JP4908034B2

JP4908034B2 - クリーンルームを備えた建物の構造

Info

Publication number: JP4908034B2
Application number: JP2006094176A
Authority: JP
Inventors: 久義石橋
Original assignee: Kumagai Gumi Co Ltd
Current assignee: Kumagai Gumi Co Ltd
Priority date: 2006-03-30
Filing date: 2006-03-30
Publication date: 2012-04-04
Anticipated expiration: 2026-03-30
Also published as: JP2007270438A

Description

本発明は、室内の塵や埃の量が一定の基準以下に制限された部屋、すなわちクリーンルームを備えた建物の構造に関する。

半導体、精密電子機器等の製造工場のようなクリーンルームを備えた建物には、地震による製造装置の損傷、誤作動等を防止するため、建物の床版が免震装置によって基礎上に支持されているものがある（特許文献１参照）。図５に示す例では、クリーンルーム１００を備えた従来の建物１０２は、免震装置１０４により基礎１０６上に支持された仕切り板１０８、該仕切り板上の壁１１０及び該壁上の屋根１１２によって、外気から遮断された空間１１４が形成されている。クリーンルーム１００は、外気から遮断された空間１１４内にあって、仕切り板１０８の上方に設けられた床版１１６、該床版上の内壁１１８及び該内壁上の天井１２０によって形成されている。床版１１６は複数の通気孔（図示せず）を有し、天井１２０は、フィルター（図示せず）が配置された開口部（図示せず）を有する。外気から遮断された空間１１４内には前記フィルターを経てクリーンルーム１００へ空気を送り込むファン（図示せず）が設置されている。
特開２００６−２５５９号公報

前記ファンを運転すると、前記フィルターを経た清浄な空気１２２がクリーンルーム１００へ供給される。クリーンルーム１００に供給された空気は、塵や埃とともに床版１１６を経て排出され、外気から遮断された空間１１４を通り、前記フィルターを経て再びクリーンルーム１００へ供給される。外気から遮断された空間１１４を経て空気を循環させることにより、建物の外部から塵や埃が入るのを防止することができる。また、循環させる空気内に存在する塵や埃は前記フィルターにより除去することができる。これによりクリーンルーム１００内の塵や埃の量を一定のレベル以下に制限することができる。

しかし、クリーンルームを備えた従来の建物１０２は、空気を循環させるために床版１１６と床下を仕切る仕切り板１０８との間に空間が設けられているため、建物の高さが高くなり、建物の構築にかかる費用が高くつく。

本発明の目的は、建物の高さを増すことなく空気の循環のための空間を確保することによって、より経済的な構築を可能にする、クリーンルームを備えた建物の構造を提供することである。

本発明は、前記目的を達成するために、空気を循環させるための閉鎖空間を床版と基礎との間に形成する。

本発明に係る、クリーンルームを備えた建物の構造は、前記クリーンルームを構成する床版と、該床版を基礎上に支持する免震装置と、前記床版と前記基礎との間にあって、前記床版との間に閉鎖空間を形成する閉鎖手段とを含み、前記床版は、前記クリーンルームと前記閉鎖空間とを連通させる連通部であって前記クリーンルームの使用時に前記クリーンルームの中の空気が前記クリーンルームから前記閉鎖空間へ流れることを許す連通部を有する。これにより、前記床版と前記基礎との間に前記閉鎖空間を確保することができ、前記閉鎖空間を経て空気を循環させることができる。前記閉鎖手段は、前記床版と前記基礎との間の空間の全体に前記閉鎖空間を形成してもよいし、前記床版と前記基礎との間の空間の一部に前記閉鎖空間を形成してもよい。

前記閉鎖手段は、前記床版の下方に間隔を置いて配置された底板と、該底板と前記免震装置近傍の前記床版、該床版に固定されたもの等（以下「床版等」という。）とを連結する側板とを含むことができる。前記側板は透明とすることができ、これにより前記免震装置の目視点検を容易に行うことができる。前記側板は、前記免震装置の点検のための点検用開口部と、該点検用開口部を閉鎖する閉鎖部材とを備えることができる。これにより、前記免震装置の点検を行うとき、作業員が前記点検用開口部を経て前記免震装置に接近することができる。前記閉鎖手段は前記床版に取り付けられた送風管、すなわちダクトとすることもできる。

本発明によれば、クリーンルームを備えた建物の高さを増すことなく空気の循環のための空間を確保することができ、これにより経済的に建物を構築することができる。

図１に示すように、クリーンルーム１０を備えた建物１２は、基礎１４上に配置された免震装置１６と、該免震装置に支持された床版１８とを有し、該床版、該床版上の壁２０及び該壁上の屋根２２によって第１閉鎖空間２４が形成されている。クリーンルーム１０は、第１閉鎖空間２４内にあって、床版１８の一部と、該床版上の内壁２６と、該内壁上の天井２８とによって形成されている。免震装置１６は、例えば、積層ゴム、すなわち鋼板とゴムとを交互に重ねた構造を有する免震装置である。クリーンルーム１０には、半導体、精密電子機器等の製造装置３０が配置されている。

建物１２は、床版１８と基礎１４との間にあって、床版１８との間に第２閉鎖空間３２を形成する閉鎖手段３４を含む。図示の例では、第２閉鎖空間３２は床版１８と基礎１４との間の空間の全体に形成されている。閉鎖手段３４は、例えば、床版１８の下方に間隔を置いて配置された底板３６と、該底板と免震装置１６上に床版１８を支持する梁３８とを連結する側板４０とを含む。側板４０の一端は、梁３８に取り付けられている上記の例に代え、床版１８に取り付けられていてもよいし、床版１８又は梁３８に固定されたもの（図示せず）に取り付けられていてもよい。なお、閉鎖手段３４は、床版１８等に固定されているため、地震時に床版１８と基礎１４との相対移動を妨げることはない。

床版１８は、クリーンルーム１０と第２閉鎖空間３２とを連通させる第１連通部４２と、第１閉鎖空間２４と第２閉鎖空間３２とを連通させる第２連通部４４とを有する。第１連通部４２の範囲は、クリーンルーム１０に要求される空気の清浄度に応じて決めることができる。第１連通部４２及び第２連通部４４のそれぞれは、例えば、複数の通気孔を有する床板（図示せず）からなる。クリーンルーム１０の天井２８は少なくとも１つの開口部（図示せず）を有し、該開口部にはフィルター（図示せず）が配置されている。第１閉鎖空間２４には、クリーンルーム１０へ空気を送り込むファン（図示せず）が配置されている。

前記ファンを運転すると、第１閉鎖空間２４から前記フィルターを経てクリーンルーム１０に空気４６が送られる。クリーンルーム１０に供給された空気は、塵や埃とともに第１連通部４２を経て第２閉鎖空間３２へ排出され、第２連通部４４を経て第１閉鎖空間２４へ流れ、前記フィルターを経て再びクリーンルーム１０に供給される。外気から遮断された第１閉鎖空間２４及び第２閉鎖空間３２を経て空気を循環させることにより、建物の外部から塵や埃が入るのを防止することができる。また、第１閉鎖空間２４又は第２閉鎖空間３２に存在する塵や埃は前記フィルターによって除去することができる。これによりクリーンルーム１０内の塵や埃の量を一定の基準以下に制限することができ、クリーンルーム１０内の空気を清浄な状態に維持することができる。このように、第２閉鎖空間３２を経て空気を循環させることができ、また、第２閉鎖空間３２が床版１８と基礎１４との間に設けられているため、建物１２の高さをより低く抑えることができる。

第２閉鎖空間３２には、製造装置３０に接続される補助装置４８を配置することができる。補助装置４８は、地震時に製造装置３０に対して相対移動することがないように、床版１８に固定することができる。

側板４０は、免震装置１６の目視点検を容易に行うために、透明とすることができる。また、側板４０は、免震装置１６の点検のための点検用開口部４０ａと、該点検用開口部を閉鎖する閉鎖部材４０ｂとを備えることができる（図２）。これにより、免震装置１６の点検を行うとき、作業員が点検用開口部４０ａを経て免震装置１６に接近することができる。なお、免震装置１６の点検を行うとき、作業員は床板を外して第２閉鎖空間３２に入ることができ、点検用開口部４０ａを開放するときは、例えば、点検用開口部４０ａの周囲をシートで覆い、第２閉鎖空間３２又はクリーンルーム１０に外部から塵や埃が入るのを防止することができる。

図３に示す例では、第２閉鎖空間３２は床版１８と基礎１４との間の空間の一部に形成されている。第１閉鎖空間２４は、床版１８、壁２０及び屋根２２によって形成されている図１に示した例に代え、床版１８の一部、該床版上の間仕切り壁５０、壁２０の一部及び屋根２２の一部によって形成されている。床版１８は、クリーンルーム１０と第２閉鎖空間３２とを連通させる第１連通部４２と第１閉鎖空間２４と第２閉鎖空間３２とを連通させる第２連通部４４とを有する。

図４に示す例では、閉鎖手段３４は、底板３６と側板４０と有する上記の例に代え、床版１８に取り付けられた送風管、すなわちダクト５２である。ダクト５２の一端部は、クリーンルーム１０内の床版１８に設けられた第１開口部１８ａに接続され、ダクト５２の他端部は、第１閉鎖空間２４の床版１８に設けられた第２開口部１８ｂに接続されている。これにより第２閉鎖空間３２を局部的に形成することができる。製造装置３０の配置変更によって第１開口部１８ａの位置を変更する場合、第１開口部１８ａの位置に合わせてダクト５２の位置を変更することができる。

図示の例において、クリーンルームを備えた建物の高さを増すことなく空気の循環のための空間を確保することができ、これにより経済的に建物を構築することができる。

本発明に係る、クリーンルームを備えた建物の縦断面図。図１の線２における断面図。本発明の第１の実施例における、クリーンルームを備えた建物の縦断面図。本発明に第２の実施例における、クリーンルームを備えた建物の水平断面図。クリーンルームを備えた従来の建物の縦断面図。

符号の説明

１０クリーンルーム
１２建物
１４基礎
１６免震装置
１８床版
３２第２閉鎖空間
３４閉鎖手段
３６底板
４０側板
４０ａ点検用開口部
４０ｂ閉鎖部材
５２ダクト

Claims

クリーンルームを備えた建物の構造であって、
前記クリーンルームを構成する床版と、該床版を基礎上に支持する免震装置と、前記床版と前記基礎との間にあって、前記床版との間に閉鎖空間を形成する閉鎖手段とを含み、
前記床版は、前記クリーンルームと前記閉鎖空間とを連通させる連通部であって前記クリーンルームの使用時に前記クリーンルームの中の空気が前記クリーンルームから前記閉鎖空間へ流れることを許す連通部を有する、クリーンルームを備えた建物の構造。
前記閉鎖手段は、前記床版と前記基礎との間の空間の全体又は一部に前記閉鎖空間を形成する、請求項１に記載のクリーンルームを備えた建物の構造。
前記閉鎖手段は、前記床版の下方に間隔を置いて配置された底板と、該底板と前記免震装置近傍の床版等とを連結する側板とを含む、請求項１に記載のクリーンルームを備えた建物の構造。
前記側板は透明である、請求項３に記載のクリーンルームを備えた建物の構造。
前記側板は、前記免震装置の点検のための点検用開口部と、該点検用開口部を閉鎖する閉鎖部材とを有する、請求項３に記載のクリーンルームを備えた建物の構造。
前記閉鎖手段は、前記床版に取り付けられたダクトである、請求項１に記載のクリーンルームを備えた建物の構造。