JPS6354544A - エアカ−テンを備えたクリ−ンル−ム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体の製造などで必要とする清浄な作業環
境な作り出すのに好適なエアカーテンを備えたクリーン
ルームに関する。

〔従来の技術〕

従来、一般のクリーンルームは、作業室全体を同一のク
リーン度に保つ方式のものが多い。この方式では、装置
の組立や修理等に必要不可避な発塵作業を行なうと、作
業室全体のクリーン度が低下し、クリーン度の回復に時
間がかかる欠点を有していた。この対策として、作業室
内に高クリーン度のクリーントンネルを設ける方式が特
開昭５９−１５４０１５号公報に開示されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、上記公報に係るクリーンルームでは、高クリー
ン度、低クリーン度の領域が固定されているので、任意
の場所で発塵が許容されるわけではない。このように従
来のクリーンルームは、任意の場所での発塵を他の場所
が汚染されないようにして回収することができないとい
う問題があった。

本発明の目的は、作業室内の任意の場所でエアカーテン
が形成されるようにしたエアカーテンを備えたクリーン
ルームを提供することである。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、本発明は、送風機と空気浄化
要素により天井通風路から作業室に清浄空気が吹き出さ
れ、該清浄空気を床下通風路および側部ダクトを通って
前記天井通風路に循環させ、前記作業室を清浄化するク
リーンルームにおいて、前記作業室の上方に該作業室を
水平方向に横切って配置させ、互いに平行な一対の第１
のビームおよび該第１のビームに直交する一対の第２の
ビームと、前記第１および第２のビームに清浄空気を供
給する清浄空気供給機構とを備え、前記第１および第２
のビームに前記作業室に向って開口する複数の吹出し口
を設け、前記第１および第２のビームにより仕切られた
前記作業室の特定の場所に、前記清浄空気供給機構を通
して前記吹出し口から吹き出した清浄空気でエアカーテ
ンを形成してなるものである。

〔作用〕

」二連の構成によれば、それぞれ一対の第１および第２
のビームより仕切られた作業室の特定の場所に、清浄空
気供給機構を通して開口部から吹き出した清浄空気によ
りエアカーテンが形成される。

これにより作業室の特定の場所で発塵作業を行った場合
、他の場所に塵埃が散逸することがないので、他の場所
を汚染することがない。

〔実施例〕

以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて説明する。

本発明に係るクリーンルーム１は、直立する側壁３によ
り周囲を囲まれた四角形状の作業室２と、該作業室２に
連通して上方に配置された天井通風路４と、作業室２に
連通して下方に配置された床下通風路５と、作業室２の
側方に配置され連通孔６を通して天井通風路４に連通す
る側部ダクト８と、複数のビーム９と、清浄空気供給機
構１０とを備えている。そして側部ダクト８内に収容さ
れた送風機であるファン１１と、天井通風路４内を横切
って水平方向に配置された空気浄化要素であるフィルタ
１２との協働作用により作業室２内に清浄空気を循環供
給するようになっている。

天井通風路４内にはフィルタ１２の下方に整流格子１３
が、床下通風路５の上部にはグレーティング１５がそれ
ぞれ横断して水平方向に配置されており、整流格子１３
とグレーティング１５との協働作用により清浄空気が下
方向へ−様な流れを形成するようになっている。

ビーム９は、中空上に形成され、互いに平行な一対の第
１のビーム９Ａ、９Ｂおよび該第１のビ一ム９Ａ、９Ｂ
と直交する一対の第２のビーム９Ｄ、９Ｅとからなり、
作業室２の上方に水平方向に配置され、各ビームの両端
に直交して配置されたレール１６Ａ、１．６Ｂおよびレ
ール１６Ｄ。

１６Ｅ、ｈを下面に装着された滑車１８を介して移動す
るようになっている。レール１６Ａ、１６Ｂおよびレー
ル１．６Ｄ、１．６Ｅは、側壁３に取り付けられた取付
は台１．９にそれぞれ固定されている。

ビーム９の下面には、中空部に連通ずる下方を開口した
吹出し口である複数のノズル２０が設けられている。

清浄空気供給機構１０は、清浄空気供給ホース２１と、
ファン２２と、フィルタ２３を備えている。清浄空気供
給ホース２１は可撓性で、２１Ａ。

２１、Ｂ、２１Ｄ、２］、Ｅと４本設けられており、該
ホース２１Ａ、２１Ｂの一端は第１のビーム９Ａ、９Ｂ
に、該ホース２１０．２１Ｅの一端は第２のビーム９Ｄ
、９Ｅの各中空部に連通接続されている。清浄空気供給
ホース２１Ａ、２１Ｂおよび２１Ｄ、２１Ｅの他端は、
側壁３に配設された連結管２５Ａおよび２５Ｂに連通接
続されている。ファン２２は、２２Ａ、２２Ｂと２個側
部ダクト８内に収容されており、ファン２２Ａ、２２Ｂ
にそれぞれ取り付けられたフィルタ２３Ａ。

２３Ｂは、連結管２５Ａ、２５Ｂに連通接続されている
。

ビーム９駆動用のモータ２６は、ビーム９下面に装着さ
れており、モータ２６の回転軸２８に滑車１８が固定さ
れている。従って、モータ２６が回転すると、滑車１８
が回転し、これによりビーム９は、各レール１６上を独
立して移動する。

なお、モータ２６の回転は、図示しない制御装置により
制御される。また２９は作業用機器、３０は作業者であ
る。

つぎに、本発明の実施例の作用を説明する。

発塵作業、例えば作業者３０が作業室２内の任意の場所
３１で発塵作業を行なう際、ビーム９Ａ。

９Ｂ、９Ｄ、９Ｅを場所３１を囲む領域３２にモータ２
６により各別に移動させ、ファン２２、フィルタ２３お
よび清浄空気供給ホース２１を通してノズル２０から清
浄空気のエアジェツトを噴出させる。このエアジェツト
によりエアカーテン３５が形成される。この場合、領域
３２を囲む４個のビーム９Ａ、９Ｂ、９Ｄ、９Ｅ以外の
ノズル２０を閉塞し、エアカーテン３５を領域３２を囲
む４辺形の環とすることもできる。

以上のように、領域３２内はエアカーテン３５により囲
まれているので、領域３２内の塵埃はエアカーテン３５
外に散逸することなく、グレーティング１．５を通過し
、床下通風路５、側部ダクト８および天井通風路４を第
１図に示す矢印の方向に流れ、フィルタ１２で捕捉され
る。従って、作業室２内の他の領域を汚染することはな
い。

そして作業室２内の塵埃が十分に回収された後、ファン
２２の回転を停止させるとエアカーテン３５がなくなる
。

第５図および第６図は、ビーム９の吹出し口が長溝３６
である場合の吹出し口閉塞機構３８の一例を示したもの
である。長溝３６は、うず巻き状に形成された抜ばね３
９の先端に取り付けられた閉塞片４０を案内溝４１に沿
って移動させることにより部分的に閉塞される。

〔発明の効果〕

上述のとおり、本発明によれば、任意の場所に設けたエ
アカーテン内で発塵があっても、他の領域への汚染を防
ぐことができるので、清浄作業室内のクリーン度を常に
一定に保つことができる。

この結果、クリーン度回復に要する時間が不要となり、
作業能率を大輪に向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例に係り、第１図はエアカーテンを
備えたクリーンルームの縦断面図、第２図はビームと清
浄空気供給機構との関係を示す第１図の■−■矢視横断
面図、第３図はビームの取付は状態を示す部分正面図、
第４図は第１図のＡ部拡大図、第５図は吹出し口閉塞機
構を設けたビームの部分縦断面図、第６図は第５図に示
すものの部分斜視図である。 Ｊ。・・・クリーンルーム、　　　２・・・作業室、４
・・・天井通風路、　　　　　５・・・床下通風路、８
・・・側部ダクｌ−１９・・・ビーム、９Ａ、９Ｂ・・
・第１のビーム、 ９Ｄ、９Ｅ・・・第２のビーム、 １０・・・清浄空気供給機構、 １１・・・送風機であるファン、 １２・・・空気浄化要素であるフィルタ、２０・・・吹
出し口であるノズル、 ３５・・・エアカーテン。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）送風機と空気浄化要素により天井通風路から作業
   室に清浄空気が吹き出され、該清浄空気を床下通風路お
   よび側部ダクトを通って前記天井通風路に循環させ、前
   記作業室を清浄化するクリーンルームにおいて、前記作
   業室の上方に該作業室を水平方向に横切って配置され、
   互いに平行な一対の第１のビームおよび該第１のビーム
   に直交する一対の第２のビームと、前記第１および第２
   のビームに清浄空気を供給する清浄空気供給機構とを備
   え、前記第１および第２のビームに前記作業室に向って
   開口する複数の吹出し口を設け、前記第１および第２の
   ビームにより仕切られた前記作業室の特定の場所に、前
   記清浄空気供給機構を通して前記吹出し口から吹き出し
   た清浄空気でエアカーテンを形成してなるエアカーテン
   を備えたクリーンルーム。
2. （２）前記第１および第２のビームが、それぞれ法線方
   向に独立して移動可能である特許請求の範囲第１項記載
   のエアカーテンを備えたクリーンルーム。
3. （３）前記吹出し口が、ノズルである特許請求の範囲第
   １項記載のエアカーテンを備えたクリーンルーム。