JPH02243882A - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はクリーンルームに係り、特に半導体や磁気ディ
スクなど製造に好適な高清浄度のクリーンルームに関す
る。

〔従来の接衝〕

半導体工場などで用いられている従来のトンネル型ダウ
ンフロークリーンルームは、第２図に示すように構成さ
れていた。図において、下床１の上部には約３ｍの間隔
でグレーチング床２が設けられており、これらの下床１
とグレーチング床２との間に床下空間３が形成されてい
て、床下室間３内には各種パイプ４が配管されている。

グレーチング床ｌの上は「ベイ」と呼ばれる単位に分け
られており、これらのベイ５の間には保全域６がそれぞ
れ設けられている。ベイ５は作業者が通行したり作業し
たりする作業域７と、各種装置８が置かれる装置域９と
、前記保全域６とから構成されている。また作業域７は
高さ２ｍ乃至２．５程度であり、保全域６は真空ポンプ
などの補機１０などを設置するスペースと作業スペース
とを確保するため、作業域７と同じ程度の大きさとなっ
ている。作業域７及び装置域９の天井の上部にはそ九ぞ
れファン１１が設けられており、これらのファン１１に
よって昇圧された空気が図示せぬフィルタを通り、高清
浄となって作業域７及び装置域９内に吹き出すようにな
っている。この作業域７及び装置域９内に吹き出された
空気はグレーチング床２を貫通して床下空間３内に入り
、再びグレーチング床２を通って保全域６に入り、さら
に保全域６内を上昇して天井のファン１１へ戻る。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら上記のように構成された従来のクリーンル
ームによると、作業者１２が頻繁に作業域７を通行する
ため、作業者１２から発生した塵埃によって室内環境が
汚染されるという問題があった。一方、今後半導体の集
積度が更に高まると、これに伴なってクリーンルームに
必要な清浄度も高まり、例えば６４ＭＤＲＡＭ以上の製
造プロセスにおいては、クラス０．０１程度という極端
な高清浄度が要求される。このような清浄度を達成し、
かつそれを保持するためには、クリーンルーム内の作業
者の数を減らす必要がある。

ここで、クリーンルーム内で作業者が行なう作業として
は、装置間のウェハの搬送、装置の操作、清掃、保守点
検、工程の点検などがある。これらの作業のうち、装置
間のウェハの搬送及び装置の操作については、自動化が
進むことによって作業者の必要性が少なくなってきてお
り、近い将来作業者による手作業は完全になくなると思
われる。

一方、装置の清掃、保守点検、工程の点検についても、
装置の性能の向上、工場内の情報管理の効率化によって
作業頻度は小さくなりつつあるものの、今後ともこれら
の作業を完全になくせる見通しはない。従ってこれらの
作業を行なうための作業者は装置と同一空間にいること
となる。これらの操業者のうち装置間を移動する歩行者
の数を減らすことによっても、クリーンルーム内の清浄
度を保持することができるが、従来のクリーンルームに
おいてはこの点ついて配慮されていなかった。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、装置間
を移動する作業者の数を減らして高清浄度を保持するこ
とのできるクリーンルームを提供することを目的とする
。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明は、下床の上部設け
た通気性を有する床と、天井の近傍に設けたファンとを
具備したクリーニングルームにおいて、前記下床と前記
通気性を有する床との間に第２の通気性を有する床を設
けて歩行通路を形成したものである。

［作ｍ］ 上記の構成によると、第２の通気性を有する床を作業者
の歩行通路とすることにより、第１の通気性を有する床
上の装置間を作業者が移動するときに、この歩行通路を
利用できる。この結果、クリーンルーム内にいる作業者
の数を減らすことができ、高清浄度を保持することがで
きる。

〔実施例〕

以下、本発明に係るクリーンルームの一実施例を図面を
参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す。図において、第２図
に示す従来例と同一または同等部分には同一符号を付し
て示し、説明を省略する。

通気性を有する第１のグレーチング床２上が複数のベイ
５に分けられ、それぞれのベイ５に保全域６２作業域７
及び装置域９が設けられていて、装置域９には装置８が
置かれていること、及び作業域７及び装置域９のそれぞ
れの天井上にファン１１が設けられていることは、第２
図に示す従来例と同様である。本実施例の特徴は第１の
グレーチング床２と下床１との間に第２のグレーチング
床１３を設けた点にある。この第２のグレーチング床１
３は第１のグレーチング床２の約１．９ｍ下に設けられ
ており、この第２のグレーチング床１３は作業者１２の
床下の歩行通路となっている。

従って第２のグレーチング床１３と下床１との間は約１
ｍの高さとなる。また第１のグレーチング床２には作業
域７に開閉自在に開口する出入口１４と、ハシゴ１５は
が設けられており、これらの出入口１４及びハシゴ１５
を介して作業者１２が第２のグレーチング床１３から作
業域７に出入できるようになっている。さらに、補機１
０は第２のグレーチング床１３上に載置されている。

上記のように構成された本実施例の作用を以下に説明す
る。本実施例によれば、作業者１２が第１のグレーチン
グ床２の下に設けられた第２のグレーチング床１３を通
行できるので第１のグレーチング床２上クリーニングル
ーム内を移動する作業者の数を従来に比べて約半数にす
ることができ、高清浄度を保持することができる。この
とき、ファン１１によって作業域７及び装置域９内に吹
き付けられる清浄な空気は、さらに第２のグレーチング
床１３を通って床下空間３に入り、従来例と同様に再び
第２及び第１のグレーチング床１３及び２を通って、保
全域６からファン１１に戻る。

また第１及び第２グレーチング床２，１３間の間隔は約
１．９ｍあるので、作業者１２は容易に通行できる。そ
してこの部分を作業者１２が通行して発塵しても、汚れ
た空気は作業域７及び装置域９には戻らないので、クリ
ーンルームの清浄度は全くその影響を受けることはない
。

一方、従来保全域６に置かれていた補機類１０が第２の
グレーチング床１３上に置かれるため、保全域６に必要
なスペースが従来に比べて小さくなり、その分、クリー
ニングルーム全体の大きさを変えることなく、各作業域
７のスペースを約１．５倍に大きくすることができる。

この結果、クリーンルームの自動化に伴なって各種ロボ
ットが作業域７をを走行する場合にも１作業者の保守作
業がその走行の障害となることはない。従ってロボット
の導入及びその数の増加も容易となる。

さらに床下配管４の保守点検容易となる。

本実施例によれば、クリーンルームの作業域７内を通行
する作業者の数を約半分とすることができ、高清浄度を
保持することができる。また、クリーンルーム全体の広
さを変えることなく作業域７を広くすることができ、作
業性が向上するとともに、ロット導入による自動化が容
易となる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明に係るクリーンルームによ
れば、通気性を有する床を２段設けて、下方の床を作業
者の通路としたので、上方の床より上記のクリーニング
ルーム内の作業者の数を減少することができ、高清浄度
を保持することができる。またクリーニングルーム内の
作業域を広くすることができ、作業性を向上させること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るクリーンルームの一実施例を示す
縦断面図、第２図は従来のクリーンルームを示す縦断面
図である。 １・・・下床、２・・・第１のグレーチング床、１１・
・・ファン、１３・・・第２のグレーチング床。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、下床の上部に設けた通気性を有する床と、天井の近
   傍に設けたファンとを具備したクリーンルームにおいて
   、前記下床と前記通気性を有する床との間に第２の通気
   性を有する床を設けて歩行通路を形成したことを特徴と
   するクリーンルーム。