JP4908033B2

JP4908033B2 - クリーンルームを備えた建物の構造

Info

Publication number: JP4908033B2
Application number: JP2006094165A
Authority: JP
Inventors: 久義石橋
Original assignee: Kumagai Gumi Co Ltd
Current assignee: Kumagai Gumi Co Ltd
Priority date: 2006-03-30
Filing date: 2006-03-30
Publication date: 2012-04-04
Anticipated expiration: 2026-03-30
Also published as: JP2007270437A

Description

本発明は、室内の塵や埃の量が一定の基準以下に制限された部屋、すなわちクリーンルームを備えた建物の構造に関する。

半導体、精密電子機器等の製造工場のようなクリーンルームを備えた建物には、地震による製造装置の損傷、誤作動等を防止するため、建物の床版が免震装置によって基礎上に支持されているものがある（特許文献１参照）。図４に示す例では、クリーンルーム１００を備えた従来の建物１０２は、免震装置１０４により基礎１０６上に支持された仕切り板１０８、該仕切り板上の壁１１０及び該壁上の屋根１１２によって、外気から遮断された空間１１４が形成されている。クリーンルーム１００は、外気から遮断された空間１１４内にあって、仕切り板１０８の上方に設けられた床版１１６、該床版上の内壁１１８及び該内壁上の天井１２０によって形成されている。床版１１６は複数の通気孔（図示せず）を有し、天井１２０は、フィルター（図示せず）が配置された開口部（図示せず）を有する。外気から遮断された空間１１４内には前記フィルターを経てクリーンルーム１００へ空気を送り込むファン（図示せず）が設置されている。
特開２００６−２５５９号公報

前記ファンを運転すると、前記フィルターを経た清浄な空気１２２がクリーンルーム１００へ供給される。クリーンルーム１００に供給された空気は、塵や埃とともに床版１１６を経て排出され、外気から遮断された空間１１４を通り、前記フィルターを経て再びクリーンルーム１００へ供給される。外気から遮断された空間１１４を経て空気を循環させることにより、建物の外部から塵や埃が入るのを防止することができる。また、循環させる空気内に存在する塵や埃は前記フィルターにより除去することができる。これによりクリーンルーム１００内の塵や埃の量を一定のレベル以下に制限することができる。

しかし、クリーンルームを備えた従来の建物１０２は、空気を循環させるために床版１１６と床下を仕切る仕切り板１０８との間に空間が設けられているため、建物の高さが高くなり、建物の構築にかかる費用が高くつく。

本発明の目的は、建物の高さを増すことなく空気の循環のための空間を確保することによって、より経済的な構築を可能にする、クリーンルームを備えた建物の構造を提供することである。

本発明は、床版と基礎との間の空間を外気から遮断することによって、空気の循環のための空間を形成する。

本発明に係る、クリーンルームを備えた建物の構造は、前記クリーンルームを構成する床版と、該床版を基礎上に支持する免震装置と、前記床版と前記基礎との間の空間を外気から遮断する空気遮断手段とを含み、前記床版は、前記クリーンルームと前記空間とを連通させる連通部であって前記クリーンルームの使用時に前記クリーンルームの中の空気が前記クリーンルームから前記空間へ流れることを許す連通部を有する。これにより、前記床版と前記基礎との間に閉鎖空間を形成することができ、前記閉鎖空間を経て空気を循環させることができる。前記空気遮断手段は、前記床版と前記基礎との間の空間の全体を外気から遮断してもよいし、前記床版と前記基礎との間の空間の一部を外気から遮断してもよい。

前記空気遮断手段は、ゴム膜、フッ素樹脂をコーティングしたガラス繊維膜又はステンレス製の蛇腹構造の部材とすることができる。前記空気遮断手段の一端は、前記床版、該床版に取り付けられたもの等（以下「床版等」という。）に固定することができ、前記空気遮断手段の他端は、基礎又は該基礎に取り付けられたもの（以下「基礎等」という。）に固定することができる。

本発明によれば、クリーンルームを備えた建物の高さを増すことなく空気の循環のための空間を確保することができ、これにより経済的に建物を構築することができる。

図１に示すように、クリーンルーム１０を備えた建物１２は、基礎１４上に配置された免震装置１６と、該免震装置に支持された床版１８とを有し、該床版、該床版上の壁２０及び該壁上の屋根２２によって第１閉鎖空間２４が形成されている。クリーンルーム１０は、第１閉鎖空間２４内にあって、床版１８の一部と、該床版上の内壁２６と、該内壁上の天井２８とによって形成されている。免震装置１６は、例えば、積層ゴム、すなわち鋼板とゴムとを交互に重ねた構造を有する免震装置である。クリーンルーム１０には、半導体、精密電子機器等の製造装置３０が配置されている。

建物１２は、床版１８と基礎１４との間の空間を外気から遮断する空気遮断手段３２を含み、床版１８と基礎１４と空気遮断手段３２とによって第２閉鎖空間３４を形成する。図示の例では、空気遮断手段３２は床版１８と基礎１４との間の空間の周囲を囲むように配置されている（図２）。空気遮断手段３２の一端は、免震装置１６上に床版１８を支持する梁３６に固定され、空気遮断手段３２の他端は基礎１４に設けられた側壁３８に固定されている。空気遮断手段３２の前記一端は、梁３６に固定されている上記の例に代え、床版１８又は壁２０に固定されていてもよいし、床版１８、梁３６又は壁２０に取り付けられたもの（図示せず）に固定されていてもよい。空気遮断手段３２の前記他端は、側壁３８に固定されている上記の例に代え、基礎１４に固定されていてもよい。

空気遮断手段３２は、ゴム膜とすることができ、また、フッ素樹脂をコーティングしたガラス繊維膜とすることができる。空気遮断手段３２は、地震時の床版１８と基礎１４との相対移動を妨げないように、弛んでいることが望ましい。空気遮断手段３２はステンレス製の蛇腹構造の部材でもよい。蛇腹構造の部材は伸縮可能であるため、地震時の床版１８と基礎１４との相対移動を妨げることはない。

床版１８は、クリーンルーム１０と第２閉鎖空間３４とを連通させる第１連通部４０と、第１閉鎖空間２４と第２閉鎖空間３４とを連通させる第２連通部４２とを有する。第１連通部４０の範囲は、クリーンルーム１０に要求される空気の清浄度に応じて決めることができる。第１連通部４０及び第２連通部４２のそれぞれは、例えば、複数の通気孔を有する床板（図示せず）からなる。クリーンルーム１０の天井２８は少なくとも１つの開口部（図示せず）を有し、該開口部にはフィルター（図示せず）が配置されている。第１閉鎖空間２４には、クリーンルーム１０へ空気を送り込むファン（図示せず）が配置されている。

前記ファンを運転すると、第１閉鎖空間２４から前記フィルターを経てクリーンルーム１０に空気４４が送られる。クリーンルーム１０に供給された空気は、塵や埃とともに第１連通部４０を経て第２閉鎖空間３４へ排出され、第２連通部４２を経て第１閉鎖空間２４へ流れ、前記フィルターを経て再びクリーンルーム１０に供給される。外気から遮断された第１閉鎖空間２４及び第２閉鎖空間３４を経て空気を循環させることにより、建物の外部から塵や埃が入るのを防止することができる。また、第１閉鎖空間２４又は第２閉鎖空間３４に存在する塵や埃は前記フィルターによって除去することができる。これによりクリーンルーム１０内の塵や埃の量を一定の基準以下に制限することができ、クリーンルーム１０内の空気を清浄な状態に維持することができる。このように、第２閉鎖空間３４を経て空気を循環させることができ、また、第２閉鎖空間３４が床版１８と基礎１４との間に設けられているため、建物１２の高さを低く抑えることができる。

第２閉鎖空間３４には、製造装置３０に接続される補助装置４６を配置することができる。補助装置４６は、地震時に製造装置３０に対して相対移動することがないように、床版１８に固定することができる。補助装置４６と製造装置３０との相対移動が許容される場合、補助装置４６は基礎１４に設置してもよい。

第２閉鎖空間３４が外気から遮断されていることにより、免震装置１６を風雨や外気の湿気から保護することができる。また、第２閉鎖空間３４は、免震装置１６の点検時の作業空間として使用することができる。免震装置１６の点検を行うとき、作業員は床板を外して第２閉鎖空間３４に入ることができる。

図３に示す例では、空気遮断手段３２は、床版１８と基礎１４との間の空間の一部を外気から遮断している。第１閉鎖空間２４は、床版１８、壁２０及び屋根２２によって形成されている図１に示した例に代え、床版１８の一部、該床版上の間仕切り壁４８、壁２０の一部及び屋根２２の一部によって形成されている。床版１８は、クリーンルーム１０と第２閉鎖空間３４とを連通させる第１連通部４０と、第１閉鎖空間２４と第２閉鎖空間３４とを連通させる第２連通部４２とを有する。図示の例では、空気遮断手段３２は、一端が梁３６に固定され、他端が基礎１４に固定されている。

図示の例において、クリーンルームを備えた建物の高さを増すことなく空気の循環のための空間を確保することができ、これにより経済的に建物を構築することができる。

本発明に係る、クリーンルームを備えた建物の縦断面図。図１の線２における断面図。本発明の他の実施例における、クリーンルームを備えた建物の縦断面図。クリーンルームを備えた従来の建物の縦断面図。

符号の説明

１０クリーンルーム
１２建物
１４基礎
１６免震装置
１８床版
３２空気遮断手段

Claims

クリーンルームを備えた建物の構造であって、
前記クリーンルームを構成する床版と、該床版を基礎上に支持する免震装置と、前記床版と前記基礎との間の空間を外気から遮断する空気遮断手段とを含み、
前記床版は、前記クリーンルームと前記空間とを連通させる連通部であって前記クリーンルームの使用時に前記クリーンルームの中の空気が前記クリーンルームから前記空間へ流れることを許す連通部を有する、クリーンルームを備えた建物の構造。
前記空気遮断手段は、前記床版と前記基礎との間の空間の全体又は一部を外気から遮断する、請求項１に記載のクリーンルームを備えた建物の構造。
前記空気遮断手段は、一端が床版等に固定され、他端が基礎等に固定された、ゴム膜、フッ素樹脂をコーティングしたガラス繊維膜又はステンレス製の蛇腹構造の部材である、請求項１に記載のクリーンルームを備えた建物の構造。