KR20020041425A - 클린룸 및 방법 - Google Patents

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KR20020041425A
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라피사르다조셉
콜리티모씨
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존 에스. 허드슨
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Abstract

종래 클린룸에서의 높인 플로어가 가지는 문제점을 피하는 클린룸은 설비가 직접 위치될 수 있는 다공 플로어를 사용한다. 다공 플로어는 공기가 아래에 위치하는 설비룸으로 통과할 수 있는 규칙 배열의 구멍을 포함한다. 구멍은 공기가 통과할 수 있는 그레이트에 의해 커버된다. 결합하여, 다공 플로어와 그레이트는 그 위의 임의의 위치에서 설비를 지지할 수 있다.

Description

클린룸 및 방법 {CLEAN ROOM AND METHOD}
클린룸은 전자 산업, 및 상품의 제조 또는 시험 동안에 청정 무입자 환경 (clean, particle-free environment) 이 필요한 다른 산업에서 폭넓게 사용되고 있다. 클린룸은 클린룸내 표준량의 공기에서 검출된 주어진 표준 사이즈를 갖는 입자의 개수에 의해 등급이 정해진다. 이런 등급 시스템에 따르면, "클래스 10" 클린룸은 "클래스 100" 클린룸의 입자수의 1/10 만을 갖는다. 유사하게, "클래스 1" 클린룸은 "클래스 10" 클린룸의 입자수의 1/10 만을 갖는다. 룸내에 분포되는 많은 공기 변화에 의해 클린룸내의 적은 입자수가 달성된다. 공기는 룸을 통하여, 일반적으로 층류형 (laminar form) 으로, 그리고 천장으로부터 플로어, 또는 플로어 근처에 위치하는 벤트 (vent) 로 하향으로 흐른다. 공기 변화는 룸으로부터 입자 물질을 세척한다. 다른 것들이 동일할 때, 공기변화의 회수가 증가할수록 룸내의 입자수는 감소한다. 예를 들어, "클래스 1" 클린룸은 일반적으로 시간당 450 번 이상의 공기변화를 요구한다.
일반적으로, 클린룸내의 공기는 천장에 위치하는 필터를 통하여 룸으로 유입하고, 룸을 통과하여 룸의 내용물을 세척하고, 높인 클린룸 플로어 (raised clean room floor) 의 구멍 또는 벤트를 통하여 건물의 높인 플로어와 구조 플로어간에 형성된 플리넘 (plenum) 으로 유출한다. 그 후, 공기는 재순환되어, 다시 천장 필터를 통과하여 룸으로 유입한다.
종래 클린룸은 모두 높인 클린룸 플로어를 사용해왔다. 일반적으로 다공인, 높인 클린룸 플로어는 대 또는 복수의 대 (pedestal) 상에서 지지된다. 일반적으로, 대는 높인 플로어상에 위치할 장비를 위해 설계된 특별히 조립된 구조물이다. 높인 플로어 자체는 장비 무게를 지지하기에 불충분하다. 필요한 대는 대부분 매우 고가이며, 때때로 총장비 비용의 큰 퍼센티지에 해당하는 가격을 가진다. 높인 플로어는 복귀 공기 플리넘 (return air plenum) 을 형성하고, 설비를 시설하는 방법을 제공하기 위해 필요하다. 전력라인, 화학라인, 배기구, 드레인 등은 높인 플로어를 통과하여, 높인 플로어 아래에서 설비 영역으로 연장한다. 또한, 높인 클린룸 플로어를 널리 사용하는 다른 이유는, 클린룸에 위치하는 장비에 의해 발생하는 진동을 억제하려는 요구와 필요성 때문이다. 클린룸에서 행해지는 많은 처리는 무입자 환경뿐만 아니라 무진동 환경을 요구한다. 높인 플로어, 및 높인 플로어가 지지되는 플랫폼은 밑에 있는 구조 플로어에 의해 전파될 수 있는 진동을 완화시킨다. 슬라브가 진동에 대한 도관 (conduit) 일 수 있기 때문에, 콘크리트 슬라브 플로어는 클린룸 환경에 대해 만족스럽지 못하다.
높인 클린룸 플로어를 지지하기 위해 사용되야 하는 맞춤제작된 대(pedestal) 의 비용외에도, 이러한 플로어에 대해서 여러가지 다른 중요한 단점이 있다. 높인 플로어는 그 자체로는 클린룸에 위치할 수 있는 장비의 무게를 지지할 수 없기 때문에, 높인 플로어는 장비가 클린룸으로 이동할 때도 그 장비의 무게를 지지할 수 없다. 이는 장비가 클린룸으로 이동할 때나 클린룸 주위에서 이동할 때, 높인 플로어를 해체할 필요성을 유발한다. 플로어가 해체되고, 장비가 클린룸으로 이동하여 실질적으로 그것의 최종 위치에서 높인 플로어의 일부분에 놓여진 후, 높인 플로어의 나머지 부분은 재조립된다. 이러한 작업은, 장비가 클린룸으로 이동하거나 클린룸 주위에서 이동할 때, 클린룸의 청결을 손상시키게 된다. 또한, 제거될 높인 플로어 일부분 아래에 위치할 수 있는 임의의 설비라인 (facility line) 은 장비의 이동에 의해 방해될 수 있다. 이런 어려움때문에, 상대적으로 작거나 구분된 클린룸들을 구축하여, 작은 영역만이 임의의 이동처리에 의해 오염되게 하는 것이 일반적이다. 물론, 이는 처리되는 물질이 이들 개별 구분 클린룸으로 또는 클린룸으로부터 이동하여야 하기 때문에, 물질 흐름에 대하여 불리하게 된다.
종래 클린룸 설계에서, 이런 문제점과 다른 문제점들을 고려할 때, 높인 플로어 클린룸보다 저가인 클린룸에 대한 필요가 인식되어왔다. 또한, 클린룸에 위치하는 장비를 시설하기 위하여 비침입 클린룸 기능 (non-intrusive clean room practice) 을 가능하게 하는 클린룸에 대한 필요가 있다. 또한, 장비를 위해 맞춤제작된 고가의 대를 요구하지 않고, 클린룸 내 어디든 장비를 위치시킬 수 있게 하는 클린룸에 대한 필요가 있다. 또한, 클린룸의 본래상태를 손상시키지않고 장비가 이동되고 재배치될 수 있는 클린룸에 대한 필요가 있다. 또한, 영역이 크고 임의로 확장 가능한 클린룸에 대한 필요가 있다.
일반적으로, 본 발명은 클린룸에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 클린룸용 플로어 및 클린룸을 설치하는 방법에 관한 것이다.
도 1 은 본 발명의 일실시형태에 따른 다공 클린룸 플로어의 평면도이다.
도 2 는 본 발명에 따른 클린룸 플로어의 단면도이다.
도 3 은 클린룸 설비의 일부분의 단면도이다.
도 4 와 5 는 본 발명의 일실시형태에 따른 그레이트, 및 다공 플로어에 설치하는 방법을 도시한다.
도 6 은 본 발명에 따른 클린룸 설비의 단면도이다.
본 발명의 일실시형태에 따르면, 플로어 위의 임의의 위치에서 장비를 지지할 수 있는 베어링 플로어 (bearing floor) 를 갖는 클린룸이 제공된다. 베어링 플로어는 사실상 클린룸의 연장인 설비룸위에 위치한다. 베어링 플로어는, 공기가 클린룸으로부터 밑에 있는 설비룸으로 흐를 수 있게 하는 규칙 배열의 구멍 (opening) 을 갖는다. 베어링 플로어 상에는, 벽구조물 (wall structure) 은 베어링 플로어의 선택 영역을 포위하도록위치한다. 복수의 필터형 공기 인렛 (filtered air inlet) 을 갖는 천장이 베어링 플로어 위에, 그리고 벽 구조물의 상단과 접촉하여 제공된다. 복수의 그레이트 (grate) 가 벽에 의해 구속된 선택영역내에 위치하는 규칙배열의 플로어 구멍에 위치하고, 공기 불침투성 솔리드 부재 (solid, air impervious member) 는 선택 영역외부에 위치하는 규칙 배열의 플로어 구멍에 위치한다. 그레이트로 공기 불침투성 부재를 바꿈으로써 또는 그역으로 클린룸의 영역이 확장되거나 감소될 수 있다. 바람직하게는, 필터형 공기 인렛의 위치나 개수도 클린룸 플로어 내의 그레이트가 삽입된 구멍의 개수에 대응하도록 조절될 수 있다.
도 1 은 본 발명에 따른 클린룸 플로어 (20) 의 평면도이다. 도 2 는 플로어 (20) 를 통해 취한 단면도이고, 도 3 은 플로어 (20) 와 그 하위 구조물 (substructure) 을 통해 취한 다른 단면도이다.
본 발명의 일실시형태에 따르면, 도 1-3 에 도시한 바와 같이, 플로어 (20) 는 플로어의 두께를 통해 연장하는 복수의 구멍 (22) 을 갖는 포어드 인 플래이스 콘크리트 플로어 (poured in place concrete floor) 이다. 바람직하게는, 복수의 구멍 (22) 은 규칙 배열로서 정열된다. 예를 들어, 구멍은 구멍간에 2 피트 간격과 2 피트 측면적을 갖는 정방형 구멍일 수 있다. 이하 설명하는 바와 같이, 각 구멍은 구멍에 삽입된 커버 (24) 를 가지며, 커버 상단은 솔리드 플로어의 상단과 동일평면이다. 커버는 클린룸 플로어내의 위치에 따라서, 그레이트 또는 공기 불침투성 커버중의 하나로 구성된다. 플로어 (20) 는 룸 (30) 위에 위치하도록 조립된다. 바람직하게는, 룸 (30) 은 하위 지하실이다. 바람직하게는, 룸 (30) 은 클린룸에서 사용되는 장비에 의해 사용될 설비를 수용하는 데 사용될 수 있다. 따라서, 룸 (30) 은 여기서 설비룸이라 한다. 룸 (30) 은, 도 3 에 도시된 바와 같이, 베어링 측벽 (32) 및 지지 콘크리트 플로어 (34) 를 포함한다. 복수의 지지 필라 (supporting pillar; 36) 는 콘크리트 슬라브 플로어 (34) 로부터 상향으로 연장한다. 복수의 빔 (38) 이 설비룸 (30) 에 분포되고, 복수의 기둥 (column; 36) 에 의해 지지된다. 차례로, 지지빔 (38) 은 다공 클린룸 플로어 (20) 를 지지한다. 바람직하게는, 설비룸 플로어 (34), 벽 (32), 지지 필라 (36), 빔 (38), 및 플로어 (20) 는 강화 콘크리트 (reinforced concrete) 로 구성된다. 콘크리트의 성분, 및 강화를 위해 사용된 리바 (rebar) 의 크기와 양은 클린룸에서 사용될 장비의 무게를 지지할 수 있게 표준 구조 계산에 따라서 결정된다. 물론, 음향 기술 방법은 클린룸에서 실제로 사용되는 무게보다 더 큰 무게를 지지하도록 구조물이 과설계될 것을 지시한다.
클린룸 플로어의 구멍 (22) 에 삽입된 커버 (24) 중의 하나로 사용될 바람직한 그레이트 구조물 (50) 이 도 4 에 도시된다. 도 5 는 그런 그레이트가 플로어 (20) 에서 어떻게 제위치에 고정되는지를 도시한다. 그레이트 (50) 는 메쉬톱 (mesh top; 52), 및 메쉬톱의 2 개 이상의 측면으로부터 하향으로 연장하는 에이프런 (apron; 54) 을 포함한다. 슬롯 (56) 이 에이프런에 제공되어, 아래서 설명하는 바와 같이, 구멍 (22) 내에서 그레이트의 조절가능한 부착 (adjustable attachment) 을 가능하게 한다. 그레이트는 구조적으로 솔리드한 임의의 물질로 제조될 수 있다. 바람직하게는, 그레이트는 스테인리스 스틸과 같은 금속으로 제조될 수 있다. 메쉬톱은 메쉬톱을 통한 자유로운 공기흐름을 제공하고 동시에 구조적인 강도를 제공하도록 설계된다. 본 발명의 일실시형태에 따르면, 메시톱은 스레인리스 스틸로 제조되고, 1 인치 대 4 인치의 구멍을 갖는다. 바람직하게는, 메쉬톱은 높이가 약 1.5 - 2 인치이고, 바람직하게, 에이프런은 높이가 약 4 - 5 인치이다.
플로어 (20) 의 단면의 일부분을 도시하는 도 5 는 구멍 (22) 내에 그레이트를 부착하는 바람직한 방법을 나타낸다. 콘크리트 플로어 (20) 의 주입 (pouring) 동안에, 페룰 루프 (60; ferrule loop) 가 플로어 (20) 의 솔리드 부분 (21) 에 삽입된다. 바람직하게는, 4 개의 페룰 루프가 구멍 (22) 각각의 벽에 삽입되고, 각각 2 개씩 구멍의 마주보는 면에 위치한다. 페룰 루프는 그레이트내의 슬롯 (56) 과 정렬되도록 위치한다. 페룰 루프는 루프부가 콘크리트 물질내에서 우수한 고정 메카니즘 (anchoring mechanism) 을 제공하기 때문에 사용된다. 콘크리트로부터 연장해나가는 페룰루프의 끝단은 볼트 (62) 를 수용하도록 나사형이 된다. 그레이트는 구멍에 위치되어, 에이프런 (54) 의 슬롯 (56) 은 페룰루프 (60) 의 나사형 끝단 위에 위치한다. 볼트 (62) 가 페룰루프로 나사결합되고, 그레이트의 높이는 콘크리트 (21) 의 표면과 실질적으로 동일평면이 되도록 조절되고, 볼트는 에이프런을 고정하도록 타이트닝되어서, 그레이트는 이런 식으로 정렬된 위치에서 견고하게 고정되게 된다.
도 6 에서는, 본 발명에 따른 클린룸 설비를 더 도시한다. 이 도면에서, 클린룸 설비는 수직 단면을 따라서 도시된다. 클린룸 설비는 앞에서 설명한 것과 같은 설비룸 (30) 을 포함한다. 설비룸 위에 위치하는 것은 다공 플로어 (20) 이다. 수직벽 (70) 은 다공 플로어 (20) 의 영역을 포위한다. 벽 (70) 에 의해 포위된 다공 플로어의 영역은 다공 플로어 전부를 포함하거나, 다른방법으로는 플로어의 일부만을 포함하여 플로어의 제 2 부분을 벽 (70) 의 외부에 남겨둔다. 천장 (80) 은 다공 플로어 (20) 위에 위치하여, 벽 (70) 에 의해 포위된 다공 플로어의 일부분을 포함한다. 에어 타이트 실 (air tight seal) 이 벽 (70) 과 천장 (80) 사이에 형성되고, 또한 벽 (70) 과 다공 플로어 (20) 사이에도 형성된다. 따라서, 벽 (70), 천장 (80) 의 일부분, 다공 플로어 (20) 의 일부분은 클린룸 (90)을 구성하는 체적을 포위하게 된다. 천장 (80) 은 복수의 필터형 공기 인렛 (82) 을 포함한다. 필터형 공기 인렛 (82) 은 벽의 외부 영역에 대하여 갖는 밀도보다 클린룸 (90) 에 대하여 더 큰 밀도를 가진다. 또한, 벽 (70) 에 의해 구속된 영역 내에 위치하고 플로어 (20) 를 통하는 구멍 (22) 은 그레이트 (50) 에 의해 커버된다. 클린룸의 외부에 위치하고 플로어 (20) 를 통하는 다수의 구멍 (22) 은, 공기 불침투성 커버 (53) 에 의해 커버된다.
또한, 클린룸 설비를 통한 공기 순환이 도 6 에 도시된다. 공기는 화살표 (84) 로 나타낸 바와 같이 필터형 공기 인렛 (82) 을 통하여 클린룸 (90) 으로 유입한다. 필터링된 공기는 클린룸 (90) 을 통과하고, 화살표 (86) 로 나타낸 바와 같이, 구멍 (22) 을 통하여 설비룸 (30) 으로 배기된다. 그후, 공기는 공기 플리넘 (88) 을 통하여 설비룸 (30) 으로부터 배기된다. 송풍기 (92; blower) 는 공기를 천장 (80) 위에 위치하는 다른 플리넘 (94) 으로 공기를 전달한다. 그후, 공기는 다시 필터링되고, 필터링된 공기 인렛 (82) 을 통하여 주입된다. 이런식으로, 클린룸 (90) 내에서의 반복되는 공기 변화가 클린룸으로부터 입자 물질을 세척한다. 클린룸 (90) 에서의 공기변화의 횟수는 송풍기(92), 공기 인렛 (82) 의 개수, 및 공기가 설비룸 (30) 으로 배기되는 구멍 (22) 의 개수에 의해 공기가 순환되는 공기의 속도의 함수이다. 벽 (70) 외부의 영역에서 필터형 공기 인렛의 낮은 밀도로 인하여, 그리고 공기가 배기될 수 있는 구멍 (22) 의 더 적은 개수로 인하여, 클린룸 (90) 외부의 입자수는 클린룸내의 입자수보다 커지게 된다.
도 6 에 나타낸 개념은 종래 클린룸에 대하여 매주 중요한 이점을 갖는다. 최초에, 상대적으로 대형인 다공 플로어 (20) 가 상대적으로 대형인 설비룸 (30) 에 대하여 조립될 수 있다. 따라서, 임시벽 (70) 이 플로어 (20) 상에 조립되어, 플로어 (20) 전부까지의, 그리고 클린룸을 포함하는 희망 사이즈의 클린룸을 조립한다. 클린룸 (90) 의 사이즈를 변화시키는 것은 벽 (70) 이 이동하고, 구멍 (22) 상의 커버링 (covering) 이 공기 불침투성에서 그레이트로 또는 그역으로 변화하고, 천장 타일이 고밀도 필터형 공기 인렛의 영역을 증가 또는 감소시키도록 할 것만을 요구한다.
플로어 (20) 는 로드 베어링 플로어 (load bearing floor) 가 되도록 설계되고 조립된다. 플로어는, 클린룸 사이즈에 상관없이 클린룸 (90) 내의 임의의 위치에서 다공 플로어상에 장비가 직접 위치할 수 있도록 설계된다. 장비는 다공 플로어의 임의의 위치에 위치하고 지지되므로, 장비는 의지에 따라서 클린룸으로 이동하고, 클린룸으로부터 이동할 수 있으며, 클린룸내에서 임의의 위치에 위치할 수 있다. 클린룸 (90) 으로 또는 클린룸 주위에서 장비를 이동시키는 것은 높인 플로어의 해체를 요구하지 않고, 또한 장비가 놓여지는 고가의 지지 플랫폼의조립 또는 이동도 요구하지 않는다. 장비는, 클린룸의 청결을 손상시키지 않고, 에어 팔레트 (air palette) 상에서 클린룸 (90) 으로 또는 클린룸으로부터 용이하게 이동할 수 있다. 에어 팔레트가 그레이트 위를 통과하는 동안 임시 방법으로, 플로어 그레이트 위에 플라스틱 또는 금속 박막과 같은 공기 불침투성 물질의 얇은 시트를 위치시킴으로써, 에어 팔레트는 다공 플로어를 가로질러 용이하게 이동할 수 있다.
또한, 가스라인, 화학라인, 파워라인 등과 같은 모든 설비라인은 장비로부터 최인접 구멍 (22) 을 통하여 아래의 설비룸으로 라우팅된다. 이는 설비라인이 높인 플로어 밑바닥에서 라우팅되는 종래 높인 플로어 클린룸에 대하여 반대의 경우이다. 따라서, 본 발명에 따르면, 설비라인은 플로어를 가로질러 라우트될 필요가 없고, 따라서 플로어를 가로지르는 장비의 이동을 방해할 필요도 없다.
본 발명에 따른 클린룸을 조립하는 바람직한 방법은 다음과 같이 구성된다. 우선, 설비룸 (30) 은 전자 산업 및 다른 유사 산업용의 제조 설비를 설치하는 데 활용되는 보통의 조립 방법에 따라서 구성된다. 바람직하게는, 설비룸 (30) 이 하위로 조립되고, 설비룸의 벽이 실제 기초 (footing) 상에 푸어드 콘크리트 구성 (poured concrete construct) 되어, 지상의 진동을 최소화한다. 그후, 지지 필라 (36) 와 빔 (38) 이 의도한 로드를 지지하기 위해 필요한 사이즈와 강화에 대해 수행된, 앞에서 설명한 바와 같은, 계산에 따라서 세워진다. 이런 방식으로 적절하게 설계될 때, 빔위에 위치하도록 조립될 수 있는 다공 플로어는 지지 필라의 패턴과 빔을 반복하여 사실상 임의의 사이즈까지 확장될 수 있다. 따라서, 이러한 방식으로 임의의 희망 사이즈의 클린룸이 조립될 수 있다.
지지 필라 및 빔이 위치된 후에, 임시틀 (temporary form) 이 빔위에 세워진다. 바람직한 실시형태에 따르면, 다공 플로어용 콘크리트 틀은 플로어내의 구멍에 대한 희망 사이즈를 갖는 규칙 배열의 목재 박스를 포함한다. 예를 들어, 이러한 목재 박스는 합판으로 제조될 수 있고, 콘크리트틀 상에서 지지되거나 콘크리트틀과 일체가 될 수 있다. 페룰 루프 (60) 가 플로어 그레이트 (50) 의 최종적인 부착을 위해 목재 박스에 부착된다. 위치한 목재 박스를 포함하는 틀, 및 위치된 적절한 양의 강화 막대로, 다공 콘크리트 플로어는 목재 박스의 배열의 상단과 실질적으로 동일평면인 깊이까지 주입된다. 콘크리트가 응고된 후에, 페룰 루프는 콘크리트 플로어를 통하는 구멍의 모서리에 위치시킨채로 남겨두고, 목재 박스는 부서져서 제거된다. 클린룸 영역으로서 바로 사용하려는 의도가 아닌 영역에서, 임시 공기 불침투성 캡이 구멍 (22) 에 위치할 수 있다. 예를 들어, 공기 불침투성 캡을 형성하는 1 가지 방법은 그레이트를 수용할 의도가 아닌 구멍 각각에 약 4 인치의 콘크리트를 주입한다. 클린룸이 나중에 확장될 때, 4 인치의 콘크리트는 용이하게 제거될 수 있다. 그러나, 제거될 때까지는, 4 인치의 콘크리트는 푸트 트래픽 (foot traffic) 과 임의의 장비가 이동할 수 있는 안전한 플로어를 제공하기에 적합하다. 다른 방법으로는, 임시 공기 불침투성 캡이 최초에 그레이트를 수용할 의도가 아닌 구멍에 위치할 수 있다. 임시캡은 콘크리트와 솔리드 금속(solid piece of metal) 등으로 제조될 수 있다. 또한, 이들 캡은 페룰 루프에 부착될 수 있다.
제조 분야에서 콘크리트 솔리드 플로어가 갖는 문제는 진동이 콘크리트 슬라브를 따라서 전파하는 경향이 있다는 것이다. 따라서, 1 개의 장비에 의해 생성된 진동은 인접 장비들의 성능에 부정적인 영향을 미칠 수 있다. 그러나, 본 발명에 따른 다공 플로어는 진동이 용이하게 전파하는 문제점을 갖지 않는다. 대신에, 본 발명에 따른 다공 플로어는 진동을 완화시키도록 기능한다.
도면에는 도시하지 않았지만, 본 발명의 다른 실시형태는 금속 그레이트 (50) 에 조절 가능한 루버 (louver) 를 결합하는 것을 포함한다. 이러한 조절 가능한 루버는 클린룸 설비를 통한 공기 흐름의 조절을 가능하게 한다.
따라서, 본 발명은 종래 기술의 단점을 극복할 수 있는 클린룸 설비 및 그 제조방법을 제공한다. 본 발명이 특정한 예시적인 실시형태에 관하여 설명하고 기술되었지만, 본 발명은 이들 예시적인 실시형태에만 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 다른 건축재료 및 면적이 앞에 주어진 특정예에서 설명한 것들을 대체할 수 있다. 예를 들어, 플로어를 통하는 구멍의 사이즈 및 간격은 특정한 클린룸 레이아웃 또는 특정한 장비를 수용하도록 변화될 수 있다. 마찬가지로, 다른 형상 및 형태의 그레이트도 사용될 수 있다. 따라서, 첨부된 청구의 범위내에 해당하는 모든 변형 및 수정을 본 발명으로 포함할 수 있다.

Claims (54)

  1. 콘트리트 슬래브 플로어를 갖는 설비룸;
    상기 슬래브 플로어 위로 연장하는 복수의 지지 필라;
    상기 필라에 의해 지지되는 복수의 빔;
    상기 플로어 위에 위치하는 클린룸으로부터 상기 플로어 아래에 위치하는 상기 설비룸으로의 공기 흐름을 가능하게 하는 복수의 구멍을 갖는 포어드인 플래이스 베어링 솔리드 플로어; 및
    상기 구멍에 위치하는 복수의 그레이트를 포함하고,
    상기 플로어는 임의의 위치에서 장비를 지지할 수 있는 것을 특징으로 하는 클린룸용 플로어링 구조물.
  2. 설비룸;
    상기 설비룸 위에 위치하고 임의의 위치에서 장비를 지지할 수 있는 베어링 플로어;
    공기 흐름이 상기 설비룸으로 통과할 수 있는 상기 베어링 플로어내의 규칙 배열의 구멍들;
    상기 베어링 플로어상의 선택 영역을 포위하도록 상기 베어링 플로어상에 위치하는 벽구조물;
    복수의 필터형 공기 인렛을 가지는, 상기 벽구조물 위의 천장; 및
    상기 선택 영역 내에 위치하는 상기 규칙 배열의 구멍들의 일부분에 위치하는 복수의 그레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 설비.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 선택 영역의 외부에 위치하는 상기 규칙 배열의 구멍들의 제 2 부분에 위치하는 복수의 공기 불침투성 솔리드 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 설비.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 공기 불침투성 솔리드 부재는 주입된 콘크리트를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 설비.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 공기 불침투성 솔리드 부재는 상기 베어링 플로어의 상부 표면과 실질적으로 동일평면인 상단면을 갖는 것을 특징으로 하는 클린룸 설비.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 천장은, 상기 선택 영역 위의 상기 천정의 일부분에 제 1 밀도의 필터형 공기 인렛을 포함하고, 상기 선택 영역 외부의 영역 위의 상기 천장의 일부분에 상기 제 1 밀도보다 낮은 밀도의 필터형 공기 인렛을 포함하는 것을 특징으로 하는클린룸 설비.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 벽구조물은 상기 선택 영역의 사이즈를 변화시키도록 재배치될 수 있는 것을 특징으로 하는 클린룸 설비.
  8. 제 2 항에 있어서,
    상기 구멍들 중에서 선택된 구멍들은 상기 베어링 플로어상에 위치하는 설비와 상기 설비룸간에 설비 라인의 라우팅을 위하여 선택될 수 있는 것을 특징으로 하는 클린룸 설비.
  9. 제 2 항에 있어서,
    공기 흐름이 상기 제 1 밀도의 필터형 공기 인렛을 통하고, 상기 복수의 그레이트를 통하여, 상기 설비룸으로 인입하도록 할 수 있는 공기 순환 장비를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 설비.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 설비룸은 상기 공기 순환 장비로의 상기 공기의 재순환을 위한 플리넘인 것을 특징으로 하는 클린룸 설비.
  11. 제 2 항에 있어서,
    상기 복수의 그레이트는 공기의 제어를 위해 조절가능한 루버를 포함하는 금속 그레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 설비.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 복수의 그레이트는 상기 베어링 플로어의 상단면에 대하여 상기 그레이트의 높이를 조절하는 조절 메카니즘을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 설비.
  13. 구조적으로 솔리드한 플로어를 갖는 제 1 룸을 조립하는 단계;
    상기 솔리드 플로어 위로 연장하는 복수의 지지 필라를 형성하는 단계;
    상기 지지 필라에 배치되는 복수의 빔을 제공하는 단계;
    상기 빔위에 위치하는 콘크리트 플로어의 주입을 위한 콘크리트틀을 제공하는 단계;
    상기 빔위에 위치하는 콘크리트 플로어를 주입하는 단계;
    규칙 배열의 구멍을 갖는 콘크리트 플로어를 남기도록 분리가능한 박스를 제거하는 단계;
    상기 콘크리트 플로어상의 상기 영역을 포위하는 벽을 세우는 단계;
    상기 콘크리트 플로어위에 위치하는 천장을 조립하는 단계; 및
    상기 필터형 공기 인렛을 통하고, 상기 복수의 구멍을 통하여, 상기 제 1 룸으로, 그리고 다시 상기 필터형 공기 인렛으로, 공기를 순환시키는 공기 재순환 시스템을 제공하는 단계를 포함하며,
    상기 지지 필라와 상기 빔은 상기 클린룸 설비에 설치될 장비에 대하여 저진동 환경을 제공하도록 설계되며,
    상기 틀은 상기 틀의 표면으로부터 직립하는 규칙 배열의 분해가능한 박스를 포함하고,
    상기 콘크리트 플로어의 상부 표면은 상기 분리가능한 박스의 상부 표면과 실질적으로 동일평면이고,
    상기 천장은 복수의 필터형 공기 인렛을 가지며, 상기 벽에 에어 타이트 실 (air tight seal) 을 형성하는 것을 특징으로 하는 클린룸 설비를 조립하는 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 영역의 외부에 위치하는 상기 배열의 구멍의 일부분에 대하여 임시 솔리드 커버를 제공하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 임시 솔리드 커버를 제공하는 상기 단계는 콘크리트 커버를 주입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제 13 항에 있어서,
    상기 영역 내부에 위치하는 상기 배열의 구멍의 제 2 부분으로 그레이트를 삽입하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 삽입하는 단계는, 복수의 페룰 루프를 상기 구멍의 벽에 걸고, 그레이트를 상기 페룰 루프에 볼트 결합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  18. 제 13 항에 있어서,
    천장을 조립하는 상기 단계는, 상기 영역 위에 위치하는 제 1 밀도의 필터형 공기 인렛를 제공하는 단계, 및 상기 영역 외부의 상기 플로어의 일부분 위에 위치하는 더 낮은 제 2 밀도의 필터형 공기 인렛을 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  19. 제 13 항에 있어서,
    상기 규칙 배열의 구멍중의 선택 구멍들을 통하여 상기 제 1 룸으로부터 상기 콘크리트 플로어위의 위치들로 설비를 라우팅하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  20. 포위된 공간;
    제 1 클린 부분과 제 2 설비 부분으로 포위된 공간을 분할하는 베어링 플로어;
    공기가 제 1 클린 부분으로부터 제 2 설비 부분으로 통과할 수 있는 베어링 플로어내의 복수의 기공 (aperture);
    청정 공기 (clean air) 를 제 1 클린 부분으로 도입할 수 있는 필터형 공기 인렛; 및
    제 2 설비 부분로부터 필터형 공기 인입구를 통하여 제 1 클린 부분으로 공기를 순환시킬 수 있는 공기 핸들러 (air handler) 를 포함하되,
    상기 베어링 플로어는 임의의 위치에서 처리 장비를 지지할 수 있는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  21. 제 20 항에 있어서,
    베어링 플로어는 강화 콘크리트를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  22. 제 21 항에 있어서,
    베어링 플로어는 포어드인 플래이스 강화 콘크리트 (poured in place reinforced concrete) 를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  23. 제 20 항에 있어서,
    기공 내에 위치하고, 제 1 클린 부분으로부터 제 2 설비 부분으로의 공기의 통과를 가능하게 하는 그레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  24. 제 23 항에 있어서,
    그레이트는 베어링 플로어의 상부 표면과 실질적으로 동일평면인 상부 표면을 갖는 금속 설비 (metal fixture) 를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  25. 제 20 항에 있어서,
    포위된 공간은 베어링 플로어, 천장, 및 베어링 플로어로부터 천장으로 연장하는 임시 벽구조물에 의해 구속되는 체적을 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  26. 제 25 항에 있어서,
    임시벽 구조물은 제 1 클린 부분의 선택 부분을 분할하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  27. 제 26 항에 있어서,
    필터형 공기 인렛은 천장에 복수의 기공을 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  28. 제 27 항에 있어서,
    천장의 복수의 기공은, 제 1 클린부분의 선택 부분에서 선택 부분의 외부의 밀도와 비교하여 더 큰 밀도를 갖는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  29. 제 27 항에 있어서,
    베어링 플로어내의 복수의 구멍은, 제 1 클린 부분의 선택 부분에서 선택 부분의 외부의 밀도에 비교하여 더 큰 밀도를 갖는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  30. 임의의 위치에서 처리 장비를 지지할 수 있는 베어링 클린룸 플로어를 제공하는 단계;
    처리 장비를 베어링 클린룸 플로어를 가로질러 소정의 위치로 운송하는 단계; 및
    소정의 위치에서 베어링 클린룸 플로어상에 처리 장비를 직접 위치시키는 단계를 포함하고,
    상기 베어링 플로어는 클린룸으로부터 클린룸 바로 아래의 공간으로 공기를 배기시킬 수 있는 복수의 구멍을 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸을 시설하는 방법.
  31. 제 30 항에 있어서,
    상기 운송 단계는 처리 장비를 공기 파레트 상에서 운송하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  32. 제 30 항에 있어서,
    상기 운송 단계는 복수의 구멍 중의 하나 이상의 구멍을 가로질러 처리 장비를 운송하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  33. 제 32 항에 있어서,
    상기 운송 단계는 구멍위에 실질적으로 공기 불침투성 물질을 위치시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  34. 제 33 항에 있어서,
    상기 운송 단계는 구멍 위에 금속 또는 플라스틱을 포함하는 얇은 시트를 위치시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  35. 제 30 항에 있어서,
    처리 장비로부터 복수의 구멍 중의 하나를 통하여 클린룸 아래의 공간으로 설비라인을 라우팅하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  36. 제 30 항에 있어서,
    상기 운송 단계는 베어링 클린룸 플로어를 해체하지 않고 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
  37. 복수의 구멍을 갖고, 임의의 위치에서 장비를 지지할 수 있는 베어링 클린룸플로어를 제공하는 단계;
    플로어 위에 위치하고, 그 안에 복수의 필터형 공기 인렛을 갖는 클린룸 천장을 제공하는 단계;
    복수의 필터형 공기 인렛을 통하여 클린룸으로 공기를 도입하는 단계;
    클린룸을 통하여 공기를 통과시키고, 플로어내의 복수의 구멍을 통하여 클린룸으로부터 공기를 빼내는 단계;
    클린룸 플로어 아래의 플리넘으로 빼내진 공기를 복수의 구멍을 통하여 통과시키는 단계;
    플리넘으로부터 복귀 공기 덕트를 통하여 공기를 빼내는 단계; 및
    플리넘으로부터 빼내진 공기를 필터형 공기 인렛으로 복귀시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 필터링된 공기를 클린룸에 제공하는 방법.
  38. 플로어 및 상기 플로어를 포위하는 벽구조물에 의해 한정되는 제 1 룸;
    복수의 구멍을 갖는 플로어 및 상기 플로어를 포위하는 벽 구조물에 의해 한정되고, 상기 제 1 룸위에 위치하는 제 2 룸;
    상기 제 2 룸 위에 위치하는 복수의 필터형 공기 인렛을 갖는 천장; 및
    공기를 상기 필터형 공기 인렛으로 복귀시키기 위한 상기 제 1 룸의 외주 근처에 위치하는 하나 이상의 공기 플리넘을 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  39. 제 38 항에 있어서,
    상기 제 2 룸의 플로어는 로드 베어링 콘크리트 플로어를 포함하는 것을 특징으로 클린룸.
  40. 제 38 항에 있어서,
    상기 제 2 룸의 플로어는,임의의 위치에서 설비를 지지할 수 있는 포어드인 플래이스 베어링 솔리드 플로어를 포함하고, 상기 복수의 구멍은 하나 이상의 그레이트 또는 그 안에 위치하는 공기 불침투성 솔리드 부재를 갖는 규칙 배열의 구멍을 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  41. 제 40 항에 있어서,
    상기 그레이트 및 상기 공기 불침투성 솔리드 부재는 제거가능하여 상기 제 2 룸의 플로어에서 복수의 구멍을 변화시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  42. 제 40 항에 있어서,
    상기 공기 불침투성 솔리드 부재는 콘크리트를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  43. 제 40 항에 있어서,
    상기 공기 불침투성 솔리드 부재의 각각의 상단면은 상기 제 2 룸 플로어의 상부 표면과 실질적으로 동일평면인 것을 특징으로 하는 클린룸.
  44. 제 40 항에 있어서,
    상기 그레이트 각각은 상기 그레이트의 각각을 통한 공기 흐름을 조절하는 루버를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  45. 제 38 항에 있어서,
    제 2 룸 내에 위치하는 장비에 의해 사용되는 설비는 제 1 룸내에 수용되는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  46. 제 45 항에 있어서,
    설비를 장비에 접속시키는 라인은 상기 제 2 룸의 플로어내의 복수의 구멍을 통하여 라우팅되는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  47. 제 38 항에 있어서,
    상기 제 1 룸의 플로어로부터 상기 제 2 룸의 플로어로 연장하는 복수의 지지 필라를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  48. 제 47 항에 있어서,
    상기 복수의 지지 필라에 의해 지지되고, 상기 제 2 룸의 플로어 아래에 위치하는 복수의 빔을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  49. 제 38 항에 있어서,
    상기 제 2 룸내에 위치하는 벽구조물을 더 포함하여 상기 제 2 룸과 동일한 플로어 및 천정을 갖는 추가적인 룸을 형성하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  50. 제 38 항에 있어서,
    상기 복수의 필터형 공기 인렛은 상기 천정의 표면 영역내에 위치되는 다양한 밀도의 필터형 공기 인렛을 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  51. 제 38 항에 있어서,
    공기 흐름을 상기 천장내의 상기 필터형 공기 인렛을 통하고, 상기 제 2 룸의 플로어의 복수의 구멍을 통하여, 상기 필터형 공기 인렛으로의 복귀를 위한 상기 하나 이상의 공기 플리넘으로 보내는 하나 이상의 송풍기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  52. 제 38 항에 있어서,
    상기 천장 위에 위치하는 공기 플리넘을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  53. 제 45 항에 있어서,
    상기 제 1 룸은 상기 제 2 룸의 플로어 아래에 위치하는 공기 플리넘으로서 기능하는 것을 특징으로 하는 클린룸.
  54. 공기 불침투성 솔리드 플로어를 갖고 그 안에 수용된 설비를 갖는 설비룸;
    그 위에 위치하고 상기 설비룸을 위한 천장으로서 기능하는 로드 베어링 솔리드 플로어; 및
    상기 복수의 구멍들의 각각에 위치하는 그레이트, 또는 공기 불침투성 솔리드 요소 중의 하나 이상을 포함하고,
    상기 로드 베어링 플로어는 복수의 구멍을 가짐으로써 상기 로드 베어링 플로어위의 클린룸으로부터 로드 베어링 플로어 아래의 설비룸으로의 공기 흐름을 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 클리닝룸 플로어 구조물.
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Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7083515B2 (en) * 1999-09-07 2006-08-01 Speedfam-Ipec Corporation Clean room facility and construction method
JP4354675B2 (ja) 2002-06-04 2009-10-28 ローツェ株式会社 薄板状電子部品クリーン移載装置および薄板状電子製品製造システム
US7204751B2 (en) * 2003-07-07 2007-04-17 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method and apparatus for filtering contaminants
US20050016098A1 (en) * 2003-07-22 2005-01-27 Hahn Lindsey R. Attic deck system
CN1553195B (zh) * 2003-08-18 2010-04-28 南京大学 痕量元素与同位素分析用洁净室
US20050208887A1 (en) * 2004-03-17 2005-09-22 Krick David T Air grate
KR100605106B1 (ko) * 2004-07-01 2006-07-31 삼성전자주식회사 그레이팅 패널 및 그것을 사용하는 청정실 시스템
US7788867B2 (en) * 2004-10-13 2010-09-07 General Electric Company Floor tile debris interceptor and transition plenum in a nuclear power plant
US11024527B2 (en) 2005-06-18 2021-06-01 Frederick A. Flitsch Methods and apparatus for novel fabricators with Cleanspace
US9457442B2 (en) * 2005-06-18 2016-10-04 Futrfab, Inc. Method and apparatus to support process tool modules in a cleanspace fabricator
US7513822B2 (en) 2005-06-18 2009-04-07 Flitsch Frederick A Method and apparatus for a cleanspace fabricator
US10627809B2 (en) 2005-06-18 2020-04-21 Frederick A. Flitsch Multilevel fabricators
US10651063B2 (en) 2005-06-18 2020-05-12 Frederick A. Flitsch Methods of prototyping and manufacturing with cleanspace fabricators
US9339900B2 (en) * 2005-08-18 2016-05-17 Futrfab, Inc. Apparatus to support a cleanspace fabricator
US9059227B2 (en) 2005-06-18 2015-06-16 Futrfab, Inc. Methods and apparatus for vertically orienting substrate processing tools in a clean space
US9159592B2 (en) 2005-06-18 2015-10-13 Futrfab, Inc. Method and apparatus for an automated tool handling system for a multilevel cleanspace fabricator
US7467024B2 (en) * 2005-08-26 2008-12-16 Flitsch Frederick A Method and apparatus for an elevator system for a multilevel cleanspace fabricator
WO2007035423A2 (en) 2005-09-18 2007-03-29 Flitsch Frederick A Method and apparatus for vertically orienting substrate processing tools in a clean space
US8239974B2 (en) * 2008-12-29 2012-08-14 Josef Erlebach Elongated shower drain
US20110030307A1 (en) * 2009-08-10 2011-02-10 Caterpillar Inc. Concrete bar slag container
JP2011047240A (ja) * 2009-08-28 2011-03-10 Fujitsu Ltd フリーアクセスフロア、フリーアクセスフロアの床下空間の仕切方法
SE534353C2 (sv) * 2009-10-02 2011-07-19 Flaekt Woods Ab Kylbaffel med VAV-funktion via reglerskena
US8776445B1 (en) * 2010-11-01 2014-07-15 Walgreen Co. Pharmacy workspace
US8776446B1 (en) * 2010-11-01 2014-07-15 Walgreen Co. Pharmacist workstation
TW201239586A (en) * 2011-03-24 2012-10-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Container data center
US8844221B2 (en) 2011-05-17 2014-09-30 International Business Machines Corporation Arrangement for a laboratory room
US8656670B2 (en) * 2011-07-25 2014-02-25 Stem Cell Reserve, Lp Facilities for hybrid tissue banks
US20140087649A1 (en) * 2012-09-26 2014-03-27 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co. Ltd. Cleanroom and Cleaning Apparatus
CN104314273B (zh) * 2014-11-07 2017-01-25 上海华力微电子有限公司 承压散重防震脚
DE102015012053A1 (de) * 2015-09-14 2017-03-16 M+W Group GmbH Fertigungsanlage zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen aus Halbleiter-Wafern sowie Waffelelement für eine Fertigungsanlage
RU2615432C1 (ru) * 2015-11-06 2017-04-04 Федеральное бюджетное учреждение науки "Московский научно-исследовательский институт эпидемиологии и микробиологии им. Г.Н. Габричевского" Федеральной службы по надзору в сфере защиты прав потребителей и благополучия человека Асептический изолированный блок
US10337751B2 (en) * 2016-08-04 2019-07-02 Environmental Information Services, Inc. Liquefied petroleum gas solvent extraction room ventilation system and methods
CN106556085B (zh) * 2016-12-06 2019-05-24 惠科股份有限公司 无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法
EP3351940A1 (en) * 2017-01-24 2018-07-25 Roche Diagnostics GmbH Laboratory with sample distribution in underfloor chamber
CN107560024B (zh) * 2017-09-13 2023-04-14 中天道成（苏州）洁净技术有限公司 高精度高均匀度洁净室系统
CN110439332B (zh) * 2019-08-09 2024-09-03 世源科技工程有限公司 一种洁净室
BR112022002854B1 (pt) 2019-08-15 2023-01-31 G-Con Manufacturing, Inc Aparelho de construção modular para fabricação de sala limpa farmacêutica e método de montar um aparelho de sala limpa modular para fabricação de sala limpa farmacêutica
CN111482437A (zh) * 2020-04-24 2020-08-04 厦门玛雅缔包装有限公司 一种用于印刷机的无尘车间
JP7555210B2 (ja) 2020-07-29 2024-09-24 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置
US11492795B2 (en) 2020-08-31 2022-11-08 G-Con Manufacturing, Inc. Ballroom-style cleanroom assembled from modular buildings
CN112376975A (zh) * 2020-11-30 2021-02-19 薛人芳 一种基于橡胶减震的高层建筑的隔震系统

Family Cites Families (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US33220A (en) * 1861-09-03 Improved water-wheel
US844296A (en) 1905-10-20 1907-02-12 Edward Jarvis Winslow Building construction.
US1562865A (en) 1925-06-19 1925-11-24 Herbert L Brown Floor ventilator
US2593424A (en) * 1949-04-09 1952-04-22 Fay H Edgerly Hollow floor heating system
US3057271A (en) * 1957-12-13 1962-10-09 Aluminum Co Of America Cast structural gratings
US3023689A (en) 1958-12-12 1962-03-06 New Castle Products Inc Grating for defining and controlling an air screen
US3158457A (en) 1962-05-14 1964-11-24 Willis J Whitfield Ultra-clean room
US3367257A (en) 1965-03-23 1968-02-06 Pyle National Co Air control for white room
US3811237A (en) * 1970-03-30 1974-05-21 United Fabricating Co Inc Raised floor panel and assembly
US3850193A (en) 1973-10-09 1974-11-26 R Guzzo Expansion joint and drain conduit for foundation walls
US3918518A (en) * 1974-03-15 1975-11-11 Hudson Engineering Corp Atmospheric heat exchangers
SU509647A1 (ru) * 1975-01-03 1976-04-05 Институт черной металлургии Устройство дл ввода измельченноготвердого топлива в доменную печь
US4043354A (en) 1976-05-17 1977-08-23 D & J Tool & Die, Inc. Drain trap and cover construction
US4267769A (en) * 1979-02-22 1981-05-19 Environmental Air Control, Inc. Prefabricated knockdown clean room
US4409889A (en) * 1981-11-02 1983-10-18 Burleson Maurice L Modular clean room
DE3144815C2 (de) 1981-11-11 1985-06-20 Paul 6456 Langenselbold Gutermuth Aufgeständerter Boden für feuchte Arbeitsräume
USRE33220E (en) * 1984-02-13 1990-05-22 Interstitial Systems, Inc. Modular combination floor support and electrical isolation system for use in building structures
US4639261A (en) * 1984-02-29 1987-01-27 Flanders Filters, Inc. High efficiency air filter
US4832562A (en) 1985-05-03 1989-05-23 Johnson Raynor A Integrated air bearing slip sheet material handling system and slip sheet employed therein
KR910001112B1 (ko) * 1985-06-21 1991-02-23 꼬마니 가부시끼가이샤 청정실용 가동 격벽 장치
JPS625031A (ja) 1985-06-28 1987-01-12 Kajima Corp 部分的に清浄度の異なるクリ−ンル−ム
CN1008397B (zh) * 1985-10-09 1990-06-13 高砂热学工业株式会社 多用途适应性强的洁净室系统
US4747341A (en) 1986-11-19 1988-05-31 Donaldson Company, Inc. Integral grid structure for providing negative pressure plenum
JPH0827042B2 (ja) * 1987-02-18 1996-03-21 富士通株式会社 クリ−ンル−ム
US4883511A (en) * 1988-03-25 1989-11-28 Arnold Gustin Laminar flow multiplane matrix ceiling system
DE3832915A1 (de) 1988-09-28 1990-03-29 Martin Gabler Reinraum
US4883590A (en) 1988-10-20 1989-11-28 Papp David J Adjustable floor drain apparatus
US5029518A (en) * 1989-10-16 1991-07-09 Clean Air Technology, Inc. Modular clean room structure
JPH03291436A (ja) * 1990-04-05 1991-12-20 N M B Semiconductor:Kk 半導体製造工場のクリーンルーム
US5067289A (en) 1990-06-28 1991-11-26 Ouderkirk Dale L Foundation system for manufactured housing
US5058491A (en) * 1990-08-27 1991-10-22 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Building and method for manufacture of integrated circuits
US5401212A (en) * 1990-08-29 1995-03-28 Intelligent Enclosures Corporation Environmental control system
US5412914A (en) * 1991-07-08 1995-05-09 Daw; Terry L. Raised access flooring system
US5256105A (en) * 1992-03-02 1993-10-26 Clean Air Technology, Inc. Washable seamless clean room
US5444947A (en) 1993-02-09 1995-08-29 Noll Manufacturing Co. Foundation vent
US5477649A (en) * 1993-04-30 1995-12-26 Airtite Contractors Inc. Raised floor cable trough system
US5542223A (en) 1993-08-20 1996-08-06 General Plastics, Inc. Air duct boot
DE4328995C2 (de) 1993-08-28 1997-01-23 Meissner & Wurst Reinraumanlage
KR970007648B1 (ko) 1994-05-09 1997-05-15 삼성전자 주식회사 클린룸용 개방형 에어샤워장치
US5564235A (en) 1994-08-29 1996-10-15 Butler; Michael Foundation and floor construction means
US5871556A (en) * 1997-05-02 1999-02-16 Hepa Corporation Clean room air filter system with self-supporting filter units
US5791096A (en) * 1997-03-07 1998-08-11 Chen; Kingbow Raised floor supporting structure
US5843324A (en) * 1997-04-11 1998-12-01 Shirley; Brett L. Reusable form
US6202374B1 (en) 1998-06-09 2001-03-20 Steelcase Development Inc. Floor system
KR200198844Y1 (ko) * 1998-09-23 2000-10-02 김재원 크린룸용 바닥재

Also Published As

Publication number Publication date
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