に延びる直線形又は廊下形の通路からなり、上記通気性区画手段は、歩行通路、階段又は昇降手段の床又は壁体を構成するグレーチング又は有孔部材からなる。
本発明の他の実施形態において、上記歩行領域は、上記床の下側に形成され且つ該床を通過した気流が流入する下階空間からなる。このような構成によれば、下階空間全体を避難通路、メンテナンス用管理通路および資材等搬入・搬出経路として使用することができる。なお、下階空間の床に床面吸込口を設け、床面吸込口に流入した空気を空調システムの空気循環系に還流するように構成しても良い。この場合、クリーンルーム内空間から階段又は昇降手段の区画を介して下階空間に流入した空気は、クリーンルームの床を介して下階空間に流入した空気とともに、下階空間の床面吸込口に流入する。
好適には、クリーンルームの床面に形成される階段又は昇降手段の開口は、クリーンルームの床を構成する通気性床材の基準寸法又はモジュールと整合する寸法を有する。一方向流式の空調システムを備えたクリーンルームでは、クリーンルームの床は、グレーチング等の通気性床材を根太等の支持部材によって支持した構造を有し、通気性床材は、例えば、約600mm×約600mmの平面寸法を有する。従って、階段又は昇降手段の開口寸法を通気性床材の平面寸法の整数倍に設定することにより、通気性床材と、階段又は昇降手段との互換が可能となる。例えば、階段又は昇降手段を撤去した部分には、他の床部分と同様に根太及び通気性床材を設置することができ、また、或る範囲の根太及び通気性床材と、階段又は昇降手段とを交換することができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施例について詳細に説明する。
図1は、一方向流式の空調システムを備えたクリーンルームの概略平面図であり、図2は、クリーンルームの床下空間に配置された廊下形歩行通路を示す概略平面図である。また、図3及び図4は、クリーンルームの断面構造を部分的且つ概略的に示す縦断面図である。
図1に示す如く、多数の製造装置101及び搬送装置102を備えた製造ラインがクリーンルーム1内に設置される。各製造装置101を通過した材料又は中間製品は、搬送装置102によって次工程の製造装置101に搬送され又は受渡される。材料又は中間製品の物流経路が、破線の矢印で図1に示されている。床下に延びる階段11が、床2の適所に分散配置され、図2に示す下階通路12に延びる。
図2に示すように、下階通路12は、物流経路と直交する方向に延びる。下階通路12は、物流経路の下側を横断する廊下形又は直線形の歩行通路を構成する。階段11は、下階通路12に通じ、室内空間1の作業員等は、階段11によって下階通路12に移動することができる。下階通路12は、廊下形又は直線形の下階通路13に連続する。下階通路13は、クリーンルーム1を構成する施設の側壁に沿って長手方向に延びる。階段室14及び昇降設備15が、側壁の適所に配置される。下階通路13は、気密扉等(図示せず)を介して階段室14及び昇降設備15に通じる。
図3及び図4に示す如く、クリーンルーム内空間1(以下、「室内空間1」という。)は、通気性を有する床2と、空調設備を備えた天井構造体3とを備える。例えば、HEPAフィルター等の高性能フィルターを備えたファンフィルターユニット等の空調ユニット9が天井構造体3に組み込まれる。空調ユニット9は、図3及び図4に矢印で示す如く、天井面から下方に清浄空気流を吹出す。床2は、鋼製根太上に付設した多数のグレーチングによって形成され、空気流が通過可能な通気性を有する。室内空間1を流下する気流は、グレーチングの開口部を通過し、矢印で示すように下階空間5に降下する。
下階空間5は、設備機器、配管、配線等を収容可能な設備空間として使用されるとともに、作業員等が歩行可能な高さを有するメンテナンス用空間として主に使用される。下階空間5に流下した気流は、空調システムの空気循環系(図示せず)を介して天井構造体2の空調ユニット9に還流し、空調ユニット9の高性能フィルターによって浄化された後に室内空間1に再循環する。
階段11及び下階通路12の断面が図3に示されており、下階通路12の断面が図4に示されている。階段11は、床2の開口部16において室内空間1に開放する。開口部16を囲む手摺16aが床2上に設置される。階段11は、両側の側壁パネル17と、段裏パネル18とによって下階空間5から区画される。
下階通路12の床19は、下階空間5の中間レベルに配置され、下階通路2の側階20は、床19と床2との間に垂直に延在する。図4に示す如く、側壁20は、階段11の部分を除き、下階通路12の両側に配置される。かくして、室内空間1は、階段11の側壁パネル17及び段裏パネル18と、下階通路12の床19及び側壁20とによって、下階空間5から区画される。
区画を構成する側壁パネル17、段裏パネル18及び側壁20は、室内空間1の空気が下階空間5に漏出するのを防止可能な気密性を備える。他方、床19は、適切な通風抵抗を有するグレーチングによって形成され、通気性区画手段を構成する。
図2に示す下階通路13も又、下階空間5との間に同様の床13a及び側壁13b(図4)を備える。下階通路13の区画を構成する側壁13bは、室内空間1の空気が下階空間5に漏出するのを防止可能な気密性を備える。所望により、下階通路13の床13aは、適切な通風抵抗を有するグレーチングによって形成され、通気性区画手段を構成する。
従って、階段11及び通路12、13内に流入した空気は、下階通路12の床19(及び下階通路13の床13a)を介して下階空間5に漏出する。これにより、床2の通気量と相応する適量の空気を開口16に流入させ、開口16が室内空間1の気流分布又は気流方向に与える影響を最小限に抑制することができる。
所望により、上記区画を構成する部材(側壁パネル17、段裏パネル18、側壁20又は側壁13b)も又、適当な開孔率の有孔パネル等によって形成しても良い。
他の手段として、空気流通を適切に規制可能な重力式ダンパ又はエアカーテン等を備えた開口を局所的に区画に形成し、これにより、適量の空気が室内空間1から下階空間5に漏出するように構成しても良い。更に他の手段として、可動ボリュームダンパ等の開口制御手段を備えた開口を区画に形成するとともに、風量センサ又は差圧センサ等の検出手段を区画と関連して適所に配置し、検出手段の検出結果に基づいて開口制御手段を制御することも可能である。
所望により、下階通路12(又は下階通路13)は、図4に仮想線で示すように、作業員等が下階通路12から下階空間5の床6に降りるための階段21を備える。このような階段21を下階空間5に設ける場合、下階通路12と階段21との空気の流通を阻止する気密扉又はエアロック室等の気密手段を下階通路12又は階段21に配設することが望ましい。
このような構成のクリーンルーム構造によれば、室内空間1の中央部”α”(図1)に位置する作業員等は、図1に実線の矢印で示す如く、災害時等に室内空間1の避難経路に沿って階段室14に避難し得るばかりでなく、階段11及び下階通路12、13(図2)を介して階段室14に避難することができる。
また、定期点検、装置交換又は装置改修等のメンテナンス時には、作業員等は、階段11、下階通路12、13、階段室14及び昇降設備15等を利用して目的の装置類にアクセスすることができる。
更に、適切な空気量の空気を階段11及び通路12、13から下階空間5に流出させることにより、室内空間1に開放した階段11の設置による室内空間1の気流分布又は気流方向の影響を最小限に抑制することができる。
図5(A)及び図5(B)は、本発明の他の実施例を示す平面図及び縦断面図である。図6(A)は、図5に示すクリーンルーム構造の気流分布を概略的に示す縦断面図であり、図6(B)は、避難経路を例示する下階空間の平面図である。また、図7(A)には、本実施例のクリーンルーム構造を適用可能なクリーンルームの断面が概略的に示されており、図7(B)には、クリーンルーム内空間及び下階空間の双方に開放した階段を備えたクリーンルームの断面が、比較例として示されている。
図7(A)に示す如く、クリーンルームの室内空間1は、床2を有し、床2は、鋼製根太2a上に付設した多数のグレーチング2bによって形成される。室内空間1を流下する気流は、グレーチング2bの開口部を通過し、矢印で示すように下階空間5に流下する。下階空間5は、設備空間として使用されるとともに、作業員等が歩行可能なメンテナンス用空間として使用される。下階空間5の床6も又、鋼製根太6a上に付設した多数のグレーチング6bによって形成される。下階空間5を流下する気流は、グレーチング6bの開口部を通過し、矢印で示すように床下空間10に流下する。なお、下階空間5には、床2を支持する柱7が配置される。
床下空間10は、空調システムの空気循環系に接続され、床下空間10の空気は、天井構造体3の空調ユニット9に還流し、高性能フィルターによって浄化された後に室内空間1に再循環する。
このような一方向流式空調システムによれば、高い空気清浄度を室内に維持するとともに、下階空間5を介して任意の製造設備にアクセスすることが可能となる。
図7(B)には、作業員等が下階空間5と室内空間1との間を移動するのに使用される鋼製階段8が示されている。開口部8cが、床2の根太2a及びグレーチング2bを部分的に撤去することによって床2に形成され、手摺8dが、開口部8cの周囲に設置される。階段8は、鋼製桁材8aと、多数の鋼製踏面8bとから構成された直階段からなり、桁材8aは、床2、6間に所定の傾斜角度をなして架設される。
このような構造の階段8は、作業員等の上下通路を確保する上では有効に使用可能であるが、開口部8cの空気抵抗は、グレーチング2bの通風抵抗に比べて遥かに小さいことから、多量の空気が開口部8cを介して室内空間1から下階空間5に流入する。このため、開口部8cの近傍を流下する室内空間1の空気流は、図7(B)に矢印で示す如く、開口部8cに向かって偏向し又は乱れ、この結果、室内空気分布が不均一になり、或いは、乱気流又は斜流等の攪乱気流が室内空間1に発生する。
図5には、このような室内空気流の乱れを防止する手段を備えた本発明の実施例が示されている。
図5に示す階段30は、図7(B)に示す階段8と同じく、所定の傾斜角度をなして床2、7間に架設した鋼製桁材31と、多数の鋼製踏面32とから構成された直階段からなる。開口部33が、根太2a及びグレーチング2bを部分的に撤去することによって床2に形成され、手摺34が、開口部33の周囲に配設される。グレーチング2bは、約600mm×約600mmの基準平面寸法を有する正方形の通気性面材である。階段30の開口部33は、グレーチング2bの基準平面寸法の倍数に相当する寸法を有する。従って、根太2a及びグレーチング2bを撤去して床2の任意の位置に開口部33を形成することにより、階段30の位置を任意に設定し、或いは、既設の階段30を撤去して床2を復旧し、更には、階段30の位置を任意に位置変更することができる。
階段30は、段裏を形成する通気性パネル35と、左右の側壁を形成する通気性パネル36と、天井を形成する天井パネル37とを備える。階段30の昇降通路空間を構成する階段室40は、通気性パネル35、36、37によって下階空間5から区画される。段裏面の通気性パネル35は、左右の桁材31によって支持され、或いは、桁材31間に延びる鋼製の桟(図示せず)によって支持される。天井面の通気性パネル37は、横架材38によって支持される。横架材38は、桁材31と平行に床2から斜め下方に延びる。横架材38の下端部は、柱7の間に架設した水平な鋼製横架材39によって支持され、或いは、柱7に直に支持される。壁面の通気性パネル36は、横架材38及び桁材31によって支持され、或いは、横架材38及び桁材31の間に垂直に延びる鋼製間柱等(図示せず)によって支持される。
図5(B)に拡大して示す如く、通気性パネル35、36、37は、多数の小寸法孔又は小径孔41を有する金属製有孔板からなり、階段室40及び下階空間5は、通気性パネル35、36、37の孔41を介して連通する。階段室40の最下部には、下階空間5に通じる開閉可能なドア42が配設される。ドア42は、常時は、閉鎖しており、作業員等が階段30を利用して上下移動する際に開閉操作される。従って、室内空間1から階段室40内に流入した空気は、常時は、通気性パネル35、36、37の孔41を介して下階空間5に流出する。なお、階段室40の最下部の床には、無開口の床材6dが敷設される。
通気性パネル35、36、37の開孔率は、通気性パネル35、36、37を介して室内空間1から下階空間5に流通する空気流の流動抵抗と、室内空間1からグレーチング2bの開口を介して下階空間5に流通する空気流の流動抵抗(即ち、グレーチング2bの通風抵抗)とが、実質的に等しい値又は近似する値を示すように設定される。従って、グレーチング2bの通風抵抗を擬似した空気抵抗が階段室40に付加されるので、床2は、開口部33を含む床面全体として均一又は均等な空気抵抗を示す。このため、室内空間1を流下する空気流は、開口部33内に集中的に流入することなく、図6(A)に示す如く、床2の全領域を均一又は均等に流通する。従って、このような構成の階段30を備えたクリーンルーム構造によれば、室内空気分布を均一化し、良好な室内気流の方向性を確保することができる。
かくして、本実施例のクリーンルーム構造によれば、室内空間1の中央部”α”(図1)に位置する作業員等は、図1に矢印で示す如く、災害時等に室内空間1の避難経路に沿って階段室14に避難し得るばかりでなく、図6(B)に示す如く、階段30及び下階空間5を介して階段室14に避難することができる。
また、定期点検、装置交換又は装置改修等のメンテナンス時に、作業員等は、階段30、下階空間5、階段室14及び昇降設備15を利用して目的の装置類にアクセスすることができる。
更に、階段室40を下階空間5から分離する通気性区画(通気性パネル35、36、37、ドア42)は、室内空間1及び下階空間5の間の空気流通を規制するので、室内空間1に開放した階段30の設置による室内空間1の気流分布又は気流方向の影響を最小限に抑制することができる。
変形例として、階段室40を気密性パネルによって区画し、空気流通を適切に規制可能な重力式ダンパ又はエアカーテン等を備えた開口を局所的に区画に形成し、これにより、適量の空気が室内空間1から下階空間5に漏出するように構成しても良い。更に他の手段として、図5(B)に仮想線で示す如く、可動ボリュームダンパ等の開口制御手段を備えた開口部70を階段室40と下階空間5との間に形成し、風量センサ又は差圧センサ等の検出手段71によって風量又は差圧を検出し、開口部70の開口面積を可変制御しても良い。
図8及び図9は、本発明の更に他の実施例を示す平面図及び縦断面図であり、図10は、図8及び図9に示すクリーンルームの気流分布を概略的に示す縦断面図である。また、図11は、比較例に係るクリーンルーム構造の気流分布を概略的に示す縦断面図である。
図11には、作業員等が下階空間5と室内空間1との間を垂直移動するための鋼製ラダー4が比較例として示されている。図11に部分拡大して示す如く、ラダー4は、左右の支柱4aと、水平な桟4bとから構成される。支柱4aの上端部は、床2の根太2a又は横架材2cに固定され、支柱4aの下端部は、床6の根太6a又は横架材6cに固定される。
ラダー4の直上部分には、グレーチング2bが敷設されず、作業員等が出入り可能な開口部4cが形成される。開口部4cの空気抵抗は、グレーチング2bの空気抵抗に比べて遥かに小さいことから、多量の空気が開口部4cを介して室内空間1から下階空間5に流入する。このため、開口部4cの近傍を流下する室内空間1の空気流は、図11に矢印で示す如く、開口部4cに向かって偏向し又は乱れ、この結果、不均一な気流分布、或いは、乱気流又は斜流等が室内に発生する。
図8及び図9には、このような室内空気流の乱れを防止する手段を備えた本発明の実施例が示されている。
図8及び図9に示すように、支柱51及び桟52から構成される垂直な鋼製ラダー50が、床2、3間に配置される。左右の支柱51は、上端部が根太2aに固定され、下端部が根太6aに固定される。ラダー50の直上には、開口部53が形成される。ラダー50を配置した昇降領域60を囲む垂直隔壁55が、床2、6の間に配置される。昇降領域60は、一枚のグレーチング2bの基準平面寸法に相当する横断面寸法の鉛直通路であっても、或いは、図8及び図9に示す如く、複数のグレーチング2bに相当する横断面寸法の鉛直通路であっても良い。
隔壁55は、間柱56及び通気性パネル57から構成される。間柱56は、根太2a、6a間に垂直に固定され、通気性パネル57は、間柱56に固定される。図9に拡大して示す如く、通気性パネル57は、多数の小寸法孔又は小径孔58を有する金属製有孔板からなり、昇降領域60は、通気性パネル57の孔58を介して下階空間5と連通する。昇降領域60の下部には、下階空間5に通じる開閉可能なドア59が配設される。ドア59は、常時は、閉鎖しており、作業員等がラダー50を昇降する際に開閉操作される。従って、室内空間1から昇降領域60内に流入した空気は、常時は、通気性パネル57の孔58を介して下階空間5に流出する。なお、開口部53の一部又は全部をグレーチング2b又は専用開閉蓋61(図8及び図9に破線で示す)で閉鎖しても良い。また、開口53を囲む手摺(図8及び図9に破線で示す)を床2上に設置しても良い。なお、昇降領域60の最下部の床には、無開口の床材6dが敷設される。
通気性パネル57の開孔率は、通気性パネル57を介して室内空間1から下階空間5に流通する空気流の流動抵抗と、室内空間1からグレーチング2bの開口を介して下階空間5に流通する空気流の流動抵抗(グレーチング2bの通風抵抗)とが、実質的に等しい値又は近似する値を示すように設定される。従って、グレーチング2bの空気抵抗を擬似した空気抵抗が昇降領域60に付加され、この結果、床2は、開口部53を含む床面全体として均一又は均等な空気抵抗を示す。
図10には、このようなクリーンルームにおける空気の流れが概略的に示されている。図10に示す如く、室内空間1を流下する空気流は、開口部53に集中し又は偏向することなく、床2の全領域を概ね均一又は均等に流通するので、室内空気分布を均一化し、良好な室内気流の方向性を確保することができる。即ち、ラダー50を下階空間5から分離する通気性区画(通気性パネル57、ドア59)は、室内空間1及び下階空間5の間の空気流通を規制するので、開口部53による室内空間1の気流分布又は気流方向の影響を最小限に抑制することができる。
図12(A)及び図12(B)には、ラダー50を適当に分散配置したクリーンルームにおける非難経路が例示されている。図12(A)及び図12(B)に示す如く、室内空間1の中央部”α”の作業員等は、災害時等に室内空間1の避難経路に沿って階段室14に避難し得るばかりでなく、ラダー50及び下階空間5を介して階段室14に避難することができる。
また、作業員等は、定期点検、装置交換又は装置改修等のメンテナンス時に、ラダー50、下階空間5、階段室14及び昇降設備15を利用して目的の装置類にアクセスすることができる。
以上、本発明の好適な実施例について詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の範囲内で種々の変形又は変更が可能であり、このような変形例又は変更例も又、本発明の範囲内に含まれるものであることは、いうまでもない。
例えば、同時開放を禁止された複数の扉を備えたエアロック室又はエアバッファ室、或いは、エアシャワー等を階段室14及び昇降設備15と、クリーンルーム内空間1、歩行通路12、13又は下階空間5との間に配置しても良い。
また、避難等のための歩行通路12は、物流経路を横断するように製造設備101及び搬送装置102の上側に配設しても良い。
更に、本発明において、物流経路に沿って配列した「製造装置及び搬送装置」は、搬送装置を備え又は内蔵する製造装置を配列したシステム、搬送装置の機能を有する製造装置を配列したシステム、搬送装置のライン上に多数の製造装置を分散配置したシステム、或いは、各製造装置の間に搬送装置を配置したシステム等、製造装置及び搬送装置を多種多様な形態で組み合せたシステムを包含する概念である。
本発明のクリーンルーム構造は、半導体、液晶、ダイオード等の電子デバイスを製造する製造ラインを有し、一方向流式の空調システムを備えたクリーンルームに適用される。本発明を適用したクリーンルームでは、災害時又は火災時の避難動線を短縮し、安全性を向上させることができる。殊に、本発明は、クリーンルームの床に固定された比較的大型の製造装置及び搬送装置によって大規模な物流経路が形成される大規模クリーンルームに好ましく適用される。本発明を大規模クリーンルームに適用することにより、任意の製造装置に比較的短い経路でアクセスすることが可能となるので、製造管理、部品修理、部品搬出入等の作業の迅速化、メンテナンス等に伴う製造ライン停止時間の短縮、交換又は移設すべき装置への直接的なアクセス、更には、メンテナンス作業時における汚染物質(塵埃、ごみ等)発生域の制限などの実用的な利点が得られる。従って、本発明は、製造管理の容易性、生産性の向上、施設運営の効率化等の観点より極めて有利である。
一方向流式の空調システムを備えたクリーンルームの概略平面図である。 クリーンルームの床下空間に配置された歩行通路の配置を示す概略平面図である。 クリーンルームの断面構造を部分的に示す概略縦断面図である。 クリーンルームの断面構造を部分的に示す概略縦断面図である。 本発明の他の実施例を示す平面図及び縦断面図である。 図6(A)は、図5に示すクリーンルーム構造の気流分布を概略的に示す縦断面図であり、図6(B)は、避難経路を例示する下階空間の平面図である。 図7(A)は、図5に示すクリーンルーム構造を適用可能なクリーンルームの概略断面図であり、図7(B)は、クリーンルーム内空間及び下階空間の双方に開放した階段を備えたクリーンルーム(比較例)の概略断面図である。 本発明の更に他の実施例を示す昇降手段の平面図である。 図8に示す昇降手段の縦断面図である。 図8及び図9に示すクリーンルームの気流分布を概略的に示す縦断面図である。 比較例に係るクリーンルーム構造の気流分布を概略的に示す縦断面図である。 避難経路を例示するクリーンルーム及び下階空間の平面図である。 従来の大規模クリーンルームを例示する概略平面図である。
符号の説明
1:クリーンルーム内空間(室内空間)
2:床
3:天井構造体
4:鋼製ラダー
5:下階空間(歩行領域)
6:下階空間の床
7:柱
8:鋼製階段
9:空調ユニット
10:床下空間
11:階段
12:下階通路(歩行通路)
13:下階通路(歩行通路)
14:階段室
15:昇降設備
16:開口部
19:床
20:側壁
30:階段
33:開口部
35、36、37:通気性パネル
40:階段室
41:孔
42:ドア
50:鋼製ラダー
53:開口部
55:隔壁
57:通気性パネル
59:ドア
60:昇降領域
101:製造装置
102:搬送装置

Claims (10)

  1. 天井面から下方に清浄空気流を吹出し、室内領域を流下する気流を床面の吸込口から吸込む方式の空調システムを備え、製造装置及び搬送装置を物流経路に沿ってクリーンルームの床に配列したクリーンルーム構造において、
    前記吸込口を備えた下階空間を前記クリーンルームの下側に形成し、前記クリーンルームの床を通過した気流が前記下階空間に流下するように構成し、
    作業員等の歩行通路を前記下階空間に配設し、前記クリーンルーム内の空間と前記歩行通路との間で作業員等が上下移動するための階段又は昇降手段を前記クリーンルームと前記歩行通路との間に設け、
    前記歩行通路及び前記階段又は昇降手段を前記下階空間から区画するとともに、該区画を少なくとも部分的に通気性区画手段によって形成し、
    前記階段又は昇降手段の開口を介して前記クリーンルーム内空間から前記歩行通路に流入する空気流が前記通気性区画手段を介して前記下階空間に流出するようにしたことを特徴とするクリーンルーム構造。
  2. 前記歩行通路を非常用避難通路に通じさせたことを特徴とする請求項1に記載のクリーンルーム構造。
  3. 前記歩行通路は、前記物流経路を横断し又は前記物流経路の主方向と交差する方向に延びる直線形又は廊下形の通路からなることを特徴とする請求項1又は2に記載のクリーンルーム構造。
  4. 前記通気性区画手段は、前記歩行通路又は前記階段又は昇降手段の床又は壁体を構成するグレーチング又は有孔部材からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のクリーンルーム構造。
  5. 天井面から下方に清浄空気流を吹出し、室内領域を流下する気流を床面の吸込口から吸込む方式の空調システムを備え、製造装置及び搬送装置を物流経路に沿ってクリーンルームの床に配列したクリーンルーム構造において、
    作業員等の歩行領域として使用され且つ前記吸込口を備えた下階空間を前記クリーンルームの下側に形成し、前記クリーンルームの床を通過した気流が前記下階空間に流下するように構成し、
    前記クリーンルーム内の空間と前記歩行領域との間で作業員等が上下移動するための階段又は昇降手段を前記下階空間に設け、
    前記階段又は昇降手段を前記下階空間から区画するとともに、該区画を少なくとも部分的に通気性区画手段によって形成し、
    前記階段又は昇降手段の開口を介して前記クリーンルーム内空間から該階段又は昇降手段の区画内領域に流入する空気流が前記通気性区画手段を介して前記下階空間に流出するようにしたことを特徴とするクリーンルーム構造。
  6. 前記歩行領域を非常用避難通路に通じさせたことを特徴とする請求項5に記載のクリーンルーム構造。
  7. 前記通気性区画手段は、前記階段又は昇降手段の天井及び/又は壁体を構成する有孔部材からなることを特徴とする請求項5又は6に記載のクリーンルーム構造。
  8. 前記階段又は昇降手段の開口を介して前記クリーンルーム内空間から前記下階空間に流通する空気流が前記クリーンルームの床の通風抵抗に相応する空気抵抗を受けるように、前記通気性区画手段の通気性を設定したことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のクリーンルーム構造。
  9. 前記通気性は、前記通気性区画手段を構成する部分の開口面積、開口率又は通気抵抗の設定によって設定されることを特徴とする請求項8に記載のクリーンルーム構造。
  10. 前記通気性区画手段は、前記開口面積を可変制御する開口制御手段を備えるとともに、前記通気性区画手段を通過する空気量、又は区画内領域の圧力と区画外領域の圧力との差圧を検出する検出手段を備え、前記開口制御手段は、前記検出手段の検出結果に基づいて前記開口面積を制御することを特徴とする請求項9に記載のクリーンルーム構造。
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